CN102503434B - 硅粉在中温微正压条件下氮化合成氮化硅粉体的方法 - Google Patents
硅粉在中温微正压条件下氮化合成氮化硅粉体的方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102503434B CN102503434B CN 201110296695 CN201110296695A CN102503434B CN 102503434 B CN102503434 B CN 102503434B CN 201110296695 CN201110296695 CN 201110296695 CN 201110296695 A CN201110296695 A CN 201110296695A CN 102503434 B CN102503434 B CN 102503434B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- powder
- silicon nitride
- temperature
- compound
- silica flour
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000843 powder Substances 0.000 title claims abstract description 60
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 34
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 34
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 24
- 239000011863 silicon-based powder Substances 0.000 title abstract description 17
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 title abstract description 5
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 title abstract description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title abstract 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 29
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 28
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 18
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 17
- 238000000227 grinding Methods 0.000 claims abstract description 15
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims abstract description 15
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 claims abstract description 6
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims abstract description 6
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 claims abstract description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 56
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 32
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 30
- 235000013312 flour Nutrition 0.000 claims description 28
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 28
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 230000004913 activation Effects 0.000 claims description 12
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 238000005303 weighing Methods 0.000 claims description 8
- 238000004137 mechanical activation Methods 0.000 claims description 7
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims description 6
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 10
- 238000005049 combustion synthesis Methods 0.000 abstract description 8
