CN102774129A - 印刷装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种印刷装置，其包括：基座；框体部件；印刷部；基板搬送部，在包含通过所述印刷部进行印刷的印刷区域的范围内能够移动地设置在所述基座上，用于搬送基板；驱动机构；控制部，控制所述驱动机构对所述基板搬送部的驱动；标记，设置在所述框体部件上；以及摄像部，搭载在所述基板搬送部上，对所述标记进行拍摄，其中，所述控制部使所述基板搬送部移动以使基板位于所述印刷区域，并且基于所述摄像部拍摄的所述标记的图像而进行用于纠正所述驱动机构的变形所引起的所述基板搬送部的移动误差的变形修正。由此，能够提高变形修正的时机的自由度，从而与以往的印刷装置相比在更为适当的时机下能够进行变形修正。

Description

印刷装置

技术领域

本发明涉及包括对基板进行印刷的印刷部的印刷装置。

背景技术

目前，作为对基板进行印刷的印刷装置，例如在日本专利公开公报特开2006―281680号中公开有对固定在载台上的工件（印刷对象）经由掩模印刷焊料膏的网版印刷机。

该网版印刷机在工件（印刷对象）固定用载台上表面的至少两个部位上具有误差修正用读取标记。此外，该网版印刷机在工件（印刷对象）固定用载台上方具有与载台上表面平行地移动的摄像机。该网版印刷机让所述摄像机拍摄所述两个部位的读取标记，并且基于该图像测量读取标记间的距离而检测载台的变形量（该载台随着温度、湿度变化而伸缩，从而出现的变形），在印刷时针对该载台进行变形修正。

然而，由于上述网版印刷机在工件（印刷对象）固定用载台上表面设置有读取标记，因此依工件的尺寸或外形形状的不同而导致读取标记有时会被工件覆盖。此时，如果从读取标记上不除去工件，则无法拍摄该标记，从而不能测量标记间距离。

另外，由于载台的变形随持续的印刷动作一起产生，因此较为理想的是与印刷动作的进行状况无关地以适当时机进行变形修正。但是，如果从上述网版印刷机的载台上不除去工件，则无法确实拍摄读取标记，因此可进行变形修正的时机受限，故此存在变形修正的时机显著受到限制的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种印刷装置，通过检测在其机构部分产生的变形来对该变形进行修正，其能够提高变形修正的时机的自由度，从而与以往的印刷装置相比可在更为适当的时机下进行变形修正。

本发明所涉及的印刷装置包括：基座；框体部件，固定设置在所述基座上；印刷部，由所述框体部件支承且对基板进行印刷；基板搬送部，在包含通过所述印刷部进行印刷的印刷区域的范围内能够移动地设置在所述基座上，用于搬送基板；驱动机构，驱动所述基板搬送部；控制部，控制所述驱动机构对所述基板搬送部的驱动；标记，设置在所述框体部件上；以及摄像部，搭载在所述基板搬送部上，对所述标记进行拍摄，其中，所述控制部使所述基板搬送部移动以使基板位于所述印刷区域，并且基于所述摄像部拍摄的所述标记的图像而进行用于纠正所述驱动机构的变形所引起的所述基板搬送部的移动误差的变形修正。

根据本发明，能够提高变形修正的时机的自由度，从而与以往的印刷装置相比可在更为适当的时机下进行变形修正。

附图说明

图1是表示本发明的一实施方式的印刷装置的整体结构的立体图。

图2是表示本发明的一实施方式的印刷装置的概略布局的俯视图。

图3是表示图1所示的印刷装置的印刷单元的结构的框图。

图4是表示印刷装置的正面侧的印刷单元的内部结构的立体图。

图5是表示图4所示的印刷单元的基板搬送部的结构的立体图。

图6是表示印刷单元中包含搬送带部在内的下部结构的俯视图。

图7是沿Y1方向观察印刷单元时的侧视图。

图8是从基座侧（下表面侧）观察印刷单元的框架结构体时的俯视图。

图9是表示设置在图8所示的框架结构体的梁部上的标记及其周边结构的俯视图。

图10是用于说明印刷装置的变形修正方法的概略图。

图11是表示本发明的第一变形例的印刷装置的概略布局的俯视图。

图12是沿Y1方向观察本发明的第二变形例的印刷装置的印刷单元时的侧视图。

具体实施方式

下面，随着附图说明本发明的实施方式。

首先，参照图1～图10对本发明的一实施方式的印刷装置100的结构进行说明。

如图1所示，本发明的一实施方式的印刷装置100是对搬送至装置主体内的印刷基板（布线基板）5的上表面5a掩模印刷焊料膏的印刷机。印刷装置100放置在地板面1（X―Y平面）上。印刷装置100包括两个印刷单元90、91，该印刷装置100通过分别地驱动这些印刷单元90、91来对印刷单元90中的印刷基板5和对印刷单元91中的印刷基板5进行掩模印刷。此时，各印刷单元90、91可对互不相同的尺寸的印刷基板5、5进行印刷。另外，印刷基板5为本发明中的“基板”的一例。

如图2所示，印刷装置100中，在载置在地板面1（参照图1）上的基座10上沿Y方向并列设置有两个印刷单元90、91。此外，印刷单元90、91使其长度方向（也就是印刷基板5的搬入以及搬出方向）与基座10的X方向大致一致地被设置。在此，印刷单元90（和/或91）中的印刷基板5的搬送方向为X方向，焊料2（参照图5）向印刷基板5的印刷方向为Y方向。此外，X方向和Y方向在基座10上相互正交。

此外，在印刷单元90（和/或91）中，图2右侧（X2侧）为印刷基板5的搬入侧，图2左侧（X1侧）为印刷基板5的搬出侧。此外，设置在图2右侧的后述框架结构体30（梁部32）的右侧的基座10上的区域为印刷前的印刷基板5的等待区域。此外，设置在图2左侧的框架结构体30（梁部32）的左侧区域为印刷结束后的印刷基板5的搬出区域。此外，夹在左右梁部32之间的区域对应于印刷基板5的印刷区域。另外，两个印刷单元90、91具有大致相同的结构，因此以下说明中，仅对与近前侧（Y2侧（正面侧））的印刷单元90的结构进行说明。

