CN102449363A - 阀、流体装置及流体供给装置 - Google Patents

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Abstract

一种不使用主动元件就能开闭阀并能防止过剩供给的阀、流体装置及流体供给装置。该阀包括：阀筐体(10)；将该阀筐体(10)内部分割成第一阀室(11)和第二阀室(12)，并利用流体的压力而产生变位的隔膜(20)；设于第一阀室(11)的第一开口部(15)；设于第一阀室(11)的第二开口部(16)；以及设于第二阀室(12)的第三开口部(17)。当不驱动泵(4)时，作用于隔膜(20)的第二阀室(12)侧的力比作用于隔膜(20)的第一阀室(11)侧的力大，第二开口部(16)被隔膜(20)封闭。当驱动泵(4)时，若作用于隔膜(20)的第一阀室(11)侧的力变得比作用于隔膜(20)的第二阀室(12)侧的力大，则第一开口部(15)与第二开口部(16)被隔膜(20)连通。

Description

阀、流体装置及流体供给装置
技术领域
本发明涉及阀、尤其是用于对液体燃料等流体进行控制的阀，包括该阀的流体装置及流体供给装置。
背景技术
近年来，从节能、环保的观点出发，开始研究并开发将燃料电池系统导入移动电话、电脑等电子设备的电源部。在此，尝试了在燃料盒与发电单元之间设置微型泵，来促进燃料的供给。
作为这种微型泵，在专利文献1中已知有将用于防止流体逆流的单向阀设于流入口和流出口的压电泵。然而，根据燃料电池系统的驱动状况，从燃料盒流入压电泵的流体压力有时会变高。由于在该压电泵中设有上述单向阀，因此能抑制逆方向的流动，但却不能抑制顺方向的流动，因此当压电泵的流入侧变为较高的压力时，存在会过剩供给燃料的技术问题。
因此，考虑在燃料盒与泵之间或者在泵后设置阀。作为用于这种用途的阀，已知有利用电磁线圈、压电元件等主动元件进行阀的开闭驱动的电磁型阀、压电型阀。例如，在专利文献2中记载有将压电元件作为驱动源的阀。然而，主动元件容易产生故障，例如在压电型阀的情形下，存在不易操作压电元件、产生裂纹、出现移动等技术问题。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：国际公开第2008/007634号公报
专利文献2：国际公开第2008/081767号公报
发明的公开
发明所要解决的技术问题
本发明的目的在于提供不使用主动元件就能开闭阀并能防止过剩供给的阀、流体装置及流体供给装置。
解决技术问题所采用的技术方案
为实现上述目的，本发明第一方式的阀的特征是，包括：阀筐体；与上述阀筐体一起构成阀室的变位构件；设于上述阀筐体、与流体的流入侧连接的第一开口部；以及设于上述阀筐体、与流体的流出侧连接的第二开口部，上述第一开口部及上述第二开口部中的至少一个被上述变位构件关闭，通过上述第一开口部，使流体作用于上述变位构件的表面和背面的力产生差异，从而使上述变位构件变位，使上述第一开口部与上述第二开口部连通。
本发明第二方式的阀的特征是，包括：阀筐体；将上述阀筐体分割成第一阀室和第二阀室的变位构件；设于上述第一阀室侧的阀筐体、与流体的流入侧连接的第一开口部；设于上述第一阀室侧的阀筐体、与流体的流出侧连接的第二开口部；以及设于上述第二阀室侧的阀筐体、供从与自上述第一开口部流入的流体相同的流体源分流出的流体流入的第三开口部，上述第一开口部及上述第二开口部中的至少一个被上述变位构件关闭，通过上述第一开口部及上述第三开口部，使流体作用于上述变位构件的第一阀室侧的力与流体作用于上述变位构件的第二阀室侧的力产生差异，从而使上述变位构件变位，使上述第一开口部与上述第二开口部连通。
本发明第三方式的流体装置是由阀和差压产生元件构成的流体装置，其特征是，上述阀包括：阀筐体；与上述阀筐体一起构成阀室的变位构件；设于上述阀筐体、与流体的流入侧连接且与上述差压产生元件的喷出侧连接的第一开口部；以及设于上述阀筐体、与流体的流出侧连接的第二开口部，上述第一开口部及上述第二开口部中的至少一个被上述变位构件关闭，通过上述第一开口部，使流体作用于上述变位构件的表面和背面的力产生差异，从而使上述变位构件变位，使上述第一开口部与上述第二开口部连通。
