CN102559084A - 两面粘合带和研磨构件 - Google Patents

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池田功一
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Abstract

本发明的某实施方式的两面粘合带,包含成为与平台的粘合面的第1粘合剂层、成为与研磨构件的粘合面的第2粘合剂层、和第1粘合剂层与第2粘合剂层之间的基材。在这样的层构成的两面粘合带中,第1粘合剂层的环形粘性粘合力为16N/50mm以下。

Description

两面粘合带和研磨构件
技术领域
本发明涉及用于将研磨构件固定于平台的两面粘合带,该研磨构件用于液晶用玻璃等被研磨材料的研磨。
背景技术
目前为止,已知对液晶用玻璃、硅片、硬盘基板等的表面进行研磨的研磨装置。研磨装置中,在将支持被研磨构件的研磨垫固定于平台时,或在将研磨布固定于平台时,使用了两面粘合带。
近年来,例如,伴随着液晶显示器的大型化,液晶用玻璃的大型化在进展。为了研磨大型化的被研磨构件,在研磨装置中使用的研磨垫、研磨布(以下也将研磨垫和研磨布总称为研磨构件)也不断大型化,为了应对将大型化后的研磨垫、研磨布固定于平台的要求,宽幅的两面粘合带已变得必要。例如,作为宽幅的两面粘合带,开发了基材膜的宽度为2m以上的两面粘合带。
现有技术文献
专利文献1:日本特开2010-90359号公报
伴随着两面粘合带的大型化,两面粘合带的处理难度在增加。因此,将一个粘合面粘接于研磨构件的两面粘合带的另一粘合面粘接于平台时的位置确定变得困难,为了将两面粘合带粘接于规定的位置,不得不重新粘贴。这种情况下,对于以往的两面粘合带,由于对于平台的粘接力过强,因此难以重新粘贴。此外,如果将一度在平台粘接的两面粘合带剥离,在平台表面残留两面粘合带的粘合剂(糊),因此两面粘合带的重新粘贴变得困难。如果不能进行两面粘合带的重新粘贴,最终两面粘合带的粘贴失败,则必须更换研磨构件。这种情况下,伴随着研磨构件的大型化,研磨构件变得价格高,因此存在损失增大的问题。
发明内容
本发明鉴于这样的课题而完成,其目的在于提供特别使用大型化(大面积化·宽幅化)的两面粘合带将研磨构件固定于平台时能够使重新粘贴容易的技术。
本发明的某方案是两面粘合带。该两面粘合带的特征在于,具有基材、在基材的一面设置的第1粘合剂层、在基材的另一面设置的第2粘合剂层、和层叠于第1粘合剂层和/或第2粘合剂层的剥离衬里,第1粘合剂层对于SUS板的环形粘性粘合力为16N/50mm以下。
根据该方案的两面粘合带,在将研磨构件固定于第2粘合剂层的状态下将第1粘合剂层粘接于平台后,需要重新粘贴、位置修正的情况下,能够容易地将第1粘合剂层从平台剥离。
在所述方案的两面粘合带中,第1粘合剂层可以是以天然橡胶和/或合成橡胶为主成分的橡胶系粘合剂层。第2粘合剂层可以是以丙烯酸系聚合物为主成分的丙烯酸系粘合剂层。丙烯酸系聚合物可以以(甲基)丙烯酸烷基酯为单体主成分。在将研磨构件粘接于第2粘合剂层的状态下,可将第1粘合剂层能以能装卸的方式固定于研磨装置的平台。可以将两面粘合带卷绕成卷状,并且卷绕体的宽度方向的长度是3000mm以下。
本发明的另一方案是研磨构件。该研磨构件的特征在于,将所述的任一方案的两面粘合带的第2粘合剂层粘贴于表面。
附图说明
图1是表示实施方式涉及的两面粘合带的构成的概略截面图。
图2中图2(A)乃至图2(D)是表示环形粘性粘合力的测定方法的概略图。
具体实施方式
以下参照附图对本发明的实施方式进行说明。这些实施方式对本发明没有限定作用,只是举例说明。
图1是表示实施方式涉及的两面粘合带10的构成的简要截面图。两面粘合带10具有基材20、第1粘合剂层30、第2粘合剂层40、剥离衬里50a和剥离衬里50b。作为本实施方式的两面粘合带10的用途,可以列举研磨布、研磨垫等研磨构件在用于研磨液晶用玻璃等被研磨构件的研磨装置的平台上的固定。
(基材)
基材20可以使用塑料膜、纸、金属箔、织布、无纺布等,并无特别限定,但从强度、厚度精度方面出发,优选塑料膜。作为塑料膜,可以使用聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚对苯二甲酸丁二醇酯等聚酯系膜、聚乙烯、聚丙烯等聚烯烃系膜等。作为基材的厚度,并无特别限定,例如为10μm~300μm,优选为25μm~100μm。
(第1粘合剂层)
第1粘合剂层30是在基材20的一面设置的粘合剂层,用于与研磨装置的平台的粘接。本实施方式的第1粘合剂层30,第1粘合剂层30对于SUS板的环形粘性粘合力为16N/50mm以下,优选为13N/50mm以下,更优选为10N/50mm以下(作为下限值,为1N/50mm以上)。本发明的两面粘合带,通过使第1粘合剂层30的环形粘性粘合力为所述范围,将第1粘合剂层粘接于研磨装置的平台后,需要重贴、位置修正时,能够容易地将第1粘合剂层从平台剥离。该效果特别在使两面粘合带宽幅化(宽度为2100mm以上3000mm以下,优选2500mm以上3000mm以下)的情况下变得显著。环形粘性粘合力采用后述的测定方法求出。第1粘合剂层30的厚度例如为20μm~100μm。
