CN102520605A - 用于平衡轮/游丝谐振器的游丝 - Google Patents

用于平衡轮/游丝谐振器的游丝 Download PDF

Info

Publication number
CN102520605A
CN102520605A CN201110428053XA CN201110428053A CN102520605A CN 102520605 A CN102520605 A CN 102520605A CN 201110428053X A CN201110428053X A CN 201110428053XA CN 201110428053 A CN201110428053 A CN 201110428053A CN 102520605 A CN102520605 A CN 102520605A
Authority
CN
China
Prior art keywords
hairspring
central shaft
sheet
outer end
fixed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201110428053XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN102520605B (zh
Inventor
热罗姆·达欧特
理查德·博萨尔特
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rolex SA
Original Assignee
Montres Rolex SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Montres Rolex SA filed Critical Montres Rolex SA
Publication of CN102520605A publication Critical patent/CN102520605A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102520605B publication Critical patent/CN102520605B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G04—HOROLOGY
    • G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
    • G04B17/00—Mechanisms for stabilising frequency
    • G04B17/04—Oscillators acting by spring tension
    • G04B17/06—Oscillators with hairsprings, e.g. balance
    • G04B17/066—Manufacture of the spiral spring
    • G—PHYSICS
    • G04—HOROLOGY
    • G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
    • G04B17/00—Mechanisms for stabilising frequency
    • G04B17/20—Compensation of mechanisms for stabilising frequency

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Springs (AREA)
  • Micromachines (AREA)

Abstract

用于平衡轮/游丝谐振器的游丝，包括n个片，其中n≥2，所述片围绕所述中心轴缠绕，每一个所述片具有内端部和外端部，其中，外端部比内端部更远离所述中心轴，其中，所述片的内端部以与所述内端部围绕所述中心轴的角度偏置相应的方式被固定到所述中心轴，其中，所述片是共面的，其中，所述片以一定的角度偏置被螺旋缠绕，从而当每个片的所述端的一个绕着所述中心轴相对于它的另一端有角度地移动时中和有可能施加在所述中心轴上的侧向力，其中，所述片的外端部以与所述外端部围绕所述中心轴的角度偏置相应的方式被固定到共同环。

