CN102590086A - 圆形阳极的取样方法和检测方法 - Google Patents

Abstract

一种圆形阳极的取样方法和检测方法：提供圆形阳极；所述阳极由圆心至边缘分为若干层，或沿厚度方向由上至下分为若干层，在同一选取方向上至少选取三层进行取样。对各样本进行金相观察。所述方法由于截取的样本可以反映不同位置的特征，这样就能够获取整个阳极的组织结构信息，很好地实现了对圆形阳极的检测。

Description

圆形阳极的取样方法和检测方法

技术领域

本发明涉及电镀领域，尤其涉及圆形阳极的取样方法和检测方法。

背景技术

电镀(Electroplating)是利用电解原理在某些金属表面上镀上一薄层其它金属或合金的过程。其利用电解原理使金属或其它材料制件的表面附着一层金属膜，从而起到防止腐蚀，提高耐磨性、导电性、反光性及增进美观等作用。

在盛有电镀液的镀槽中，用经过清理和特殊预处理的待镀件作为阴极，镀覆金属作为阳极，两极分别与直流电源的负极和正极联接。电镀液由含有镀覆金属的化合物、导电的盐类、缓冲剂、pH调节剂和添加剂等的水溶液组成。通电后，电镀液中的金属离子，在电位差的作用下移动到阴极上形成镀层。阳极的金属形成金属离子进入电镀液，以保持被镀覆的金属离子的浓度。目前，可以选用高纯铜-磷合金作为阳极。

一般铜-磷合金阳极的制备工艺是将符合电镀性能的金属经塑性成形、粗加工和精加工等工艺，最后加工成尺寸合格的铜-磷合金阳极。在铜-磷合金阳极的制备工艺完成后，有必要对所述铜-磷合金阳极的组织结构进行检测，以确定铜-磷合金阳极的性能。

对铜-磷合金阳极的组织结构进行检测是从铜-磷合金阳极上截取小的样本，然后采用金相显微镜对所述样本进行金相观察，主要是观察样本的组织结构，如晶粒的大小、形状和取向等是否符合客户的要求。

现有技术中，对一个圆形阳极(半径100～150mm，厚度25～30mm)来说，截取一个样本并对其进行金相观察来获得阳极的组织结构信息。然而，各工艺步骤对阳极各个位置的处理有可能会有些许差异，而导致阳极的不同位置组织结构可能会不同，因此，在圆形阳极上只截取一个样本进行检测显然是不足以反映整个阳极的组织结构信息。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种圆形阳极的取样方法和检测方法，以实现圆形阳极组织结构的检测。包括：

提供圆形阳极，所述阳极由圆心至边缘分为若干层，或沿厚度方向由上至下分为若干层；

在同一选取方向上选取至少三层进行取样。

可选的，对于阳极由圆心至边缘分为若干层的，所述至少选取三层为圆心层、最边缘层和圆心至最边缘层之间的任意层。

可选的，对于沿厚度方向由上至下分为若干层的，所述至少选取三层为最上层、最下层和最上层至最下层之间的任意层。

可选的，对于阳极由圆心至边缘分为若干层的，由圆心到边缘对各层进行取样。

可选的，对于阳极沿厚度方向由上至下分为若干层的，由最上层至最下层对各层进行取样。

可选的，所述圆形阳极的取样方法还包括：

沿厚度方向由上至下选取至少三层进行取样；

沿圆心至边缘选取至少三层进行取样。

可选的，所述沿厚度方向由上至下选取至少三层进行取样为至少选取最上层、最下层和最上层至最下层之间的任意层进行取样，所述沿圆心至边缘选取至少三层进行取样为选取圆心层、最边缘层和圆心层至最边缘层之间的任意层进行取样。

可选的，所述圆形阳极的取样方法还包括：

对于阳极由圆心至边缘分为若干层的，对每层进行取样；

对于阳极沿厚度方向由上至下分为若干层的，对每层进行取样。

可选的，所述圆形阳极的半径为100～150mm，厚度为25～30mm。

可选的，各样本的长度为10～20mm，宽度为5～15mm，厚度为8～10mm。

可选的，对所述阳极沿厚度方向由上至下每隔1～3mm进行取样。

可选的，对所述阳极沿圆心至边缘每隔1～3mm进行取样。

可选的，所述圆形阳极的取样方法还包括：

对所述阳极沿厚度方向由上至下每隔1～3mm进行取样；

对所述阳极沿圆心至边缘每隔1～3mm进行取样。

可选的，所述圆形阳极的取样方法还包括：

对所述阳极沿厚度方向由上至下每隔1～3mm进行取样；

对所述阳极由圆心至边缘选取至少三层进行取样。

可选的，对所述阳极由圆心至边缘所述选取至少三层进行取样为至少在圆心层、最边缘层和圆心层至最边缘层之间的任意层进行取样。

可选的，所述圆形阳极的取样方法还包括：

对所述阳极沿厚度方向由上至下选取至少三层进行取样；

对所述阳极沿圆心至边缘每隔1～3mm进行取样。

可选的，对所述阳极沿厚度方向由上至下选取至少三层为选取最上层、最下层和最上层至最下层之间的任意层进行取样。

可选的，所述每隔1～3mm进行取样的样本的长度为10～20mm，宽度为5～15mm。

本发明还提供一种圆形阳极的检测方法，包括：

提供阳极，所述阳极由圆心至边缘分为若干层，或沿厚度方向由上至下分为若干层；

选取所述阳极上的至少三层进行取样；

对所述在同一选取方向上进行至少三层的取样样本进行检测。

可选的，对于阳极由圆心至边缘分为若干层的，所述至少选取三层为圆心层、最边缘层和圆心至最边缘层之间的任意层。

可选的，对于沿厚度方向由上至下分为若干层的，所述至少选取三层为最上层、最下层和最上层至最下层之间的任意层。

可选的，对于阳极由圆心至边缘分为若干层的，由圆心到边缘对各层进行取样。

可选的，对于阳极沿厚度方向由上至下分为若干层的，由最上层至最下层对各层进行取样。

可选的，所述一种圆形阳极的检测方法还包括：

沿厚度方向由上至下选取至少三层进行取样；

沿圆心至边缘选取至少三层进行取样。

可选的，所述沿厚度方向由上至下选取至少三层进行取样为至少选取最上层、最下层和最上层至最下层之间的任意层进行取样，所述沿圆心至边缘选取至少三层进行取样为选取圆心层、最边缘层和圆心层至最边缘层之间的任意层进行取样。

可选的，所述一种圆形阳极的检测方法还包括：

对于阳极由圆心至边缘分为若干层的，对每层进行取样；

对于阳极沿厚度方向由上至下分为若干层的，对每层进行取样。

可选的，所述圆形阳极的半径为100～150mm，厚度为25～30mm。

可选的，各样本的长度为10～20mm，宽度为5～15mm，厚度为8～10mm。

可选的，对所述阳极沿厚度方向由上至下每隔1～3mm进行取样。

可选的，对所述阳极沿圆心至边缘每隔1～3mm进行取样。

可选的，所述一种圆形阳极的检测方法还包括：

对所述阳极沿厚度方向由上至下每隔1～3mm进行取样，对所述阳极沿圆心至边缘每隔1～3mm进行取样。

可选的，所述一种圆形阳极的检测方法还包括：

对所述阳极沿厚度方向由上至下每隔1～3mm进行取样；

对所述阳极由圆心至边缘选取至少三层进行取样。

可选的，对所述阳极由圆心至边缘所述选取至少三层进行取样为至少在圆心层、最边缘层和圆心层至最边缘层之间的任意层进行取样。

可选的，所述一种圆形阳极的检测方法还包括：

对所述阳极沿厚度方向由上至下选取至少三层进行取样；

对所述阳极沿圆心至边缘每隔1～3mm进行取样。

可选的，对所述阳极沿厚度方向由上至下选取至少三层为选取最上层、最下层和最上层至最下层之间的任意层进行取样。

可选的，所述每隔1～3mm进行取样的样本的长度为10～20mm，宽度为5～15mm。

与现有技术相比，上述技术方案将所述圆形阳极由圆心至边缘分为若干层，或沿厚度方向由上至下分为若干层，至少选取三层进行取样，然后对所述样本进行检测，由于截取的样本可以反映不同位置的特征，这样就能够以较少和较小的样本获取整个圆形阳极的组织结构信息，很好地实现了对圆形阳极的检测。

附图说明

图1是本发明实施方式圆形阳极的取样方法的流程图；

图2是本发明实施方式圆形阳极的检测方法的流程图；

图3是本发明对圆形阳极进行取样的第一个实施例示意图；

图4是本发明对圆形阳极进行取样的第二个实施例示意图；

图5是本发明对圆形阳极进行取样的第三个实施例示意图；

图6是本发明对圆形阳极进行取样的第七个实施例示意图；

图7是本发明对圆形阳极进行取样的第八个实施例示意图；

图8是图2中所示步骤S13的一个实施例流程图。

具体实施方式

本发明实施方式在圆形阳极由圆心至边缘分为若干层，或沿厚度方向由上至下分为若干层，至少选取三层进行取样。所述截取的样本可以分别表征不同位置的组织结构特性，对所述各个样本进行检测，就可以获得整个圆形阳极的组织结构性能。

图1是本发明实施方式圆形阳极的取样方法的流程图，所述方法包括：

步骤S11，提供圆形阳极，所述圆形阳极由圆心至边缘分为若干层，或沿厚度方向由上至下分为若干层。

步骤S12，在同一选取方向上进行至少选取三层取样。

图2是本发明实施方式圆形阳极的检测方法的流程图，所述方法包括：

步骤S11，提供圆形阳极，所述圆形阳极由圆心至边缘分为若干层，或沿厚度方向由上至下分为若干层。

步骤S12，在同一选取方向上进行至少选取三层取样。

步骤S13，对各样本进行金相观察。

下面结合附图和实施例对上述各步骤进行详细说明。

步骤S11，提供圆形阳极，所述圆形阳极由圆心至边缘分为若干层，或沿厚度方向由上至下分为若干层。例如，半径为100～150mm，厚度为25～30mm的圆形阳极，可用于电镀等。所述圆形阳极的材料可以用金属(例如，铝、铜、钛等)或者合金(例如，铝合金、铜合金、钛合金等)通过常规的圆形阳极制备工艺获得，本实施例中所述圆形阳极的材料为铜-磷合金，纯度为99.99％以上。

所述圆形阳极由圆心至边缘分为若干层，或沿厚度方向由上至下分为若干层。

步骤S12，在同一选取方向上进行至少选取三层取样。

对于圆形阳极由圆心至边缘分为若干层的，所述至少选取三层为圆心层、最边缘层和圆心至最边缘层之间的任意层。

对于沿厚度方向由上至下分为若干层的，所述至少选取三层为最上层、最下层和最上层至最下层之间的任意层。

对于圆形阳极由圆心至边缘分为若干层的，还对每层进行取样。

对于沿厚度方向由上至下分为若干层的，还对每层进行取样。

还可以在所述阳极沿厚度方向由上至下分为若干层，至少选取最上层、最下层和最上层至最下层之间的任意层进行取样；在所述阳极由圆心至边缘分为若干层，至少选取圆心层、最边缘层和圆心层至最边缘层之间的任意层进行取样。

还可以还包括对于阳极由圆心至边缘分为若干层的，对每层进行取样；对于沿厚度方向由上至下分为若干层的，对每层进行取样。

还可以在所述阳极沿厚度方向由上至下每隔1～3mm进行取样。

还可以在所述阳极沿圆心至边缘每隔1～3mm进行取样。

还可以在所述阳极沿厚度方向由上至下每隔1～3mm进行取样并且在所述阳极沿圆心至边缘每隔1～3mm进行取样。

还可以在所述阳极沿厚度方向由上至下每隔1～3mm进行取样；在所述阳极由圆心至边缘选取至少三层进行取样，所述三层可以为在圆心层、最边缘层和圆心层至最边缘层之间的任意层进行取样。

还可以在所述阳极沿厚度方向由上至下选取至少三层进行取样，在所述阳极沿圆心至边缘每隔1～3mm进行取样。在所述阳极沿厚度方向由上至下选取至少三层可以为选取最上层、最下层和最上层至最下层之间的任意层进行取样。

由于阳极不同位置的组织结构可能会不同，这取决于金属或合金在阳极制备工艺中经过的不同处理。为了获得整个阳极的组织结构信息，需要对阳极不同位置的组织结构进行检测，因此，可以在阳极的不同位置截取样本。在阳极上截取样本的位置、大小至关重要，截取的样本可以反映不同位置的特征，这样能够以较少和较小的样本获取较多的信息，进而能反映整个阳极的组织结构信息。

请参考图3，其是对圆形阳极进行取样的第一个实施例示意图。如图3所示，本实施例中，在圆形阳极上截取的样本共有3个。具体来说，在圆形阳极1的半径为R，厚度为H，在阳极的中心至边缘截取圆心层、最边缘层和圆心至最边缘层之间的中心层进行取样，上述三个样本在同一个平面，而且在阳极的半径方向。如样本1、2和3。每个样本的大小相同，样本的大小确定一方面是为了便于后面的磨样，另一方面也是为了便于磨样后的金相观察，例如，样本的长度L1可以大约为10～20mm，宽度W1可以大约为5～15mm，厚度H1可以大约为8～10mm(其中，3个样本的总长度应不大于阳极的半径)。由于是在圆形阳极1的圆心层、最边缘层和圆心至最边缘层之间的第一中间层进行取样，所以可以反映整个圆形阳极的特征。

请参考图4，其是对圆形阳极进行取样的第二个实施例示意图。如图4所示，本实施例中，在圆形阳极上截取的样本共有3个。具体来说，在圆形阳极1的半径为R，厚度为H，在阳极的沿厚度方向由上至下选取最上层、最下层和最上层至最下层之间的中间层进行取样，上述三个样本在同一个平面，同一个方向。如样本4、5和6。每个样本的大小相同，样本的大小确定一方面是为了便于后面的磨样，另一方面也是为了便于磨样后的金相观察，例如，样本的长度L1可以大约为10～20mm，宽度W1可以大约为5～15mm，厚度H1可以大约为8～10mm(其中，3个样本的总厚度应不大于阳极的厚度)。由于是在圆形阳极1的沿厚度方向由上至下选取最上层、最下层和最上层至最下层之间的中间层进行取样，所以可以反映整个圆形阳极的特征。

请参考图5，其是对圆形阳极进行取样的第三个实施例示意图。如图所示，本实施例中，在圆形阳极上截取的样本共有9个。具体来说，圆形阳极1的半径为R，其厚度为H。在阳极1的沿厚度方向由上至下进行3列取样，每一列选取最上层、最下层和最上层至最下层之间的中间层进行取样，每一列的三个样本都在同一个平面，同一个方向，如样本11、12和13，样本14、15和16、样本17、18和19。在阳极1的中心至边缘进行3行取样，每一行截取圆心层、最边缘层和圆心至最边缘层之间的中心层进行取样，每一行的三个样本在同一个平面，而且在阳极的半径方向。如样本11、14和17，样本12、15和18，样本13、16和19。每个样本的大小相同，样本的大小确定一方面是为了便于后面的磨样，另一方面也是为了便于磨样后的金相观察，例如，样本的长度L1可以大约为10～20mm，宽度W1可以大约为5～15mm，厚度H1可以大约为8～10mm(其中，厚度方向自上而下的3个样本的总厚度应不大于阳极的厚度，由圆心至边缘方向的3个样本的总长度应不大于阳极的半径)。根据圆形阳极1的上述方式取样，可以进一步更好的反映整个圆形阳极的特征。

在第四个实施例中，对于阳极由圆心至边缘分为若干层的，还对每层进行取样。例如，对于阳极由圆心至边缘分为6层，可以对每层进行取样。

在第五个实施例中，在对于沿厚度方向由上至下分为若干层的，还对每层进行取样。例如，在对于沿厚度方向由上至下分为6层，还对每层进行取样。

在第六个实施例中，对于阳极由圆心至边缘分为若干层的，还对每层进行取样。在对于沿厚度方向由上至下分为若干层的，还对每层进行取样。

请参考图6，其是对圆形阳极进行取样的第七个实施例示意图。如图所示，本实施例中，可以在上述圆形阳极上截取9个样本之后继续截取18个样本，本实施例中截取的样本共有27个，所以图6的部分标号和图5相同。具体来说，在阳极1的沿厚度方向由上至下进行9列，每一列选取最上层、最下层和最上层至最下层之间的中间层进行取样，每一列的三个样本在同一个平面，同一个方向，如样本11、12和13，样本14、15、16，样本17、18和19，样本24、25、26，样本27，28，29，样本34、35、36，样本37、38、39，样本44，45，46和样本47、48、49。在阳极1的中心至边缘进行3行取样，每一行截取圆心层、最边缘层和圆心至最边缘层之间的中心层进行取样，每一行的三个样本在同一个平面，而且在阳极的半径方向。上一个实施例是从圆心至边缘的一条半径方向上取样，本实施例中与上一个实施例的不同为选取了四条半径方向进行取样，所述四条半径中的相邻的两条半径相差90度，如样本11、14和17，样本12、15和18，样本13、16和19，样本11、24和27，样本12、25和28，样本13、26和29，样本11、34和37，样本12、35和38，样本13、36和39，样本11、44和47，样本12、45和48，样本13、46和49。每个样本的大小相同，样本的大小确定一方面是为了便于后面的磨样，另一方面也是为了便于磨样后的金相观察，例如，样本的长度L1可以大约为10～20mm，宽度W1可以大约为5～15mm，厚度H1可以大约为8～10mm(其中，厚度方向自上而下的3个样本的总厚度应不大于阳极的厚度，由圆心至边缘方向的3个样本的总长度应不大于阳极的半径)。由于是在圆形阳极1的上述四条半径方向按照上述方式进行取样，在工艺条件和时间允许的情况下，可以更好的反映整个圆形阳极的特征。

请参考图7，其是对圆形阳极进行取样的第八个实施例示意图。如图7所示，本实施例中，在所述阳极2沿厚度方向由上至下分为若干层，每隔1～3mm(H2)进行取样。厚度方向如果每隔小于1mm分层取样，样品太小而导致的取样次数太多影响工作效率。本实施例中以厚度为30mm的圆形阳极为例，在所述阳极厚度方向每隔2mm进行取样，如样本110、111、112、113、114、115、116、117、118、119、120、121、122、123、124和125，样本210、211、212、213、214、215、216、217、218、219、220、221、222、223、224和225，样本310、311、312、313、314、315、316、317、318、319、320、321、322、323、324和325。在所述阳极2由圆心至边缘的圆心层、最边缘层和圆心层至最边缘层之间的中心层进行取样如样本110、210和310，样本111、211和311，样本112、212和312，样本113、213和313，样本114、214和314，样本115、215和315，样本116、216和316，样本117、217和317，样本118、218和318，样本119、219和319，样本120、220和320，样本121、221和321，样本122、222和322，样本123、223和323，样本124、224和324，样本125、225和325。每个样本的大小相同，样本的大小确定一方面是为了便于后面的磨样，另一方面也是为了便于磨样后的金相观察，例如，样本的长度L2可以大约为10～20mm，宽度W2可以大约为5～15mm，样本的厚度之和应不大于阳极的总厚度，样本的长度之和应不大于阳极的半径。上述在圆形阳极2的取样方式，可以更详细的反映整个圆形阳极的特征。

本实施例中可以从一条半径方向上取样，在本实施例的其他例中也可以从多条半径方向上取样。

在第九个实施例中，还可以在所述阳极沿厚度方向由上至下每隔1～3mm进行取样。

在第十个实施例中，还可以在所述阳极沿圆心至边缘每隔1～3mm进行取样。

在第十一个实施例中，还可以在所述阳极沿厚度方向由上至下每隔1～3mm进行取样并且在所述阳极沿圆心至边缘每隔1～3mm进行取样。

在第十二个实施例中，还可以在所述阳极沿厚度方向由上至下选取至少三层进行取样，在所述阳极沿圆心至边缘每隔1～3mm进行取样。在所述阳极沿厚度方向由上至下选取至少三层可以为选取最上层、最下层和最上层至最下层之间的任意层进行取样。

步骤S13，对各样本进行金相观察。金属和合金都是多晶体，也就是说，它们都由晶粒组成。所述金相观察是分析样本的微观结构，其主要是通过金相显微镜观察金属或合金样本来研究其组织结构，例如晶粒的大小、形状和取向等。

步骤S13包括：先对所述样本进行研磨、抛光和化学腐蚀处理，然后用金相显微镜观察所述处理后的样本的组织结构。图8是步骤S13的一个实施例流程图。

首先执行步骤S131，对所述样本进行研磨。用金相砂纸(例如金刚石研磨砂纸)研磨所述样本要观察的表面，可以先用粗砂纸磨，再用细砂纸磨，以得到平整的磨面。

然后执行步骤S132，对所述研磨后的样本进行机械抛光。可以用抛光布配合抛光膏(例如金刚石抛光膏)或抛光粉(例如氧化铝粉)对研磨后的样本进行机械抛光，或者也可以用旋转抛光机配合抛光膏或抛光粉对研磨后的样本进行机械抛光，以去除研磨样本产生的磨痕，使样本表面更光滑。

接着执行步骤S133，对所述机械抛光后的样本进行化学腐蚀。通常情况下，需要用腐蚀剂(例如硝酸铁)腐蚀金属或合金样本以呈现出微观结构，这样才能用金相显微镜观察金属的组织结构，因为腐蚀通常发生在晶界(即各晶粒的交界处)，因此可以将各个晶粒区分开来，本实施例选用50％的硝酸溶液作为铜-磷合金的腐蚀液。

最后执行步骤S134，用金相显微镜观察所述化学腐蚀后的样本。经化学腐蚀后，晶界被显现出来，这样就能够分辨出各个晶粒。用金相显微镜观察所述化学腐蚀后的样本所呈现的微观结构，判断晶粒的大小、形状和取向等是否符合客户的要求。如果各个样本的组织结构均符合客户的要求，则可以确定所述圆形阳极符合电镀的性能。

综上所述，上述实施例通过在圆形阳极的厚度方向分层取样，在半径方向按心中边取样，然后对所述样本进行检测，以确定整个圆形阳极电镀的性能。由于截取的样本可以反映不同位置的特征，这样就能够以较少和较小的样本获取整个圆形阳极的组织结构信息，很好地实现了对圆形阳极的检测。

虽然本发明已以较佳实施例披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (36)

1.一种圆形阳极的取样方法，其特征在于，包括：

提供圆形阳极，所述阳极由圆心至边缘分为若干层，或沿厚度方向由上至下分为若干层；

在同一选取方向上选取至少三层进行取样。

2.如权利要求1所述的圆形阳极的取样方法，其特征在于，对于阳极由圆心至边缘分为若干层的，所述至少选取三层为圆心层、最边缘层和圆心至最边缘层之间的任意层。

3.如权利要求1所述的圆形阳极的取样方法，其特征在于，对于沿厚度方向由上至下分为若干层的，所述至少选取三层为最上层、最下层和最上层至最下层之间的任意层。

4.如权利要求1所述的圆形阳极的取样方法，其特征在于，对于阳极由圆心至边缘分为若干层的，由圆心到边缘对各层进行取样。

5.如权利要求1所述的圆形阳极的取样方法，其特征在于，对于阳极沿厚度方向由上至下分为若干层的，由最上层至最下层对各层进行取样。

6.如权利要求1所述的圆形阳极的取样方法，其特征在于，还包括：

沿厚度方向由上至下选取至少三层进行取样；

沿圆心至边缘选取至少三层进行取样。

7.如权利要求6所述的圆形阳极的取样方法，其特征在于，所述沿厚度方向由上至下选取至少三层进行取样为至少选取最上层、最下层和最上层至最下层之间的任意层进行取样，所述沿圆心至边缘选取至少三层进行取样为选取圆心层、最边缘层和圆心层至最边缘层之间的任意层进行取样。

8.如权利要求1所述的圆形阳极的取样方法，其特征在于，还包括：

对于阳极由圆心至边缘分为若干层的，对每层进行取样；

对于阳极沿厚度方向由上至下分为若干层的，对每层进行取样。

9.如权利要求1所述的阳极的取样方法，其特征在于，所述圆形阳极的半径为100～150mm，厚度为25～30mm。

10.如权利要求1～9所述的圆形阳极的取样方法，其特征在于，各样本的长度为10～20mm，宽度为5～15mm，厚度为8～10mm。

11.如权利要求1所述的圆形阳极的取样方法，其特征在于，对所述阳极沿厚度方向由上至下每隔1～3mm进行取样。

12.如权利要求1所述的圆形阳极的取样方法，其特征在于，对所述阳极沿圆心至边缘每隔1～3mm进行取样。

13.如权利要求1所述的圆形阳极的取样方法，其特征在于，还包括：

对所述阳极沿厚度方向由上至下每隔1～3mm进行取样；

对所述阳极沿圆心至边缘每隔1～3mm进行取样。

14.如权利要求1所述的圆形阳极的取样方法，其特征在于，还包括：

对所述阳极沿厚度方向由上至下每隔1～3mm进行取样；

对所述阳极由圆心至边缘选取至少三层进行取样。

15.如权利要求14所述的圆形阳极的取样方法，其特征在于，所述对所述阳极由圆心至边缘选取至少三层进行取样为至少在圆心层、最边缘层和圆心层至最边缘层之间的任意层进行取样。

16.如权利要求1所述的圆形阳极的取样方法，其特征在于，还包括：

对所述阳极沿厚度方向由上至下选取至少三层进行取样；

对所述阳极沿圆心至边缘每隔1～3mm进行取样。

17.如权利要求16所述的圆形阳极的取样方法，其特征在于，对所述阳极沿厚度方向由上至下选取至少三层为选取最上层、最下层和最上层至最下层之间的任意层进行取样。

18.如权利要求11～17所述的圆形阳极的取样方法，其特征在于，所述每隔1～3mm进行取样的样本的长度为10～20mm，宽度为5～15mm。

19.一种圆形阳极的检测方法，其特征在于，包括：

提供阳极，所述阳极由圆心至边缘分为若干层，或沿厚度方向由上至下分为若干层；

选取所述阳极上的至少三层进行取样；

对所述在同一选取方向上进行至少三层的取样样本进行检测。

20.如权利要求19所述的圆形阳极的检测方法，其特征在于，对于阳极由圆心至边缘分为若干层的，所述至少选取三层为圆心层、最边缘层和圆心至最边缘层之间的任意层。

21.如权利要求19所述的圆形阳极的检测方法，其特征在于，对于沿厚度方向由上至下分为若干层的，所述至少选取三层为最上层、最下层和最上层至最下层之间的任意层。

22.如权利要求19所述的圆形阳极的检测方法，其特征在于，对于阳极由圆心至边缘分为若干层的，由圆心到边缘对各层进行取样。

23.如权利要求19所述的圆形阳极的检测方法，其特征在于，对于阳极沿厚度方向由上至下分为若干层的，由最上层至最下层对各层进行取样。

24.如权利要求19所述的圆形阳极的检测方法，其特征在于，还包括：

沿厚度方向由上至下选取至少三层进行取样；

沿圆心至边缘选取至少三层进行取样。

25.如权利要求24所述的圆形阳极的检测方法，其特征在于，所述沿厚度方向由上至下选取至少三层进行取样为至少选取最上层、最下层和最上层至最下层之间的任意层进行取样，所述沿圆心至边缘选取至少三层进行取样为选取圆心层、最边缘层和圆心层至最边缘层之间的任意层进行取样。

26.如权利要求19所述的圆形阳极的检测方法，其特征在于，还包括：

对于阳极由圆心至边缘分为若干层的，对每层进行取样；

对于阳极沿厚度方向由上至下分为若干层的，对每层进行取样。

27.如权利要求19所述的圆形阳极的检测方法，其特征在于，所述圆形阳极的半径为100～150mm，厚度为25～30mm。

28.如权利要求19～26所述的圆形阳极的检测方法，其特征在于，各样本的长度为10～20mm，宽度为5～15mm，厚度为8～10mm。

29.如权利要求19所述的圆形阳极的检测方法，其特征在于，对所述阳极沿厚度方向由上至下每隔1～3mm进行取样。

30.如权利要求19所述的圆形阳极的检测方法，其特征在于，对所述阳极沿圆心至边缘每隔1～3mm进行取样。

31.如权利要求19所述的圆形阳极的检测方法，其特征在于，还包括：

对所述阳极沿厚度方向由上至下每隔1～3mm进行取样，

对所述阳极沿圆心至边缘每隔1～3mm进行取样。

32.如权利要求19所述的圆形阳极的检测方法，其特征在于，还包括：

对所述阳极沿厚度方向由上至下每隔1～3mm进行取样；

对所述阳极由圆心至边缘选取至少三层进行取样。

33.如权利要求32所述的圆形阳极的检测方法，其特征在于，在所述阳极由圆心至边缘所述选取至少三层进行取样为至少在圆心层、最边缘层和圆心层至最边缘层之间的任意层进行取样。

34.如权利要求19所述的圆形阳极的检测方法，其特征在于，还包括：

在所述阳极沿厚度方向由上至下选取至少三层进行取样；

在所述阳极沿圆心至边缘每隔1～3mm进行取样。

35.如权利要求34所述的圆形阳极的检测方法，对所述阳极沿厚度方向由上至下选取至少三层为选取最上层、最下层和最上层至最下层之间的任意层进行取样。

36.如权利要求29～35所述的圆形阳极的检测方法，其特征在于，所述每隔1～3mm进行取样的样本的长度为10～20mm，宽度为5～15mm。

Images