就第1粘合剂层30的成分而言,只要环形粘性粘合力为16N/50mm以下,则并无特别限定,但优选使用以天然橡胶和/或合成橡胶为主成分的粘合剂层。
用于第1粘合剂层30的合成橡胶,并无特别限定,但可以列举例如苯乙烯-异戊二烯-苯乙烯嵌段共聚物、苯乙烯-丁二烯-苯乙烯嵌段共聚物、所述苯乙烯系嵌段共聚物的氢化物、苯乙烯-丁二烯橡胶(SBR)、聚异戊二烯橡胶(IR)、聚异丁烯(PIB)、丁基橡胶(IIR)等。此外,作为用于第1粘合剂层30的天然橡胶,并无特别限定,但用塑炼辊进行塑炼,按照使门尼粘度为例如10~100左右的方式进行调整而使用。
关于第1粘合剂层30,除了所述天然橡胶和/或合成橡胶以外,可以含有增粘剂。作为增粘剂,可以列举萜烯酚醛树脂、松香系树脂、石油系树脂等。增粘剂的使用量可在环形粘性粘合力为16N/50mm以下的范围内适当选择,相对于天然橡胶和/或合成橡胶100质量份,例如为20~150质量份。特别是作为本发明的第1粘合剂层中使用的粘合剂组合物,从将环形粘性粘合力调节为特定范围的观点出发,优选将天然橡胶和苯乙烯-异戊二烯-苯乙烯嵌段共聚物并用,进而以酚改性松香和异氰酸酯交联剂为必须成分。推测这是因为酚改性松香和异氰酸酯交联剂容易进入作为主聚合物的天然橡胶/合成橡胶之间,因此在维持粘合剂的坚固性的状态下,使粘合特性显现而发挥作用。
在第1粘合剂层30中,除了所述的成分以外,可以根据需要含有软化剂、增塑剂、填充剂、防老化剂、着色剂等适当的添加剂。
(第2粘合剂层)
第2粘合剂层40是在基材20的另一面设置的粘合剂层,用于研磨构件的粘接。第2粘合剂层40的厚度例如为20μm~100μm。
关于第2粘合剂层40,只要对于研磨构件的粘接力充分,则并无特别限定,可以列举以丙烯酸系聚合物为主成分的粘合剂层、以热塑性聚合物为主成分的热胶粘剂层。
用于第2粘合剂层40的丙烯酸系聚合物,作为单体单元,含有50质量%以上的具有碳数1~20的烷基的(甲基)丙烯酸烷基酯。所述丙烯酸系聚合物可以将具有碳数1~20的烷基的(甲基)丙烯酸烷基酯单独使用或者将2种以上组合使用。关于丙烯酸系聚合物,可以通过与聚合引发剂一起使(甲基)丙烯酸烷基酯聚合(例如溶液聚合、乳液聚合、UV聚合)而得到。
具有碳数1~20的烷基的(甲基)丙烯酸烷基酯的比例,相对于用于制备丙烯酸系聚合物的单体成分总量,为50质量%以上99.9质量%以下,优选为60质量%以上,更优选为70质量%以上。
作为具有碳数1~20的烷基的(甲基)丙烯酸烷基酯,可以列举例如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸异戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸庚酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸异辛酯、(甲基)丙烯酸壬酯、(甲基)丙烯酸异壬酯、(甲基)丙烯酸癸酯、(甲基)丙烯酸异癸酯、(甲基)丙烯酸十一烷基酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、(甲基)丙烯酸十三烷基酯、(甲基)丙烯酸十四烷基酯、(甲基)丙烯酸十五烷基酯、(甲基)丙烯酸十六烷基酯、(甲基)丙烯酸十七烷基酯、(甲基)丙烯酸十八烷基酯、(甲基)丙烯酸十九烷基酯、(甲基)丙烯酸二十烷基酯等(甲基)丙烯酸C1-20烷基酯,优选(甲基)丙烯酸C2-14烷基酯,更优选(甲基)丙烯酸C2-10烷基酯等。应予说明,所谓(甲基)丙烯酸烷基酯,是指丙烯酸烷基酯和/或甲基丙烯酸烷基酯,“(甲基)…”全部是相同的含义。
作为(甲基)丙烯酸烷基酯以外的(甲基)丙烯酸酯,可以列举例如(甲基)丙烯酸环戊酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯等具有脂环式烃基的(甲基)丙烯酸酯,(甲基)丙烯酸苯酯等具有芳香族烃基的(甲基)丙烯酸酯、由萜烯化合物衍生物醇得到的(甲基)丙烯酸酯等。
应予说明,关于丙烯酸系聚合物,以凝聚力、耐热性、交联性等的改性为目的,根据需要可以包含能够与所述(甲基)丙烯酸烷基酯共聚的其他单体成分(共聚性单体)。因此,丙烯酸系聚合物可以与作为主成分的、(甲基)丙烯酸烷基酯一起包含共聚性单体。作为共聚性单体,可以适当使用具有极性基团的单体。
作为共聚性单体的具体例,可以列举丙烯酸、甲基丙烯酸、丙烯酸羧乙酯、丙烯酸羧戊酯、衣康酸、马来酸、富马酸、巴豆酸、异巴豆酸等含有羧基的单体;(甲基)丙烯酸羟乙酯、(甲基)丙烯酸羟丙酯、(甲基)丙烯酸羟丁酯、(甲基)丙烯酸羟己酯、(甲基)丙烯酸羟辛酯、(甲基)丙烯酸羟癸酯、(甲基)丙烯酸羟月桂酯、甲基丙烯酸(4-羟甲基环己基)甲酯等(甲基)丙烯酸羟烷酯等含有羟基的单体;马来酸酐、衣康酸酐等含有酸酐基的单体;苯乙烯磺酸、烯丙基磺酸、2-(甲基)丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸、(甲基)丙烯酰胺丙磺酸、(甲基)丙烯酸磺丙酯、(甲基)丙烯酰氧基萘磺酸等含有磺酸基的单体;2-羟乙基丙烯酰基磷酸酯等含有磷酸基的单体;(甲基)丙烯酰胺、N,N-二甲基(甲基)丙烯酰胺、N,N-二乙基(甲基)丙烯酰胺、N-异丙基(甲基)丙烯酰胺、N-丁基(甲基)丙烯酰胺、N-羟甲基(甲基)丙烯酰胺、N-羟甲基丙烷(甲基)丙烯酰胺、N-甲氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、N-丁氧基甲基(甲基)丙烯酰胺等(N-取代)酰胺系单体;N-(甲基)丙烯酰氧基亚甲基琥珀酰亚胺、N-(甲基)丙烯酰基-6-氧六亚甲基琥珀酰亚胺、N-(甲基)丙烯酰基-8-氧六亚甲基琥珀酰亚胺等琥珀酰亚胺系单体;N-环己基马来酰亚胺、N-异丙基马来酰亚胺、N-月桂基马来酰亚胺、N-苯基马来酰亚胺等马来酰亚胺系单体;N-甲基衣康酰亚胺、N-乙基衣康酰亚胺、N-丁基衣康酰亚胺、N-辛基衣康酰亚胺、N-2-乙基己基衣康酰亚胺、N-环己基衣康酰亚胺、N-月桂基衣康酰亚胺等衣康酰亚胺系单体;醋酸乙烯酯、丙酸乙烯酯等乙烯酯类;N-乙烯基-2-吡咯烷酮、N-甲基乙烯基吡咯烷酮、N-乙烯基吡啶、N-乙烯基哌啶酮、N-乙烯基嘧啶、N-乙烯基哌嗪、N-乙烯基吡嗪、N-乙烯基吡咯、N-乙烯基咪唑、N-乙烯基噁唑、N-(甲基)丙烯酰基-2-吡咯烷酮、N-(甲基)丙烯酰基哌啶、N-(甲基)丙烯酰基吡咯烷、N-乙烯基吗啉等含有氮的杂环系单体;N-乙烯基羧酰胺类;N-乙烯基己内酰胺等内酰胺系单体;丙烯腈、甲基丙烯腈等氰基丙烯酸酯单体;(甲基)丙烯酸氨基乙酯、(甲基)丙烯酸N,N-二甲基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸N,N-二甲基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸叔-丁基氨基乙酯等(甲基)丙烯酸氨基烷酯系单体;(甲基)丙烯酸甲氧基乙酯、(甲基)丙烯酸乙氧基乙酯等(甲基)丙烯酸烷氧基烷酯系单体;苯乙烯、α-甲基苯乙烯等苯乙烯系单体;(甲基)丙烯酸缩水甘油酯等含有环氧基的丙烯酸系单体;(甲基)丙烯酸聚乙二醇酯、(甲基)丙烯酸聚丙二醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基乙二醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基聚丙二醇酯等二元醇系丙烯酸酯单体;(甲基)丙烯酸四氢糠酯、氟(甲基)丙烯酸酯、有机硅(甲基)丙烯酸酯等具有杂环、卤素原子、硅原子等的丙烯酸酯系单体;异戊二烯、丁二烯、异丁烯等烯烃系单体;甲基乙烯基醚、乙基乙烯基醚等乙烯基醚系单体、巯基乙酸;醋酸乙烯酯、丙酸乙烯酯等乙烯基酯类;苯乙烯、乙烯基甲苯等芳香族乙烯基化合物;乙烯、丁二烯、异戊二烯、异丁烯等烯烃或二烯类;乙烯基烷基醚等乙烯基醚类;氯乙烯;(甲基)丙烯酸甲氧基乙酯、(甲基)丙烯酸乙氧基乙酯等(甲基)丙烯酸烷氧基烷酯系单体;乙烯基磺酸钠等含有磺酸基的单体;环己基马来酰亚胺、异丙基马来酰亚胺等含有酰亚胺基的单体;(甲基)丙烯酸2-异氰酸酯基乙酯等含有异氰酸酯基的单体;含有氟原子的(甲基)丙烯酸酯;含有硅原子的(甲基)丙烯酸酯等。应予说明,这些共聚性单体可以使用1种或2种以上。
丙烯酸系聚合物,在与作为主成分的(甲基)丙烯酸烷基酯一起含有共聚性单体的情况下,可以适当使用含羧基单体。其中,可以适当使用丙烯酸。作为共聚性单体的使用量,并无特别限制,通常相对于用于制备所述丙烯酸系聚合物的单体成分总量,可以含有0.1~30质量%、优选0.5~20质量%、更优选1~15质量%的共聚性单体。
通过含有0.1质量%以上的共聚性单体,能够防止含有丙烯酸系粘合剂的丙烯酸系粘合带或片的凝聚力的降低,能够获得高剪切力。此外,通过使共聚性单体的含量为30质量%以下,能够防止凝聚力变高,能够改善常温(25℃)下的粘性感。
此外,在丙烯酸系聚合物中,为了调节所形成的丙烯酸系粘合剂的凝聚力,可以根据需要含有多官能性单体。
作为多官能性单体,可以列举例如(聚)乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、(聚)丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、1,2-乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,12-十二烷二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、四羟甲基甲烷三(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸乙烯酯、二乙烯基苯、环氧丙烯酸酯、聚酯丙烯酸酯、氨基甲酸酯丙烯酸酯、丁基二(甲基)丙烯酸酯、己基二(甲基)丙烯酸酯等。其中,可以适当使用三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、己二醇二(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯。多官能(甲基)丙烯酸酯可单独或者将2种以上组合使用。
作为多官能性单体的使用量,因其分子量、官能团数等而异,相对于用于制备丙烯酸系聚合物的单体成分总量,为0.01~3.0质量%,优选为0.02~2.0质量%,进一步优选以达到0.03~1.0质量%的方式进行添加。
关于多官能性单体的使用量,相对于用于制备丙烯酸系聚合物的单体成分总量,如果超过3.0质量%,例如,存在丙烯酸系粘合剂的凝聚力过度升高、粘接力降低的情形等。另一方面,如果小于0.01质量%,例如,存在丙烯酸系粘合剂的凝聚力降低的情形等。
<聚合引发剂>
在制备丙烯酸系聚合物时,利用使用了热聚合引发剂、光聚合引发剂(光引发剂)等聚合引发剂的利用热、紫外线的固化反应,能够容易地形成丙烯酸系聚合物。特别是从能够缩短聚合时间的优点等出发,可以适当使用光聚合引发剂。聚合引发剂可以单独或者将2种以上组合使用。
作为热聚合引发剂,可以列举例如偶氮系聚合引发剂[例如2,2′-偶氮二异丁腈、2,2′-偶氮双-2-甲基丁腈、2,2′-偶氮双(2-甲基丙酸)二甲酯、4,4′-偶氮双-4-氰基戊酸、偶氮二异戊腈、2,2′-偶氮双(2-脒基丙烷)二盐酸盐、2,2′-偶氮双[2-(5-甲基-2-咪唑啉-2-基)丙烷]二盐酸盐、2,2′-偶氮双(2-甲基丙脒)二硫酸盐、2,2′-偶氮双(N,N′-二亚甲基异丁基脒)二盐酸盐等]、过氧化物系聚合引发剂(例如过氧化二苯甲酰、过马来酸叔丁酯、过氧化月桂酰等)、氧化还原系聚合引发剂等。
作为热聚合引发剂的使用量,并无特别限制,可以是以往作为热聚合引发剂可利用的范围。
作为光聚合引发剂,并无特别限制,可以使用例如苯偶姻醚系光聚合引发剂、苯乙酮系光聚合引发剂、α-酮醇系光聚合引发剂、芳香族磺酰氯系光聚合引发剂、光活性肟系光聚合引发剂、苯偶姻系光聚合引发剂、偶苯酰系光聚合引发剂、二苯甲酮系光聚合引发剂、缩酮系光聚合引发剂、噻吨酮系光聚合引发剂、酰基氧化膦系光聚合引发剂等。
具体地,作为苯偶姻醚系光聚合引发剂,可以列举例如苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻丙醚、苯偶姻异丙醚、苯偶姻异丁醚、2,2-二甲氧基-1,2-二苯基乙烷-1-酮[BASF公司制、商品名:Irgacure 651]、茴香醚甲基醚等。作为苯乙酮系光聚合引发剂,可以列举例如1-羟基环己基苯基酮[BASF公司制、商品名:Irgacure 184]、4-苯氧基二氯苯乙酮、4-叔-丁基-二氯苯乙酮、1-[4-(2-羟基乙氧基)-苯基]-2-羟基-2-甲基-1-丙烷-1-酮[BASF公司制、商品名:Irgacure 2959]、2-羟基-2-甲基-1-苯基-丙烷-1-酮[BASF公司制、商品名:Glocure 1173]、甲氧基苯乙酮等。作为α-酮醇系光聚合引发剂,可以列举例如2-甲基-2-羟基苯丙酮、1-[4-(2-羟基乙基)-苯基]-2-羟基-2-甲基丙烷-1-酮等。作为芳香族磺酰氯系光聚合引发剂,可以列举例如2-萘磺酰氯等。作为光活性肟系光聚合引发剂,可以列举例如1-苯基-1,1-丙二酮-2-(邻-乙氧基羰基)-肟等。
此外,苯偶姻系光聚合引发剂中包含例如苯偶姻等。偶苯酰系光聚合引发剂中包含例如偶苯酰等。二苯甲酮系光聚合引发剂中包含例如二苯甲酮、苯甲酰基苯甲酸、3,3′-二甲基-4-甲氧基二苯甲酮、多乙烯基二苯甲酮、α-羟基环己基苯基酮等。缩酮系光聚合引发剂中包含例如苄基二甲基缩酮等。噻吨酮系光聚合引发剂中包含例如噻吨酮、2-氯噻吨酮、2-甲基噻吨酮、2,4-二甲基噻吨酮、异丙基噻吨酮、2,4-二氯噻吨酮、2,4-二乙基噻吨酮、异丙基噻吨酮、2,4-二异丙基噻吨酮、十二烷基噻吨酮等。
作为酰基膦系光聚合引发剂,可以列举例如双(2,6-二甲氧基苯甲酰基)苯基氧化膦、双(2,6-二甲氧基苯甲酰基)(2,4,4-三甲基戊基)氧化膦、双(2,6-二甲氧基苯甲酰基)-正-丁基氧化膦、双(2,6-二甲氧基苯甲酰基)-(2-甲基丙烷-1-基)氧化膦、双(2,6-二甲氧基苯甲酰基)-(1-甲基丙烷-1-基)氧化膦、双(2,6-二甲氧基苯甲酰基)-叔-丁基氧化膦、双(2,6-二甲氧基苯甲酰基)环己基氧化膦、双(2,6-二甲氧基苯甲酰基)辛基氧化膦、双(2-甲氧基苯甲酰基)(2-甲基丙烷-1-基)氧化膦、双(2-甲氧基苯甲酰基)(1-甲基丙烷-1-基)氧化膦、双(2,6-二乙氧基苯甲酰基)(2-甲基丙烷-1-基)氧化膦、双(2,6-二乙氧基苯甲酰基)(1-甲基丙烷-1-基)氧化膦、双(2,6-二丁氧基苯甲酰基)(2-甲基丙烷-1-基)氧化膦、双(2,4-二甲氧基苯甲酰基)(2-甲基丙烷-1-基)氧化膦、双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)(2,4-二戊氧基苯基)氧化膦、双(2,6-二甲氧基苯甲酰基)苄基氧化膦、双(2,6-二甲氧基苯甲酰基)-2-苯基丙基氧化膦、双(2,6-二甲氧基苯甲酰基)-2-苯基乙基氧化膦、双(2,6-二甲氧基苯甲酰基)苄基氧化膦、双(2,6-二甲氧基苯甲酰基)-2-苯基丙基氧化膦、双(2,6-二甲氧基苯甲酰基)-2-苯基乙基氧化膦、2,6-二甲氧基苯甲酰基苄基丁基氧化膦、2,6-二甲氧基苯甲酰基苄基辛基氧化膦、双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-2,5-二异丙基苯基氧化膦、双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-2-甲基苯基氧化膦、双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-4-甲基苯基氧化膦、双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-2,5-二乙基苯基氧化膦、双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-2,3,5,6-四甲基苯基氧化膦、双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-2,4-二-正-丁氧基苯基氧化膦、2,4,6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦、双(2,6-二甲氧基苯甲酰基)-2,4,4-三甲基戊基氧化膦、双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)异丁基氧化膦、2,6-二甲氧基(メチトキシ)苯甲酰基-2,4,6-三甲基苯甲酰基-正-丁基氧化膦、双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)苯基氧化膦、双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-2,4-二丁氧基苯基氧化膦、1,10-双[双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)氧化膦]癸烷、三(2-甲基苯甲酰基)氧化膦等。
这些中,特别优选双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)苯基氧化膦[BASF公司制、商品名:Irgacure 819]、双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-2,4-二-正-丁氧基苯基氧化膦、2,4,6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦[BASF公司制、商品名:Lucirin TPO]、双(2,6-二甲氧基苯甲酰基)-2,4,4-三甲基戊基氧化膦。
作为光聚合引发剂的使用量,并无特别限制,例如,相对于制备丙烯酸系聚合物的单体成分100质量份,以0.01~5质量份、优选0.05~3质量份、更优选0.08~2质量份的范围内的量进行配合。
在这里,光聚合引发剂的使用量如果比0.01质量份少,则有聚合反应变得不充分的情况。光聚合引发剂的使用量如果超过5质量份,有时由于光聚合引发剂吸收紫外线,而紫外线不到达粘合剂层内部,产生聚合率的降低,或生成的聚合物的分子量变小,由此形成的粘合剂层的凝聚力降低,将粘合剂层从膜剥离时,粘合剂层的一部分会残留于膜,不能进行膜的再利用。应予说明,光聚合性引发剂可单独或者将2种以上组合使用。
为了调节凝聚力,在所述的多官能性单体以外,也可以使用交联剂。交联剂可以使用通常使用的交联剂,可以列举例如环氧系交联剂、异氰酸酯系交联剂、有机硅系交联剂、噁唑啉系交联剂、吖丙啶系交联剂、硅烷系交联剂、烷基醚化蜜胺系交联剂、金属螯合物系交联剂等。可以特别优选地使用异氰酸酯系交联剂、环氧系交联剂。