本发明第四方式的流体装置是由阀和差压产生元件构成的流体装置，其特征是，上述阀包括：阀筐体；将上述阀筐体分割成第一阀室和第二阀室、并利用流体的压力而变位的变位构件；设于上述第一阀室、与流体的流入侧连接、且与使上述第一阀室和上述第二阀室之间产生压力差的上述差压产生元件的喷出侧连接的第一开口部；设于上述第一阀室侧的阀筐体、与流体的流出侧连接的第二开口部；以及设于上述第二阀室侧的阀筐体、供从与自上述第一开口部流入的流体相同的流体源分流出的流体流入的第三开口部，上述第一开口部及上述第二开口部中的至少一个被上述变位构件关闭，通过上述第一开口部及上述第三开口部，使流体作用于上述变位构件的第一阀室侧的力与流体作用于上述变位构件的第二阀室侧的力产生差异，从而使上述变位构件变位，使上述第一开口部与上述第二开口部连通。
本发明第五方式的流体供给装置是由流体供给源、阀和差压产生元件构成的流体供给装置，其特征是，上述阀包括：阀筐体；将上述阀筐体分割成第一阀室和第二阀室、并利用流体的压力而变位的变位构件；设于上述第一阀室侧的阀筐体、与流体的流入侧连接、且与使上述第一阀室和上述第二阀室之间产生压力差的上述差压产生元件的喷出侧连接的第一开口部；设于上述第一阀室侧的阀筐体、与流体的流出侧连接的第二开口部；以及设于上述第二阀室侧的阀筐体、供从与自上述第一开口部流入的流体相同的流体源分流出的流体流入的第三开口部，上述第一开口部及上述第二开口部中的至少一个被上述变位构件关闭，通过上述第一开口部及上述第三开口部，使流体作用于上述变位构件的第一阀室侧的力与流体作用于上述变位构件的第二阀室侧的力产生差异，从而使上述变位构件变位，使上述第一开口部与上述第二开口部连通。
由于在上述阀中设有变位构件，该变位构件因流入阀室的流体压力变化使得作用于表面和背面的力变化，进而产生变位，因此无需电磁型或压电型等特别的主动元件就能进行开闭。并且，由于采用以下结构：当不驱动时，第一开口部及第二开口部中的至少一个被变位构件关闭，利用差压产生元件等使流体作用于变位构件的表面和背面的力(作用于第一阀室侧的力和作用于第二阀室侧的力)产生差异，从而将第一开口部与第二开口部连通，因此，即便在不驱动时，第一开口部的流体压力上升，流体也不会从第二开口部泄漏，能防止过剩供给。此外，由于将流体压力作为驱动源，因此不需要电磁线圈、压电元件，不会出现在这种驱动源中产生的故障，可靠性良好。
发明效果
根据本发明，不使用主动元件就能开闭阀，而且能防止过剩供给。
附图说明
图1是表示包括第一实施例的从动阀的流体供给装置的示意结构图。
图2是表示图1所示的从动阀的分解立体图。
图3是表示图1所示的从动阀的动作原理的说明图。
图4是表示图1所示的从动阀的动作的说明图。
图5是表示包括第二实施例的从动阀的流体供给装置的示意结构图。
图6是表示图5所示的从动阀的动作的说明图。
图7是表示从动阀的变形例的剖视图。
图8是表示第三实施例的从动阀的剖视图，包括局部放大图。
图9是表示第四实施例的从动阀的剖视图。
图10是表示构成图9所示的从动阀的隔膜的剖视图。
图11是表示第五实施例的从动阀的剖视图。
图12表示第六实施例的从动阀，图12(A)是组装状态的剖视图，图12(B)是分解状态的剖视图。
图13是表示第七实施例的从动阀的剖视图。
图14是表示构成图13所示的从动阀的变位构件的剖视图。
图15是表示图14所示的变位构件的变形例的剖视图。
图16是表示第八实施例的从动阀的剖视图。
图17是表示第九实施例的从动阀的剖视图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的阀、流体装置及流体供给装置的实施例进行说明。在各图中，对相同的构件、部分标注相同符号，并省略重复说明。
(第一实施例、参照图1～图4)
如图1所示，包括第一实施例的从动阀3A的流体供给装置大致由燃料盒1、耐压用阀2、从动阀3A和作为差压产生元件的泵4构成，收容于燃料盒1的燃料(例如甲醇)从从动阀3A经由耐压用阀2及泵4供给到发电单元5。
从动阀3A包括：阀筐体10；将该阀筐体10内部分割成第一阀室11和第二阀室12的隔膜20；设于第二阀室12的比较用流入侧开口部(第三开口部)17及泵吸入侧开口部18；设于第一阀室11的泵喷出侧兼阀流入侧开口部(第一开口部)15及输出侧开口部(第二开口部)16。比较用流入侧开口部17经由耐压用阀2与燃料盒1连接。泵吸入侧开口部18与泵4的吸入口41连接。泵喷出侧兼阀流入侧开口部15与泵4的喷出口42连接。此外，输出侧开口部16与发电单元5连接。
另外，泵4是在吸入口41和喷出口42分别具有单向阀43、44的众所周知的构件。此外，燃料盒1、耐压用阀2和发电单元5也是众所周知的构件，省略其详细说明。此外，耐压用阀2并不是必要的。
如图2所示，阀筐体10是将形成有开口部17的顶板21、形成有第二阀室12及开口部18的板材22、隔膜20、形成有第一阀室11及开口部15的板材23、形成有开口部16的底板24层积而形成的。在第一阀室11中，密封构件(○形环)30与底板24粘接配置。
参照图3对从动阀3A的动作原理进行说明。第二阀室12内的流体作用于隔膜20的上侧的力为F2，第一阀室11内的流体作用于隔膜20的下侧的力为F1。力F1、F2为受压面积×流体压力，在第一阀室11内，将密封构件30的面积从隔膜20的下侧受压面积中减去。即，第二阀室12侧的受压面积比第一阀室11侧的受压面积大。当力F2比力F1大时(参照图3(A))，由于隔膜20按压密封构件30，因此开口部16相对于第一阀室11关闭。另一方面，当力F1比力F2大时(参照图3(B))，隔膜20凸起，开口部16相对于第一阀室11打开。
对于上述力关系，考虑到与燃料盒1及泵4的流体压力的关系，参照图4进行更具体的说明。将从燃料盒1流入第二阀室12的流体压力设为P2，将从泵4流入第一阀室11的流体压力设为P1，将隔膜20的阀室12侧的受压面积设为S1，将密封构件30的面积设为S2，此时若通过受压面积×流体压力来表示作用于隔膜20上下的力F2、F1，则第二阀室12内的流体作用于隔膜20的上侧的力F2满足面积S1×压力P2的关系，第一阀室11内的流体作用于隔膜20的下侧的力F1满足(面积S1-S2)×压力P1的关系。
燃料从上述燃料盒1流入第二阀室12，然后朝泵4的吸入口41流入。当不驱动泵4时，与燃料盒1侧的流体压力P2相比，泵4侧的流体压力P1减小因泵4而损失的压力的量，因此，压力P2＞压力P1。所以，作用于隔膜20上下的力变为力F2＞力F1，开口部16被关闭，燃料不会从开口部16供出。当驱动泵4将燃料从开口部15供给到第一阀室11时，压力P1逐渐变大，当力F2＜力F1时，隔膜20变位，开口部16被打开，燃料从开口部16供给到发电单元5。
因驱动泵4而产生的流体的压力差ΔP被定义成压力P1-压力P2。即便压力差ΔP为0，由于力F1的受压面积小S2的大小，因此力F2＞力F1，开口部16被关闭。可以说阀的可靠性较高。
此外，当因环境温度的上升等导致燃料盒1内的压力升高时，燃料流入第二阀室12，然后朝泵4流入。泵4虽然设有单向阀43、44，但不能阻止朝顺方向的流动。在这种情形下，在本从动阀3A中，即便第二阀室12的压力P2变大，也仅作为隔膜20按压密封构件30的压力起作用，维持力F2＞力F1的关系，所以，能保持开口部16的关闭状态，没有可能产生过剩供给。
藉此，即便不使用主动元件，也能获得具有较高可靠性的阀。此外，采用主动元件的阀所需的驱动回路及电能等也是不需要的，作为系统也能实现节能、小型化。
此外，在本第一实施例中，作为差压产生元件使用了泵，但作为本发明的差压产生元件，只要是能在第一阀室与第二阀室之间即变位构件(隔膜)的表面和背面产生压力差的构件即可，并不限定于泵。
另外，若使用泵作为差压产生元件，则能通过泵的驱动使开口部16开闭动作，从而能容易地调节压力P1、P2，开口部16的开闭动作的响应性优异。此外，也能用于例如具有可燃性的流体等，流体的物理特性没有限制，通用性优异。此外，在本阀中使用泵作为差压产生元件的情形下，作为流体装置有时能定量喷出。例如，在高度方向上将燃料盒设于与泵和本阀相同的高度位置、或将燃料盒设于远高于泵及本阀的高度位置时，能对本阀的第二阀室施加压力。藉此，流体在本阀的流出侧的开口部的压力变动变小。所以，即便因周围环境的变化使得泵的喷出侧及吸引侧的压力变动，也能抑制流量的变化，从而能定量喷出。
此外，第二阀室12无需一定以室这种方式形成。也可将图2所示的开口部18的宽度扩成与第二阀室12的直径相同的大小。但是，压力P1、P2和力F1、F2需要维持上述关系。
(第二实施例、参照图5及图6)
如图5所示，包括第二实施例的从动阀3B的流体供给装置基本上采用与上述第一实施例相同的结构。不同点在于，经由耐压用阀2与燃料盒1连接并与第二阀室12连通的比较用流入侧开口部17形成于阀筐体10的下侧，此外，燃料从燃料盒1经由耐压用阀2直接与泵4的吸入口41连接。开口部17从底板24穿过隔膜20与第二阀室12连通。此外，将泵4的喷出口42与第一阀室11连通的泵喷出侧兼阀流入侧开口部15形成于阀筐体10的下侧。
在本第二实施例中，从动阀3B的动作原理与上述第一实施例相同。即，燃料从燃料盒1经由开口部17流入第二阀室12，并朝泵4的吸入口41流入。当不驱动泵4时，压力P2＞压力P1，因此力F2＞力F1，开口部16被关闭，燃料不会从开口部16供出。当驱动泵4将燃料从开口部15供给到第一阀室11时，压力P1变大，当力F2＜力F1时，隔膜20变位，开口部16被打开，燃料从开口部16供给到发电单元5。
此外，当因环境温度的上升等导致燃料盒1内的压力升高时，燃料流入第二阀室12及泵4。泵4虽然设有单向阀43、44，但不能阻止朝顺方向的流动。在这种情形下，在本从动阀3B中，即便第二阀室12的压力P2变大，也仅作为隔膜20按压密封构件30的压力起作用，维持力F2＞力F1的关系，所以，能保持开口部16的关闭状态，没有可能产生过剩供给。
参照图6对第二实施例的从动阀3B的燃料盒侧压力P2与泵侧压力P1的关系进行说明。对构成阀筐体10的各构件的材质及厚度例示如下，构成薄且紧凑的从动阀。顶板21及底板24由丙烯酸树脂制成，厚度为3mm，板材22、23由玻璃环氧树脂制成，厚度为1.6mm，隔膜20由PET树脂制成，厚度为0.1mm。此外，密封构件30是NBR制的，阀筐体10的整体厚度为9.3mm。此外，平面尺寸为50mm×50mm。
在此，对隔膜20的直径为30mm、密封构件30的直径为5.0mm、第一阀室11及第二阀室12的高度为1.6mm、以1Hz、6Vpp驱动泵4时，从动阀3B打开时的压力P1、P2进行测定。其结果是，泵4侧的压力P1为6.0kPa，燃料盒1侧的压力P2为5.0kPa，证明了满足力F2＜力F1。
(从动阀的变形例、参照图7)
接着，参照图7对上述从动阀3A、3B的变形例进行说明。图7(A)所示的第一变形例是第一实施例的变形例，泵吸入侧开口部18形成于顶板21，泵喷出侧兼阀流入侧开口部15形成于底板24。图7(B)所示的第二变形例是第二实施例的变形例，泵吸入侧开口部18及泵喷出侧兼阀流入侧开口部15形成于底板24。图7(C)所示的第三变形例是第二实施例的变形例，采用三片板材22，将从比较用流入侧开口部17导入的燃料从正上方供给到第二阀室12。此外，泵喷出侧兼阀流入侧开口部15配置于稍靠外侧。
(第三实施例、参照图8)
图8表示第三实施例的从动阀3C。该从动阀3C是更薄、更小型的构件，顶板21、板材22、23、隔膜20和底板24均由PET树脂制成，密封构件31是硅橡胶制的。如放大图所示，密封构件31是包括突出的凸缘部32的简体，能与开口部16自由接触、分离地嵌合。
在本第三实施例中，从动阀3C的动作原理也与上述第一实施例相同。即，燃料从燃料盒1经由开口部17流入第二阀室12，并朝泵4的吸入口41流入。在不驱动泵4时，压力P2＞压力P1，满足力F2＞力F1的关系。由于密封构件31的凸缘部32与隔膜20接触，因此开口部16被关闭，燃料不会从开口部16供给出。当驱动泵4将燃料从开口部15供给到第一阀室11时，压力P1变大，当力F2＜力F1时，隔膜20朝燃料流入侧变位，在凸缘部32与隔膜20之间产生间隙。藉此，开口部16打开，燃料从开口部16供给到发电单元5。
如本第三实施例所述，在使用密封构件31的情况下，无需如上述第一实施例那样使用粘接剂等来固定密封构件，不会产生密封构件容易剥离等问题，因此能进一步提高可靠性。
(第四实施例、参照图9及图10)
图9表示第四实施例的从动阀3D。该从动阀3D将上述第三实施例的从动阀3C的密封构件31替换为图10所示的密封构件33。密封构件33由硅橡胶构成，在其上表面及下表面形成有截面呈三角形的环状突起部34、35，设于下表面的突部36也形成有截面呈三角形的环状突起部37。各突起部34、35、37与隔膜20、底板24按压接触，从而能更可靠地防止燃料泄漏。
(第五实施例、参照图11)
图11表示第五实施例的从动阀3E。该从动阀3E使上述第四实施例的从动阀3D的密封构件33与隔膜20(硅橡胶制)一体形成。藉此，无需如上述第一实施例那样使用粘接剂等来固定密封构件30，不会产生密封构件容易剥离等问题，因此能进一步提高可靠性。
(第六实施例、参照图12)
图12表示第六实施例的从动阀3F。该从动阀3F的阀筐体10由树脂成形品制成，由上筐体51和下筐体55构成。隔膜20被上筐体51和下筐体55夹住，在上筐体51形成有第二阀室12，在下筐体55形成有第一阀室11。此外，密封构件39与下筐体55一体形成。
隔膜20由柔软材料形成，被形成于上筐体51、下筐体55的微小突起52、56及形成于密封构件39的微小突起39a夹住而不会错位。
(第七实施例、参照图13～图15)
图13表示第七实施例的从动阀3G。与上述第六实施例相同，该从动阀3G的阀筐体10由树脂成形品(上筐体61及下筐体65)制成，且大致伞状的变位构件70例如由硅橡胶制成，变位构件70兼用作密封构件。
如图14所示，变位构件70由支承部71和以相对于该支承部71的轴向倾斜的状态设置的伞状可挠部72构成，在该伞状可挠部72上形成有环状的截面呈三角形的凸部73。输出侧开口部16位于前端74与凸部73之间，泵喷出侧兼阀流入侧开口部15位于凸部73与支承部71之间。伞状可挠部72是作为开闭阀起作用的部分，燃料盒1侧的压力P2在其长度尺寸a1上起作用，将伞状可挠部72朝下方按压。泵4侧的压力P1在从支承部71至凸部73的长度a2(a1＞a2)上起作用，将伞状可挠部72推起。
当不驱动泵4时，压力P2＞压力P1，力F2＞力F1，因此开口部16被关闭，燃料不会从开口部16供给出。当驱动泵4将燃料从开口部15供给到第一阀室11时，压力P1变大，当力F2＜力F1时，凸部73离开第一阀室11的底面，开口部16被打开，燃料从开口部16供给到发电单元5。此外，即便因环境温度的上升等导致燃料盒1内的压力升高、第二阀室12的压力P2变大，也能维持力F2＞力F1的关系，所以，能保持开口部16的关闭状态，没有可能产生过剩供给。
上述变位构件70也可以采用图15所示的变形例。在图15(A)所示的第一变形例中，伞状可挠部72的壁厚从基部到前端均一地形成得较厚，能将耐压设定得较高，考虑力F1、F2的平衡时的设计变得容易。图15(B)所示的第二变形例还省略了支承部71的下侧部分。此时，承受力F1的长度a2变大(维持a1＞a2的关系)，能以较小的压力差使开口部16打开。
(第八实施例及第九实施例、参照图16及图17)
最好能防止上述隔膜20在动作时固接于阀室11、12的相对面。为此，在第八实施例的从动阀3H中，在隔膜20的上下面中除去使第二开口部16关闭的部分的面上形成有多个微小的凹凸部20a。在第二开口部16的周围设有底座部25来代替密封构件30。
此外，在第九实施例的从动阀3I中，在第一阀室11及第二阀室12的与隔膜20的上下面相对的内表面上形成有多个微小凹凸部11a、12a。
另外，在该第八实施例及第九实施例中，利用上述第六实施例(参照图12)所示的筐体51、55构成阀筐体10。
(其它实施例)
本发明的阀、流体装置及流体供给装置并不限定于上述实施例，可在其发明思想范围内做各种变更。
尤其是，设于阀筐体的第一阀室及第二阀室没有必要一定在差压产生元件不驱动时独立地形成。例如，在变位构件直接使第二开口部关闭这种方式的情形下，也可采用当驱动差压产生元件而使变位构件变位时才使第一阀室明显存在的结构。此外，在变位构件直接使顶板的第三开口部关闭这种方式的情形下，也可采用当驱动差压产生元件而使变位构件变位时才使第二阀室明显存在的结构。
此外，只要使与从燃料盒流出的流体压力同步的压力作用于隔膜的上表面，也可以不设置第二阀室及第三开口部，而使第一开口部与流体的流入侧(例如泵的喷出口)直接连接。在不驱动泵时，与流体的流出侧(例如发电单元)连接的第二开口部被隔膜关闭。在不驱动泵时，从阀室的外侧作用于隔膜的力(实质上是与燃料盒的流体压力同步的压力×阀室面积)比从阀室的内侧作用于隔膜的力大，因此第二开口部被隔膜封闭。当驱动泵时，若从阀室的内侧作用于隔膜的力比从阀室的外侧作用于隔膜的力大，则第一开口部与第二开口部被隔膜连通。
综上所述，该从动阀包括：阀筐体；与该阀筐体一起构成阀室的变位构件；设于阀筐体，与流体的流入侧连接的第一开口部；以及设于阀筐体，与流体的流出侧连接的第二开口部，此外，该从动阀可采用以下控制：第一开口部及第二开口部中的至少一个被上述变位构件关闭，通过第一开口部，使流体作用于上述变位构件的表面和背面的力产生差异，从而使上述变位构件变位，藉此使第一开口部与第二开口部连通。
此外，作为流体，并不限定于供给到上述发电单元的液体燃料，气体也可以，气体的情形如上述实施例所述。
工业上的可利用性
如上所述，本发明对阀、流体装置及流体供给装置来说是有用的，尤其在不使用主动元件就能开闭阀，能防止过剩供给这点上优异。
符号说明
1燃料盒
3A～3I从动阀
4泵
5发电单元
10阀筐体
11第一阀室
11a、12a微小凹凸部
12第二阀室
15第一开口部
16第二开口部
17第三开口部
20隔膜
20a微小凹凸部
25底座部
30、31、33、39密封构件
70变位构件
71支承部
72伞状可挠部
73凸部

Claims (14)

1.一种阀，其特征在于，包括：
阀筐体；
与所述阀筐体一起构成阀室的变位构件；
设于所述阀筐体、与流体的流入侧连接的第一开口部；以及
设于所述阀筐体、与流体的流出侧连接的第二开口部，
所述第一开口部及所述第二开口部中的至少一个被所述变位构件关闭，
通过所述第一开口部，使流体作用于所述变位构件的表面和背面的力产生差异，从而使所述变位构件变位，使所述第一开口部与所述第二开口部连通。
2.一种阀，其特征在于，包括：
阀筐体；
将所述阀筐体分割成第一阀室和第二阀室的变位构件；
设于所述第一阀室侧的阀筐体、与流体的流入侧连接的第一开口部；
设于所述第一阀室侧的阀筐体、与流体的流出侧连接的第二开口部；以及
设于所述第二阀室侧的阀筐体、供从与自所述第一开口部流入的流体相同的流体源分流出的流体流入的第三开口部，
所述第一开口部及所述第二开口部中的至少一个被所述变位构件关闭，
通过所述第一开口部及所述第三开口部，使流体作用于所述变位构件的第一阀室侧的力与流体作用于所述变位构件的第二阀室侧的力产生差异，从而使所述变位构件变位，使所述第一开口部与所述第二开口部连通。
3.如权利要求2所述的阀，其特征在于，
所述变位构件与所述第二阀室的流体接触的面积比该变位构件与所述第一阀室的流体接触的面积大。
4.如权利要求1至3中任一项所述的阀，其特征在于，
所述第一开口部与差压产生元件连接。
5.如权利要求4所述的阀，其特征在于，
在所述第一开口部及所述第二开口部中的至少任一方设有密封构件，在不驱动所述差压产生元件时，所述密封构件与所述变位构件接触。
6.如权利要求5所述的阀，其特征在于，
所述密封构件形成环状，与所述变位构件线接触。
7.如权利要求5所述的阀，其特征在于，
所述密封构件与所述变位构件一体形成。
8.如权利要求4所述的阀，其特征在于，
所述变位构件由支承部和以相对于该支承部的轴向倾斜的状态设置的伞状可挠部构成，在该伞状可挠部的所述第一开口部侧及所述第二开口部侧的面上设有凸部，
在不驱动所述差压产生元件时，所述第二开口部被所述伞状可挠部的前端和所述凸部覆盖。
9.如权利要求1至8中任一项所述的阀，其特征在于，
所述变位构件是隔膜，在该隔膜的除去封闭部分的表面和/或所述第一阀室及第二阀室的与该隔膜相对的内表面形成有多个凹凸。
10.一种流体装置，是由阀和差压产生元件构成的流体装置，其特征在于，
所述阀包括：
阀筐体；
与所述阀筐体一起构成阀室的变位构件；
设于所述阀筐体、与流体的流入侧连接且与所述差压产生元件的喷出侧连接的第一开口部；以及
设于所述阀筐体、与流体的流出侧连接的第二开口部，
所述第一开口部及所述第二开口部中的至少一个被所述变位构件关闭，
通过所述第一开口部，使流体作用于所述变位构件的表面和背面的力产生差异，从而使所述变位构件变位，使所述第一开口部与所述第二开口部连通。
11.一种流体装置，是由阀和差压产生元件构成的流体装置，其特征在于，
所述阀包括：
阀筐体；
将所述阀筐体分割成第一阀室和第二阀室、并利用流体的压力而变位的变位构件；
设于所述第一阀室、与流体的流入侧连接、且与使所述第一阀室和所述第二阀室之间产生压力差的所述差压产生元件的喷出侧连接的第一开口部；
设于所述第一阀室侧的阀筐体、与流体的流出侧连接的第二开口部；以及
设于所述第二阀室侧的阀筐体、供从与自所述第一开口部流入的流体相同的流体源分流出的流体流入的第三开口部，
所述第一开口部及所述第二开口部中的至少一个被所述变位构件关闭，