图4表示处于拆卸了多个外罩101（参照图1）的状态下的印刷单元90，外罩101用于覆盖印刷装置100。如该图所示，印刷单元90包括：搬送机构部20，搬送印刷基板5；框架结构体30，固定设置在基座10上；印刷机构部40；以及清洁器部50。另外，在图4中省略了基座10（参照图2）的图示，该基座10用于载置搬送机构部20及框架结构体30。此外，如图3所示，在印刷装置100中内置有用于控制以下说明的各部分的动作的后述的控制装置80。另外，框架结构体30为本发明中的“框体部件”的一例，印刷机构部40为本发明中的“印刷部”的一例。

搬送机构部20具有将搬入至印刷单元90内的印刷前的印刷基板5搬送至印刷区域的功能。在此，印刷区域是指在印刷时网版掩模6（参照图7）载置在印刷基板5的上表面5a上的区域。框架结构体30以沿Y方向跨过搬送机构部20上方的方式固定在基座10（参照图2）的上表面10a。印刷机构部40具有对印刷基板5的上表面5a印刷焊料2（图5所示的虚线框内）的功能。此外，印刷机构部40以可沿印刷方向（Y方向）在框架结构体30上方移动的状态安装在框架结构体30上。此外，清洁器部50具有擦除印刷结束后的网版掩模6（参照图7）的下表面（Z2侧）及掩模开口部上所附着的多余焊料膏的功能。

此外，如图5所示，搬送机构部20包括：一对基准搬送带21，沿成为印刷基板5的搬入以及搬出方向的X方向（基板搬送方向）在基座10（参照图2）上延伸；以及基板搬送部22，以在一对基准搬送带21外侧而隔着基准搬送带21的方式设置，可相对于基准搬送带21沿X方向相对地往返移动。基准搬送带21具有通过沿X1方向移动的搬送皮带（未图示）将设置在印刷单元90的基板搬入侧的印刷基板5搬送至基准搬送带21上的等待区域（参照图2）的功能、及将结束印刷的印刷基板5从印刷区域搬送至搬出区域（参照图2）的功能。此外，基板搬送部22具有在保持设置在等待区域的印刷基板5的状态下将该基板搬送至印刷区域的功能。

此外，一对基准搬送带21沿与X方向大致正交的Y方向（印刷方向）隔开指定间隔而相向设置，从基座10上的一侧（X1侧）端部延伸至另一侧（X2侧）端部。基板搬送部22包括：基板载台22a，用于载置印刷基板5；以及夹持片22b、22b，设置在基板载台22a的侧部（Y1侧及Y2侧），从Y方向（Y1方向及Y2方向）夹持设置在基板载台22a上的印刷基板5的侧端面而暂时保持基板。另外，在基板载台22a上安装有从上表面（Z1侧）向上方延伸的多个销（未图示）。即，印刷基板5在下表面由销支承的状态下载置在基板载台22a上。此外，基板搬送部22中的基板载台22a和夹持片22b一体地沿基准搬送带21能够移动。

此外，如图6所示，在基座10上铺设有4根导轨11、11、11、11，这些导轨11、11、11、11沿X方向隔开指定间隔而设置且各自沿Y方向延伸，所述搬送机构部20以沿基准搬送带21延伸的X方向跨4根导轨11、11、11、11的状态载置在该导轨11、11、11、11上。在此，在基座10的上表面10a与搬送机构部20之间设置有伺服马达23及连接于该伺服马达23的旋转轴（Y轴）的滚珠丝杠轴24。另外，伺服马达23为本发明中的“驱动源”的一例，滚珠丝杠轴24为本发明中的“进给螺杆轴”的一例。

伺服马达23以使旋转轴与Y方向一致的状态固定在搬送机构部20（基准搬送带21）的底部21a（参照图7）的下表面侧。此外，滚珠丝杠轴24以沿伺服马达23的旋转轴在Y方向上延伸轴的状态可旋转地固定在基座10的上表面10a上。此外，如图4及图6所示，在滚珠丝杠轴24的延长线上的基座10的上表面10a（参照图6）安装有螺母部件25，滚珠丝杠轴24与螺合该螺母部件25而插入在该螺母部件25中。由此，通过伺服马达23使滚珠丝杠轴24旋转，从而伺服马达23侧相对于固定在基座10上的螺母部件25而沿Y方向（Y1方向及Y2方向）移动。即，通过所述伺服马达23的驱动，固定有该伺服马达23的搬送机构部20沿Y方向在导轨11上往返移动。另外，搬送机构部20在Y方向上的活动范围稍短于滚珠丝杠轴24的长度。另外，伺服马达23、滚珠丝杠轴24及螺母部件25为本发明中的“驱动机构”的一例。

此外，如图6所示，在一对基准搬送带21沿Y方向相向的区域设置有伺服马达26及连接于伺服马达26的旋转轴（X轴）的滚珠丝杠轴27。伺服马达26以使旋转轴与X方向一致的状态固定在基准搬送带21的底部21a。在此，伺服马达23与伺服马达26在底部21a上固定在互不相同的位置。此外，滚珠丝杠轴27以沿伺服马达26的旋转轴在X方向上延伸轴的状态可旋转地固定在基准搬送带21的底部21a下。此外，如图7所示，在基板搬送部22的底部22c的下表面侧安装有螺母部件28。另外，伺服马达26为本发明中的“驱动源”的一例，滚珠丝杠轴27为本发明中的“进给螺杆轴”的一例。此外，伺服马达26、滚珠丝杠轴27及螺母部件28为本发明中的“驱动机构”的一例。

所述滚珠丝杠轴27与所述螺母部件28螺合而插入在该螺母部件28中，通过伺服马达26旋转滚珠丝杠轴27，而让螺母部件28沿X方向（X1方向及X2方向）移动。即，通过所述伺服马达26的驱动，固定有所述螺母部件28的基板搬送部22相对于基准搬送带21沿X方向往返移动。另外，基板搬送部22在X方向上的活动范围为从基准搬送带21的X1侧端部区域至X2侧端部区域。

根据上述驱动机构的结构，基板搬送部22如图2所示地移动至基准搬送带21的基板搬入侧（X2侧）的等待位置之后，在通过夹持片22b握持从其他设备等搬送至基准搬送带21上的等待位置的印刷基板5的状态下沿X1方向移动，由此将印刷基板5搬送至印刷区域。此外，搬送机构部20不管基板搬送部22在X方向上的当前位置如何，均沿与基准搬送带21延伸的方向大致正交的印刷方向（Y方向）在基座10的上表面10a上往返移动。即，基板搬送部22可基于指定的运行模式而控制向X方向及Y方向的移动。