具体而言,作为异氰酸酯系交联剂的实例,可以列举甲苯二异氰酸酯、六亚甲基二异氰酸酯、异佛尔酮二异氰酸酯、苯二亚甲基二异氰酸酯、氢化苯二亚甲基二异氰酸酯、二苯基甲烷二异氰酸酯、氢化二苯基甲烷二异氰酸酯、四甲基苯二亚甲基二异氰酸酯、萘二异氰酸酯、三苯基甲烷三异氰酸酯、多亚甲基多苯基异氰酸酯和这些的与三羟甲基丙烷等多元醇的加成体。
作为环氧系交联剂,可以列举双酚A、表氯醇型的环氧系树脂、乙二醇缩水甘油醚、聚乙二醇二缩水甘油醚、甘油二缩水甘油醚、甘油三缩水甘油醚、1,6-己二醇缩水甘油醚、三羟甲基丙烷三缩水甘油醚、二缩水甘油基苯胺、二胺缩水甘油胺(ジアミングリシジルアミン)、N,N,N′,N′-四缩水甘油基-间-苯二甲胺和1,3-双(N,N′-二胺缩水甘油基氨基甲基)环己烷等。作为这些交联剂的添加量,并无特别限定,相对于丙烯酸系聚合物100质量份,例如为0.001~10质量份。
在以丙烯酸系聚合物为主成分的粘合剂中,除了所述的成分以外,根据需要可以含有增粘剂、软化剂、增塑剂、填充剂、防老化剂、着色剂等适当的添加剂。
作为增粘剂,可以使用例如松香系增粘剂、萜烯系增粘剂、酚系增粘剂、石油系增粘剂等增粘剂。
用于第2粘合剂层40的热塑性聚合物,只要加热熔融、能够发挥粘接性,则并无特别限定,优选例示以苯乙烯系嵌段共聚物为基础聚合物、还配合了增粘剂的组成的热粘合剂。
作为所述苯乙烯系嵌段共聚物,优选例示例如苯乙烯-共轭二烯嵌段共聚物。作为苯乙烯-共轭二烯嵌段共聚物,优选使用苯乙烯聚合物的嵌段和共轭二烯聚合物的嵌段交替存在的A-B-A型嵌段共聚物。具体而言,可以列举苯乙烯和丁二烯、异戊二烯等共轭二烯的嵌段共聚物、或者其氢化物,从耐久性方面出发,优选苯乙烯-丁二烯-苯乙烯嵌段共聚物乃至其氢化物。
作为这样的苯乙烯-共轭二烯嵌段共聚物中的苯乙烯聚合物的含量(以下称为苯乙烯含量),通常为10~40重量%,优选为13~35重量%。此外,作为共聚物整体的重均分子量,优选5万~70万,更优选为10万~40万。
作为所述增粘剂,可以列举例如松香系树脂、萜烯系树脂、石油系树脂、氢化石油系树脂、脂肪族烃系树脂、芳香族烃系树脂等。其中,优选使用苯乙烯系增粘树脂作为必须成分之一,优选相对于苯乙烯系嵌段共聚物100重量份,使用苯乙烯系增粘树脂10~100重量份,优选20~70重量份。通过这样的配合,在室温下粘性小,容易进行用于固定研磨构件的位置确定作业,另一方面,该位置确定后通过进行加热,能够容易地粘接,因此优选。此外,除了所述苯乙烯系增粘树脂以外,优选还并用其以外的增粘剂,这种情况下,增粘剂的合计量(苯乙烯系增粘树脂和其以外的增粘剂的合计量)相对于苯乙烯系嵌段共聚物100重量份,优选以成为40~200重量份的范围的方式进行配合。
(剥离衬里)
剥离衬里50a层叠于第1粘合剂层30的与基材20的相反侧的粘合面。剥离衬里50a从露出面起依次具有(A)聚合物层52a和(B)纸基材层54a。
(A)聚合物层52a选自由聚乙烯、聚丙烯、乙烯-丙烯共聚物或它们的混合物组成的聚烯烃。聚合物层52a的厚度例如为10μm~300μm。
(B)纸基材层54a选自玻璃纸、牛皮纸、优质纸。纸基材层54a的厚度例如为50μm~200μm。纸基材层54a的第1粘合剂层30侧的表面优选采用有机硅系剥离剂等剥离处理剂进行了剥离处理。
剥离衬里50b层叠于第2粘合剂层40的与基材20的相反侧的粘合面。剥离衬里50b从露出面起依次具有(C)聚合物层52b和(D)纸基材层54b。(C)聚合物层52b、(D)纸基材层54b是与剥离衬里50a的(A)聚合物层52a、(B)纸基材层54a分别对应的层,省略说明。以下有时将剥离衬里50a、剥离衬里50b总称为剥离衬里50。
本实施方式的两面粘合带10的宽度为1300mm以上3000mm以下、更优选为1500mm以上2800mm以下,进一步优选为2100mm以上2500mm以下。
本实施方式的两面粘合带10,优选准备宽幅(优选2100mm以上3000mm以下、优选2500mm以上3000mm以下)的基材或剥离衬里,采用与基材或剥离衬里的宽度对应的宽幅的粘合剂组合物涂布装置涂布粘合剂组合物。作为宽幅的粘合剂组合物涂布装置,优选采用例如凹版印刷涂布机、喷射式模压涂布机、轻触式涂布机、点式涂布机等辊宽为2100mm以上3000mm以下的涂布装置进行涂布。通过使用该宽幅的粘合剂组合物涂布装置,一次地涂布宽幅的粘合剂层,能够进一步减轻外观不良发生风险。
本实施方式的两面粘合带10中,第1粘合剂层30是用于与研磨装置的平台粘接的粘合面,第2粘合剂层40是用于固定研磨构件的粘合面。第1粘合剂层30的对于SUS板的环形粘性粘合力为16N/50mm以下,因此在将研磨构件固定于第2粘合剂层40的状态下,将第1粘合剂层30粘接于平台后,能够容易地将第1粘合剂层30从平台剥离。此外,本实施方式的两面粘合带10,将第1粘合剂层30从平台剥离时,粘合剂(糊)难以残留。因此,将一面粘接有研磨构件的两面粘合带10粘接于平台时,根据需要将两面粘合带10重新粘贴于平台进行位置确定变得容易。其结果,在将研磨构件粘接于平台的过程中,能够抑制由于两面粘合带产生的粘接不良而使研磨构件浪费,乃至能够使被研磨构件的研磨工序所需的成本降低。
