CN102800366B - 测试装置及测试方法 - Google Patents

Abstract

提供一种精度很好地测试收发数据信号和时钟信号的被测试器件的测试装置，该测试装置具有：对被测试器件供给数据信号及时钟信号作为测试信号的测试信号供给部；以被测试器件输出的时钟信号对应的时序取得被测试器件输出的数据信号的数据取得部；根据数据取得部取得的数据信号与期望值比较得到的比较结果判断被测试器件的好坏的判断部；以及在调整的时间中，调整用于生成取得数据信号的时序的时钟信号的延迟量的调整部。

Description

测试装置及测试方法

技术领域

本发明涉及一种测试装置及测试方法。

背景技术

被称为源同步的、与数据信号一起并行输出同步用时钟信号的接口已广为人知。专利文献1记载了对采用这样接口的被测试器件进行测试的测试装置。专利文献1记载的测试装置，根据被测试器件输出的时钟信号对数据信号的数据值进行取样，将取样得到的数据值与期望值进行比较。

专利文献1美国专利第7644324号说明书

发明内容

发明要解决的问题

但是，源同步接口，通过不同的传输线路并行传输数据信号与时钟信号。因此，如果传送数据信号的传输线路的延迟量和传送时钟信号的传输线路的延迟量错开的话，测试装置不能精度良好地进行测试。

解决问题的手段

为了解决上述问题，在本发明的第1方式中，提供测试装置以及测试方法，测试装置是测试通过双向总线收发数据信号和表示所述数据信号取样时序的时钟信号的被测试器件的测试装置，包括：测试信号供给部，通过所述双向总线，将数据信号及时钟信号作为测试信号提供给所述被测试器件；数据取得部，以与所述被测试器件经由所述双向总线输出的所述时钟信号对应的时序取得所述被测试器件经由所述双向总线输出的所述数据信号；判断部，基于将上述数据取得部取得的所述数据信号与期望值比较后的比较结果，判定所述被测试器件的好坏；调整部，在调整时间中，使所述测试信号供给部输出调整用数据信号及调整用时钟信号，使所述数据取得部按照与所述调整用时钟信号对应的时序取得所述调整用数据信号，并基于由所述数据取得部的所述调整用数据信号的取得结果，调整用于生成取得所述数据信号的时序的所述时钟信号的延迟量。

另外，上述发明的概要，并未列举出本发明的必要技术特征的全部，同时，这些特征群的次级组合也能成为发明。

附图说明

【图1】表示被测试器件200，及测试被测试器件200的本实施方式涉及的测试装置10。

【图2】表示从被测试器件200输出的数据信号及时钟信号的时序。

【图3】表示本实施方式涉及的测试装置10的构成。

【图4】表示时钟生成部36构成的一个例子，及数据取得部38构成的一个例子。

【图5】表示数据信号，时钟信号，延迟信号，第1选通信号，第2选通信号，以及，取样时钟的时序的一个例子。

【图6】示出了表示被测试器件200的测试顺序的流程图。

【图7】示出了测试作为存储器器件的被测试器件200的功能的时序图。

【图8】表示在读出处理时，从测试装置10发送到被测试器件200的命令及读使能信号、从被测试器件200发送到测试装置10的时钟信号及数据信号、屏蔽信号及取样时钟的时序，以及从缓冲部58向判断部42转送的数据的时序的一个例子。

【图9】表示在本实施方式涉及的测试装置10中的调整时的处理流程。

【图10】表示缓冲部58的检查处理(S31)中的测试装置10的功能构成。

【图11】表示时钟信号的延迟量的调整处理(S32)中的测试装置10的功能构成。

【图12】表示时钟信号的延迟量的调整处理(S32)中的测试装置10的处理流程。

具体实施方式

下面通过发明的实施方式说明本发明，但以下实施方式并不限定权利要求所涉及的发明。另外，在实施方式中说明的特征组合并非全部都是发明的解决手段所必须的。

图1，表示被测试器件200，及对被测试器件200进行测试的本实施方式涉及的测试装置10。图2，表示从被测试器件200输出的数据信号及时钟信号的时序。

本实施方式涉及的测试装置10，对被测试器件200进行测试。在本实施方式中，测试器件200，通过作为双向总线的DDR(Double Data Rate)接口，和其他的器件进行数据的收发。

DDR接口，并行传转送多条数据信号DQ和表示取样数据信号DQ的时序的时钟信号DQS。在本例中，DDR接口，比如，如图2所示，对4条数据信号DQ0、DQ1、DQ2、DQ3转送1条时钟信号DQS。同时，DDR接口，转送相对时钟信号DQS的速率，与时钟信号DQS同步的2倍的速率的数据信号DQ。

在本实施方式中，被测试器件200，比如是非易失性存储器器件，通过DDR接口，从其他的控制用器件写入及读出数据。本实施方式涉及的测试装置10，通过作为这样的双向总线的DDR接口与被测试器件200进行的数据信号DQ及时钟信号DQS的收发，来测试被测试器件200。并且，测试装置10还与被测试器件200之间进行写使能信号及读使能信号等的控制用信号的收发。

图3，表示本实施方式涉及的测试装置10的构成。测试装置10，具有：多个数据端子12、时钟端子14、时序发生部22、图案发生部24、多个数据用比较仪32、时钟用比较仪34、时钟生成部36、多个数据取得部38、时钟取得部40、判断部42、测试信号供给部44、指定部48以及调整部50。

多个数据端子12各自通过为双向总线的DDR的接口，连接于被测试器件200中的数据信号的输入输出端子。在本例中，测试装置10具有4个数据端子12。4个数据端子12分别通过DDR接口连接于被测试器件200中的4条数据信号的DQ0、DQ1、DQ2、DQ3的各自的输入输出端子。时钟端子14，经由DDR接口与被测试器件200中的时钟信号DQS的输入输出端子连接。

时序发生部22按照在该测试装置10内部中发生的基准时钟，发生与该测试装置10的测试周期对应的时序信号。时序发生部22，作为一个例子，发生与测试周期同步的时序信号。

图案发生部24发生期望值图案，该期望值图案表示从被测试器件200输出的数据信号的期望值。同时，图案发生部24，发生表示供给于被测试器件200的测试信号的波形的测试图案。图案发生部24，作为一个例子，根据程序的实行而发生期望值图案及测试图案。

多个数据用比较仪32，对应经由DDR接口和被测试器件200之间进行收发的多个数据信号的各个而设置。在本例中，测试装置10，具有与4条数据信号DQ0、DQ1、DQ2、DQ3各自对应的4个数据用比较仪32。多个数据用比较仪32各自经由所对应的数据端子12接受从被测试器件200输出的对应的数据信号。多个数据用比较仪32分别将接收到的数据信号与被预定的阈值电平进行比较并逻辑值化，输出逻辑值化得到的数据信号。

和经由DDR接口，在与被测试器件200之间进行收发的时钟信号DQS相对应设置时钟用比较仪34。时钟用比较仪34，经由对应的时钟端子14，接收从被测试器件200输出的对应的时钟信号。并且，时钟用比较仪34，将所接收的时钟信号与预定的阈值电平比较后逻辑值化，输出逻辑值化后的时钟信号。

时钟生成部36，根据被时钟用比较仪34逻辑值化得到的时钟信号，生成用于对从被测试器件200输出的数据信号取样的取样时钟。在本例中，时钟生成部36生成时钟信号的2倍的速率的取样时钟。

多个数据取得部38，与被测试器件200通过DDR接口输出的多个数据信号分别对应设置。在本例中，测试装置10具有与4条数据信号DQ0、DQ1、DQ2、DQ3分别对应的4个数据取得部38。

多个数据取得部38的各个，分别以与时钟信号对应的取样时钟的时序或，以该测试装置10的测试周期对应的时序信号的时序取得被测试器件200输出的数据信号。在本实施方式中，多个数据取得部38分别在由时钟生成部36生成的取样时钟的时序，或者时序发生部22发生的时序信号的时序中的一个，取得对应的数据信号的数据值。多个数据取得部38，按照指定部48的指定，转换以取样时钟或时序信号的哪一个的时序取得数据信号。

并且，多个数据取得部38各自按照在该测试装置10内部发生的时序信号的时序输出所取得的数据信号。在本实施方式中，多个数据取得部38分别输出按照时序发生部22生成的时序信号的时序取得的数据信号的各数据值。

这样,多个数据取得部38各自能够以与从被测试器件200输出的时钟信号对应的时序,取得从被测试器件200输出的数据信号,以与测试装置10内部的基准时钟同步的时序输出取得的时钟。在这种情况中，多个数据取得部38各自能将数据信号的时钟从由被测试器件200输出的时钟信号，替换成在该测试装置10内部发生的基准时钟。

同时，多个数据取得部38各自以与该测试装置10内部的基准时钟同步的时序取得从被测试器件200输出的数据信号。

时钟取得部40，与被测试器件200经由DDR接口输出的时钟信号DQS对应设置。时钟取得部40，根据与该测试装置10的测试周期对应的时序信号的时序取得被测试器件200输出的时钟信号。时钟取得部40，在测试该测试装置10测试从被测试器件200输出正常的时钟信号与否的情况中，以与该测试装置10的测试周期对应的时序信号的时序取得。在本实施方式中，时钟取得部40取得表示在时序发生部22发生的时序信号的时序中，所对应的时钟信号的水平的逻辑值。

判断部42，基于将多个数据取得部38分别取得的数据信号与期望值比较后的结果，判断测试器件200的好坏。在本实施方式中，判断部42，对多个数据取得部38各自输出的数据信号的数据值和从判断部42发生的期望值图案表示的期望值进行比较。并且，在本实施方式中，当多个数据取得部38取得的数据信号的数据值分别和期望值一致时，则判断部42判定被测试器件200为正常。

同时，并且，判断部42，在该测试装置10进行从被测试器件200输出正常的时钟信号与否的测试中，比较时钟取得部40取得的时钟信号的逻辑值和该时钟信号的期望值。并且，此时，判断部42，根据时钟取得部40取得的时钟信号的各逻辑值分别与期望值一致的情况，判定从被测试器件200输出正常的时钟信号。

测试信号供给部44，根据图案发生部24发生的测试图案对被测试器件200供给测试信号。在本实施方式中，测试信号供给部44，作为测试信号，经由双向总线DDR接口对被测试器件200输出多个数据信号，同时，经由DDR接口将表示所输出数据信号的取样时序的时钟信号输出给被测试器件200。即，测试信号供给部44，经由多个数据端子12对被测试器件200输出多个数据信号DQ0、DQ1、DQ2、DQ3，同时，经由时钟端子14向被测试器件200输出时钟信号DQS。

并且，测试信号供给部44，将允许数据输出的读使能信号作为控制用信号提供给被测试器件200。由此，测试信号供给部44，能够经由DDR接口，使被测试器件200输出含存储在内部的数据的数据信号DQ。

指定部48，指定数据取得部38根据与取样时钟对应的时序或与时序信号对应的时序的哪个取得数据信号。作为一个例子，指定部48对数据取得部38指定是按照测试程序的实行，以与取样时钟对应的时序取得数据信号，还是以与时序信号对应的时序取得数据信号。

调整部50在测试之前，调整该测试装置10。更具体地，调整部50在测试之前，检查数据取得部38内的缓冲器是否正常动作。同时，调整部50，在测试之前，调整由于生成取得从被测试器件200输出的数据信号的取样时钟被延迟的时钟信号的延迟量。

图4，表示时钟生成部36的构成的一个例子，及数据取得部38的构成的一个例子。

图5，表示数据信号、时钟信号、延迟信号、第1选通信号、第2选通信号、及，取样时钟的时序的一个例子。

数据取得部38，输入如图5(A)所示的，包含以预定的数据速率被传送的数据值的数据信号DQ。并且，数据取得部38，按照时钟生成部36生成的取样时钟的时序，顺次对数据信号DQ中包含的各数据值进行取样。

时钟生成部36，作为一个例子，具有延迟器62、选通发生部64和合成部66。延迟器62，作为一个例子，输入如图5(B)所示的，被测试器件200输出的，数据信号DQ的2倍速率的时钟信号DQS。并且，延迟器62输出如图5(C)所示的，将所输入的时钟信号DQS时间延迟该时钟信号DQS的1/4周期后的延迟信号。

选通发生部64，发生如图5(D)所示的，在延迟信号的上升沿中有微小时间幅度的脉冲的第1选通信号。由此，时钟生成部36，能够输出表示取样数据信号DQ中的奇数位的数据值时序的第1选通信号。