- -1 nitrogen-containing compound Chemical class 0.000 abstract description 7
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 4
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 abstract 1
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 abstract 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 abstract 1
- 235000008331 Pinus X rigitaeda Nutrition 0.000 description 5
- 235000011613 Pinus brutia Nutrition 0.000 description 5
- 241000018646 Pinus brutia Species 0.000 description 5
- 238000005915 ammonolysis reaction Methods 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 4
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 4
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 4
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 1
- 235000006708 antioxidants Nutrition 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 239000002737 fuel gas Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
本发明属于非氧化物氮化硅陶瓷粉体的制备,涉及在中温微正压条件下,以温度场诱发硅粉燃烧方式合成氮化硅粉体的方法。本发明是以硅粉和含氮化合物为原料,按不同的组分配比配制成反应混合料,经短时间研磨混合后,将混合料装于料舟内,并放入密闭的可加热耐压的反应炉中,经抽真空后充入一定压力的含氮非氧化性气体。通电预热混合料,温度升至500~900℃,通过局部加热或预埋点火块自燃方式,引发燃烧合成反应,合成后的氮化硅产物随炉冷却,经初碎后得到所述的氮化硅粉体。本发明结合了硅粉高温氮化工艺和硅粉燃烧合成氮化硅工艺的优点,降低了氮化反应温度和合成所需的压力,缩短了生产周期,大幅度降低了氮化硅粉体的生产成本。
Description
技术领域
本发明属于非氧化物氮化硅(Si3N4)陶瓷粉体的制备技术领域,涉及硅粉氮化制备氮化硅粉体的方法,特别涉及在中温微正压条件下,以温度场诱发硅粉燃烧方式合成氮化硅粉体的方法。
背景技术
氮化硅陶瓷具有高强度、高硬度、耐腐蚀、抗氧化、抗热震、抗蠕变、结构稳定等优良的综合性能,并且在高温下仍能保持其优良性能,因而在高温燃气轮机、宇航、核工业、高效率发动机零部件等高技术领域得到了重视和应用。但相对于金属基材料,氮化硅陶瓷的高成本制约了其规模化应用。因此,从制粉-成型-烧结-加工四个环节上来研究开发新的低成本制备技术是国际范围内的研究热点。
目前,合成Si3N4粉体的方法主要有硅粉高温氮化法、碳热还原法、硅亚胺分解法和高压燃烧合成法等。采用硅粉高温氮化法制备Si3N4粉体,产物粒度细、物相可控,但是温度要求高(大于1350℃),生产周期长(高达72小时),因此生产能耗大。以燃烧合成技术制备Si3N4粉体,能耗低、生产周期短,产物氮化率高,但是硅粉高压燃烧合成反应要求氮气压力高,因此对设备耐压要求高、投资大,同时产量有限。采用温度场诱发硅粉氮化燃烧制备Si3N4粉体,一方面结合了硅粉高温氮化法和高压燃烧合成法制备Si3N4粉体的优点;另一方面避开了两种方法的工艺缺点,既降低了硅粉氮化的温度,又降低了为维持燃烧合成所必需的氮气压力,从而降低了设备成本,缩短了生产周期并大幅度节省了能耗。因此,开发中温微正压条件下硅粉反应合成Si3N4粉体具有极大的工业应用价值。
发明内容
本发明的目的是针对硅粉高温氮化法和硅粉高压燃烧合成法存在的缺陷,提供一种结合两者优点,并回避其缺点的中温微正压条件下,实现氮化合成Si3N4粉体的方法。
本发明的方法是以硅粉和含氮化合物为原料,按不同的组分配比配制成反应混合料,经短时间研磨混合后,将混合料装于料舟内,并放入密闭的可加热耐压的反应炉中,经抽真空后充入一定压力的含氮非氧化性气体。通电预热混合料,温度升至500~900℃,通过局部加热或预埋点火块自燃方式,引发燃烧合成反应,合成后的氮化硅产物随炉冷却,经初碎后得到所述的氮化硅粉体。
本发明的硅粉在中温微正压条件下氮化合成氮化硅粉体的方法包括以下步骤:
(1)按硅粉∶β-Si3N4粉体的质量比为50~95∶5~50称取原料硅粉与β-Si3N4粉体,将称取的原料置于高能机械活化设备中进行研磨活化处理(一般研磨活化处理的时间为30~90分钟),使原料混合均匀得到混合料;其中所述的β-Si3N4粉体为晶种;
(2)将步骤(1)经机械活化处理后得到的混合料松装于料舟中,然后将料舟放入密闭的可加热耐压的反应炉内,对反应炉抽真空(一般抽真空10分钟左右),充入含氮非氧化性气体,使反应炉内的压力达到10~500kPa;
(3)给加热装置通电,用加热装置加热步骤(2)的反应炉至温度为500~900℃,保温(一般保温10~30分钟);诱发所述混合料发生自维持的燃烧合成氮化反应,反应30~60分钟后,关闭加热装置,使反应所得氮化硅产物随炉降至室温;取出料舟,将反应所得氮化硅产物置于高能机械活化设备中进行研磨处理(一般研磨处理的时间为10~30分钟),得到所述的氮化硅粉体(Si3N4粉体)产品。
步骤(1)中所述的高能机械活化设备为振动研磨机或高速球磨机。
所述的含氮非氧化性气体选自氮气与氨气、氩气或氢气的混合气体(其中氮气在混合气体中的含量不小于混合气体总体积的30%)、氮气、氨气中的一种。
所述的诱发是采用给预埋于混合料中的线圈通电发热的方式或采用预埋于混合料中的燃点低于500℃的点火块自燃的方式。
所述的Si3N4粉体产品为β-Si3N4;所述的Si3N4粉体产品的纯度≥99wt%;所述的Si3N4粉体产品的粒度为1~5μm。
本发明与现有的制备方法相比具有以下优点:
(1)本发明将硅粉氮化环境温度从高温降低到中温,并引入硅粉燃烧氮化反应,缩短了生产周期,提高了生产效率,降低了能耗和生产成本。
(2)本发明将硅粉实现燃烧合成的氮气压力从高压降低到微正压,降低了对反应设备的耐压要求,从而降低了设备成本,提高了单批次产量和生产安全性。
(3)本发明结合了硅粉高温氮化法和高压燃烧合成法的工艺优点,弥补了两种工艺所固有的缺点。
(4)本发明制备的Si3N4粉体,氮化率高,活性强,粒度和物相可控。
附图说明
图1.本发明实施例1制备得到的Si3N4粉体的X射线衍射图谱。
具体实施方式
实施例1
按照Si粉∶β-Si3N4粉体的质量比为50∶50称取原料Si粉与β-Si3N4粉体,装入研磨罐中后置于振动研磨机中进行混合研磨90分钟的活化处理,使原料混合均匀得到混合料,其中:所述的硅粉的粒度为10μm,纯度≥99.9wt%;β-Si3N4粉体的粒度为5μm,纯度≥98%;然后将得到的混合料松装于多孔不锈钢的料舟中,将料舟放入密闭的预热燃烧合成反应炉内,对反应炉抽真空后,通入氮气,使反应炉内的压力达到500kPa。给加热装置通电,用加热装置加热上述反应炉至温度为500℃,保温25分钟后,给预埋于混合料中的线圈通电加热所述混合料,诱发所述混合料发生自维持的燃烧合成氮化反应。反应60分钟后,关闭加热装置的电源,反应所得氮化硅产物随炉冷却至室温。取出料舟,将反应所得氮化硅产物置于振动研磨机中进行混合研磨30分钟的活化处理,得到氮化硅粉体。
上述合成的Si3N4粉体产品的X射线衍射图谱见图1。从图中可以看出,得到的产物为β-Si3N4,没有Si衍射峰的出现,实现了硅粉的完全氮化,该Si3N4粉体产品的纯度≥99wt%,粒度为1μm。
实施例2
按照Si粉∶β-Si3N4粉体的质量比为70∶30称取原料Si粉与β-Si3N4粉体,装入研磨罐中后置于振动研磨机中进行混合研磨1小时的活化处理,使原料混合均匀得到混合料,其中:所述的硅粉的粒度为20μm,纯度≥99.9wt%;β-Si3N4粉体的粒度为7μm,纯度≥98%;然后将得到的混合料松装于多孔不锈钢的料舟中,将料舟放入密闭的预热燃烧合成反应炉内,对反应炉抽真空后,通入氮气与氨气的混合气体(其中氮气的体积分数为50%),使反应炉内的压力达到100kPa。给加热装置通电,用加热装置加热上述反应炉至温度为600℃,保温25分钟后,给预埋于混合料中的线圈通电加热所述混合料,诱发所述混合料发生自维持的燃烧合成氮化反应。反应60分钟后,关闭加热装置的电源,反应所得氮化硅产物随炉冷却至室温。取出料舟,将反应所得氮化硅产物置于振动研磨机中进行混合研磨10分钟的活化处理,得到氮化硅粉体。
上述合成的Si3N4粉体产品的X射线衍射检测结果表明,得到的产物为β-Si3N4,没有Si衍射峰的出现,实现了硅粉的完全氮化,该Si3N4粉体产品的纯度≥99wt%,粒度为3.2μm。
实施例3
按照Si粉∶β-Si3N4粉体的质量比为95∶5称取原料Si粉与β-Si3N4粉体,装入研磨罐中后置于振动研磨机中进行混合研磨1小时的活化处理,使原料混合均匀得到混合料,其中:所述的硅粉的粒度为12μm,纯度≥99.9wt%;β-Si3N4粉体的粒度为10μm,纯度≥98%;然后将得到的混合料松装于多孔不锈钢的料舟中,将料舟放入密闭的预热燃烧合成反应炉内,对反应炉抽真空后,通入氮气,使反应炉内的压力达到10kPa。给加热装置通电,用加热装置加热上述反应炉至温度为900℃,保温25分钟后,给预埋于混合料中的线圈通电加热所述混合料,诱发所述混合料发生自维持的燃烧合成氮化反应。反应60分钟后,关闭加热装置的电源,反应所得氮化硅产物随炉冷却至室温。取出料舟,将反应所得氮化硅产物置于振动研磨机中进行混合研磨10分钟的活化处理,得到氮化硅粉体。
上述合成的Si3N4粉体产品的X射线衍射检测结果表明,得到的产物为β-Si3N4,没有Si衍射峰的出现,实现了硅粉的完全氮化,该Si3N4粉体产品的纯度≥99wt%,粒度为5μm。
实施例4
按照Si粉∶β-Si3N4粉体的质量比为80∶20称取原料Si粉与β-Si3N4粉体,装入研磨罐中后置于振动研磨机中进行混合研磨1小时的活化处理,使原料混合均匀得到混合料,其中:所述的硅粉的粒度为14μm;β-Si3N4粉体的粒度为9μm;然后将得到的混合料松装于多孔不锈钢的料舟中,将料舟放入密闭的预热燃烧合成反应炉内,对反应炉抽真空后,通入氮气与氩气的混合气体(其中氮气的体积分数为35%),使反应炉内的压力达到100kPa。给加热装置通电,用加热装置加热上述反应炉至温度为600℃,保温25分钟后,给预埋于混合料中的线圈通电加热所述混合料,诱发所述混合料发生自维持的燃烧合成氮化反应。反应60分钟后,关闭加热装置的电源,反应所得氮化硅产物随炉冷却至室温。取出料舟,将反应所得氮化硅产物置于振动研磨机中进行混合研磨10分钟的活化处理,得到氮化硅粉体。
上述合成的Si3N4粉体产品的X射线衍射检测结果表明,得到的产物为β-Si3N4,没有Si衍射峰的出现,实现了硅粉的完全氮化,该Si3N4粉体产品的纯度≥99wt%,粒度为2.8μm。