Description

用于平衡轮/游丝谐振器的游丝
本申请是申请日为2009年07月28日、申请号为200910166916.3、发明名称为“用于平衡轮/游丝谐振器的游丝”的发明专利申请的分案申请。
技术领域
本发明涉及一种用于平衡轮/游丝谐振器的游丝。
背景技术
在平衡轮的振荡过程中，平游丝的重心会移动是众所周知的。这是因为游丝的一端是固定的，然而当另一端仍与平衡轮的轴(arbor)保持相同距离时，该另一端移动。这种重心的位移对等时性产生影响，因为这样在平衡轮轴的枢轴上产生侧向力。
Abraham-Louis Breguet提出了给平游丝提供一个或两个能够弥补这种缺陷的末端曲线的想法。后来，M·Phillips公布了这种曲线的理论依据。
在Breguet和Phillips设计的解决方案之前，T·Mudge已经提出过两个固定在同一平衡轮上并且偏置180°的游丝的应用。由于这两个游丝同步但是反相工作，补偿了它们各自的重心变动，但是它们的轴向偏置产生了在包含平衡轮轴的平面内的小转矩。这种解决方法在近来的生产中已经采用。
这种解决方式的问题在于，必须具有两个叠加的游丝，以增加高度，围绕平衡轮轴偏置180°的两个柱螺栓载体和两个柱螺栓、和每个游丝必须调节为与另一个完全地同步的两个调节器销，使其成为一种难于执行、极其复杂的解决方法。并且，它使部件的数量加倍。
这种解决方法已在许多出版物中被采用，尤其是在US3553956，FR2447571和CN1677283中。
本发明的目的是在至少部分地弥补上述缺点的同时从这种解决方法的优点中受益。
发明内容
为了这个目的，本发明的主题是如权利要求1所述的用于平衡轮/游丝谐振器的游丝。
附图说明
例如，附图示意性说明了形成本发明主题的游丝的一些实施例：
图1是第一个实施例的俯视图；
图2是第二个实施例的俯视图；
图3是一个图表，显示了在图2中所示的实施例的情况下，标绘了作为从中心向外的转圈数的函数的游丝间距的变化；
图4是一个图表，显示了在图2中所示的实施例的情况下，标绘了作为从中心向外的转圈数的函数的沿着片的厚度的变化；
图5是第三个实施例的俯视图；
图6是第四个实施例的俯视图；
图7是第五个实施例的俯视图；
图8是第六个实施例的俯视图；
图9是第七个实施例的俯视图；
图10a和图10b是第八个实施例的两个变型体的侧视图；
图11是第九个实施例的侧视图。
具体实施方式
形成本发明主题的游丝的第一个实施例在图1中举例说明。平游丝包括两个在同一方向上缠绕的片1a、1b，但是具有2π/2，也就是180°的偏置。这些片1a、1b的各自内端部固定到轴衬2，并且它们的外端部固定到固定环3。这些外端部同样在角度上偏置180°。游丝片1a、1b的外端部固定到固定环3，固定环3具有开口3a，以便将它固定到平衡轮的桥接器。因此固定环3替换传统的柱螺栓。
游丝的两个片1a、1b在收缩和膨胀时必须不能互相接触。这样做的风险随着振幅而增大。因此，可以通过限制振幅而减小这种风险。然而，增加游丝的直径也可以是有益的。
另一个解决方法在于改变转圈间距和改变片的厚度。这由图2的实施例以及图3和4的图表所示，并且图3和4的图表分别说明了以微米为单位的转圈间距的变化和以微米为单位的片的厚度的变化，从游丝的中心向外开始，分别作为图2中卷绕片1a、1b的圈匝数Nt的函数，以防止在游丝交替膨胀和收缩的过程中片1a，1b的转圈相互接触。图3通过公式r(θ)＝r0+p(θ)×θ/2π绘制了两个片1a、1b中的一个，其中r代表从轴(arbor)到片的中性纤维(neutral fiber)的距离，并且在图2到4的情况下，r(θ＝0)＝r0＝600微米且θ＝2πNt。
作为变量，游丝片的高度也可以改变。
至于由单晶硅制成的游丝，单晶硅是一种可以用于生产根据本发明的游丝的材料，游丝片的温度补偿通过在游丝片的表面上形成非晶硅氧化物层而实现，非晶硅氧化物具有与单晶硅的杨氏模量的热系数反号(opposite sign)的杨氏模量的热系数，如EP1422436中所描述的。这种非晶硅氧化物层使补偿杨氏模量的热系数，而不管硅的结晶方向，即(100)，(111)或(110)成为可能。
形成游丝片的数量不限于两个。作为变型，可以想到其他不同的解决方案，如图5所示，它是图1中例子的一种变型，但是其中包括三个一端连接于轴衬2、另一端连接于固定环3的片1a、1b和1c。这三个片的内端和外端相对于彼此角度偏置2π/3的角度。该角度偏置优选为2π/n，其中n代表片的数量。
基于图1和2中的游丝而实施的模拟已经显示，使装配有根据本发明的游丝的平衡轮/游丝谐振器的等时性大幅提高应该是可能的。
到目前为止描述过的实施例中，形成游丝的片通过它们各自的两个端部彼此连接。图6中所示的实施例显示了由两个仅通过它们的内端连接到轴衬2的片1a、1b形成的游丝。它们的外端是自由的，因此使得在一个或另一方向上预拉伸两个片成为可能，以便特别地调整等时性。
可以想到应用同一构思的其它变型，即，具有几个角度偏置的共面的片的游丝，这些片通过它们各自对应的端部中的至少一个连接。
因此，可能具有包含四个片的游丝，即放置在轴衬2和中间环4之间的两个片1a、1b，它们的外端部固定在其上，和放置在中间环和固定环3之间的两个片1c、1d。为了使中间环4尽可能地轻，它的结构可以是中空的，以便尽可能地减少其重量。
如图7所示，内片1a、1b和外片1c、1d都可以在相同的方向上卷绕，或者如图8所示，内片1a、1b可以在与外片1c、1d相反的方向上卷绕。
明显地，可以想到其他无数的组合。
同样很明显的是，根据本发明的游丝的新颖设计不适合于应用Nivarox/Parachrom游丝的传统工艺来进行生产。
在目前的情况下，非常适合于根据本发明的游丝的生产的工艺过程特别地在已提到的EP1422436中描述，其在于从{001}单晶硅片切割游丝，例如通过等离子腐蚀。游丝通过在游丝片的表面上形成非晶硅氧化物层而进行温度补偿的，例如通过热处理。
使用以同样方式加工或者通过化学加工的石英单晶体也是可能的。可以使用适于在一个平面上生产游丝的实施例的其他合适的材料。
光刻工艺，例如UV-LIGA工艺(光刻(Lithographie)、电镀(Galvanisierung)和模造(Abformung))的使用也可以用于生产根据本发明由金属合金制成的这种类型的游丝。
生产工艺没有成为本发明的部分。以上通过例子列出的生产工艺的非穷举的例子，只想证明用于生产根据本发明的新型游丝技术手段已经存在，和本领域的技术人员具有生产该游丝的选择。
当游丝被称为是平的，这就是以上得到的游丝。然而，特别地在图9中显示的实施例中，没有什么使在游丝平面之外的片1a、1b的外端部的嵌入点5和6不能定位。因此，这两个嵌入点可以分别定位在游丝的平面的任一侧上，从而这两个片1a、1b在游丝的平面的任一侧上形成两个对称的圆锥体。这种解决方式具有阻止这两个片的转圈互相接触并且使生产具有大量转圈的小直径游丝成为可能的优点。因此这样的解决方式组成另一种阻止在交替膨胀和收缩的过程中在游丝的片之间接触的方法。
根据本发明的另一个变型，这两个片1a、1b在如图10a、10b所示的SOI(绝缘硅片(Silicon-On-Insulator))晶片上制造，其包括Si-SiO2-Si多层堆栈。片1a由Si层中的一个的外表面蚀刻而成，而且另一个片1b由第二个Si层的外表面蚀刻而成。在这种情况下，这两个片的内端部通过中间SiO2层8而被固定。该实施例的优点是随着两个相邻转圈的距离的增加，减少了游丝的直径。如图10所示，如果游丝垂直延伸，这样的优点更加显著。
图11说明了图10a、10b的另一种变型，其中片1a、1b的内端部固定于同一个轴衬，而它们的外端部固定于SiO2中间层5。

Claims (11)

1.一种用于平衡轮/游丝谐振器的游丝，该游丝包括中心轴和n个片，其中n≥2，所述片围绕所述中心轴缠绕，每一个所述片具有内端部和外端部，其中，外端部比内端部更远离所述中心轴，
其中，所述片的内端部以与所述内端部围绕所述中心轴的角度偏置相应的方式被固定到所述中心轴，
其中，所述片是共面的，以及
其中，所述片以一定的角度偏置被螺旋缠绕，从而当每个片的所述端的一个绕着所述中心轴相对于它的另一端有角度地移动时中和有可能施加在所述中心轴上的侧向力，和
其中，所述片的外端部以与所述外端部围绕所述中心轴的角度偏置相应的方式被固定到共同环。
2.如权利要求1所述的游丝，其中，所述片的外端部相对于彼此有角度地偏置2π/n的角度。
3.如权利要求1所述的游丝，其中，所述片的内端部相对于彼此有角度地偏置2π/n的角度。
4.如权利要求1所述的游丝，其中，所述n个片是内片，所述游丝进一步包括m个外片，其中，m≥2，所述外片比所述内片更远离所述中心轴。
5.如权利要求4所述的游丝，其中，所述外片的外端部以与所述外端部围绕所述中心轴的角度偏置相应的方式被固定到共同环。
6.如权利要求4所述的游丝，其中，所述内片的外端部和所述外片的内端部被固定到中间环。
7.如权利要求4所述的游丝，其中，所述内片和所述外片在相同的方向上被缠绕。
8.如权利要求4所述的游丝，其中，所述内片和所述外片在相反的方向上被缠绕。
9.如权利要求4所述的游丝，其中，有两个内片和两个外片。
10.如权利要求1-9中的任一项所述的游丝，其中，所述片通过它们的至少两个各自的内端部相互固定。
11.一种计时器，如表，包括如权利要求1-10中的任一项所述的游丝。
CN201110428053.XA 2008-07-29 2009-07-28 用于平衡轮/游丝谐振器的游丝 Active CN102520605B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP08405188.7A EP2151722B8 (fr) 2008-07-29 2008-07-29 Spiral pour résonateur balancier-spiral
EP08405188.7 2008-07-29

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2009101669163A Division CN101639661B (zh) 2008-07-29 2009-07-28 用于平衡轮/游丝谐振器的游丝

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102520605A true CN102520605A (zh) 2012-06-27
CN102520605B CN102520605B (zh) 2014-02-26

Family

ID=40344824

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201110428053.XA Active CN102520605B (zh) 2008-07-29 2009-07-28 用于平衡轮/游丝谐振器的游丝
CN2009101669163A Active CN101639661B (zh) 2008-07-29 2009-07-28 用于平衡轮/游丝谐振器的游丝

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2009101669163A Active CN101639661B (zh) 2008-07-29 2009-07-28 用于平衡轮/游丝谐振器的游丝

Country Status (5)

Country Link
US (2) US8002460B2 (zh)
EP (3) EP2151722B8 (zh)
JP (2) JP5474432B2 (zh)
CN (2) CN102520605B (zh)
CH (1) CH699178B1 (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106896708A (zh) * 2015-12-18 2017-06-27 瑞士电子显微技术研究与开发中心股份有限公司 用于通过去除材料制造预定刚度的游丝的方法

Families Citing this family (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2485096A1 (fr) * 2007-11-20 2012-08-08 Richemont International S.A. Mouvement de montre mécanique
US8414185B2 (en) * 2007-11-28 2013-04-09 Manufacture Et Fabrique De Montres Et Chronometres Ulysse Nardin Le Locle S.A. Mechanical oscillator having an optimized thermoelastic coefficient
CH701783B1 (fr) 2009-09-07 2015-01-30 Manuf Et Fabrique De Montres Et Chronomètres Ulysse Nardin Le Locle S A Ressort spiral de mouvement de montre.
CH701846B8 (fr) * 2009-09-21 2015-06-15 Rolex Sa Spiral plat pour balancier d'horlogerie et ensemble balancier-spiral.
HK1146455A2 (en) * 2010-03-12 2011-06-03 Microtechne Res & Dev Ct Ltd An oscillator system
EP2405312A1 (fr) * 2010-07-09 2012-01-11 Montres Breguet S.A. Spiral de balancier à deux niveaux et à centre de masse immobile
US8562206B2 (en) 2010-07-12 2013-10-22 Rolex S.A. Hairspring for timepiece hairspring-balance oscillator, and method of manufacture thereof
EP2423764B1 (fr) * 2010-08-31 2013-03-27 Rolex S.A. Dispositif pour la mesure du couple d'un spiral
EP2434353B1 (fr) * 2010-09-28 2018-01-10 Montres Breguet SA Spiral anti-galop pour échappement d'horlogerie
EP2437126B1 (fr) * 2010-10-04 2019-03-27 Rolex Sa Organe regulateur balancier-spiral
CH704237B1 (fr) * 2010-12-17 2015-03-13 Manuf Et Fabrique De Montres Et Chronomètres Ulysse Nardin Le Locle Sa Ressort de barillet et barillet contenant un tel ressort.
CH704906B1 (fr) * 2011-05-09 2020-06-30 Lvmh Swiss Mft Sa C/O Zenith Succursale De Lvmh Swiss Mft Sa Ressort spiral en silicium pour montre mécanique.
CH705398B1 (fr) * 2011-08-24 2016-11-30 Montblanc Montre Sa Organe réglant comprenant un double ressort spiral dont les spires s'élèvent continuellement en hauteur.
CH705471B1 (fr) * 2011-09-07 2016-03-31 Patek Philippe Sa Geneve Mouvement d'horlogerie à balancier-spiral.
JP6301834B2 (ja) 2011-09-29 2018-03-28 ロレックス・ソシエテ・アノニムＲｏｌｅｘ Ｓａ ヒゲゼンマイ／ヒゲ玉一体型アセンブリ
EP2597536A1 (fr) * 2011-11-25 2013-05-29 CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA - Recherche et Développement Ressort spiral amélioré et procédé de fabrication dudit ressort spiral
EP2605081A1 (fr) * 2011-12-16 2013-06-19 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Balancier d'horlogerie surmoulé
EP2613206B1 (fr) * 2012-01-05 2022-05-11 Montres Breguet SA Spiral à deux ressort-spiraux à isochronisme amélioré
CH707165B1 (fr) * 2012-11-07 2016-12-30 Patek Philippe Sa Geneve Mouvement d'horlogerie à balancier-spiral.
HK1186057A2 (en) * 2013-01-14 2014-03-07 Master Dynamic Ltd Stress-relief elastic structure of hairspring collet
JP6013224B2 (ja) * 2013-02-19 2016-10-25 セイコーインスツル株式会社 ひげぜんまい、ムーブメント、時計及びひげぜんまいの製造方法
JP6057766B2 (ja) * 2013-02-19 2017-01-11 セイコーインスツル株式会社 ひげぜんまい、ムーブメント、時計及びひげぜんまいの製造方法
EP2781967B1 (fr) * 2013-03-19 2018-07-04 Nivarox-FAR S.A. Spiral d'horlogerie
CH707811A2 (fr) * 2013-03-19 2014-09-30 Nivarox Sa Composant monobloc indémontable d'horlogerie.
EP2884346A1 (fr) * 2013-12-16 2015-06-17 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Spiral polygonal pour un résonateur horloger
EP2884347A1 (fr) * 2013-12-16 2015-06-17 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Spiral avec dispositif anti-rapprochement de spires
EP2908183B1 (fr) * 2014-02-14 2018-04-18 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Spiral d'horlogerie
EP3191897B1 (fr) * 2014-09-09 2019-01-02 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Mecanisme de synchronisation de deux oscillateurs d'horlogerie avec un rouage
CH710188A2 (fr) * 2014-09-26 2016-03-31 Eta Sa Manufacture Horlogère Suisse Résonateur d'horlogerie paraxial et isochrone.
HK1209578A2 (zh) * 2015-02-17 2016-04-01 Master Dynamic Ltd 矽游絲
EP3159746B1 (fr) * 2015-10-19 2018-06-06 Rolex Sa Spiral en silicium fortement dopé pour pièce d'horlogerie
EP3214506B1 (fr) * 2016-03-04 2019-01-30 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Spiral a encombrement reduit a double section constante
EP3159747A1 (fr) * 2015-10-22 2017-04-26 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Spiral a encombrement reduit a section constante
EP3159748B1 (fr) * 2015-10-22 2018-12-12 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Spiral a encombrement reduit a section variable
EP3181940B2 (fr) 2015-12-18 2023-07-05 CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA - Recherche et Développement Procede de fabrication d'un spiral d'une raideur predeterminee par retrait localise de matiere
US11021238B2 (en) 2017-02-07 2021-06-01 Parker-Hannifin Corporation Disc spring providing linear axial motion
EP3543796A1 (fr) * 2018-03-21 2019-09-25 Nivarox-FAR S.A. Procede de fabrication d'un spiral en silicium
JP7473300B2 (ja) * 2018-04-30 2024-04-23 ロレックス・ソシエテ・アノニム 時計表示システム
EP3654111B1 (fr) * 2018-11-15 2022-02-16 Nivarox-FAR S.A. Procédé de mesure de couple d'un spiral d'horlogerie et son dispositif
JP6908064B2 (ja) * 2019-03-14 2021-07-21 セイコーエプソン株式会社 時計用部品、時計用ムーブメントおよび時計
EP3839656B1 (fr) * 2019-12-18 2023-12-13 Nivarox-FAR S.A. Balancier d'horlogerie

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US109826A (en) * 1870-12-06 Improvement in the hair-springs of watches
US30247A (en) * 1860-10-02 Watch
US209642A (en) * 1878-11-05 Improvement in balance-springs for time-keepers
US151432A (en) * 1874-05-26 Improvement in head-blocks for saw-mills
US278173A (en) * 1883-05-22 Compensating-balance for time-pieces
US6005A (en) * 1849-01-09 Machine for hook-heading spikes by one motion
US8000A (en) * 1851-03-25 Improvement in scythe-fastenings
US5028A (en) * 1847-03-20 monohot
US639578A (en) * 1899-02-20 1899-12-19 Olof Johanson Regulator for hair-springs of clocks or watches.
US811346A (en) * 1903-09-21 1906-01-30 Joseph F Weser Regulating-spring.
US1440363A (en) * 1919-11-25 1923-01-02 Andrade Jules Combination of springs
FR575433A (fr) * 1922-12-31 1924-07-30 Groupe de ressorts associés à un solide oscillant
US2632292A (en) * 1949-02-16 1953-03-24 Gen Time Corp Impulse electric clock
FR1217857A (fr) * 1958-12-11 1960-05-06 Ct Tech De L Ind Horlogere Perfectionnement apporté à l'organe régulateur des mouvements d'horlogerie
CH1787468A4 (zh) * 1968-11-29 1970-06-15
US3553956A (en) 1969-09-11 1971-01-12 Timex Corp Double hairspring clamping device
DE2421750A1 (de) * 1974-05-06 1975-11-20 Timex Corp Insbesondere fuer elektrische uhren vorgesehene spiralfederanordnung
DE2902810C2 (de) * 1979-01-25 1981-01-15 Erich Prof. 5000 Koeln Schiebuhr Unruh für zeithaltende Geräte
US6843594B1 (en) * 1997-08-28 2005-01-18 Seiko Epson Corporation Spring, power spring, hair spring, driving mechanism utilizing them, and timepiece
JP4643073B2 (ja) * 2001-08-22 2011-03-02 朝日電装株式会社 シリンダ錠の保護装置
ATE307990T1 (de) 2002-11-25 2005-11-15 Suisse Electronique Microtech Spiraluhrwerkfeder und verfahren zu deren herstellung
EP1445670A1 (fr) * 2003-02-06 2004-08-11 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Spiral de résonateur balancier-spiral et son procédé de fabrication
DE60333191D1 (de) 2003-09-26 2010-08-12 Asulab Sa Spiralfeder-Unruh-Resonator mit Thermokompensation
CN1677283A (zh) 2004-03-31 2005-10-05 霍飞乐 摆轮游丝调速机构
DE602004027471D1 (de) * 2004-06-08 2010-07-15 Suisse Electronique Microtech Unruh-Spiralfeder-Oszillator mit Temperaturkompensation
EP2485096A1 (fr) * 2007-11-20 2012-08-08 Richemont International S.A. Mouvement de montre mécanique
DE602008001778D1 (de) * 2008-03-20 2010-08-26 Nivarox Sa Monoblock-Doppelspirale und ihr Herstellungsverfahren
EP2105807B1 (fr) * 2008-03-28 2015-12-02 Montres Breguet SA Spiral à élévation de courbe monobloc et son procédé de fabrication

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106896708A (zh) * 2015-12-18 2017-06-27 瑞士电子显微技术研究与开发中心股份有限公司 用于通过去除材料制造预定刚度的游丝的方法
CN106896708B (zh) * 2015-12-18 2019-10-15 瑞士电子显微技术研究与开发中心股份有限公司 用于通过去除材料制造预定刚度的游丝的方法

Also Published As

Publication number Publication date
US8002460B2 (en) 2011-08-23
EP2154583B1 (fr) 2020-08-05
EP2523053B1 (fr) 2021-12-22
CN102520605B (zh) 2014-02-26
EP2154583A1 (fr) 2010-02-17
JP2010032522A (ja) 2010-02-12
JP5474432B2 (ja) 2014-04-16
JP2014089214A (ja) 2014-05-15
EP2151722B1 (fr) 2018-09-12
CN101639661B (zh) 2012-07-04
CH699178B1 (fr) 2014-05-15
CN101639661A (zh) 2010-02-03
EP2523053A1 (fr) 2012-11-14
EP2151722A1 (fr) 2010-02-10
US8393783B2 (en) 2013-03-12
JP5657152B2 (ja) 2015-01-21
US20100027382A1 (en) 2010-02-04
CH699178A2 (fr) 2010-01-29
US20110249537A1 (en) 2011-10-13
EP2151722B8 (fr) 2021-03-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101639661B (zh) 用于平衡轮/游丝谐振器的游丝
CN102023558B (zh) 用于钟表平衡的扁平游丝以及摆轮/游丝装置
US8864324B2 (en) Substrate with lightweight structure
US6796179B2 (en) Split-resonator integrated-post MEMS gyroscope
CN100570512C (zh) 用于机械摆系统的摆轮与游丝和其它件与组件及制造方法
CN104025453A (zh) 陶瓷温度补偿谐振器
CN112201611B (zh) 磁浮重力补偿装置以及包括该装置的运动台
CN101183238A (zh) 包括叉形弹性结构的组件和包括该组件的计时器
CN104326309A (zh) 一种可用于光纤精密缠绕的变张力调节与控制装置
CN107356240B (zh) 具有驱动频率调节结构的mems陀螺仪
CN101949700B (zh) 一种激光陀螺腔长控制反射镜组件
CN108375891A (zh) 温度补偿型游丝摆轮、机芯以及钟表
Sasaki et al. An optically flat micromirror using a stretched membrane with crystallization-induced stress
US20100002284A1 (en) Method of modulating resonant frequency of torsional mems device
CN207066449U (zh) 具有驱动频率调节结构的mems陀螺仪
CN114599935A (zh) 带有用于频率各向异性的机械补偿的传感器
CN220795494U (zh) 一种对称式mems重力仪
Wang et al. Study of Residual Stress Compensation in Continuous Membrane Micromirrors Based on Surface Micromachining Processes. Coatings 2021, 11, 289
WO2023242746A1 (fr) Spiral pour résonateur horloger
CN110275419A (zh) 温度补偿型摆轮游丝机构、机芯以及钟表
JP2020042045A (ja) 時計の調速装置
Hudec et al. Back-up technologies for IXO

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant