CN102528645A - 大尺寸超薄石英玻璃片双面抛光加工方法 - Google Patents

大尺寸超薄石英玻璃片双面抛光加工方法 Download PDF

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费立格
刘梦云
王晓东
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Abstract

本发明是一种大尺寸超薄石英玻璃片双面抛光加工方法，该方法适用于直径Φ为100-200mm，厚度为0.2-0.5mm的石英玻璃片的研磨抛光；工件加工之前对工件进行清洗，细磨和抛光在相同机型的双面研磨抛光机上进行；研磨时研磨压力为0.01-0.03Mpa，转数为6-8/min，每件石英玻璃片的研磨时间为50-80min；当研磨过程中，保持双面研磨抛光机的游星轮平整；工件加工后使用超声波清洗，清洗最后放在质量比为1：1的酒精与乙醚混合液中浸泡2-3分钟，即可。本发明工艺保证了被加工件的高成品率，提高了效率，其成品率可达97%左右。

Description

大尺寸超薄石英玻璃片双面抛光加工方法
技术领域
 本发明涉及一种石英玻璃片的加工方法，特别是一种大尺寸超薄石英玻璃片双面抛光加工方法。
背景技术
随着科技的快速发展，精密机械行业所用的阀片，油泵叶片，气缸活塞环，钢型密封圈等金属件的双面抛光研磨及光电行业所需的硅、锗、石英晶体等硬脆性非金属件的双面研磨抛光需求急速增长，为适应此需要，机械制造业生产了各种规格型号的游星式双面研磨抛光机，满足了上述所求。金属件因有刚性，再薄再大也不会损坏，而晶体等硬脆性物质直径有几毫米到100毫米左右，厚度均在1mm以上，因此不存在工艺操作问题，但在加工超薄石英玻璃片的研磨抛光片中损坏率特别高，为此需摸索一套特殊的工艺操作程序。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种工艺更为合理、有效提高成品率、可操作性强的大尺寸超薄石英玻璃片双面抛光加工方法。
本发明所要解决的技术问题是通过以下的技术方案来实现的。本发明是一种大尺寸超薄石英玻璃片双面抛光加工方法，其特点是：该方法适用于直径Φ为100-200mm，厚度为0.2-0.5mm的石英玻璃片的研磨抛光；
（1）在进行工件加工之前对工件进行清洗，除去上道加工中留下的粗粒度磨料，且对磨料进行定期过滤，除去玻璃碎屑和粗粒度（比本工艺标准技术要求的粒度粗的磨料）磨料；
（2）细磨和抛光在相同机型的双面研磨抛光机上进行，将双面细磨后的加工件全数转入双面抛光，不同次加工的细磨件不能同一次进行抛光；
（3）研磨时研磨压力为0.01-0.03Mpa，转数为6-8/min，每件石英玻璃片的研磨时间为50-80 min；
（4）当研磨过程中，保持双面研磨抛光机的游星轮平整，当游星轮受热变形时，将其置于电热板上加温到110-120℃，上面压平模或平板8-10小时，将游星轮处理平整；
（5）工件加工后使用超声波清洗，清洗最后放在质量比为1：1的酒精与乙醚混合液中浸泡2-3分钟，即可。
本发明中所述的双面研磨抛光机可以为现在技术中公开的常用双面研磨抛光机。
本发明工艺是根据光学玻璃研磨抛光原理，即研磨抛光的质量及效率与被加工件受到的压力、磨盘的转数等而研发的操作工艺，从而在双面研磨抛光机上可以对超薄大平面石英片进行研磨抛光，保证了被加工件的高成品率，提高了效率。经实验表明，本发明工艺的成品率可达97%左右。
具体实施方式
以下进一步描述本发明的具体技术方案，以便于本领域的技术人员进一步地理解本发明，而不构成对其权利的限制。
实施例1，一种大尺寸超薄石英玻璃片双面抛光加工方法，该方法适用于直径Φ为100-200mm，厚度为0.2-0.5mm的石英玻璃片的研磨抛光；
（1）在进行工件加工之前对工件进行清洗，除去上道加工中留下的粗粒度磨料，且对磨料进行定期过滤，除去玻璃碎屑和粗粒度磨料；
（2）细磨和抛光在相同机型的双面研磨抛光机上进行，将双面细磨后的加工件全数转入双面抛光，不同次加工的细磨件不能同一次进行抛光；
（3）研磨时研磨压力为0.01Mpa，转数为6/min，每件石英玻璃片的研磨时间为50 min；
（4）当研磨过程中，保持双面研磨抛光机的游星轮平整，当游星轮受热变形时，将其置于电热板上加温到110℃，上面压平模或平板8-10小时，将游星轮处理平整；
（5）工件加工后使用超声波清洗，清洗最后放在质量比为1：1的酒精与乙醚混合液中浸泡2分钟，即可。
实施例2，一种大尺寸超薄石英玻璃片双面抛光加工方法，该方法适用于直径Φ为100-200mm，厚度为0.2-0.5mm的石英玻璃片的研磨抛光；
（1）在进行工件加工之前对工件进行清洗，除去上道加工中留下的粗粒度磨料，且对磨料进行定期过滤，除去玻璃碎屑和粗粒度磨料；
（2）细磨和抛光在相同机型的双面研磨抛光机上进行，将双面细磨后的加工件全数转入双面抛光，不同次加工的细磨件不能同一次进行抛光；
（3）研磨时研磨压力为0.03Mpa，转数为8/min，每件石英玻璃片的研磨时间为80 min；
（4）当研磨过程中，保持双面研磨抛光机的游星轮平整，当游星轮受热变形时，将其置于电热板上加温到120℃，上面压平模或平板8-10小时，将游星轮处理平整；
（5）工件加工后使用超声波清洗，清洗最后放在质量比为1：1的酒精与乙醚混合液中浸泡3分钟，即可。
实施例3，一种大尺寸超薄石英玻璃片双面抛光加工方法，该方法适用于直径Φ为100-200mm，厚度为0.2-0.5mm的石英玻璃片的研磨抛光；
（1）在进行工件加工之前对工件进行清洗，除去上道加工中留下的粗粒度磨料，且对磨料进行定期过滤，除去玻璃碎屑和粗粒度磨料；
（2）细磨和抛光在相同机型的双面研磨抛光机上进行，将双面细磨后的加工件全数转入双面抛光，不同次加工的细磨件不能同一次进行抛光；
（3）研磨时研磨压力为0.02Mpa，转数为7/min，每件石英玻璃片的研磨时间为65 min；
（4）当研磨过程中，保持双面研磨抛光机的游星轮平整，当游星轮受热变形时，将其置于电热板上加温到115℃，上面压平模或平板8-10小时，将游星轮处理平整；
（5）工件加工后使用超声波清洗，清洗最后放在质量比为1：1的酒精与乙醚混合液中浸泡2分钟，即可。

Claims (1)

1.一种大尺寸超薄石英玻璃片双面抛光加工方法，其特征在于：该方法适用于直径Φ为100-200mm，厚度为0.2-0.5mm的石英玻璃片的研磨抛光；
（1）在进行工件加工之前对工件进行清洗，除去上道加工中留下的粗粒度磨料，且对磨料进行定期过滤，除去玻璃碎屑和粗粒度磨料；
（2）细磨和抛光在相同机型的双面研磨抛光机上进行，将双面细磨后的加工件全数转入双面抛光，不同次加工的细磨件不能同一次进行抛光；
（3）研磨时研磨压力为0.01-0.03Mpa，转数为6-8/min，每件石英玻璃片的研磨时间为50-80 min；
（4）当研磨过程中，保持双面研磨抛光机的游星轮平整，当游星轮受热变形时，将其置于电热板上加温到110-120℃，上面压平模或平板8-10小时，将游星轮处理平整；
（5）工件加工后使用超声波清洗，清洗最后放在质量比为1：1的酒精与乙醚混合液中浸泡2-3分钟，即可。
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