CN102481709A - 晶片透镜制造装置、成型模具及晶片透镜的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明防止固化后的树脂上形成突起部位和缺损部位。晶片透镜制造方法备有：分配工序，在具有多个腔、且各腔被配置成间拔状态的成型模具中滴下树脂；对准工序，调整所述成型模具与玻璃基板的位置；转印工序，将所述成型模具和所述玻璃基板的一方压到另一方；固化工序，使所述树脂固化；脱模工序，从所述成型模具脱模所述玻璃基板；作为1循环，反复从分配工序到脱模工序的处理，在所述玻璃基板上依次形成树脂透镜部，其中，在各循环的对准工序中，在形成好的所述透镜部之间，配置所述成型模具的腔。

Description

晶片透镜制造装置、成型模具及晶片透镜的制造方法

技术领域

本发明涉及晶片透镜制造装置、成型模具及镜片透镜的制造方法。

背景技术

以往，在光学透镜制造领域中，探讨通过对玻璃基板设由固化性树脂构成的透镜部来得到耐热性高的光学透镜之技术(参照例如专利文献1)。作为应用了该技术的光学透镜的制造方法一例，有一种方法被提案，其中是形成对晶片状玻璃基板表面作为透镜部形成多个固化性树脂成型品的所谓“晶片透镜”，然后按透镜部切开玻璃基板。

作为晶片透镜制造装置一例，有一种制造装置被提案，其中是设配置位置一定的成型模具和能够支撑玻璃基板的台，使台能够相对成型模具在XY平面上移动，在玻璃基板上形成树脂透镜部。该制造装置中，如图22所示，相对已滴下树脂的成型模具600，使台移动到所定位置，使玻璃基板610对着配置。成型模具600上形成了多个腔602。然后将成型模具600压到玻璃基板610上，使树脂固化，脱模玻璃基板610，在玻璃基板610上形成树脂透镜部612。

先行技术文献

专利文献

专利文献1：特许第3926380号公报

发明内容

发明欲解决的课题

这种晶片透镜制造装置，其中将成型模具压到玻璃基板上时，理想的是使树脂均匀展开，使充填到成型模具各个腔中时没有过度不足。但是，滴到成型模具600上的树脂的粘度随位置不同有所不同，还有，成型模具对树脂的压力随树脂位置不同也有所不同，所以树脂非均匀展开，充填到腔的树脂量有时太多有时不足。另外，如果形成相邻透镜部的固化性树脂之间在连接状态下被一体成型的话，树脂固化时产生沉陷(一部分区域的树脂拉其它区域的树脂之现象)。此时，如图23所示，固化后的树脂上形成突起部位614，还有形成缺损部位616。

本发明的主要目的在于，提供一种能够防止在固化后的树脂上形成突起部位和缺损部位的晶片透镜制造装置、成型模具及晶片透镜的制造方法。

用来解决课题的手段

为了解决上述课题，根据本发明的第一形态，提供一种晶片透镜制造装置，其用来制造在玻璃基板上形成树脂透镜部的晶片透镜，晶片透镜制造装置的特征在于，

备有：支撑并在平面移动所述玻璃基板的台；具有多个腔的成型模具；使所述成型模具向被所述台支承的所述玻璃基板上升移动的移动机构；控制所述台和所述移动机构的控制装置；

作为1循环，进行：在所述成型模具的所述玻璃基板上的第1位置上，在所述成型模具的多个腔中或所述玻璃基板上滴下树脂，将所述成型模具和所述玻璃基板的一方压到另一方，所述树脂固化，从固化后的树脂脱模所述成型模具；

在脱模工序之后、使所述玻璃基板或所述成型模具的一方相对另一方移动、在第2位置上进行该循环进行透镜成型时，当以所述成型模具内的腔的所述移动方向上的腔间距为p(mm)、从所述第1位置向所述第2位置的移动间距为s(mm)时，使满足p/s≥2地进行所述成型。

根据本发明的第二形态，提供一种成型模具，其具有用来在玻璃基板上成型树脂透镜部或透镜部的负片形状的成型部，被用于在所述玻璃基板的第1位置上用所述成型部成型所述透镜部或所述透镜部的负片形状，然后在所述玻璃基板的第2位置上成型所述透镜或所述透镜部的负片形状，成型模具的特征在于，

当以所述成型模具的所述成型部间的间距为p(mm)、所述第1位置与所述第2位置的间距为s(mm)时，用满足p/s≥2的间隔，形成所述成型部。

根据本发明的第三形态，提供一种晶片透镜的制造方法，备有：分配工序，在具有多个腔、且各腔被配置成间拔状态的成型模具中滴下树脂；对准工序，调整所述成型模具与玻璃基板的位置；转印工序，将所述成型模具和所述玻璃基板的一方压到另一方；固化工序，使所述树脂固化；脱模工序，从所述成型模具脱模所述玻璃基板；作为1循环，反复从分配工序到脱模工序的处理，在所述玻璃基板上依次形成树脂透镜部，晶片透镜制造方法的特征在于，

在各循环的对准工序中，在形成好的所述透镜部之间，配置所述成型模具的腔。

发明的效果

根据本发明，成型模具的腔间距p(mm)与成型模具相对玻璃基板的移动间距s(mm)满足p/s≥2关系地间拔配置，在形成好的透镜部之间配置腔，所以，透镜部以间拔的状态形成在玻璃基板上，在间拔的区域上形成新的透镜部。因此是向各腔滴下树脂，在各腔中充填树脂时不会过分不足，各个透镜部独立形成，能够防止沉陷发生。结果，能够防止固化后的树脂上形成突起部位和缺损部位。

附图说明

图1：晶片透镜的概略结构平面示意图。

图2：晶片透镜概略结构示意图，是沿图1中D-D线的截面图。

图3：本发明优选实施方式晶片透镜制造装置的概略结构立体示意图。

图4：图3晶片透镜制造装置的平面图。

图5：本发明优选实施方式中使用的X轴移动机构的概略结构示意图，是沿图4中A-A线的截面图。

图6：本发明优选实施方式中使用的Y轴移动机构的概略结构示意图，是沿图4中B-B线的截面图。

图7：本发明优选实施方式中使用的XY台和定板内的概略结构截面示意图。

图8：沿图7中C-C线的截面图。

图9：本发明优选实施方式中使用的成型模具部的概略结构截面示意图。

图10：图9概略结构的平面示意图。

图11：本发明优选实施方式中对着成型模具配置分配器时的概略结构截面示意图。

图12：本发明优选实施方式中使用的概略性控制结构的方框示意图。

图13：本发明优选实施方式中晶片透镜制造方法的时序说明的概略性流程。

图14：图13的分配工序到脱模工序的压力状态的概略性时机示意图。

图15：本实施方式中用来调整玻璃基板和成型模具平行度的结构概略说明图。

图16：本实施方式中成型模具在二维平面的坐标轴变换概略说明图。

图17：成型模具的概略结构示意图，是沿图10中E-E线的截面图。

图18：成型模具相对移动的情况概略截面示意图。

图19：透镜部形成顺序的概略平面示意图。

图20：成型模具与玻璃基板外周边部相对时的对应方法概略说明平面图。

图21：玻璃基板上标有识别记号时的对应方法概略说明平面图。

图22：以往技术的说明概略图。

图23：以往技术中问题点的说明概略(a)截面图(b)平面图。

具体实施方式

以下参照附图，说明本发明的优选实施方式。

如图1、2所示，晶片透镜1具有圆形状玻璃基板2和多个凸透镜部4。玻璃基板2是基板的一例。

玻璃基板2的表面上阵列状配置着多个凸透镜部4。凸透镜部4的光学面表面上可以形成衍射槽和台阶等微细构造。玻璃基板2上也可以代替凸透镜部4而形成凹透镜部。

在凸透镜部4的周边形成了非透镜部6。凸透镜部4与非透镜部6由树脂构成一体，凸透镜部4和非透镜部6构成树脂部8。本实施方式中，对1张玻璃基板2，以模具单位依次形成凸透镜部4，最后按凸透镜部4切断玻璃基板2，进行单个化。

树脂部8用光固化性树脂形成。作为该光固化性树脂，可以采用例如丙烯树脂、烯丙酯树脂等，这些树脂可以通过原子团重合反应固化。

接下去对制造晶片透镜1时使用的晶片透镜制造装置(10)作说明。

如图3、4所示，晶片透镜制造装置10主要备有呈立方体的定板20、设在定板20上的XY台30、使XY台沿X轴方向移动的X轴移动机构100、使XY台沿Y轴方向移动的一对Y轴移动机构200。

如图4、5所示，X轴移动机构100具有延伸在X轴方向的X轴导向102。如图5所示，在X轴导向102的下方配置着XY台30。XY台30上形成了一对延伸在X轴方向的突条部31，X轴导向102被配置在突条部31之间。

如图5所示，X轴移动机构100具有使XY台30实际上沿X轴方向移动的线性马达110。线性马达110具有由固定子112、可动子114、标度116、传感118构成的周知的机构。

固定子112被固定在X轴导向102上。可动子114被固定在XY台30的一个突条部31上，可动子114能够沿X轴导向102移动。标度116被固定在X轴导向102上。传感118被固定在XY台30的另一个突条部31上。

X轴移动机构100中，由传感118检出标度116，同时，可动子114沿固定子112移动，这样，XY台30能够沿X轴导向102在X轴方向恰好移动所定距离。

XY台30的各突条部31中设有空气滑行导向机构120。空气滑行导向机构120具有喷出空气的喷出孔122。空气滑行导向机构120工作时从各喷出孔122向X轴导向102喷出空气，使XY台30沿X轴导向102滑行。

XY台30下部设有多个空气滑行导向机构130。各空气滑行导向机构130具有喷出空气的二个喷出孔132、136以及吸引空气的一个吸引孔134。空气滑行导向机构130工作时从各喷出孔132、136向定板20喷出空气，同时从吸引孔134吸引空气，使XY台30相对定板20浮动在一定高度的位置上。

如图3、4所示，Y轴移动机构200具有一对延伸在Y轴方向的Y轴导向202。Y轴导向202上设有一对Y轴移动体210。

各Y轴移动体210上固定着X轴导向102的两端，Y轴移动体210在支撑X轴导向102(XY台30)的状态下沿Y轴导向202在Y轴方向移动。

具体则是，Y轴移动机构200中设有线性马达220。线性马达220与X轴移动机构100的线性马达110结构相同，主要由固定子222、可动子224、标度226、传感(图示省略)构成，由传感检出标度226，同时，可动子224沿固定子222移动，这样，Y轴移动体210能够沿Y轴导向202在Y轴方向恰好移动所定距离。

如图6所示，Y轴移动体210的端部形成了呈钩状的钩部214、214，Y轴导向202的端部204、206嵌合埋设在各钩部212、214的内侧。

钩部212中设有空气滑行导向机构230，钩部214中设有空气滑行导向机构240。空气滑行导向机构230具有从三方向(上方、侧方、下方)喷出空气的喷出孔232、234、236。空气滑行导向机构240也具有从三方向(上方、侧方、下方)喷出空气的喷出孔242、244、246。

空气滑行导向机构230工作时从各喷出孔232、234、236向Y轴导向202的端部204喷出空气，另外，空气滑行导向机构240工作时也从各喷出孔242、244、246向Y轴导向202的端部206喷出空气，使Y轴移动体210滑行。

如图3、4所示，XY台30上设置着将树脂滴到玻璃基板2上的分配器32、测定成型模具64的平面度(倾斜)和高度位置等的激光测长仪34、成型模具64与玻璃基板2对准时使用的显微镜36。测定成型模具64的平面度(倾斜)时，除了使用激光测长仪34之外，也可以使用自动准直仪。

如图3所示，XY台30上形成了贯通上下面的、平面呈圆形状的贯通孔40，玻璃基板2被支承于贯通孔40中。

详细则是，贯通孔40中形成了台阶，在台阶用没有图示的弹簧固定玻璃基板2。XY台30上设有盖住贯通孔40的、平面呈四方形的盖部42。盖部42用石英板等光透过性部件构成，光源44被设置在盖部42的上方。

如图7所示，定板20上埋设着成型晶片透镜1凸透镜部4的成型模具部50、使成型模具部50沿Z轴方向升降移动的Z轴移动机构300。成型模具部50被设置在Z轴移动机构300(Z台304)的上部。

Z轴移动机构300主要备有：上部具有凸缘的四方筒状的Z轴导向302；在Z轴导向302内在Z轴方向移动的Z台304；使Z台304在Z轴方向(上下方向)移动的马达306。

马达306内藏分压器，马达上连接着传动轴308。Z轴移动机构300中，马达306工作时传动轴308上下伸缩，Z台304以及成型模具部50由此上下移动。

如图8(a)所示，在Z轴导向302的内周面与Z台304的侧面之间，设有间隙310。

Z轴导向302中设有空气滑行导向机构320。空气滑行导向机构320具有喷出空气的喷出孔322、324、326、328。空气滑行导向机构320工作时从各喷出孔322、324、326、328向Z台304喷出空气，使Z台304滑行。

如图7所示，Z轴导向302的形成凸缘的内周面用硅油、油封、O环等密封部件330密封，密封Z轴导向302和Z台304之间，使间隙310内的空气不漏到(不泄漏)Z轴导向302的上方。

另外虽然没有图示，更优选在上下移动的Z台304周围设凸缘部，用金属风箱覆盖与固定配置的Z轴导向302的凸缘部之间，进行密封，这样，同样能够得到上述效果。

如图7所示，由盖部42、XY台30、定板20、Z轴导向302围起的区域中形成了空间部400。空间部400被设置在XY台30上的玻璃基板2划分成与盖部42之间构成的上部空间部402，以及与Z轴移动机构300之间构成的下部空间部404。

这里，在玻璃基板2的周边部上形成了贯通上下面、相互连通上部空间部402及下部空间部404的连通孔3，构造上两空间部402、404没有差压。下部空间部404与真空泵等减压机构410连接，减压机构410工作使空间部400处于减压状态。

也可以例如如图7所示，在XY台30上形成连通孔38，以此代替在玻璃基板2上形成的连通孔3。

如图9所示，成型模具部50主要备有被依次设在Z台304上的第1支撑台52、压力传动装置54、第2支撑台56、压力传感58、第3支撑台60、成型模具64。

第1支撑台52和第2支撑台56通过预压用螺杆66联结，受作用而相互接近。在第1支撑台52和第2支撑台56之间设置3个压力传动装置54和L字状板弹簧68(请参照图10)。第2支撑台56和第3支撑台60通过螺杆70联结，第2支撑台56和第3支撑台60之间设有压力传感58。

如图10所示，3个压力传动装置54分别被设在第1支撑台52的3个角部上，用3点支撑第2支撑台56。成型模具部50中，根据压力传感58的输出值控制各压力传动装置54工作，调整第2支撑台56、第1支撑台60及成型模具64的倾斜。这样，能够调节成型模具64与玻璃基板2的平行，能够在成型模具64上滴下树脂之后，控制对树脂的荷重为所望压力，进行锁模和转印成型。

本实施方式中是用3个压力传动装置54构成的，但只要是适合于上述平行调节、能够进行荷重控制的配置和个数即可，个数并不局限于上述。

成型模具64中形成了多个腔65(这里是凹部)。腔65的表面(成型面)形状是与晶片透镜1上的凸透镜部4相应的负片形状，腔65是成型部。成型模具64可以是金属制的模具，也可以是树脂制的树脂模具，其表面被实施防水处理。

成型模具64的平面图如图10所示，各腔65被配置成锯齿状。也就是说，在相邻的腔65之间，空开能够配置1个腔65程度的间隔，各腔65被配置成间拔的状态。然后如图17所示，在相邻的腔65之间形成了凹部72。凹部72具有能够埋设腔65程度的深度。

如图11所示，分配器32具有滴下树脂的针部33，针部33贯通XY台30。在使XY台30的分配器32与成型模具部50相对配置的状态下，由XY台30、定板20、Z轴移动机构300围起的区域中形成空间部406，分配器32针部33的先端被置于空间部406中。在该状态下，减压机构410工作使空间部406处于减压状态。

图11中的其他结构与图7相同，对相同的结构部分标相同的符号，省略说明。

具有以上结构的晶片透镜制造装置10备有控制装置500。图12是本发明优选实施方式中使用的概略性控制结构方框示意图。控制装置500上连接着分配器32、激光测长仪34、显微镜36、光源44、成型模具部50(压力传动装置54、压力传感58、θ台62等)、X轴移动机构100、Y轴移动机构200、Z轴移动机构300、空气滑行导向机构120、130、230、240、320、减压机构410等，控制装置500接受上述部件的检测结果，控制它们的动作(工作、停止等)。

接下去参照图13、图14，对使用上述晶片透镜制造装置10制造晶片透镜1的方法作说明。

首先在XY台30上设置玻璃基板2(晶片载置工序S1)，用盖部42覆盖XY台30的贯通孔40(请参照图7)。

然后使X轴移动机构100(线性马达110)、Y轴移动机构200(线性马达220)、空气滑行导向机构120、130、230、240等工作，使XY台30在X轴方向及Y轴方向空气滑行，使分配器32位于成型模具64上方地进行位置对准(预对准工序S2)。

此时，在定板20的所定位置上事先标有对准标志，在预对准工序中，边用显微镜36确认该对准标志，边进行分配器32的位置对准。

分配器32位置对准之后使空气滑行导向机构120、130、230、240停止工作，在此位置锁定XY台30，使XY台30与定板20处于贴紧状态。

在该状态下，从分配器32针部33向成型模具64的各腔65上滴下所定量树脂(分配工序S3，请参照图11)。

此时，如图14中实线部分所示，控制减压机构410，减压空间部406。“减压”基本上是指使处于真空状态，详细则是，以分配器32的树脂本身内部不产生气泡的程度、且能够除去从大气混入树脂的气泡之程度，降低压力。例如，作为从分配器32滴下的树脂，使用烷氧类树脂时，只要使空间部406在2000Pa以上，便能够防止从该树脂内产生气泡。

通过在上述减压状态下进行分配工序S3的处理，能够防止向树脂内的气泡混入。

本实施方式中，从分配工序S3到脱模工序S7基本上使处于减压状态，减压的定义如上所述。

然后使空气滑行导向机构120、130、230、240工作，使XY台30在X轴方向及Y轴方向空气滑行，使预先设置好的玻璃基板2位于成型模具部50上方地进行位置对准(对准工序S4，请参照图7)。

然后，

(1)如图15所示，将激光测长仪34配置到成型模具64的正上方，并使空气滑行导向机构120、130、230、240停止工作，在此位置锁定玻璃基板2，使XY台30与定板20处于贴紧状态。

同时，控制马达306、空气滑行导向机构320，从喷出孔322、324、326、328喷出空气，将Z台304配置到所定高度位置，然后如图8(b)所示，例如，控制只从喷出孔322、328喷出空气，使Z台304一部分碰到Z轴导向302的内壁。这样能够锁定成型模具部50的位置(定位)，并且能够利用Z台304与Z轴导向302之间的摩擦力，将成型模具部50的位置保持在一定。

(2)然后，用激光测长仪34进行3点以上的高度测定，从测定结果算出成型模具64上面的倾斜和成型模具64的高度位置，根据其输出值(角度α的偏离值)，控制压力传动装置54，使玻璃基板2的下面与成型模具64的上面相互平行。

然后解除锁定状态，在成型模具64的正上方配置显微镜36。使空气滑行导向机构120、130、230、240停止工作，在此位置锁定玻璃基板2，使XY台30与定板20处于贴紧状态。

同时控制空气滑行导向机构320，如图8(b)所示，例如，控制只从喷出孔322、328喷出空气，使Z台304一部分碰到Z轴导向302的内壁。由此锁定成型模具部50的位置(定位)，并且利用Z台304与Z轴导向302之间的摩擦力，将成型模具部50的位置保持在一定。

通过Z轴导向302与Z台304如此接触，能够相对Z台304保持以一定位置和角度支承安装在其上的成型模具64。结果在解除锁定状态时，Z台304及成型模具64能够迅速动作，并且在锁定状态时，能够以反复调整时同样的姿势进行成型动作，具有优点。

(3)然后用显微镜36检测成型模具64，根据其检测结果，把握成型模具64的实际配置位置，按照其实际配置位置，在控制装置500中，作为轴坐标，变换预先设定的成型模具64的初期位置的轴坐标。

具体如下，从成型模具64上方用显微镜36至少识别2点位置，将其一个位置作为原点，另一个位置作为修正点。例如，事先对成型模具64在对角上标对准标志，将一个对准标志作为原点，另一个对准标志作为修正点。

本实施方式中，作为检测成型模具64配置位置的位置检测器一例，使用显微镜36。

然后，算出从原点向修正点的坐标变换用直线，算出该算出的直线与预先设定的轴坐标的偏离(角度θ的偏离值)，根据此偏离变换轴坐标。也就是说，在控制装置500中，作为轴坐标，预先设定成型模具64在平面上的配置位置，把握用显微镜36识别、算出的坐标变换用直线与该设定的轴坐标的偏离，如图16所示，将预先设定的轴坐标(虚线部分)变换到根据该偏离算出的轴坐标(实线部分)。由此，能够二维固定成型模具64与玻璃基板2的相对位置关系，能够相对成型模具64正确移动玻璃基板2。

也可以在成型模具部50中设使成型模具64旋转的θ台62(参照图9)，控制θ台62，使成型模具64与预先设定的坐标轴对应地旋转移动(使偏离的轴复原)，以此代替由控制装置500所作的上述轴坐标变换。

在该状态下位置控制成型模具部50，使成型模具64相对玻璃基板2上升移动到所定位置，将成型模具64保持在此所定位置(转印工序S5)。

具体则是使Z轴移动机构(马达306)工作，向上方伸出传动轴308，使Z台304移动到上方。

此时，根据内藏在马达306中的分压器的输出值控制马达306运转，使Z台304移动到所定高度位置。结果，树脂被压到玻璃基板2上逐渐展开，充填到成型模具64的腔65中。

在该转印工序S5中也控制减压机构410，对空间部400减压。

通过在减压状态下将树脂压到玻璃基板2上，能够防止气泡混入树脂内。另外，因为使空间部400处于减压状态，所以上部空间部402与下部空间部404之间没有差压，能够防止玻璃基板2翘曲和变形。

然后，在将Z台304保持在设定位置的状态下，控制光源44，对树脂照光，使树脂固化(曝光工序S6)。

此时，因为控制减压机构410使空间部400处于减压状态，所以，能够防止向树脂的氧障碍，能够确切地使树脂固化。并且，如果构成锁模后成型时开放大气压并净化氮之构成的话，尤其在对氧有固化障碍性的原子团反应类的紫外线固化性树脂的情况时，具有良好的固化效果。

树脂固化时(树脂固化时或之后)，如果就此保持Z台304在所定高度位置的话，即使树脂固化收缩，玻璃基板2也不随之收缩，树脂内部有可能变形、对树脂的腔65的面形状转印有可能不充分等。

对此，可以使光源44点灯一定时间，对树脂照射一定量的光，然后压力控制成型模具部50，保持成型模具62对玻璃基板2的压力在所定压力。

具体则是根据压力传感58的输出值，使压力传动装置54工作，使成型模具64移动到上方。

然后使光源44消灯，停止对树脂的光照射。光照射停止后，使马达306工作，使传动轴308缩到下方，使Z台304移动到下方。由此，从成型模具64与玻璃基板2一起脱模固化后的树脂(脱模工序S7)。

此时控制减压机构410使空间部400处于减压状态，这样没有大气压，所以容易脱模。结果，在玻璃基板2上形成与成型模具64的腔65个数相应的多个凸透镜部4。

然后，以分配工序S3到脱模工序S7的处理为1循环，反复所定次数该循环，进一步在玻璃基板2上依次形成多个凸透镜部4。

此时，在各循环的对准工序S4中，如下所述，位置对准玻璃基板2：使已经形成的凸透镜部4与成型模具64的凹部72相对，使成型模具64的腔65对在已经形成的凸透镜部4之间。如图18所示，相对来说，使成型模具64各偏离1个腔65单位地位置对准玻璃基板2。这样，如图19所示，在已经形成的凸透镜部4之间，依次填补似地，逐渐形成凸透镜部4。