Claims (9)
1.一种硅粉在中温微正压条件下氮化合成氮化硅粉体的方法,其特征是:该方法包括以下步骤:
(1)按硅粉:β-Si3N4粉体的质量比为50~95:5~50称取原料硅粉与β-Si3N4粉体,将称取的原料置于高能机械活化设备中进行研磨活化处理得到混合料;
(2)将步骤(1)得到的混合料装于料舟中,然后将料舟放入密闭的反应炉内,对反应炉抽真空;充入含氮非氧化性气体,使反应炉内的压力达到10~500kPa;
(3)给加热装置通电,用加热装置加热步骤(2)的反应炉至温度为500~900℃,保温;诱发所述混合料发生自维持的燃烧合成氮化反应,反应30~60分钟后,关闭加热装置,使反应所得氮化硅产物随炉降至室温;取出料舟,将反应所得氮化硅产物置于高能机械活化设备中进行研磨处理,得到所述的Si3N4粉体产品;所述的Si3N4粉体产品为β-Si3N4,纯度≥99wt%。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征是:步骤(1)中所述的硅粉的粒度为10~20μm。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征是:步骤(1)所述的β-Si3N4粉体的粒度为5~10μm。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征是:步骤(1)所述的研磨活化处理的时间为30~90分钟。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征是:步骤(3)所述的研磨处理的时间为10~30分钟。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征是:所述的高能机械活化设备为振动研磨机或高速球磨机。
7.根据权利要求1所述的方法,其特征是:所述的含氮非氧化性气体选自氮气与氨气、氩气或氢气的混合气体、氮气、氨气中的一种;其中混合气体中的氮气含量不小于混合气体总体积的30%。
8.根据权利要求1所述的方法,其特征是:所述的诱发是采用给预埋于混合料中的线圈通电发热的方式或采用预埋于混合料中的燃点低于500℃的点火块自燃的方式。
9.根据权利要求1所述的方法,其特征是:所述的Si3N4粉体产品的粒度为1~5μm。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 201110296695 CN102503434B (zh) | 2011-09-30 | 2011-09-30 | 硅粉在中温微正压条件下氮化合成氮化硅粉体的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 201110296695 CN102503434B (zh) | 2011-09-30 | 2011-09-30 | 硅粉在中温微正压条件下氮化合成氮化硅粉体的方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102503434A CN102503434A (zh) | 2012-06-20 |
CN102503434B true CN102503434B (zh) | 2013-08-21 |
Family
ID=46215585
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN 201110296695 Active CN102503434B (zh) | 2011-09-30 | 2011-09-30 | 硅粉在中温微正压条件下氮化合成氮化硅粉体的方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102503434B (zh) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103332662A (zh) * | 2013-07-11 | 2013-10-02 | 上海大学 | 一种改进的直接氮化法制备α相和β相氮化硅粉体的方法 |
CN104499053A (zh) * | 2014-12-17 | 2015-04-08 | 青岛桥海陶瓷新材料科技有限公司 | 一种氮化硅晶须的制备方法 |
CN104860274A (zh) * | 2015-05-08 | 2015-08-26 | 青岛桥海陶瓷新材料科技有限公司 | 氮化法生产高纯β相氮化硅的制备方法 |
KR102643831B1 (ko) * | 2018-02-28 | 2024-03-07 | 가부시끼가이샤 도꾸야마 | 질화규소 분말의 제조 방법 |
CN109734456A (zh) * | 2019-03-11 | 2019-05-10 | 中国科学院理化技术研究所 | 一种多孔氮化硅陶瓷的制备方法 |
CN109761205A (zh) * | 2019-03-18 | 2019-05-17 | 青岛瓷兴新材料有限公司 | 一种超纯低放射性类球形β氮化硅粉体、其制造方法及应用 |
CN109761206A (zh) * | 2019-03-18 | 2019-05-17 | 青岛瓷兴新材料有限公司 | 一种高纯低铝类球形β氮化硅粉体、其制造方法及应用 |
CN109987943A (zh) * | 2019-04-04 | 2019-07-09 | 天津大学 | 一种β-氮化硅粉体的制备方法 |
CN110240131A (zh) * | 2019-05-13 | 2019-09-17 | 天津炜润达新材料科技有限公司 | 一种氮化硅的制备方法 |