此外，通过在基板搬送部22设置未图示的驱动机构而使基板载台22a沿上下方向（Z方向）升降。由此，如图7所示，搬送至印刷区域的印刷基板5与基板载台22a一起移动至基准搬送带21的上表面（Z1侧的表面）上的抬升指定高度的位置。然后，由后述的掩模保持部42保持的网版掩模6下降并以指定挤压力抵接于印刷基板5的上表面5a。

此外，在基板搬送部22上设置有未图示的驱动机构，因此基板搬送部22可将Y方向上的宽度在指定范围内扩大、缩小。由此，可在根据印刷基板5的宽度（Y方向长度）而调整基板搬送部22在Y方向上的宽度的状态下由夹持片22b保持印刷基板。

此外，如图4及图7所示，沿基座10的X方向（基板搬送方向）隔开指定间隔而设置有一对框架结构体30、30。此外，各个框架结构体30具有门型结构，且包括：腿部31、31，分别从基座10（图6参照）的Y方向（印刷方向）上的两侧端部（Y1侧及Y2侧）附近向上方延伸；以及梁部32，沿水平方向连接于Y方向上相向的腿部31、31。即，沿X方向从侧部观察印刷单元90时，沿Y方向延伸的梁部32经由腿部31而跨在搬送机构部20上。此外，腿部31通过未图示的紧固部件而固定在基座10（参照图6）的上表面10a。此外，一对梁部32、32的上表面32a、32a与基座10的上表面10a位于与水平面平行的平面上。此外，在各梁部32的上表面32a设置有沿Y方向延伸的导轨12（参照图4）。而且，后述的印刷机构部40可沿Y方向在固定在梁部32的导轨12上移动。

此外，如图5所示，在搬送机构部20的基板搬送部22设置有掩模用摄像机29。掩模用摄像机29使透镜朝向上方（Z1方向）地安装在基板载台22a的外部位置上，具体而言该外部位置是指：在基板搬送部22的移动方向上，比基板搬送部22位于更其中一侧方向上（X1一侧）的位置，并且，在与所述移动方向正交的方向上，比基板搬送部22位于更其中一侧方向上（Y2一侧）的位置。印刷单元90中，在保持印刷基板5的基板搬送部22向X1方向移动时，通过掩模用摄像机29观察网版掩模6（参照图7）的掩模开口部（未图示）、检测设置在网版掩模6下表面（Z2侧的表面）上的未图示的基准标记（位置对准标记）。由此，在进行印刷之前，可高精度地进行搬送至印刷区域的印刷基板5与网版掩模6的位置对准。另外，掩模用摄像机29为本发明中的“摄像部”的一例。

在此，本实施方式中，如图7所示，在构成框架结构体30的梁部32的下表面32b（Z2侧）设置有基准标记70。即，基准标记70设置在进行印刷基板5的印刷的印刷区域之外的位置（X2侧位置）上。此外，该基准标记70如图2所示，设置在沿Y方向延伸的梁部32的下表面32b（参照图7）中搬送机构部20（基准搬送带21）沿Y方向移动的范围内的指定位置。即，基准标记70设置在与搬送机构部20一起在与水平面平行的平面（X―Y平面）上移动的基板搬送部22通过印刷区域之外的区域即梁部32下部时可由掩模用摄像机29拍摄的位置。另外，不管基板搬送部22保持并搬送还是不搬送印刷基板5，均通过掩模用摄像机29对基准标记70进行拍摄。由此，搬送机构部20随着印刷动作的进行而产生的变形可以通过运算处理部81（参照图3）适当决定的时机进行修正。另外，基准标记70为本发明中的“标记”的一例。

在此，参照图10对搬送机构部20的变形修正方法进行说明。例如，在印刷单元90运行中，基于运算处理部81（参照图3）的指令，基板搬送部22以指定时机移动并且掩模用摄像机29拍摄基准标记70时，基准标记70在X―Y平面上的位置事先被设为如下：在通过伺服马达26使滚珠丝杠轴27旋转旋转量U且通过伺服马达23使滚珠丝杠轴24旋转旋转量V的情况下，使基准标记70处于掩模用摄像机29所具有的摄像区域的中央位置而被拍摄。

在此，旋转量U是使螺母部件28（基板搬送部22）沿X1方向从滚珠丝杠轴27的端部（例如图6所示的X2侧端部）的位置起移动至使掩模用摄像机29的摄像区域的中央重叠于基准标记70时的位置所需的滚珠丝杠轴27的旋转量。同样地，旋转量V是使螺母部件25（搬送机构部20）沿Y1方向从滚珠丝杠轴24的端部（例如图5所示的Y2侧端部）的位置起移动至使掩模用摄像机29重叠于基准标记70时的位置所需的滚珠丝杠轴24的旋转量。此外，与旋转量U对应的伺服马达26的步进数及与旋转量V对应的伺服马达23的步进数也同时存储在控制数据存储部82b（参照图3）中。因此，在滚珠丝杠轴27、24旋转旋转量（U、V）时，如图10所示，在摄像区域中的位置P（中央部）拍摄基准标记70。

在重复印刷有指定片数的印刷基板5之后，基板搬送部22以指定时机移动并且掩模用摄像机29再次拍摄基准标记70时，本实施方式的印刷装置100使伺服马达26、23的步进数旋转至先前拍摄时所存储的步进数，从而使掩模用摄像机29（基板搬送部22）移动至相当于使当前时间点的滚珠丝杠轴27、24从初始位置起旋转旋转量（U、V）时的位置。由此，如图10所示，在摄像区域中的位置Q拍摄基准标记70。另外，实际上基准标记70的位置P及位置Q作为不同的图像数据而被拍摄，但为说明从位置P向位置Q的变化而权且使用相同的附图进行了图示。

另外，由于连续印刷多片印刷基板5，从而驱动搬送机构部20的滚珠丝杠轴27、24分别与螺合于其的螺母部件28、25之间滑动而产生摩擦热。此外，为提高工作效率（提高生产率），搬送机构部20被控制为以比较高的速度在X―Y平面上移动。由此，因随螺母部件与滚珠丝杠轴的滑动而产生的摩擦热导致滚珠丝杠轴27、24分别在轴方向产生热膨胀。因此，即便滚珠丝杠轴27、24相对于控制上的初始位置（基准位置）旋转相同的旋转量（U、V），螺母部件28、25的各移动间距（滚珠丝杠轴每旋转1圈时的螺母部件28、25的各移动量）也较前次变化相应于滚珠丝杠轴热膨胀的程度。因此，图10中的位置Q在相对于位置P而偏移的状态下被拍摄。

基于经图像处理而得的位置P的坐标和位置Q的坐标，本实施方式的印刷装置100计算出基准标记70从位置P向位置Q的移位量。此时，本实施方式的印刷装置100分别计算出向X方向的移位量ΔX及向Y方向的移位量ΔY。然后，根据移位量ΔX与旋转量U的关系而计算出相当于基准标记70在X方向的移位量的滚珠丝杠轴27的热膨胀率。此外，根据移位量ΔY与旋转量V的关系而计算出相当于基准标记70在Y方向的移位量的滚珠丝杠轴24的热膨胀率。印刷单元90中，由于固定设置在基座10上的框架结构体30上所设置的基准标记70的位置Q（产生变形后）与位置P（产生变形前）必须一致，因此需考虑上述计算出的各滚珠丝杠轴所具有的热膨胀率而调整滚珠丝杠轴27、24各自的旋转量。

印刷单元90中，以所述方式调整滚珠丝杠轴27、24各自的旋转量，即进行搬送机构部20的变形修正。因此，即便滚珠丝杠轴27、24产生热膨胀而导致移动间距（滚珠丝杠轴每旋转1圈时的螺母部件28、25的移动量）发生变化，也可通过该变形修正（调整滚珠丝杠轴27（和/或24）侧的旋转量）而正确地进行搬送机构部20（基板搬送部22）在X―Y平面上的定位。

此外，本实施方式中，将由掩模用摄像机29拍摄的基准标记70的坐标（图10中的位置P的坐标）作为搬送机构部20（基准搬送带21及基板搬送部22）在X-Y平面上的位置坐标的基准位置而驱动伺服马达23、26使搬送机构部20移动。

此外，本实施方式中，如图8及图9所示，在梁部32的下表面32b，与基准标记70邻接设置有背景板75。此外，背景板75在基准标记70附近通过螺丝部件76、76固定在梁部32的下表面32b。此外，背景板75包括分别被涂成互不相同的颜色的一区域75a与另一区域75b。在此，掩模用摄像机29在透镜附近（掩模用摄像机29的上表面侧）呈圆环状地具有在拍摄时向拍摄对象（基准标记70）照射照明光的照射部（LED，light emitting diode，发光二极管）29a（参照图7）。由此，由照射部29a照射的照明光在背景板75的一区域75a及另一区域75b反射，从而掩模用摄像机29拍摄的背景板75的拍摄结果不同。因此，在掩模用摄像机29拍摄基准标记70时，基于拍摄照明光照射的背景板75的结果而适当地调整照明光的亮度。另外，照射部（LED）29a为本发明中的“照明部”的一例。

此外，如图8所示，在梁部32的下表面32b设置有基板用摄像机99。基板用摄像机99使透镜朝向下方（Z2方向）安装。印刷单元90中，在保持印刷基板5的基板搬送部22向X1方向移动时，由所述基板用摄像机99拍摄设置在印刷基板5的上表面5a上的未图示的基准标记（位置对准标记）。由此，在印刷前，可高精度地进行搬送至印刷区域的印刷基板5与网版掩模6的位置对准。

此外，如图4所示，印刷机构部40包括：印刷机构支承部41，由框架结构体形成，可沿Y方向在梁部32的上表面32a上移动；掩模保持部42，可相对于印刷机构支承部41升降地（沿Z方向）安装在印刷机构支承部41的内侧（印刷区域内）且保持网版掩模6；以及印刷部60，经由网版掩模6对印刷基板5印刷焊料。

印刷机构支承部41包括：一对侧壁部41a，从梁部32的上表面32a向上方延伸；侧壁部41b，沿X方向连接一对侧壁部41a的Y1侧端部间；以及梁部41c，沿X方向连接一对侧壁部41a的上端部间。即，沿Y方向从正面侧（Y2侧）观察印刷单元90时，印刷机构支承部41具有门型结构。

此外，在梁部32的上表面32a上设置有伺服马达43及连接于该伺服马达43的旋转轴的滚珠丝杠轴44。伺服马达43以使旋转轴与Y方向一致的状态固定在梁部32的上表面32a。此外，滚珠丝杠轴44以沿伺服马达43的旋转轴在Y方向上延伸轴的状态可旋转地固定在上表面32a上。此外，在侧壁部41a上安装有螺母部件45，滚珠丝杠轴44与螺合该螺母部件45而插入在该螺母部件45中。由此，当通过伺服马达43使滚珠丝杠轴44旋转时，螺母部件45沿Y方向（Y1方向及Y2方向）移动。此外，伺服马达43、滚珠丝杠轴44及螺母部件45分别设置在左右（X方向）梁部32的上表面32a上。因此，印刷机构支承部41不仅可通过左右伺服马达43单独地驱动而沿Y方向平行移动，也可在X―Y平面上以Z轴为中心稍微转动。由此，印刷机构部40可使由掩模保持部42保持的网版掩模6在X―Y平面上精确地位置对准于搬入至印刷区域的印刷基板5。

此外，掩模保持部42可沿上下方向（Z方向）升降地安装在印刷机构支承部41的侧壁部41a。具体而言，伺服马达46及经由皮带传动机构而由所述伺服马达46旋转驱动的4根滚珠丝杠轴47组入至印刷机构支承部41。此外，在掩模保持部42设置有螺母部件48。而且，螺母部件48分别螺合于沿Z方向延伸的滚珠丝杠轴47。即，掩模保持部42可通过伺服马达46的工作而沿Z方向升降。由此，在印刷时使由掩模保持部42保持的网版掩模6沿Z2方向下降并抵接于搬入至印刷区域的印刷基板5的上表面，另一方面，在印刷后使网版掩模6沿Z1方向上升而使该网版掩模6离开印刷基板5的上表面5a。

如图7所示，印刷部60设置在具有门型结构的印刷机构支承部41内侧。该印刷部60包括：刮板单元61，通过相对于网版掩模6的上表面（Z1侧）挤压膏状焊料2（参照图5）而经由形成在该网版掩模6上的多个掩模开口部（未图示）向印刷基板5上挤出焊料；以及焊料供应部62，向网版掩模6的上表面供应焊料2。此外，印刷部60通过以支承刮板单元61及焊料供应部62的方式形成的未图示的支承机构而可移动地设置在掩模保持部42内侧的侧面上。即，印刷部60通过使所述刮板单元61相对于掩模保持部42沿印刷方向（Y方向）往返移动，从而对印刷基板5印刷焊料2。