同时，选通发生部64，发生如图5(E)所示的，在延迟信号的下降沿中具有微小时间幅度的脉冲的第2选通信号。由此，时钟生成部36，能够输出表示取样数据信号DQ中的偶数位的数据值的时序的第2选通信号。再者，也可以第1选通信号表示对数据信号DQ中的偶数位的数据进行取样的时序，第2选通信号表示对数据信号DQ中的奇数位的数据取样的时序。

合成部66，输出如图5(F)所示的，合成了第1选通信号及第2选通信号得到的取样时钟。合成部66，作为一个例子，输出将第1选通信号及第2选通信号进行逻辑和运算后的取样时钟。这样，合成部66，能输出表示数据信号DQ所包含的各数据值的眼开（Eye-opening）的大致中心的时序的取样时钟。

同时，数据取得部38具有第1取得部51、第2取得部52、数据选择器54、时钟选择器56、缓冲部58。第1取得部51，在图5(F)的取样时钟的时序中取得图5(A)所示的数据信号DQ的各数据值。作为一个例子，第1取得部51包含奇数侧触发器72和偶数侧触发器74和多路复用器76。

奇数侧触发器72，在第1选通信号的时序中取得从被测试器件200输出的数据信号DQ的数据值并保持在内部。偶数侧触发器74，在第2选通信号的时序中取得从被测试器件200输出的数据信号DQ的数据值保持在内部。

多路复用器76，在取样时钟的时序中交替选择奇数侧触发器72保持的数据信号DQ的数据值，和偶数侧触发器74保持的数据信号DQ的数据值，经由数据选择器54向缓冲部58供给。这样，第1取得部51，能够以与被时钟生成部36生成的取样时钟对应的时序取得数据信号DQ的数据值。

第2取得部52，在与被时序发生部22发生的时序信号对应的时序中取得图5(A)所表示的数据信号DQ的逻辑值。时序发生部22发生的时序信号的速率，作为一个例子，也可比从被测试器件200输出的数据信号DQ及时钟信号DQS的速率还高。此时，第2取得部52，能取得表示数据信号DQ的波形的数据列。

第2取得部52，作为一个例子，至少包含1个触发器82。触发器82，在时序发生部22发生的时序信号的时序中，取得数据信号DQ的数据值。

数据选择器54，按照指定部48的指定，选择第1取得部51取得的数据值或第2取得部52取得的数据值的任何一个，供给缓冲部58。数据选择器54，在指定部48指定以与取样时钟对应的时序取得数据信号时，向缓冲部58转送被第1取得部51输出的数据值。同时，数据选择器54，在指定部48指定以与时序信号对应的时序取得数据信号时，向缓冲部58转送从第2取得部52输出的数据值。

时钟选择器56，按照指定部48的指定，选择时钟生成部36生成的取样时钟或时序发生部22发生的时序信号的任何一方供给至缓冲部58。时钟选择器56，在指定部48指定以与取样时钟对应的时序取得数据信号的时候，向缓冲部58供给时钟生成部36生成的取样时钟。同时，时钟选择器56，在指定部48指定以与时序信号对应的时序取得数据信号时，将时序发生部22发生的时序信号供给到缓冲部58。

缓冲部58，有多个条目。缓冲部58，将从数据选择器54转送的数据值，以时钟选择器56输出的信号的时序，依次在各条目进行缓冲。

即，缓冲部58，在指定部48指定以对应于取样时钟的时序取得数据信号DQ时，以被时钟生成部36生成的取样调查时钟的时序，依次在各条目缓冲从第1取得部51的多路复用器76顺序输出的数据信号DQ的数据值。或者，缓冲部58，在指定部48指定以对应于时序信号的时序取得数据信号DQ的时候，以被时序发生部22发生的时序信号的时序，依次在各条目缓冲从第2取得部52被顺序输出的数据信号DQ的数据值。

并且，缓冲部58，按输入顺序，根据该测试装置10的测试周期发生的时序信号的时序从各条目输出经各条目缓冲后的数据信号DQ的数据值。并且，缓冲部58，对判断部42供给所输出的数据信号DQ的数据值。

这样的时钟生成部36及数据取得部38，能够以与时钟信号DQS对应的时序或在该测试装置10内部中发生的时序信号的时序的任何一方取得从被测试器件200输出的数据信号DQ。并且，时钟生成部36及数据取得部38，在以与时钟信号DQS对应的时序取得从被测试器件200输出的数据信号DQ的时候，能将所取得的数据信号DQ的各数据值替换成按照该测试装置10的内部时钟发生的时序信号的时序而输出。

图6，给出了表示被测试器件200的测试顺序的流程图。本实施方式涉及的测试装置10，在测试作为存储器器件的被测试器件200时，作为一个例子，执行如下测试。

首先，在阶段S11中，测试装置10选择在该测试装置10内部发生的时序信号，作为取得从被测试器件200输出的信号的时序。继续，在阶段S12中，测试装置10，测试从被测试器件200是否正常输出数据信号及时钟信号。更详细而言，测试装置10，让被测试器件200输出数据信号及时钟信号，以从时序发生部22输出的时序信号的时序取得数据信号及时钟信号的波形。测试装置10，按照所取得的数据信号及时钟信号的波形的测量结果，判断数据信号及时钟信号是否被正常输出。

当从被测试器件200正常输出数据信号及时钟信号时，继续，在阶段S13中，测试装置10，选择从被测试器件200输出的时钟信号对应的取样时钟作为取得从被测试器件200输出的信号的时序。继续，在阶段S14中，测试装置10，测试被测试器件200作为存储器的功能是否正常。

如上所述，测试装置10，能够以在该测试装置10内部发生的时序信号的时序取得从被测试器件200输出的数据信号及时钟信号。因此，根据测试装置10，能够在进行被测试器件200的功能测试之前，测试数据信号及时钟信号是否正常工作。

图7，表示在进行作为存储器器件的被测试器件200的功能测试时的时序图。被测试器件200，是经由双向总线DDR接口与其它设备之间收发数据的存储器器件。测试作为存储器器件的为被测试器件200时，测试装置10做以下动作。

首先，在阶段S21中，测试装置10，对成为在被测试器件200中的测试对象的地址区域，写入预定的数据。继续，在阶段S22中，测试装置10，读出被写入成为被测试器件200中的测试对象的地址区域的数据。并且，在阶段S23中，测试装置10将读出的数据与期望值比较，判断成为被测试器件200中的测试对象的地址区域是否正常动作。测试装置10，通过对被测试器件200中的全部地址区域实行这样的处理，来判定被测试器件200的好坏。

图8，给出了在读出处理期间，从测试装置10发送到被测试器件200的命令及读使能信号、从被测试器件200发送到测试装置10的时钟信号及数据信号、屏蔽信号及取样时钟的时序，以及从缓冲部58向判断部42转送的数据的时序的一个例子。当经由DDR接口从作为存储器器件的被测试器件200读出数据时，测试装置10做如下所示的动作。

首先，测试装置10的测试信号供给部44，通过DDR接口对被测试器件200输出表示对被测试器件200指示数据信号输出的命令(比如读命令)的数据信号及时钟信号(时刻t31)。继续，测试信号供给部44，对被测试器件200供给准许数据输出的读使能信号(时刻t32)。

继续，被给予读命令的被测试器件200，通过DDR接口在读命令被给予起经过一定的时间后，输出包含被读命令表示的地址中存储的数据值的数据信号DQ(时刻t35)。与此同时，被测试器件200通过DDR接口输出表示数据信号DQ的取样时序的时钟信号DQS(时刻t35)。并且，被测试器件200，一输出一定的数据量的数据信号DQ，马上结束数据信号DQ及时钟信号DQS的输出(时刻t37)。

再者，被测试器件200，在数据信号DQ的输出期间(时刻t35～t37间)以外的期间中，不驱动数据信号DQ的输入输出端子，为高阻抗(HiZ)。同时，被测试器件200，在自数据信号DQ的输出期间(时刻t35～t37间)之前的一定期间(时刻t33～时刻t35)中，时钟信号DQS固定成预定的信号电平比如低逻辑电平。同时，被测试器件200，在将时钟信号DQS固定在被预定的信号电平的期间之前(时刻t33之前)，及数据信号DQ的输出期间以后(时刻t37后)，不驱动时钟信号DQS的输入输出端子，为高阻抗(HiZ)。

并且，测试装置10的数据取得部38，在被测试器件200输出数据信号期间(时刻t35～t37间)，按照被测试器件200输出的时钟信号DQS的时序，顺次取得数据信号DQ的各数据值。数据取得部38，把已取得的数据在各条目依次缓冲。如以上所述测试装置10，在读出处理中，通过DDR接口从是存储器器件的被测试器件200读出数据信号DQ，以时钟信号DQS的时序取得数据信号DQ的数据值。

图9，表示在本实施方式涉及的测试装置10的调整时的处理流程。测试装置10，在被测试器件200的测试之前，执行该测试装置10的调整处理。测试装置10，在调整处理中，譬如进行如下所示动作。

首先，在阶段S31中，测试装置10检查多个数据取得部38各自具有的缓冲部58是不是正常动作。继续，在阶段S32中，测试装置10，调整用于生成表示在测试时取得数据信号的时序的取样时钟的时钟信号的延迟量。在本例中，测试装置10调整时钟生成部36的延迟器62的延迟量，以使输出能够在眼开的中心正确取得2倍的速率的数据信号的数据值的取样时钟。

图10，表示缓冲部58的检查处理(S31)中的，测试装置10的功能构成。在阶段S31中的缓冲部58的检查处理中，指定部48对数据取得部38指定以与该测试装置10的测试周期对应的时序信号的时序取得经由DDR接口输入的数据信号。这样，数据取得部38在阶段S31中，以从时序发生部22输出的时序信号的时序取得被输入的数据信号后进行缓冲。

继续，调整部50，使测试信号供给部44输出具有预定数据值的调整用数据信号，让在数据取得部38内的缓冲部58缓冲调整用数据信号。在这里，从测试信号供给部44输出的数据信号，经由作为双向总线的DDR接口向被测试器件200输出。因此，在该测试装置10没有连接被测试器件200的状态中，被测试信号供给部44输出的数据信号，环回而被提供给对应的数据取得部38。因此，调整部50，通过在使测试信号供给部44输出调整用数据信号的同时，在时序信号的时序中使之取得被数据取得部38输入的信号，而能使数据取得部38内的缓冲部58缓冲调整用数据信号。

继续，调整部50，通过比较供给至缓冲部58的调整用数据信号的数据值和缓冲部58缓冲的调整用数据信号的数据值，检查缓冲部58正常与否。调整部50，作为一个例子，向判断部42转送由缓冲部58缓冲后的数据值，判断部42，通过对缓冲部58缓冲后的数据值和测试信号供给部44输出的调整用数据信号的数据值是否一致进行比较，来检查缓冲部58正常与否。调整部50，在缓冲部58缓冲后的数据值和调整用数据信号的数据值一致时，判断缓冲部58为正常。同时，调整部50，在不一致的情况下判断缓冲部58为不正常。

调整部50，在判断缓冲部58为不正常时，通知使用者缓冲部58不正常。调整部50，在判断调整部50正常时，进到时钟信号的延迟量的调整处理(S32)。

如上所述，本实施方式涉及的测试装置10，在测试之前，检测数据取得部38内的缓冲部58是否正常动作。由此，测试装置10，能精度良好地测试被测试器件200。

图11，表示在时钟信号的延迟量的调整处理(S32)中的测试装置10的功能构成。图12，表示在时钟信号的延迟量的调整处理(S32)中的测试装置10的处理流程。在阶段S32中的时钟信号的延迟量的调整处理中，测试装置10执行图12所示的处理。

首先，在阶段S41中，指定部48对数据取得部38，指定以被时钟生成部36生成的取样时钟的时序使之取得经由DDR接口被输入的数据信号。由此，数据取得部38，根据被时钟生成部36生成的取样时钟的时序取得被输入的数据信号并缓冲。

继续，在阶段S42中，调整部50将时钟生成部36内的延迟器62的延迟量设定成被预先确定的初期延迟量。

继续，在阶段S43中，调整部50，使测试信号供给部44输出预定的调整用数据信号及调整用时钟信号，数据取得部38以与调整用时钟信号对应的时序取得调整用数据信号。在这里，被测试信号供给部44输出的数据信号及时钟信号，经由作为双向总线的DDR接口向被测试器件200输出。因此，在被该测试装置10没连接被测试器件200的状态中，从测试信号供给部44输出的数据信号，环回向对应的数据取得部38供给。同时，被测试信号供给部44输出的时钟信号，环回向时钟生成部36供给。因此，调整部50，通过从测试信号供给部44输出调整用数据信号及调整用时钟信号，能够以调整用时钟信号对应的时序使数据取得部38取得调整用数据信号。

并且，调整部50，在阶段S43中，使判断部42比较数据取得部38的取得结果和使测试信号供给部44输出的调整用数据信号的数据值，根据比较结果判断数据取得部38能否取得正确的数据值。调整部50，作为一个例子，如果数据取得部38的取得结果和从测试信号供给部44输出的调整用数据信号的数据值一致，则判断数据取得部38取得了正确的数据，如果不一致则判断数据取得部38没能取得正确的数据。

继续，调整部50，在阶段S44中，判断在阶段S43处理中是否只执行了被预定的处理次数。如果判断为在阶段S43没有执行预定次数的处理(阶段S44No)，则调整部50，将处理前进到阶段S44。在阶段S45中，调整部50变更数据取得部38内的延迟器62的延迟量。调整部50，作为一个例子，使延迟器62的延迟量按照预定的变化量增加或减少。并且，阶段S45处理一结束，调整部50马上将处理返回到阶段S43，使阶段S43的处理再次执行。

如果在阶段S44判断出已经执行了预定次数的处理(阶段S44Yes)时，调整部50将处理推进到阶段S46。在阶段S46中，调整部50，按照数据取得部38的调整用数据信号的取得结果，调整用于生成取得数据信号的时序的时钟信号的延迟量。

更具体地，调整部50，按照在阶段S43的判断结果及在得到该判断结果的状态中被设定的延迟器62的延迟量，检测出延迟器62的最适合的延迟量。作为一个例子，调整部50检测出在被判断为数据取得部38取得了正确的数据后的延迟量的范围内的大致中心作为最适合的延迟量。并且，调整部50，将延迟器62设定为以所检测出的最适合的延迟量延迟时钟信号的状态。

如上所述，本实施方式涉及的测试装置10，能够在测试之前，将时钟生成部36内的延迟器62延迟量设定成最佳值。由此，测试装置10，能以从被测试器件200输出的时钟信号的时序高精度地取得被测试器件200输出的数据信号。

以上用实施的方式说明了本发明，但本发明的技术范围不受上述实施的方式记载的范围所限定。本领域的技术人员明白，对上述实施方式能够进行多种多样的变更或改良。根据权利要求的记载可知该施加有各种变更或改良的方式也包含在本发明的技术范围內。

应该注意的是，在权利要求、说明书和在图纸中表示的装置、系统、程序，和在方法中的动作、次序、步骤，和阶段等的各处理的执行顺序，只要没有特别注明“比…先”、“在…之前”等，或者只要不是后边的处理必须使用前面的处理的输出，就可以以任意的顺序实施。有关权利要求、说明书和图纸中的动作流程，为了说明上的方便，使用了“首先”、“其次”等字样，但即使这样也不意味着以该程序实施是必须的条件。

附图标记说明

10测试装置

12数据端子

14时钟端子

22时序发生部

24图案发生部

32数据用比较仪

34时钟用比较仪

36时钟生成部

38数据取得部

40时钟取得部

42判断部

44测试信号供给部

48指定部

50调整部

51第1取得部

52第2取得部

54数据选择器

56时钟选择器

58缓冲部

62延迟器

64选通发生部

66合成部

72奇数侧触发器

74偶数侧触发器

76多路复用器

82触发器

200被测试器件

Claims (6)

1.一种被测试器件的测试装置，是对通过双向总线收发数据信号和表示所述数据信号取样的时序的时钟信号的被测试器件进行测试的测试装置，其特征在于，包括：

测试信号供给部，通过所述双向总线，将数据信号及时钟信号作为测试信号提供给所述被测试器件；

数据取得部，以所述被测试器件通过双向总线输出的所述时钟信号对应的时序取得所述被测试器件通过所述双向总线输出的所述数据信号；

判断部，基于将所述数据取得部取得的所述数据信号与期望值进行比较的比较结果判断所述被测试器件的好坏；

调整部，在调整时间中，使所述测试信号供给部输出调整用数据信号及调整用时钟信号，按照与已环回的所述调整用时钟信号对应的时序使所述数据取得部取得已环回的所述调整用数据信号，并基于由所述数据取得部的所述调整用数据信号的取得结果，调整用于生成取得所述数据信号的时序的所述时钟信号的延迟量。

2.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，还具有：

时钟生成部，具有输出将从所述被测试器件输出的所述时钟信号延迟后的延迟信号的延迟器，生成用于表示从所述延迟信号取样被所述被测试器件输出的所述数据信号的时序的取样时钟；

上述数据取得部，按照所述取样时钟的时序取得所述被测试器件输出的上述数据信号；

上述调整部，在调整的时间中，对所述时钟生成部供给所述调整用时钟信号，并生成与所述调整用时钟信号对应的取样时钟、让所述数据取得部按照与所述调整用时钟信号对应的取样时钟的时序取得上述调整用数据信号，根据上述数据取得部按照上述调整用时钟信号所对应的取样时钟的时序取得的所述调整用数据信号的取得结果，调整上述延迟器的延迟量。

3.一种被测试器件的测试装置，是对输出数据信号和表示上述数据信号取样的时序的时钟信号的被测试器件进行测试的测试装置，其特征在于，包括：

取得部，以所述被测试器件输出的所述上述时钟信号对应的时序取得所述被测试器件输出的上述数据信号；

缓冲部，具有多个条目，在与所述被测试器件输出的时钟信号对应的定时中，依次在各条目缓冲被所述取得部取得的数据信号，按照在该测试装置的测试周期发生的时序信号的时序输出在各条目缓冲后的数据信号；

判断部，基于被上述缓冲输出了的上述数据信号与期望值比较后的结果，判断上述被测试器件的好坏；

调整部，在测试之前，使上述缓冲部缓冲预定的数据值的调整用数据信号、通过将对上述缓冲部供给的调整用数据信号的数据值和让上述缓冲部缓冲后的调整用数据信号的数据值进行比较，检查上述缓冲部是否正常。

4.根据权利要求3所述的测试装置，其特征在于：

上述被测试器件，经由双向总线收发数据信号及时钟信号；

该测试装置，还具有测试信号供给部，经由传输所述被测试器件输出的所述数据信号及所述时钟信号的双向总线，对所述被测试器件供给作为测试信号的数据信号及时钟信号；

上述调整部，使上述测试信号供给部输出上述调整用数据信号后，在上述缓冲部缓冲。

5.一种被测试器件的测试方法，是对通过双向总线收发数据信号和表示所述数据信号取样的时序的时钟信号的被测试器件进行测试的测试装置中的测试方法，其特征在于，上述测试装置包括：

测试信号供给部，通过所述双向总线，将数据信号及时钟信号作为测试信号提供给所述被测试器件；

数据取得部，以所述被测试器件通过双向总线输出的所述时钟信号对应的时序取得所述被测试器件通过双向总线输出的所述数据信号；

判断部，基于将所述数据取得部取得的所述数据信号与期望值的比较结果判断所述被测试器件的好坏；

在调整的时间中，从所述测试信号供给部输出调整用数据信号及调整用时钟信号，按照与已环回的所述调整用时钟信号对应的时序使所述数据取得部取得已环回的所述调整用数据信号，

并基于由所述数据取得部的所述调整用数据信号的取得结果，调整用于生成取得所述数据信号的时序的所述时钟信号的延迟量。

6.一种被测试器件的测试方法，是对输出数据信号和表示所述数据信号取样的时序的时钟信号的被测试器件进行测试的测试装置中的测试方法，其特征在于，上述测试装置包括：

取得部，以所述被测试器件输出的所述上述时钟信号对应的时序取得所述被测试器件输出的上述数据信号；

缓冲部，具有多个条目，在与所述被测试器件输出的时钟信号对应的时序中，依次在各条目缓冲被所述取得部取得的数据信号，按照在该测试装置的测试周期发生的时序信号的时序输出在各条目缓冲后的数据信号；

判断部，基于被上述缓冲输出了的上述数据信号与期望值比较后的结果，判断上述被测试器件的好坏；其中，

在测试之前，使上述缓冲部缓冲被预定的数据值的调整用数据信号，通过将对上述缓冲部供给的调整用数据信号的数据值和让上述缓冲部缓冲后的调整用数据信号的数据值进行比较，检查上述缓冲部是否正常。