CN102608753B - 波长可变干涉滤波器、光模块、光分析装置以及分析装置 - Google Patents

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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5919728B2 (ja) * 2011-10-26 2016-05-18 セイコーエプソン株式会社 分光測定装置
JP5811789B2 (ja) * 2011-11-09 2015-11-11 セイコーエプソン株式会社 分光測定装置
JP6098051B2 (ja) 2012-07-04 2017-03-22 セイコーエプソン株式会社 分光測定装置
JP5987573B2 (ja) * 2012-09-12 2016-09-07 セイコーエプソン株式会社 光学モジュール、電子機器、及び駆動方法
JP6255685B2 (ja) * 2013-03-25 2018-01-10 セイコーエプソン株式会社 光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
JP6115519B2 (ja) * 2014-05-27 2017-04-19 セイコーエプソン株式会社 Ｍｅｍｓ駆動装置、電子機器、及びｍｅｍｓ駆動方法
JP7006172B2 (ja) * 2017-11-21 2022-01-24 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、光学デバイス、光学モジュール、及び電子機器
JP7181784B2 (ja) * 2018-12-18 2022-12-01 浜松ホトニクス株式会社 モニタ装置、光学フィルタシステム、モニタ方法、電流発生装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5142414A (en) * 1991-04-22 1992-08-25 Koehler Dale R Electrically actuatable temporal tristimulus-color device
FR2768812B1 (fr) * 1997-09-19 1999-10-22 Commissariat Energie Atomique Interferometre fabry-perot accordable integre
GB2375184A (en) * 2001-05-02 2002-11-06 Marconi Caswell Ltd Wavelength selectable optical filter
NO20051850A (no) * 2005-04-15 2006-09-25 Sinvent As Infrarød deteksjon av gass - diffraktiv.
JP4548288B2 (ja) * 2005-09-22 2010-09-22 セイコーエプソン株式会社 波長可変フィルタ
JP4466634B2 (ja) * 2006-01-19 2010-05-26 セイコーエプソン株式会社 光学デバイス、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ
JP2008151544A (ja) * 2006-12-14 2008-07-03 Olympus Corp 可変分光素子、分光装置および内視鏡システム
JP5370246B2 (ja) * 2009-05-27 2013-12-18 セイコーエプソン株式会社 光フィルター、光フィルター装置、分析機器、および光フィルターの製造方法
JP2011164374A (ja) * 2010-02-10 2011-08-25 Seiko Epson Corp 波長可変干渉フィルター、及び波長可変干渉フィルターの製造方法。
JP5348032B2 (ja) * 2010-03-16 2013-11-20 セイコーエプソン株式会社 光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器
JP5720200B2 (ja) * 2010-11-25 2015-05-20 セイコーエプソン株式会社 光モジュール、および光測定装置
JP5673075B2 (ja) * 2010-12-21 2015-02-18 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置

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