此外，网版掩模6（参照图7）由具有约20μm以上且约150μm以下的厚度的板状（片状）部件形成，且具有使多个开口部（未图示）图案化的开口区域。这样片状网版掩模6具有弯曲性，因此网版掩模6固定在周围由高刚性部件形成的框架7上。框架7呈长和宽最大约为750mm的正方形，但是也可根据网版掩模6的尺寸而适当决定框架7的尺寸。印刷单元90通过使用者打开取放盖101a（参照图1）而将固定有网版掩模6的框架7插入固定在掩模保持部42上。

如图3所示，控制装置80包括作为运算处理部的CPU（CentralProcessing Unit，中央处理器）和基板电路部。具体而言，控制装置80主要包括运算处理部81、存储部82、外部输入输出部83、图像处理部84及驱动机构控制部85。另外，运算处理部81为本发明中的“控制部”的一例。

作为运算处理部81的CPU综合控制印刷单元90整体的动作。存储部82包括存储运算处理部81可执行的控制程序等的动作程序存储部82a、及存储在进行印刷动作时所需的数据的控制数据存储部82b。在此，动作程序存储部82a由快闪ROM（Read Only Memory，只读存储器）形成，控制数据存储部82b由RAM（Random Access Memory，随机存取存储器）形成。

此外，外部输入输出部83具有控制包含运行开始按钮95的运行操作上的各种按钮、及基板位置传感器、掩模位置传感器、刮板位置传感器等各种传感器（参照图3）的信号的输入输出的功能。图像处理部84具有对基板用摄像机99及掩模用摄像机29所拍摄的图像数据进行处理而在内部生成印刷单元90的动作所需的数据的功能。此时，掩模用摄像机29所拍摄的基准标记70的图像数据通过图像处理部84进行图像处理。由此，通过运算处理部81掌握变形的大小（滚珠丝杠轴24、27的延伸量）。

驱动机构控制部85基于从运算处理部81输出的控制信号而控制印刷单元90的各伺服马达（使基板搬送部22沿X方向移动的伺服马达26（参照图6）、使搬送机构部20沿Y方向移动的伺服马达23（参照图6）、及使掩模保持部42沿Z方向移动的伺服马达43（参照图4）等）。此外，驱动机构控制部85控制设置在基准搬送带21上的基板搬送轴（未图示）的伺服马达。此外，驱动机构控制部85可基于来自各伺服马达所具有的编码器（未图示）的信号而识别基板搬送部22在X―Y平面上的位置、掩模保持部42的高度位置（Z方向）及旋转位置（绕Z轴）等。

此外，控制装置80连接于设置在装置主体上的紧急停止电路部92。该紧急停止电路部92电连接于设置在装置主体内的指定位置上的开盖开关93，并且电连接于按钮式紧急停止按钮94。开盖开关93根据取放盖101a（参照图1）的开闭状态而切换开关的开闭。由此，在取放盖101a打开的状态下，紧急停止电路部92发挥功能而不使印刷单元90开始（重新开始）运行。此外，当使用者在运行中按下紧急停止按钮94时，紧急停止电路部92发挥功能而即时中断运行。

另外，印刷单元91（参照图2）也具有与上述印刷单元90大致相同的结构。因此，印刷装置100在驱动各印刷单元90、91时，根据各印刷单元的动作状况而进行与各印刷单元90、91相关的变形修正动作。

此外，如图1所示，在印刷装置100的外侧面上，与各印刷单元90、91相对应地设置有显示面板102、102。使用者可经由该各显示面板102掌握印刷动作的进行状况或进行与显示内容对应的机器操作。此外，在印刷装置100上还设置有显示灯103。显示灯103位于比印刷装置100的顶面部高的位置上，使用者即便从远离印刷装置100的位置也可看到印刷装置100的运行状况。以上述方式构成印刷装置100。

下面，参照图3～图5、图7及图8对在上述印刷装置100进行变形修正时的印刷单元90的动作进行说明。

首先，在印刷结束后的印刷基板5从印刷区域通过基准搬送带21沿X1方向搬送至搬出区域的状态（参照图5）下，基板搬送部22在打开夹持片22b且降低基板载台22a的状态下停止在印刷区域（该印刷区域为印刷时网版掩模6（参照图7）载置在印刷基板5的上表面5a上的区域）。

其后，从其他设备等向基准搬送带21上的等待位置新移送印刷前的印刷基板5。在印刷单元90持续进行印刷动作时，正停止在印刷区域的基板搬送部22沿基准搬送带21在X2方向移动至等待位置。然后，如图5所示，基板搬送部22使用夹持片22b握持新的印刷基板5之后，再次沿X1方向朝印刷区域移动。

此时，本实施方式中，如图7所示，在基板搬送部22沿X1方向通过梁部32下部时，掩模用摄像机29对设置在梁部32的下表面32b上的基准标记70进行拍摄。由此，识别出X―Y平面上的基准标记70的当前位置坐标。此外，在基板搬送部22沿X1方向通过梁部32下部时，设置在梁部32的下表面32b上的基板用摄像机99（参照图8）对设置在印刷基板5的上表面5a的未图示的基准标记进行拍摄。

其后，如图4所示，基板搬送部22停止在印刷区域而打开夹持片22b。然后，通过基板载台22a上升（沿Z1方向移动），印刷基板5在下表面由销支承的状态下被抬升至指定高度。此外，在基板搬送部22停止在印刷区域时，掩模用摄像机29对设置在网版掩模6下表面的未图示的基准标记进行拍摄。

其后，基于由基板用摄像机99拍摄的印刷基板5的基准标记的图像、及由掩模用摄像机29拍摄的网版掩模6的基准标记的图像而进行掩模保持部42（参照图4）在X―Y平面上的位置对准。然后，在该状态下，网版掩模6（参照图7）与掩模保持部42一起下降（沿Z2方向移动），且网版掩模6以指定挤压力抵接于印刷基板5的上表面5a。

其后，在对网版掩模6上供应有焊料2（参照图5）的状态下驱动印刷部60（参照图7），由此经由网版掩模6对印刷基板5的上表面5a印刷焊料2。

在印刷焊料2之后，网版掩模6与掩模保持部42一起上升（沿Z1方向移动）而离开。然后，基板载台22a下降（沿Z2方向移动），从而印刷基板5载置在基准搬送带21上。印刷单元90中通过重复上述印刷动作而持续对印刷基板5进行印刷。而且，在上述一系列印刷动作的中途，当基板搬送部22通过梁部32下部时，以基于运算处理部81（参照图3）的指令的适当时机拍摄基准标记70，由此对搬送机构部20的变形进行修正。

本实施方式中，如上所述，印刷装置100（印刷单元90、91）包括：框架结构体30，固定设置在基座10上，且具有搬送机构部20的变形修正中所使用的基准标记70；以及掩模用摄像机29，对所述基准标记70进行拍摄，其中，在进行所述变形修正时，掩模用摄像机29对设置在所述框架结构体30的梁部32的下表面32b的所述基准标记70进行拍摄。印刷装置100（印刷单元90、91）通过掩模用摄像机29拍摄不直接参与印刷机构部40对印刷基板5的印刷动作的框架结构体30上所设置的基准标记70而进行变形修正。因此，变形修正的时机的自由度高，与以往的印刷装置相比可以在更为适当的时机下拍摄基准标记70而进行变形修正。其结果，根据该印刷装置100，可在对印刷基板5持续进行印刷动作的印刷单元90（和/或91）中稳定地维持印刷精度。

此外，本实施方式中，掩模用摄像机29设置在基板搬送部22上，且与该基板搬送部22一起在与水平面平行的平面（X―Y平面）上移动。由此，可在基板搬送部22移动时使掩模用摄像机29移动而以适当时机拍摄设置在梁部32下表面的基准标记70。因此，无须另行设置使掩模用摄像机29移动的专用驱动机构，从而可简化印刷装置100（印刷单元90、91）的结构。

此外，本实施方式中，框架结构体30设置在进行印刷基板5的印刷的印刷区域（该印刷区域是进行印刷时网版掩模6载置在印刷基板5上的区域）之外的位置上，因此，掩模用摄像机29在印刷区域之外的区域拍摄基准标记70。这样，掩模用摄像机29在不直接参与对印刷基板5进行的印刷动作的印刷区域之外的区域拍摄变形修正用基准标记70，因此不会在印刷区域内拍摄基准标记70。因此，根据该印刷装置100，不直接影响对印刷基板5进行的印刷动作即可进行变形修正。

此外，本实施方式中，包括：伺服马达23，沿Y方向驱动搬送机构部20整体；伺服马达26，沿X方向驱动基板搬送部22；以及运算处理部81，基于掩模用摄像机29拍摄基准标记70的结果而对滚珠丝杠轴24、27伴随发热而产生的变形进行修正。由此，根据该印刷装置100，可基于基准标记70的拍摄结果而以适当时机对各滚珠丝杠轴24、27伴随发热而产生的变形进行修正。

此外，本实施方式中，运算处理部81基于掩模用摄像机29拍摄基准标记70的结果而对螺合于基板搬送部22的滚珠丝杠轴27（和/或24）的变形进行修正。即，运算处理部81即便在对基板搬送部22传输驱动力的滚珠丝杠轴27（和/或24）发生因发热所引起的轴延伸时，也可以变形修正所需的适当时机进行与滚珠丝杠轴27（和/或24）的变形对应的旋转量修正。因此，根据该印刷装置100，可高精度地由基板搬送部22进行印刷基板5的搬送动作。

此外，本实施方式中，滚珠丝杠轴27（和/或24）从进行印刷基板5的印刷的印刷区域延伸至其外部的区域，基板搬送部22螺合于该较长的滚珠丝杠轴27（和/或24）而通过该滚珠丝杠轴27（和/或24）的驱动在印刷区域与其外部的区域之间移动。该印刷装置100可以变形修正所需的适当时机进行与滚珠丝杠轴27（和/或24）的变形对应的滚珠丝杠轴27（和/或24）的旋转量修正，因此即便使用上述较长的滚珠丝杠轴27（和/或24），也可稳定地维持印刷精度。

此外，本实施方式中，运算处理部81将由掩模用摄像机29拍摄的基准标记70的坐标作为搬送机构部20（基准搬送带21及基板搬送部22）在X―Y平面上的位置坐标的基准位置而控制该搬送机构部20的驱动。即，在本实施方式中，将设置在框架结构体30上的基准标记70的坐标作为基准位置而控制伺服马达26（和/或23）的驱动。印刷装置100将该基准标记70的坐标作为基准位置而控制搬送机构部20的驱动，因此即便在更换伺服马达26（和/或23）或滚珠丝杠轴27（和/或24）等元件时，在控制上的基准位置设定基准标记70的坐标即可容易地驱动伺服马达26（和/或23）。

此外，本实施方式中，掩模用摄像机29在基板搬送部22进行向印刷区域搬入印刷基板5的动作时拍摄基准标记70。即，在本实施方式中，在由基板搬送部22进行的搬送动作中包含基准标记70的拍摄动作。因此，印刷装置100可缩短用于拍摄基准标记70的动作时间，从而可缩短印刷装置100的工作节拍时间。

此外，本实施方式中，掩模用摄像机29在基板搬送部22向印刷区域搬入印刷基板5时，在基板搬送部22移动过程中拍摄基准标记70。这样，印刷装置100可在基板搬送部22移动的同时拍摄基准标记70，因此可缩短用于拍摄基准标记70的动作时间，从而，可容易且有效地缩短印刷装置100的工作节拍时间。

此外，本实施方式中，以可沿与基板搬送部22的搬送方向（X方向）交叉的方向（Y方向）移动地对保持网版掩模的掩模保持部42进行支承的方式固定设置有框架结构体30，在基板搬送部22沿印刷基板5的搬送路径移动时，掩模用摄像机29拍摄设置在框架结构体30上的基准标记70。印刷装置100在固定设置的框架结构体30上具有变形修正用基准标记70，因此即便沿与基板搬送部22的搬送方向交叉的方向移动的掩模保持部42设置在框架结构体30上，也可以适当时机确实进行变形修正。

此外，本实施方式中，使用设置为网版掩模6的表面观察用（检查用）的掩模用摄像机29来拍摄变形修正用基准标记70，因此无须另行设置用于拍摄变形修正用基准标记70的“摄像部”。

此外，本实施方式中，基准标记70设置在框架结构体30的下表面32b，掩模用摄像机29以可向上方（Z1方向）拍摄的方式设置在基板搬送部22上。因此，在基板搬送部22沿X―Y平面上的移动路径通过框架结构体30下部时，可通过掩模用摄像机29确实拍摄设置在下表面32b上的基准标记70。

此外，本实施方式中，在框架结构体30上除设置有基准标记70以外，还与基准标记70邻接设置有用于调整照明光的照度的背景板75。而且，运算处理部81在掩模用摄像机29拍摄基准标记70时，基于对照明光照射的背景板75进行拍摄的结果而进行调整照明光的亮度的控制。由此，可与基准标记70的拍摄一起调整掩模用摄像机29照射的照明光的照度，从而可高精度地拍摄基准标记70。因此，可高精度地进行变形修正。此外，掩模用摄像机29可在拍摄基准标记70的同时调整照明光的照度，因此可将调整照明光所需的时间（工作损失）抑制于最小限度。由此，可缩短印刷装置100的工作节拍时间。