CN113493191B (zh) * | 2020-04-08 | 2022-11-22 | 新疆晶硕新材料有限公司 | 制备高纯度α-氮化硅粉的方法及高纯度α-氮化硅粉 |
CN112250046B (zh) * | 2020-12-11 | 2022-11-18 | 安阳亨利高科实业有限公司 | 一种高α相氮化硅粉体的生产工艺 |
CN112828241B (zh) * | 2021-01-07 | 2022-10-14 | 武汉晴川学院 | 一种铸造发热涂料及其制作方法 |
CN112794295B (zh) * | 2021-03-02 | 2022-10-18 | 北京科技大学 | 常压下连续合成非晶/微晶氮化硅粉体的方法及装置 |
CN115849918A (zh) * | 2021-09-27 | 2023-03-28 | 赛默肯(苏州)电子新材料有限公司 | 氮化硅陶瓷材料、基板及其原料组合物、制备方法和应用 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1424249A (zh) * | 2002-12-26 | 2003-06-18 | 北京科技大学 | 低压燃烧合成氮化硅或氮化硅铁的方法及设备 |
CN1657404A (zh) * | 2004-02-18 | 2005-08-24 | 中国科学院理化技术研究所 | 常压燃烧合成氮化硅粉体的方法 |
CN101096272A (zh) * | 2007-06-04 | 2008-01-02 | 哈尔滨工业大学 | 氮化硅基复合材料燃烧合成方法 |
CN101269802A (zh) * | 2007-03-21 | 2008-09-24 | 中国科学院理化技术研究所 | 空气中燃烧合成Si3N4粉体及Si3N4/SiC复合粉体的方法 |
-
2011
- 2011-09-30 CN CN 201110296695 patent/CN102503434B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1424249A (zh) * | 2002-12-26 | 2003-06-18 | 北京科技大学 | 低压燃烧合成氮化硅或氮化硅铁的方法及设备 |
CN1657404A (zh) * | 2004-02-18 | 2005-08-24 | 中国科学院理化技术研究所 | 常压燃烧合成氮化硅粉体的方法 |
CN101269802A (zh) * | 2007-03-21 | 2008-09-24 | 中国科学院理化技术研究所 | 空气中燃烧合成Si3N4粉体及Si3N4/SiC复合粉体的方法 |
CN101096272A (zh) * | 2007-06-04 | 2008-01-02 | 哈尔滨工业大学 | 氮化硅基复合材料燃烧合成方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102503434A (zh) | 2012-06-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102503434B (zh) | 硅粉在中温微正压条件下氮化合成氮化硅粉体的方法 | |
CN100453508C (zh) | 化学激励燃烧合成氮化硅/碳化硅复合粉体的方法 | |
CN110484796B (zh) | 一种过渡金属碳化物高熵陶瓷颗粒及其制备方法 | |
CN101125653B (zh) | 燃烧合成均质纳米碳化硅粉体的方法 | |
CN102825259B (zh) | 一种用氢化钛粉制备TiAl金属间化合物粉末的方法 | |
WO2012139409A1 (zh) | 一种防止合金烧制后粘连和氧化的钒氮合金制备方法 | |
CN102786089B (zh) | 一种生产砷化锌的方法 | |
CN101289713A (zh) | 一种钒氮合金的生产方法 | |
CN114455952B (zh) | 一种AlON粉体及其直接氮化法高气压合成方法和应用 | |
CN106882965A (zh) | 一种常压制备高纯钛二铝碳粉体材料的方法 | |
CN110256084B (zh) | 一种α相氮化硅陶瓷粉体的制备方法 | |
CN106032323B (zh) | 一种以TiAl粉体为原料的Ti2AlC陶瓷粉体制备方法 | |
CN101269802B (zh) | 空气中燃烧合成Si3N4粉体及Si3N4/SiC复合粉体的方法 | |
CN103014828A (zh) | 一种纳米碳化硅晶须的制备方法 | |
CN107285288A (zh) | 纳米氮化硅粉的制备方法 | |
CN101774809A (zh) | 自蔓燃制备氮化硅复合碳化硅粉体的方法 | |
CN108929996A (zh) | 高氮钒铁及其制备方法 | |
CN105568072B (zh) | 一种Al‑Pd‑Mn准晶的制备方法 | |
CN101323451A (zh) | 一种三硅化五钨粉末的制备方法 | |
CN101381228A (zh) | 镓掺杂氧化锌透明多晶陶瓷的制备方法 | |
CN100408511C (zh) | 一种氮化硅/氮化钛纳米复合材料的制备方法 | |
CN106800413B (zh) | 一种钇铝碳陶瓷材料的制备方法 | |
CN106365201B (zh) | 一种高纯砷化锌的制备装置和方法 | |
CN101229916B (zh) | 以聚四氟乙烯为添加剂燃烧合成氮化硅粉体的方法 | |
CN105198001B (zh) | 一种低热膨胀材料Fe2W3O12及其固相烧结方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant |