CN102665845A - 消泡方法及其装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种消泡方法以及装置，该消泡方法使用激光诱导击穿，能够通过缩短焦距来提高激光的聚光性，并且能够提高有助于消除气泡的声波的利用效率。上述消泡方法以及装置聚集脉冲状的激光来照射声波导管(4)的内部空间，由此，以照射点(7)作为声源而产生脉冲状声波，该脉冲状声波在声波导管内作为平面波进行传播，从开口端(16)作为球面波进行传播，从而破坏位于声波导管开口端的外部的气泡。
Description
技术领域
本申请发明涉及消泡方法以及消泡装置，该消泡方法以及消泡装置适用于消除液面上的气泡，特别是适合消除向罐、PET瓶、瓶罐或者袋子等容器充填饮料等液体时产生的气泡。
背景技术
容器装饮料(罐装饮料、PET瓶装饮料、玻璃瓶装饮料等)的充填工序一般采用如下工序：在充填机中，从上方将饮料灌入直立的容器，接着利用密封装置(折边机、封口机等)使上述容器与盖部件结合来进行密封。降低密封容器内的残留含氧量是保持饮料的品质、提高口感的重要因素。特别是从容器内的顶部空间去除氧气尤为重要，为了实现这一点，开发并使用将要进行密封之前的盖下吹气等脱氧技术。另一方面，由于容器装饮料是大量消耗的产品，因此追求充填工序的高速化，在罐装饮料的情况下，实际使用每分钟生产1000罐～2000罐的高速生产线。随着饮料的充填，在容器内会产生气泡。虽然产生气泡的行为、以及消除所产生的气泡的行为根据各个饮料的性质、充填条件而不同，但一般来说，生产速度越快，产生越多气泡，并且没有充裕的时间等到气泡消失，而是在残留有气泡的状态下进行密封。
在气泡中包含与大气相同浓度的氧气，由于气泡内的氧气无法利用顶部空间的气体置换去除，因此阻碍了顶部空间的含氧量减少。特别是现如今，基于气体置换的脱氧技术进步，上述问题成为残存含氧量的主要原因。在现实情况中，为了抑制气泡，虽然一般使用在饮料配方中混入消泡剂的方法，但由于该方法影响饮料的口味，因此，要求实现在从充填到密封的期间消除气泡的技术。
作为针对该要求的解决对策，考虑通过照射光来消除气泡的技术，并提出了与此相关的多种方法、装置(例如，参照专利文献1～4)。其中也包含照射激光的方法的提案。例如，作为利用激光消除气泡的方法，提出了如下方案：通过向气泡照射激光，由此，当形成气泡膜的分子彼此结合时，激发膜内的水分子或者有机分子进行振动，切断分子间结合，从而消除气泡(参照专利文献4)。
另外，也提出了通过照射超声波来消除气泡的方法、装置。(参照专利文献5～9)。并且，也提出了以利用电弧放电产生冲击波的方式消除气泡的消泡装置(参照专利文献10)。另外，除了光、声波以及放电之外，也提出了利用加热、微波、高频、电风、静电、以及蒸汽消除气泡的消泡方法、装置。
但是，现有的通过照射光来消除气泡的技术缺乏高速性，无法适应高速的充填速度，因此形成无法实际应用上述技术的现状。上述光照射技术基于如下原理而构成：向气泡照射光能，通过对气泡的成分(大多为水)进行加热而使其蒸发，从而消除气泡。因此，必须直接向各个气泡照射光能，一般来说，由于气泡分布于液面整体，因此，为了利用光照射来消除气泡，实质上必须向液面整体供给光能。在此所说的实质包括通过扩大光束的直径来全面地同时照射的情况、和直径较细的光束以扫描液面的方式照射的情况，在任意一种情况中，利用(单位面积照射功率×照射时间×照射面积)表示的总光能都相等。在高速的充填工序中，由于分配给消泡工序的时间较短，因此无法利用从普通光源发出的光的强度得到充分的消泡效果。反之，为了得到消泡效果而要投入充足的能量，为此需要具有很大功率的光源，不实用。
另外，对于通过照射超声波来消除气泡的方法，例如，在通过照射从外部的声源发出的连续波状的超声波来消除气泡的方法的情况下，由于超声波的波长与成为对象的容器的大小大致相同，缺乏方向性，照射能量散逸，因此效率不佳。因此，需要上述容器在传送带上行进较长距离来消除气泡，生产线增长，从节省空间的观点来看也并不理想。此外，在PET瓶、瓶罐等窄口容器的情况下，难以通过开口部向液面整体传递光、声音等，没有有效的消泡方法。并且，在现有的方法中，几乎无法消除附着于容器的内周面的气泡尤其成为问题。并且，在电弧放电的情况下，由于伴随有电弧电极的消耗，因此电极寿命变短，需要以恒定频率更换电极，并且因更换作业而导致充填空间被污染，在无菌充填中破坏环境卫生。另外，由于电极物质发生飞散，因此，产生因飞散物质而导致的污染。并且，由于放电位置不稳定，结果，消泡效果容易产生偏差。特别是在充填生产线那样的湿润环境中，认为放电行为根据电极间气体的微妙的湿度差异而较大地变动。
另一方面，在使高能量的光聚集于气体的情况下，在照射点能够引光传播路径中的气体的电离现象，由此能够产生脉冲状声波。此类通过使激光聚光而引发的击穿被称为激光诱导击穿(Laser InducedBreakdown；LIB)。
本发明者发现激光诱导击穿对消泡发挥优异的效果，从而发明并提供了“一种特征在于通过聚集脉冲状的激光来照射液面上方的气体部分，由此以照射点作为声源而产生脉冲状声波，该脉冲状声波形成球面波而传播，从而破坏气泡的消泡方法”(专利文献11)。
根据该方法，伴随着剧烈压力变化而产生的脉冲状声波作为球面波从声源传播，能够以破坏气泡的方式消除气泡。因此，与现有的利用激光束等的光照来消除气泡的情况不同，由于不需要利用光束照射各个气泡，因此能够在短时间内高速地消除气泡。并且，由于脉冲状声波传播至容器的内周面，因此，也能够有效地消除在现有方法中难以进行消泡的容器内圆周壁面附近的气泡。另外，由于通过使脉冲状的光聚集在液面上方的气体部分，由此产生击穿来消除气泡，因此，与直接向液面照射激光的情况相比，液面的碰撞少，不会出现液滴飞散而附着于装置、或者附着于激光照射口的玻璃部件的情况。因此，该方法特别有利于维持装置的卫生性、光学特性。
专利文献1：日本实开昭53-102178号公报
专利文献2：日本实开昭60-31306号公报
专利文献3：日本特开昭63-104620号公报
专利文献4：日本特开昭63-252509号公报
专利文献5：日本特开平11-90330号公报
专利文献6：日本特开平7-291395号公报
专利文献7：日本特开平9-328193号公报
专利文献8：日本实开昭62-90397号公报
专利文献9：日本特开平6-191595号公报
专利文献10：日本特表2002-520226号公报
专利文献11：日本特表2007-086339号公报
但是，本发明者提供的上述方法根据之后的研究发现了如下问题：由于脉冲状的激光向液面照射，因此，为了防止透镜等光学元件因来自液面的蒸汽、破碎的气泡的水滴等而污染，不得不增长焦距，无法通过缩短焦距来提高激光的聚光性，并且，由于脉冲状声波在自由空间内产生，形成球面波进行传播，因此只有一部分声波参与消泡，效率不佳，另外，由于激光照射液面，因此担心内容液体因高强度激光而受到影响等。
发明内容
因此，本发明意欲解决之前提供的消泡技术中的上述问题点，其目的在于，特别是在使用激光诱导击穿的消泡方法以及装置中，提供提高声波的利用效率的方法、提高激光的聚光性的方法、不朝向液面照射激光的方法、以及具体实现了上述方法的装置。
为了解决上述课题，本发明者发现能够利用以下锐意研究的结果来解决上述课题从而实现本发明：在声波导管的内部引发激光诱导击穿，使用声波导管向液面引导由此而产生的声波。
即，解决上述课题的本发明的消泡方法的特征在于，通过聚集脉冲状的激光向声波导管的内部空间照射，由此，以照射点作为声源而产生脉冲状声波，该脉冲状声波在声波导管内传播，破坏位于声波导管开口端的外部的气泡。优选沿与上述声波导管的轴大致垂直的方向照射上述激光。并且，优选在上述激光的末端设置反射聚光元件，使通过上述照射点后的激光再次返回照射点。
此外，优选调整上述声波导管与外部空间之间的声波阻抗，抑制该声波导管的开口端的声波的传播损失。另外，也能够将上述声波导管形成为曲管形状，使照射点的等离子光无法从开口端直接观察到。另外，也可以向声波导管的内部导入气体。
实现上述消泡方法的本发明的消泡装置聚集脉冲状的激光，以照射点作为声源而产生脉冲状声波，利用该脉冲状声波消除气泡，该消泡装置的特征在于，上述消泡装置通过组合以下部件而构成：脉冲状激光振荡装置；聚光光学系，该聚光光学系对利用该脉冲状激光振荡装置进行振荡后的脉冲状激光进行聚光；以及声波导管，该声波导管具有供经由该聚光光学系而照射的上述脉冲状激光通过的激光入射孔，且配置为在管内部空间内进行聚光，该声波导管的开口端配置为，相对于消泡对象物的液面，面向铅直方向的上方。
另外，在上述消泡装置中，优选将上述声波导管的激光入射孔形成于周壁，从而能够沿与声波导管的轴垂直的方向照射上述脉冲状的激光。除此之外，优选在上述声波导管的周壁配置反射聚光元件，以便在与上述激光入射孔相反一侧的位置形成激光通过孔，并且使上述声波导管内的上述照射点在该激光的通过孔的外侧成为焦点。也可以将上述声波导管的开口端形成为喇叭形状。除此之外，也可以将上述声波导管形成为曲管形状，使照射点的等离子光无法从开口端直接观察到。另外，在上述消泡装置中，也可以在比上述声波导管的周壁的上述激光入射孔靠近开口端的位置形成气体导入孔，使气体供给管与该气体导入孔连结，向导波管的内部导入气体。
根据本申请的发明，通过使用声波导管，具有使以往在自由空间丢失了大部分的冲击波的能量聚集于开口端方向的效果。因此，能量的利用效率提高，由此能够使照射点比以往更远离液面。由此，具有针对聚光光学系的制约减少，能够构建更高效的聚光光学系的效果。
并且，通过与声波导管的轴大致垂直地照射激光，由此，不向液面照射激光，能够消除内容液体因高强度激光而受到影响的顾虑。并且，由于能够使激光路与冲击波进行路分离，因此，针对聚光光学系的制约减少，能够构建击穿效率高的聚光光学系。
此外，通过在上述激光的末端设置反射聚光元件，能够将所照射的激光中的未被激光诱导击穿耗尽的光使用于增强击穿，从而提高了效率，并且提高了安全性。
另外，通过调整声波导管与外部空间之间的声波阻抗，能够抑制开口端的声波传播损失。
另外，由于通过将声波导管形成为曲管而使照射点的等离子光无法从开口端直接观察到，因此，等离子光在声波导管的壁面被吸收，不到达开口端，能够消除因等离子光而导致的影响内容物的顾虑。
另外，通过向声波导管之中导入气体，能够防止外部空气从开口端侵入。另外，虽然从充填内容液产生普通蒸汽，但由于存在被导入的气体，因此能够防止该蒸汽侵入声波导管进行污染。优选气体的导入口位于照射点与开口端之间，虽然空气中的氧气因激光诱导击穿而离子化，产生臭氧，但能够防止该臭氧从开口端流出，进入罐等容器内。
附图说明
图1是本发明的实施方式所涉及的消泡装置的剖视简图。
图2是本发明的其他实施方式所涉及的消泡装置的剖视简图。
图3是本发明的另一其他实施方式所涉及的消泡装置的剖视简图。
图4是本发明的另一其他实施方式所涉及的消泡装置的剖视简图。
图5是本发明的另一其他实施方式所涉及的消泡装置的剖视简图。
图6是本发明的另一其他实施方式所涉及的消泡装置的剖视简图。
附图标记说明：
1、20、30、40、50、60：消泡装置；2：脉冲激光振荡装置；3：聚光光学系；4、21、31、41、51、61：声波导管；6：光束；7：照射点；8：平面波；9：球面波；12、32：周壁；13、52、62：上端壁；14、63：激光入射孔；15：激光通过孔；16：开口端；17：气体导入口。
具体实施方式
本实施方式中的消泡方法通过聚集脉冲状的激光来照射声波导管的内部，由此，以照射点作为声源而产生脉冲状声波，该脉冲状声波在声波导管内传播，破坏位于声波导管开口端的外部的气泡，图1示意性地示出该基本实施方式的消泡原理。
附图中，1是本实施方式所涉及的消泡装置，该消泡装置构成为包括：脉冲激光振荡装置2，该脉冲激光振荡装置2产生脉冲状的光；聚光光学系3，该聚光光学系3对利用该脉冲状激光振荡装置进行振荡后的脉冲状激光进行聚光；以及声波导管4，该声波导管的开口端16配置为，相对于消泡对象物的液面，面向铅直方向的上方。在图1所示的实施方式中，在向容器a密封充填内容物的密封充填生产线中，将声波导管4垂直地配置在用于将充填有内容物的容器a输送至密封装置的传送带的上方、或者容器在密封装置内被密封之前通过的位置的上方，脉冲激光振荡装置2配置为，从与该声波导管4的轴心大致垂直的方向照射脉冲激光。
作为上述脉冲激光振荡装置，优选以能够在某一瞬间将在此之前蓄积于激光介质中的能量作为光脉冲而一次性释放出来的方式对脉冲激光进行振荡的脉冲激光振荡装置。作为脉冲激光，列举了能够进行Q开关振荡的YAG激光、YVO4激光、YLF激光、以及TiS激光等飞秒激光。虽然上述脉冲激光具有几Hz～几十kHz的重复周期，却将在该重复周期期间积蓄的能量在几飞秒(fs)乃至几十毫微秒(ns)这极短的时间段内释放出来。因此，能够高效地从较少的输入能量得到较高的峰值功率。作为脉冲激光振荡装置，除此之外还可以使用对CO2激光、准分子激光、半导体激光等各种激光进行振荡的脉冲激光振荡装置。并且，也可以使用利用波长转换元件从上述激光的基底波产生的高次谐波光。虽然在上述脉冲激光中也包含连续振荡(CW)脉冲激光，但在该情况下，也能够使用遮板等光控制部件来产生脉冲状的光。
虽然本实施方式中的聚光光学系3构成为包括配置于脉冲激光振荡装置2与声波导管之间的透镜10、以及配置于后述声波导管的相反侧的反射聚光元件11，但并不限定于此。
反射聚光元件11除了利用图示的凹面镜之外，还可以利用凸透镜与平面镜的组合元件、及其他任意元件。
如图1所示，虽然透镜10可以相对于脉冲激光振荡装置单独形成，但也可以一体地设置于脉冲激光振荡装置。因激光诱导击穿而产生的脉冲状声波的强度根据照射点的单位面积的光功率密度的不同而改变。因此，通过使聚光光学系3最佳化来提高聚光性，由此，能够高效地从相同的激光输出产生激光诱导击穿。一般来说，透镜的数值孔径(NA)越大越有利于提高聚光性。这意味着透镜的直径越大、焦距越短，聚光性越高。然而，如果焦距变短，则上述透镜与液面之间的距离变窄，容易因液滴的飞散等而受到污染。使波面凭证的情况有利于提高聚光性。因此，优选使用利用多个透镜的组合来修正像差的组合透镜(消球差透镜)、根据波面状态对应地设计透镜面形状的非球面透镜等。
在之前提出的上述方法中，由于将激光聚集于自由空间，所产生的脉冲状声波作为球面波来传播，因此声波强度急剧衰减。因此，无法得到较长的从液面到照射点的高度，进而无法得到较短的焦距。为了解决该问题，在本发明中采用声波导管4，由于冲击波在声波导管4的内部以平面波状行进，因此，与球面波相比较，能够使冲击波的能量不衰减地传递相对较长的距离。因此，能够使从液面到照射点7的高度增长。由此，能够使用短焦距的透镜来提高聚光性。
在本实施方式中，如图1所示，声波导管4在周壁12的靠近上端壁13的位置形成有激光入射孔14，以便能够沿与声波导管的轴垂直的方向照射上述脉冲状的激光。进而，在来自该激光入射孔14的光路上的位于对置位置的周壁，形成有激光通过孔15。为了提高能量效率，该激光通过孔15将照射到声波导管的激光的光路的末端引导至设置于声波导管的外部的反射聚光元件11，以便反射上述光路的末端，并将其送回到照射点，而这并不一定必需。反射聚光元件11配置为，其焦点与声波导管内的脉冲激光振荡装置的照射点一致。
另外，在能够将反射聚光元件设置于声波导管的内部的情况下，不需要形成该激光通过孔15。并且如后所述，在声波导管的周壁形成有气体导入口17。该气体导入口用于从外部向声波导管内导入气体，以便防止因击穿而产生的臭氧从开口端流出，进入容器内，优选该气体导入口位于照射点与开口端之间。为了抑制开口端的声波传播损失，声波导管4的开口端16在本实施方式中形成为喇叭形状。
声波导管4的长度可以较长，也可以较短，不特别限定。并且，在声波导管的内部，虽然照射点(照射点)7的位置可以在轴向以及径向的任意位置，但为了将冲击波的波面转换为平面波，优选在中心轴上进行聚光。虽然声波导管的开口端的相反侧的端部可以采用任意形状，但如果采用适当形状，则能够促进冲击波在声波导管内部的行进。
本实施方式的消泡装置以上述方式构成，从脉冲激光振荡装置2发出的经过振荡后的脉冲激光的光束6借助聚光光学系3而聚集，沿与声波导管的轴大致垂直的方向通过声波导管的激光入射孔14，进而照射到声波导管内的位于截面中心位置的照射点7。当从光源发出的经过振荡后的强脉冲状的光照射气体时，在照射的瞬间，因激光诱导击穿现象而从照射点7产生冲击压力脉冲，能够产生脉冲状声波。所产生的脉冲状声波在声波导管内部如图1示意性地示出那样作为平面波8而传播，从声波导管的开口端作为球面波9而传播，进而到达容器a的液面上的气泡b，按此顺序高速地破坏气泡b。如此，在本实施方式中，由于在声波导管内产生的脉冲状声波在该声波导管内作为平面波而传播，从开口端作为球面波而传播，因此，具有使以往在自由空间大部分丢失了的冲击波的能量向开口端方向集中的效果。
另外，在本实施方式中，通过与声波导管的轴大致垂直地照射激光，由此，无需向液面照射激光，能够消除内容液因高强度激光而受到影响的顾虑。进而，由于能够使激光路与冲击波进行路分离，因此，对聚光光学系的制约减少，能够构建击穿效率高的聚光光学系。并且，通过利用反射聚光元件11反射激光，能够将脉冲激光路的末端送回到照射点。由此，能够将所照射的激光中的未被激光诱导击穿消耗的光使用于增强击穿，提高了效率，并且提高了安全性。此外，通过从气体导入口17向声波导管内导入气体(例如氮气气体等非活性气体、空气等)，由此，能够防止例如从容器的充填内容液产生的蒸汽侵入声波导管并进行污染。并且，通过将气体的导入口设置为位于声波导管内的照射点与开口端之间，由此，虽然空气中的氧气因激光诱导击穿而被离子化，产生臭氧，但能够防止该臭氧从开口端流出，进入容器内。
图2是本发明的其他实施方式所涉及的消泡装置20的剖视简图。与上述实施方式的消泡装置相同的结构标注相同的附图标记，并省略说明，仅对不同点进行说明。以下的其他实施方式也形成为相同。
图2所示的实施方式的消泡装置20的特征在于，声波导管21如附图所示那样形成为弯曲的形状。如图2所示，声波导管21弯曲成无法从开口端直接观察到位于照射点7的因激光诱导击穿而产生的等离子光的程度。由此，等离子光在声波导管的壁面被吸收，不传递到开口端。
图3是本发明的另一其他实施方式所涉及的消泡装置30的剖视简图。
本实施方式的消泡装置的特征在于，将声波导管31的周壁32的轴向截面形状形成为大致圆锥形状，并且将开口端形成为喇叭形状。通过将声波导管的轴向截面形状形成为大致圆锥形状，由此，能够进一步实现开口端的阻抗调整，能够产生更高的脉冲状声波。
图4是本发明的另一其他实施方式所涉及的消泡装置40的剖视简图。在本实施方式中，将声波导管41形成为更简单的圆筒形状，长度也缩短。
图5是本发明的另一其他实施方式所涉及的消泡装置50的剖视简图。本实施方式的特征在，将声波导管51的上端壁52形成为圆顶形状。通过像该实施方式那样将声波导管的与开口端相反一侧的端部形成为圆顶形状，由此，具有促进形成平面波的效果。
图6是本发明的另一其他实施方式所涉及的消泡装置60的剖视简图。在上述各实施方式中，虽然沿与声波导管的轴垂直的方向照射从脉冲激光振荡装置发出的经过振荡而得到的激光，但在本实施方式中，将脉冲激光振荡装置为与声波导管的轴心平行地照射激光。因此，在本实施方式中，将声波导管61的激光入射孔63设置于上端壁62。虽然希望激光基于上述理由而与声波导管的轴垂直地照射，但在受到消泡装置的设置场所等制约而无法横向设置脉冲激光振荡装置的情况下，也可以像本实施方式那样，将脉冲激光振荡装置设置为与声波导管位于同轴上。
以上，虽示出了本发明的消泡方法以及消泡装置的各种实施方式，但本发明并不局限于上述实施方式，只要能够使用在声波导管内产生的脉冲状声波瞬间破坏泡沫，其具体的方法并不特别限定，可以采用各种方法。
并且，本发明能够应用于PET瓶、瓶罐等具有比产生气泡的液面窄的开口部的窄口容器。一般来说，由于脉冲激光的重复周期以及脉冲宽度较短，因此，即使容器被搬动，实际上也能够作为静止的容器进行处理。对于一个容器，可以仅产生一次脉冲状声波，也可以在任意重复周期内产生多次脉冲状声波。可以照射单一的光束，也可以照射多个光束。并且，也能使用检流计反射镜等光学元件一边扫描光束一边产生多个脉冲状声波。
工业上的可利用性
本发明的消泡方法以及消泡装置特别适合于消除向罐、PET瓶、瓶罐、玻璃瓶、袋子等容器充填饮料等液体时产生的气泡，但并不局限于所采用的容器包装，例如，也可以利用对在豆腐制造工序等各种食品制造工序等的过程中产生的气泡进行的消泡、各种工业领域中的消泡机构。
Claims (12)
1.一种消泡方法，其特征在于，
所述消泡方法通过聚集脉冲状的激光来照射声波导管的内部空间，由此，以照射点作为声源而产生脉冲状声波，该脉冲状声波在声波导管内传播，破坏位于声波导管开口端的外部的气泡。
2.根据权利要求1所述的消泡方法，其特征在于，
沿与所述声波导管的轴沿大致垂直的方向照射所述激光。
3.根据权利要求2所述的消泡方法，其特征在于，
在所述激光的末端设置反射聚光元件，使通过所述照射点后的激光再次返回照射点。
4.根据权利要求1所述的消泡方法，其特征在于，
调整所述声波导管与外部空间之间的声波阻抗，抑制位于该声波导管的开口端的声波传播损失。
5.根据权利要求1所述的消泡方法，其特征在于，
将所述声波导管形成为曲管形状，使照射点的等离子光无法从开口端直接观察到。
6.根据权利要求1所述的消泡方法，其特征在于，
向所述声波导管之中通入气体。
7.一种消泡装置，
该消泡装置聚集脉冲状的激光，以照射点作为声源而产生脉冲状声波，利用该脉冲状声波来消除气泡，其特征在于，
所述消泡装置通过组合以下部件而构成：脉冲状激光振荡装置；聚光光学系，该聚光光学系使利用该脉冲状激光振荡装置进行振荡后的脉冲状激光聚光；以及声波导管，该声波导管具有供经由该聚光光学系而照射的所述脉冲状激光通过的激光入射孔，且配置为照射点位于管内部空间，该声波导管的开口端配置为，相对于消泡对象物的液面，面向铅直方向的上方。
8.根据权利要求7所述的消泡装置，其特征在于，
所述声波导管的激光入射孔形成于周壁，能够沿与所述声波导管的轴沿垂直的方向照射所述脉冲状的激光。
9.根据权利要求8所述的消泡装置，其特征在于，
在所述声波导管的周壁配置有反射聚光元件，以便在与所述激光入射孔相反一侧的位置形成激光通过孔，并且使所述声波导管内的所述照射点在该激光的通过孔的外侧成为焦点。
10.根据权利要求7所述的消泡装置，其特征在于，
所述声波导管的开口端形成为喇叭形状。
11.根据权利要求7所述的消泡装置，其特征在于，
将所述声波导管形成为曲管形状，以使得所述照射点的等离子光无法从开口端直接观察到。
12.根据权利要求7所述的消泡装置，其特征在于，
在比所述声波导管的周壁的所述激光入射孔靠近开口端的位置形成有气体导入孔，气体供给管与该气体导入孔连结。
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