另外，此次公开的实施方式在所有方面均为例示而无限制性。本发明的范围不由上述实施方式的说明而由发明内容中所涉及的技术方案的范围表示，且还包含与技术方案的范围等同的意思及范围内的所有变更。

例如，上述实施方式中，表示了在基板搬送部22进行向印刷区域搬入印刷基板5的动作时拍摄基准标记70的结构例，但本发明并不限定在此。就在印刷区域之外的区域设置本发明中的“标记”而言，例如，也可采用在基板搬送部22进行搬出印刷结束后的印刷基板5的动作时拍摄基准标记71的结构。

具体而言，如图11所示的第一变形例，也可在设置在图中左侧（搬出侧）的框架结构体30的梁部32下表面设置基准标记71（虚线）。此时，在载置有印刷结束后的印刷基板5的搬送机构部20（基板搬送部22）沿Y1方向在基座10上移动指定距离的路径的中途，由掩模用摄像机29进行拍摄基准标记71的动作。另外，在搬送机构部20沿Y1方向移动指定距离之后，印刷基板5沿X1方向在基准搬送带21上搬送而被搬出至印刷单元90外部。即便为该第一变形例的结构，由于可在搬送机构部20的搬送动作中包含基准标记71的拍摄动作，因此也可缩短印刷装置100的工作节拍时间。另外，图11中，为便于说明，省略设置在印刷单元90的Y1侧的印刷单元91（参照图2）的图示。

此外，也可在印刷单元90上设置上述实施方式中例示的基准标记70与上述第一变形例中例示的基准标记71的双方。而且，也可在进行变形修正时，基于运算处理部81的指令，通过掩模用摄像机29拍摄基准标记70和基准标记71的任一者而进行变形修正。此时，在进行变形修正时，较为理想的是拍摄基准标记70和基准标记71中更靠近动作中（移动中）的掩模用摄像机29侧的标记。由此，可进而缩短变形修正动作所要的时间。

此外，上述实施方式中，表示了在梁部32的下表面32b设置基准标记70的例，但本发明并不限定在此。例如，如图12所示的变形例，只要掩模用摄像机29可向上方拍摄，则基准标记72也可设置在梁部32的侧面32c。

此外，上述实施方式中，表示了分别使用由伺服马达驱动的滚珠丝杠轴及螺母部件驱动搬送机构部20的基准搬送带21及基板搬送部22的结构例，但本发明并不限定在此。也可使用滚珠丝杠轴及螺母部件以外的例如皮带驱动或齿条齿轮及小齿轮等驱动机构驱动搬送机构部20（基准搬送带21及基板搬送部22）。此时，由于必须对伴随驱动而产生的皮带部件的热延伸或齿条齿轮的热延伸进行变形修正，因此可以适当时机对驱动部产生的变形进行修正。

此外，上述实施方式中，表示了在印刷单元90、91中分别基于控制装置80的运算处理部81的指令而进行变形修正动作的结构例，但本发明并不限定在此。也可在印刷装置100设置用于综合进行印刷单元90、91的动作控制的本发明中的“控制部”。可通过该控制部，不是基于单个印刷单元而是多个印刷单元90、91的相互动作（基板搬送部22在基座10上的位置关系）状况，以适当时机进行各印刷单元的变形修正动作。

汇总以上说明的本发明则如以下所示。

本发明的印刷装置包括：基座；框体部件，固定设置在所述基座上；印刷部，由所述框体部件支承且对基板进行印刷；基板搬送部，在包含通过所述印刷部进行印刷的印刷区域的范围内能够移动地设置在所述基座上，用于搬送基板；驱动机构，驱动所述基板搬送部；控制部，控制所述驱动机构对所述基板搬送部的驱动；标记，设置在所述框体部件上；以及摄像部，搭载在所述基板搬送部上，对所述标记进行拍摄，其中，所述控制部使所述基板搬送部移动以使基板位于所述印刷区域，并且基于所述摄像部拍摄的所述标记的图像而进行用于纠正所述驱动机构的变形所引起的所述基板搬送部的移动误差的变形修正。

该结构中，在基板搬送部移动时通过搭载在该基板搬送部上的摄像部对设置在框体部件上的标记进行拍摄，控制部基于该标记的图像而进行变形修正。根据该结构，摄像部对设置在不直接参与印刷部对基板的印刷动作的框体部件上的标记进行拍摄，因此拍摄标记的时机的自由度高，可以适当时机拍摄标记而进行变形修正。因此，在持续对基板进行印刷动作的印刷装置中，可稳定地维持印刷精度。此外，可使摄像部随着基板搬送部的移动而移动地拍摄标记，因此无须另行设置使摄像部移动的专用驱动机构，从而可简化印刷装置的结构。

本发明的印刷装置中，较为理想的是，所述框体部件设置在所述印刷区域之外的位置上，所述摄像部在所述基板搬送部搬送所述基板时拍摄所述标记。

根据该结构，摄像部在不直接参与基板的印刷动作的印刷区域之外的区域拍摄变形修正用标记，因此与在印刷区域内拍摄标记时不同，不直接影响对基板的印刷动作即可进行变形修正。

本发明的印刷装置中，较为理想的是，所述驱动机构为包括驱动源和接受该驱动源的驱动力而旋转的进给螺杆轴且使所述基板搬送部随该进给螺杆轴的旋转而移动的螺杆进给机构，所述控制部基于所述摄像部拍摄的所述标记的图像而进行用于纠正所述进给螺杆轴的变形所引起的所述移动误差的变形修正。

根据该结构，即便在进给螺杆轴产生因发热所引起的轴延伸时，也可以适当时机进行进给螺杆轴的变形修正，即进行与进给螺杆轴的变形对应的进给螺杆轴的旋转量修正。其结果，可高精度地由基板搬送部进行基板搬送动作。

作为该结构，例如可采用如下结构：所述进给螺杆轴从所述印刷区域延伸至所述印刷区域之外的区域，所述驱动机构还包括用于插入所述进给螺杆轴的螺母部，所述基板搬送部随所述进给螺杆轴的旋转而在所述印刷区域与所述印刷区域之外的区域之间移动。

根据该结构，即便包括从印刷区域延伸至其外部的区域的较长的进给螺杆轴，也可以适当时机进行进给螺杆轴的变形修正，因此可有效地获得本发明的效果。

本发明的印刷装置中，较为理想的是，所述控制部将所述摄像部拍摄的所述标记的图像的坐标设为所述基板搬送部的位置坐标的基准位置而控制该基板搬送部的驱动。

根据该结构，将标记坐标设为基准位置，因此即便在更换驱动源或进给螺杆轴等元件时，仅在控制上的基准位置设定标记坐标即可容易地使驱动机构驱动。

本发明的印刷装置中，较为理想的是，所述摄像部在所述基板搬送部进行向所述印刷区域搬入基板的动作和从所述印刷区域搬出基板的动作中的至少一动作时拍摄所述标记。

根据该结构，可在基板搬送部的基板搬送动作中包含标记拍摄动作，从而可相应地缩短用于拍摄标记的动作时间。由此，可缩短印刷装置的动作时间（工作节拍时间）。

在该结构中，进一步理想的是，所述摄像部在所述基板搬送部的移动中拍摄所述标记。

根据该结构，可在基板搬送部的移动的同时拍摄标记，因此可缩短用于拍摄标记的动作时间。由此，可容易且有效地缩短印刷装置的动作时间（工作节拍时间）。

本发明的上述印刷装置中，较为理想的是，所述框体部件包括跨所述基板搬送部搬送所述基板的搬送路径的上方的梁部，所述框体部件的所述梁部支承所述印刷部，所述摄像部在所述基板搬送部沿所述搬送路径搬送基板时拍摄所述标记。

根据该结构，在框体部件的梁部设置有印刷部，在基板搬送部通过所述梁部下方时拍摄设置在框体部件上的标记，因此可以适当时机确实进行变形修正。

在该结构中，进一步理想的是，所述印刷部包括在印刷时重叠于基板上表面的掩模，所述摄像部被设置为能够拍摄所述掩模的下表面，在拍摄该掩模下表面时拍摄所述标记。

根据该结构，可使用设置为掩模的表面观察用（检查用）的摄像部拍摄变形修正用标记，因此无须另行设置用于拍摄变形修正用标记的摄像部。

另外进一步理想的是，所述标记设置在所述框体部件的所述梁部的下表面或所述框体部件的侧面。

根据该结构，当基板搬送部在其移动路径上通过框体部件附近时，可通过摄像部确实拍摄设置在框体部件的梁部的下表面或框体部件的侧面的标记。

本发明的印刷装置中，较为理想的是，所述摄像部包括能够对拍摄对象照射照明光的照明部，所述框体部件包括设置在与所述标记邻接的位置上的背景板，所述控制部基于所述摄像部将所述标记与所述背景板一起拍摄的图像而调整所述照明光的亮度。

根据该结构，除了拍摄标记还能够调整照明部照射的照明光的照度，因此可高精度地拍摄标记。其结果，可高精度地进行变形修正。此外，可在拍摄标记的同时调整照明光的照度，由此可将照明光的调整所需的时间（工作损失）抑制于最小限度。由此，也可缩短印刷装置的工作节拍时间。

Claims (11)

1.一种印刷装置，其特征在于包括：

基座；

框体部件，固定设置在所述基座上；

印刷部，由所述框体部件支承且对基板进行印刷；

基板搬送部，在包含通过所述印刷部进行印刷的印刷区域的范围内能够移动地设置在所述基座上，用于搬送基板；

驱动机构，驱动所述基板搬送部；

控制部，控制所述驱动机构对所述基板搬送部的驱动；

标记，设置在所述框体部件上；以及

摄像部，搭载在所述基板搬送部上，对所述标记进行拍摄，其中，

所述控制部使所述基板搬送部移动以使基板位于所述印刷区域，并且基于所述摄像部拍摄的所述标记的图像而进行用于纠正所述驱动机构的变形所引起的所述基板搬送部的移动误差的变形修正。

2.根据权利要求1所述的印刷装置，其特征在于：

所述框体部件设置在所述印刷区域之外的位置上，

所述摄像部在所述基板搬送部搬送所述基板时拍摄所述标记。

3.根据权利要求1或2所述的印刷装置，其特征在于：

所述驱动机构为包括驱动源和接受该驱动源的驱动力而旋转的进给螺杆轴且使所述基板搬送部随该进给螺杆轴的旋转而移动的螺杆进给机构，

所述控制部基于所述摄像部拍摄的所述标记的图像而进行用于纠正所述进给螺杆轴的变形所引起的所述移动误差的变形修正。

4.根据权利要求3所述的印刷装置，其特征在于：

所述进给螺杆轴从所述印刷区域延伸至所述印刷区域之外的区域，

所述驱动机构还包括用于插入所述进给螺杆轴的螺母部，

所述基板搬送部随所述进给螺杆轴的旋转而在所述印刷区域与所述印刷区域之外的区域之间移动。

5.根据权利要求1所述的印刷装置，其特征在于：

所述控制部将所述摄像部拍摄的所述标记的图像的坐标设为所述基板搬送部的位置坐标的基准位置而控制该基板搬送部的驱动。

6.根据权利要求1所述的印刷装置，其特征在于：

所述摄像部在所述基板搬送部进行向所述印刷区域搬入基板的动作和从所述印刷区域搬出基板的动作中的至少一动作时拍摄所述标记。

7.根据权利要求6所述的印刷装置，其特征在于：

所述摄像部在所述基板搬送部的移动中拍摄所述标记。

8.根据权利要求1或2所述的印刷装置，其特征在于：

所述框体部件包括跨所述基板搬送部搬送所述基板的搬送路径的上方的梁部，

所述框体部件的所述梁部支承所述印刷部，

所述摄像部在所述基板搬送部沿所述搬送路径搬送基板时拍摄所述标记。

9.根据权利要求8所述的印刷装置，其特征在于：

所述印刷部包括在印刷时重叠于基板上表面的掩模，

所述摄像部被设置为能够拍摄所述掩模的下表面，在拍摄该掩模下表面时拍摄所述标记。

10.根据权利要求8所述的印刷装置，其特征在于：

所述标记设置在所述框体部件的所述梁部的下表面或所述框体部件的侧面。

11.根据权利要求1或2所述的印刷装置，其特征在于：

所述摄像部包括能够对拍摄对象照射照明光的照明部，

所述框体部件包括设置在与所述标记邻接的位置上的背景板，

所述控制部基于所述摄像部将所述标记与所述背景板一起拍摄的图像而调整所述照明光的亮度。

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