以上例子中，成型模具64的凹部72是隔开1透镜部分单位形成的，但以该凹部72的间距(即腔65的间距)为p(mm)、成型模具64的移动间距为s(mm)时，只要是满足p/s≥2的间拔配置即可。

另外，图19中出示的成型模具64具有在移动方向和垂直于移动方向之方向二维配置的多个腔65，但成型模具64也可以具有只在移动方向线状配置的多个腔65。

另外，在成型模具64表面实施防水处理，即使树脂充填量稍微过剩，过剩的树脂也付在玻璃基板2表面，不会垂落到凹部72中。在已经形成的凸透镜部4间形成以后的凸透镜部4时，已经形成的凸透镜部4的周边的非透镜部6成为壁，过剩的树脂也不会垂落到凹部72。

对玻璃基板2形成所定个数的凸透镜部4之后，使空气滑行导向机构120、130、230、240工作，使XY台30、Z台304移动到所定位置，最后从XY台30除去盖部42，取出玻璃基板2(取出工序S8)。

根据上述本实施方式，成型模具64的各腔65被间拔配置成满足p/s≥2，在分配工序S3将树脂滴到各腔65中，所以，能够在各腔65中没有过分不足地充填树脂。然后在对准工序S4中使腔65对在已形成好的凸透镜部4之间地位置对准玻璃基板2，所以，凸透镜部4以间拔的状态形成在玻璃基板上，在该被间拔的区域上形成新的凸透镜部4。此时，因为凸透镜部4是各个独立形成的，所以能够防止沉陷发生。从而，能够防止树脂部8的非透镜部6上形成突起部位以及凸透镜部4上形成缺损部位。

另外，如图20所示，成型模具64与玻璃基板2在玻璃基板2的外周边部2a对着配置时，在分配工序S3中，只在对着玻璃基板2内侧的腔65a中滴下树脂，不在对着玻璃基板2外侧或玻璃基板2外周边部2a的腔65b中滴下树脂。

如图21所示，玻璃基板2上附有识别记号2b(玻璃基板2位置对准用的对准标志、玻璃基板2的制造号码等)时，在对准工序S4中使识别记号2b对着成型模具64的凹部72地位置对准玻璃基板2，在识别记号2b上不形成凸透镜部4。

本实施方式中是从分配工序S3到脱模工序S7，使玻璃基板2附近局部性处于减压状态，但上述步骤&重复方式、一次性方式的任何情况时，都可以将晶片透镜制造装置10(除控制装置500)整体设置在室等封闭系统中，使整个包括玻璃基板2附近的晶片透镜装置10整体，处于减压状态。

本实施方式中出示了制造晶片透镜1的例子，但本实施方式也可以适用于制造用来制造晶片透镜1的付主模的场合。付主模是以成型模具65为母模形成的树脂模具，基本上与在玻璃基板2上形成凸透镜部4相同，是对玻璃基板2形成树脂制的凹凸。

上述实施方式中，是在转印工序S5、曝光工序S6中减压空间部400的，但也可以例如没有形成在玻璃基板2上的连通孔3，只减压下部空间部404。

此时，如图14中虚线部分所示，优选在分配工序S3、转印工序S5、曝光工序S6之中至少一次开放到大气压。

分配工序S3中在减压状态下充填树脂时，能够防止气泡混入树脂内，但由于施加在树脂上的表面张力，树脂内部有时产生气泡。因此，在使处于减压状态之后，只要一次开放到大气压，就能够防止产生气泡，这样，能够消除树脂向腔65的未充填处。

在转印工序S5使上部空间部402、下部空间部404的2个都处于减压状态时，上部空间部402、下部空间部404之间没有差压，所以，能够防止气泡混入树脂内，但例如使上部空间部402为大气压、下部空间部404为减压状态的话，由于差压玻璃基板2会出现翘曲、变形。对此，将下部空间部404从减压状态开放到大气压时，能够保持玻璃基板平坦，能够在平坦的状态下进行转印。

曝光工序S6中在减压状态下曝光树脂时，能够防止氧引起的树脂固化障碍使树脂确切固化，但之后开放到大气压的话则能够提高转印性。

上述实施方式中出示了从成型模具64形成凸透镜部4的例子，但上述实施方式也可以适用于将成型模具64作为母模(主模)、形成树脂制模具(付主模)的情况。

附图标记说明

1晶片透镜

2玻璃基板

2a外周边部

2b识别记号

3连通孔

4凸透镜部

6非透镜部

8树脂部

10晶片透镜制造装置

20定板

30XY台

31突条部

32分配器

33针部

34激光测长仪

36显微镜

38连通孔

40贯通孔

42盖部

44光源

50成型模具部

52第1支撑台

54压力传动装置

56第2支撑台

58压力传感

60第3支撑台

62θ台

64成型模具

65腔

66螺杆

68板弹簧

70螺杆

72凹部

100X轴移动机构

102X轴导向

110线性马达

112固定子

114可动子

116标度

118传感

120空气滑行导向机构

122喷出孔

130空气滑行导向机构

132，136喷出孔

134吸引孔

200Y轴移动机构

202Y轴导向202

204，206端部

210Y轴移动体

212，214钩部

220线性马达

222固定子

224可动子

226标度

230空气滑行导向机构

232、234、236喷出孔

240空气滑行导向机构

242、244、246喷出孔

300Z轴移动机构

302Z轴导向

304Z台

306马达

308传动轴

310间隙

320空气滑行导向机构

322、324、326、328喷出孔

330密封部件

400空间部

402上部空间部

404下部空间部

406空间部

410减压机构

500控制装置

600成型模具

602腔

610玻璃基板

612透镜部

614突起部位

616缺损部位

Claims (3)

1.一种晶片透镜制造装置，用来制造在玻璃基板上形成树脂透镜部的晶片透镜，晶片透镜制造装置的特征在于，

备有：支撑并在平面移动所述玻璃基板的台；具有多个腔的成型模具；使所述成型模具向被所述台支承的所述玻璃基板上升移动的移动机构；控制所述台和所述移动机构的控制装置；

作为1循环，进行：在所述成型模具的所述玻璃基板上的第1位置上，在所述成型模具的多个腔中或所述玻璃基板上滴下树脂，将所述成型模具和所述玻璃基板的一方压到另一方，所述树脂固化，从固化后的树脂脱模所述成型模具；在脱模工序之后、使所述玻璃基板或所述成型模具的一方相对另一方移动、在第2位置上进行该循环进行透镜成型时，当以所述成型模具内的腔的所述移动方向上的腔间距为p(mm)、从所述第1位置向所述第2位置的移动间距为s(mm)时，使满足p/s≥2地进行所述成型。

2.一种成型模具，具有用来在玻璃基板上成型树脂透镜部或透镜部的负片形状的成型部，被用于在所述玻璃基板的第1位置上用所述成型部成型所述透镜部或所述透镜部的负片形状，然后在所述玻璃基板的第2位置上成型所述透镜或所述透镜部的负片形状，成型模具的特征在于，

当以所述成型模具的所述成型部间的间距为p(mm)、所述第1位置与所述第2位置的间距为s(mm)时，用满足p/s≥2的间隔，形成所述成型部。

3.一种晶片透镜的制造方法，备有：分配工序，在具有多个腔、且各腔被配置成间拔状态的成型模具中滴下树脂；对准工序，调整所述成型模具与玻璃基板的位置；转印工序，将所述成型模具和所述玻璃基板的一方压到另一方；固化工序，使所述树脂固化；脱模工序，从所述成型模具脱模所述玻璃基板；作为1循环，反复从分配工序到脱模工序的处理，在所述玻璃基板上依次形成树脂透镜部，晶片透镜制造方法的特征在于，

在各循环的对准工序中，在形成好的所述透镜部之间，配置所述成型模具的腔。

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