应予说明,所述的实施方式的两面粘合带10中,剥离衬里50设置于第1粘合剂层30侧、第2粘合剂层40侧的两者,但剥离衬里50也可以设置于第1粘合剂层30侧、第2粘合剂层40侧的任一者。这种情况下,可以使用对剥离衬里的两表面层进行了剥离处理的产物。
实施例
以下基于实施例对本发明详细说明,本发明并不受这些实施例的任何限定。
表1示出实施例1、实施例2和比较例1涉及的两面粘合带的成分和层厚等。
[表1]
Figure BDA0000105537230000141
(实施例1)
<丙烯酸系粘合剂组合物的制作>
将丙烯酸丁酯(70质量份)、丙烯酸2-乙基己酯(30质量份)、丙烯酸(3质量份)和丙烯酸4-羟基丁酯(0.05质量份)添加到甲苯152质量份的混合溶剂中,作为聚合引发剂,添加AIBN(偶氮二异丁腈)0.08质量份。然后,在60℃下进行6小时溶液聚合,得到了丙烯酸系粘合剂用聚合物溶液(粘度:28Pa·s、固形量:40质量%)。丙烯酸系粘合剂用聚合物溶液中的丙烯酸酯系聚合物为重均分子量440000。相对于制备的丙烯酸系粘合剂用聚合物溶液的丙烯酸系聚合物固体成分100质量份,加入了聚合松香季戊四醇酯(荒川化学公司制“ペンセルD125”)30质量份后,作为交联剂,加入异氰酸酯(日本聚氨酯公司制、商品名“Colonate L”2质量份),得到了丙烯酸系粘合剂组合物。
<橡胶系粘合剂组合物的制作>
使天然橡胶(门尼粘度75)100份、SIS(日本ZEON公司制、商品名“Quintac 3460C”放射状结构SIS、苯乙烯含量25质量%)30质量份、马来酸酐改性C5,C9树脂(日本ZEON公司制、商品名“Quintone D-200”)40质量份、酚改性松香(住友ベ一クライト公司制、商品名“SumilitePR12603N”)40质量份和酚系防老化剂(大内新兴公司制、商品名“NOCRAC NS-6”)1质量份溶解于甲苯后,作为交联剂,加入异氰酸酯(日本聚氨酯公司制、商品名“Colonate L”)3质量份,制备橡胶系粘合剂溶液。
<粘合剂层的制作>
准备由在单面层叠了含有聚乙烯的聚合物层(厚19μm)的玻璃纸(定量:55g/m2)构成的纸基材层。应予说明,含有聚乙烯的聚合物层的表面(露出面)与实施了半无光处理的冷却辊接触。在层叠了聚合物层的一侧的相反侧的纸基材层的表面上,实施采用有机硅系剥离剂的剥离处理,准备了剥离衬里A。以与剥离衬里A同样的顺序,准备了剥离衬里B。此外,剥离衬里A和剥离衬里B的宽度为2500mm。
作为基材,准备厚75μm、宽2500mm的聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)膜。
在基材的一面,用涂布宽度为2500mm的粘合剂涂布装置(点式涂布机)涂布所述的橡胶系粘合剂组合物,在100℃的烘箱中加热3分钟,将溶剂除去,制作具备宽度2500mm、干燥后的厚度为40μm的橡胶系粘合剂层(第1粘合剂层)的层叠体A。
接下来,使剥离衬里A的纸基材层的一侧(用有机硅系剥离剂进行了剥离处理的面)朝向橡胶系粘合剂层的表面,在橡胶系粘合剂层上层叠了剥离衬里A。
在剥离衬里B的纸基材层侧(用有机硅系剥离剂进行了剥离处理的面),使用涂布宽度为2500mm的粘合剂涂布装置(点式涂布机)涂布丙烯酸系粘合剂组合物,在100℃的烘箱中加热3分钟,将溶剂除去,制作具有宽2500mm、干燥后的厚度为60μm的丙烯酸系粘合剂层(第2粘合剂层)的层叠体B。
接下来,使层叠体A的基材侧朝向层叠体B的丙烯酸系粘合剂层,在层叠体B上层叠层叠体A,得到了实施例1的两面粘合带(剥离衬里A/橡胶系粘合剂层/PET膜/丙烯酸系粘合剂层/剥离衬里B)。应予说明,实施例1的两面粘合带的宽度方向的长度为2500mm。
(实施例2)
作为剥离衬里,使用在定量为70g/m2的牛皮纸的单面上层叠有含有聚乙烯的聚合物层(厚20μm)的纸基材层,在层叠了聚合物层的一侧的相反侧的纸基材层的表面上,使用了采用有机硅系剥离剂实施了剥离处理的剥离衬里,除此之外,采用与实施例1同样的顺序制作了两面粘合带。应予说明,没有使实施了半无光处理的冷却辊接触该剥离衬里的聚合物层。
(比较例1)
比较例1的两面粘合带,将丙烯酸系粘合剂层用于第1粘合剂层,将橡胶系粘合剂层用于第2粘合剂层,除此之外,采用与实施例1同样的顺序进行了制作。即,比较例1的两面粘合带相当于实施例1的两面粘合带中将第1粘合剂层和第2粘合剂层进行了更换的层构成。
<环形粘性测定方法>
对于实施例1乃至2、比较例1的各两面粘合带,采用以下方法测定第1粘合剂层的环形粘性粘合力。
图2(A)乃至图2(D)是表示环形粘性粘合力的测定方法的概略图。首先,将各两面粘合带(50mm×250mm)的剥离衬里B剥离,在与成为测定面的第1粘合剂层为相反侧的第2粘合剂层,以厚25μm的PET膜为衬里。
接下来,如图2(A)中所示,以成为试料的两面粘合带10的第1粘合剂层侧成为外侧的方式制作环。接着,如图2(B)中所示,将两面粘合带10的纵向的一端部与另一端部重合,将从端部到25mm的部分使用纸100固定。
接下来,如图2(C)中所示,在被粘物(SUS板)110的上方,以环面成为下侧的方式将两面粘合带10配置于拉伸试验机,将第1粘合剂层侧的剥离衬里A剥离。
接下来,如图2(D)中所示,使两面粘合带10缓缓下降,使两面粘合带10的环状的第1粘合剂层与被粘物(SUS板)110接触。进而,使两面粘合带10下降,两面粘合带10的端部与被粘物110的距离H达到80mm后立即以速度300mm/分将两面粘合带10上拉,测定从被粘物剥离两面粘合带10时的强度。将各实施例和比较例的两面粘合带的环形粘性粘合力的测定结果示于表2。此外,表2中,对从被粘物上拉成为试料的两面粘合带后第1粘合剂层是否残留于被粘物、即所谓的糊残留进行了考察。
以上说明的环形粘性粘合力的测定方法是按照粘合带的评价基准“TEST METHODS 14th Edition”(Pressure Sensitive Tape Council)中的“PSTC-16 Loop Tack”中规定的方法,改变试料的尺寸的方法。
[表2]
Figure BDA0000105537230000171
如表2中所示,对于实施例1乃至2的两面粘合带,对于SUS板的环形粘性粘合力为16N/50mm以下,进而为10N/50mm以下。由此确认容易将一时粘贴在被粘物的两面粘合带剥离而重新粘贴。此外,还确认将两面粘合带从SUS板剥离时在SUS板上不产生糊残留。与此相对,在比较例1中,对于SUS板的环形粘性粘合力超过16N/50mm,达到18.3N/50mm,确认难以将两面粘合带重新粘贴,并且在将两面粘合带从SUS板剥离时在SUS板上产生糊残留。
以下汇总以上说明的实施方式。
(项目1)一种两面粘合带,其特征在于,具有:
基材、
在所述基材的一面设置的第1粘合剂层、
在所述基材的另一面设置的第2粘合剂层、和
在所述第1粘合剂层和/或第2粘合剂层上层叠的剥离衬里,
所述第1粘合剂层对于SUS板的环形粘性粘合力为16N/50mm以下。
(项目2)如项目1所述的两面粘合带,其中,所述第1粘合剂层是以天然橡胶和/或合成橡胶为主成分的橡胶系粘合剂层。
(项目3)如项目1或2所述的两面粘合带,其中,所述第2粘合剂层是以丙烯酸系聚合物为主成分的丙烯酸系粘合剂层。
(项目4)如项目3所述的两面粘合带,其中,丙烯酸系聚合物以(甲基)丙烯酸烷基酯为单体主成分。
(项目5)如项目1乃至4的任1项所述的两面粘合带,其中,在将研磨构件粘接于所述第2粘合剂层的状态下,所述第1粘合剂层以能装卸的方式固定于研磨装置的平台。
(项目6)如项目1乃至5的任1项所述的两面粘合带,其中,卷绕为卷状,并且卷绕体的宽度方向的长度为3000mm以下。
(项目7)研磨构件,其中,将如项目1乃至6的任1项所述的两面粘合带的第2粘合剂层粘贴于表面。

Claims (10)

1.一种两面粘合带,其特征在于,具有:
基材、
在所述基材的一面设置的第1粘合剂层、
在所述基材的另一面设置的第2粘合剂层、和
在所述第1粘合剂层和/或第2粘合剂层上层叠的剥离衬里,
所述第1粘合剂层对于SUS板的环形粘性粘合力为16N/50mm以下。
2.如权利要求1所述的两面粘合带,其中,所述第1粘合剂层是以天然橡胶和/或合成橡胶为主成分的橡胶系粘合剂层。
3.如权利要求1或2所述的两面粘合带,其中,所述第2粘合剂层是以丙烯酸系聚合物为主成分的丙烯酸系粘合剂层。
4.如权利要求3所述的两面粘合带,其中,丙烯酸系聚合物以(甲基)丙烯酸烷基酯为单体主成分。
5.如权利要求1或2所述的两面粘合带,其中,在将研磨构件粘接于所述第2粘合剂层的状态下,所述第1粘合剂层以能装卸的方式固定于研磨装置的平台。
6.如权利要求1或2所述的两面粘合带,其中,卷绕为卷状,并且卷绕体的宽度方向的长度为3000mm以下。
7.一种研磨构件,其表面贴附有权利要求1或2所述的两面粘合带的第2粘合剂层。
8.如权利要求3所述的两面粘合带,其中,在将研磨构件粘接于所述第2粘合剂层的状态下,所述第1粘合剂层以能装卸的方式固定于研磨装置的平台。
9.如权利要求4所述的两面粘合带,其中,在将研磨构件粘接于所述第2粘合剂层的状态下,所述第1粘合剂层以能装卸的方式固定于研磨装置的平台。
10.如权利要求3所述的两面粘合带,其中,卷绕为卷状,并且卷绕体的宽度方向的长度为3000mm以下。
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