通过所述第一开口部及所述第三开口部，使流体作用于所述变位构件的第一阀室侧的力与流体作用于所述变位构件的第二阀室侧的力产生差异，从而使所述变位构件变位，使所述第一开口部与所述第二开口部连通。
12.如权利要求10或11所述的流体装置，其特征在于，
所述差压产生元件是微型泵。
13.一种流体供给装置，是由流体供给源、阀和差压产生元件构成的流体供给装置，其特征在于，
所述阀包括：
阀筐体；
将所述阀筐体分割成第一阀室和第二阀室、并利用流体的压力而变位的变位构件；
设于所述第一阀室侧的阀筐体、与流体的流入侧连接、且与使所述第一阀室和所述第二阀室之间产生压力差的所述差压产生元件的喷出侧连接的第一开口部；
设于所述第一阀室侧的阀筐体、与流体的流出侧连接的第二开口部；以及
设于所述第二阀室侧的阀筐体、供从与自所述第一开口部流入的流体相同的流体源分流出的流体流入的第三开口部，
所述第一开口部及所述第二开口部中的至少一个被所述变位构件关闭，
通过所述第一开口部及所述第三开口部，使流体作用于所述变位构件的第一阀室侧的力与流体作用于所述变位构件的第二阀室侧的力产生差异，从而使所述变位构件变位，使所述第一开口部与所述第二开口部连通。
14.如权利要求13所述的流体供给装置，其特征在于，
使用燃料盒作为所述流体供给源，
使用微型泵作为所述差压产生元件，
该流体供给装置被组装于燃料电池系统。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112377648A (zh) * 2020-10-15 2021-02-19 北京航天石化技术装备工程有限公司 一种用于低压工况的单向阀

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5522270B2 (ja) * 2010-12-24 2014-06-18 株式会社村田製作所 流体供給装置
JP5779900B2 (ja) * 2011-02-15 2015-09-16 株式会社村田製作所 逆止弁、燃料電池システム、及びポンプ
JP2012217682A (ja) * 2011-04-11 2012-11-12 Omron Healthcare Co Ltd 流量制御弁およびこれを備えた血圧情報測定装置
TWI448867B (zh) * 2011-12-02 2014-08-11 Ind Tech Res Inst 可變節流裝置
JP5776793B2 (ja) * 2011-12-09 2015-09-09 株式会社村田製作所 気体制御装置
JP5957942B2 (ja) * 2012-02-22 2016-07-27 株式会社村田製作所 送液システム
JP5957941B2 (ja) * 2012-02-22 2016-07-27 株式会社村田製作所 バルブ、送液システム
JP5686224B2 (ja) * 2012-06-22 2015-03-18 株式会社村田製作所 送液装置
WO2014188915A1 (ja) 2013-05-24 2014-11-27 株式会社村田製作所 バルブ、流体制御装置
JP5850210B1 (ja) * 2014-05-13 2016-02-03 株式会社村田製作所 バルブ、流体制御装置
JP6601010B2 (ja) * 2015-06-23 2019-11-06 セイコーエプソン株式会社 バルブユニットの製造方法及びバルブユニット
TWI557321B (zh) * 2015-06-25 2016-11-11 科際精密股份有限公司 壓電泵及其操作方法
DE102016217435B4 (de) * 2016-09-13 2018-08-02 Albert-Ludwigs-Universität Freiburg Fluidpumpe und Verfahren zum Betreiben einer Fluidpumpe
DE102016219658C5 (de) 2016-10-11 2020-07-23 Conti Temic Microelectronic Gmbh Ventilvorrichtung für ein Fahrzeug, sowie Sitzanlage für ein Fahrzeug
JP6908175B2 (ja) * 2018-02-16 2021-07-21 株式会社村田製作所 流体制御装置
DE102018124467A1 (de) * 2018-10-04 2020-04-09 Mst Innovation Gmbh Hydraulisches Mikroventil
IT201900005804A1 (it) * 2019-04-15 2020-10-15 St Microelectronics Srl Valvola microfluidica a membrana ad attuazione piezoelettrica e relativo procedimento di fabbricazione
US11796085B2 (en) * 2019-07-26 2023-10-24 Lam Research Corporation Non-elastomeric, non-polymeric, non-metallic membrane valves for semiconductor processing equipment

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6065479U (ja) * 1983-10-14 1985-05-09 エスエムシ−株式会社 ２ポ−ト弁
JPH0665479U (ja) * 1993-02-17 1994-09-16 村田機械株式会社 糸条のスチームセッター
JP2003167635A (ja) * 2001-11-29 2003-06-13 Ace:Kk 背圧制御弁
CN1629528A (zh) * 2003-12-19 2005-06-22 株式会社三协精机制作所 阀装置
JP2006077823A (ja) * 2004-09-07 2006-03-23 Saginomiya Seisakusho Inc 圧力作動制御弁
JP2008218056A (ja) * 2007-02-28 2008-09-18 Toshiba Corp 燃料電池

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2042274A (en) * 1933-12-30 1936-05-26 Standard Oil Dev Co Method and apparatus for protecting oil storage tanks
US2837241A (en) * 1952-08-20 1958-06-03 Donald G Griswold Liquid flow control means for refueling apparatus and the like
US3075544A (en) * 1959-12-09 1963-01-29 Pettibone Mulliken Corp Vent valve with pilot and injection control
US3388717A (en) * 1964-02-12 1968-06-18 Robertshaw Controls Co Control means having outlet pressure sensing means
US3608773A (en) * 1968-04-29 1971-09-28 Ashland Oil Inc Coated tank
US3659625A (en) * 1970-02-16 1972-05-02 Westinghouse Air Brake Co Drain valve device
US3994357A (en) * 1975-06-06 1976-11-30 Colt Industries Operating Corporation Safety shut-off fuel system
US4581624A (en) * 1984-03-01 1986-04-08 Allied Corporation Microminiature semiconductor valve
US4754792A (en) * 1984-06-04 1988-07-05 Eaton Corporation Tire valve assembly for central tire inflation system
US4617952A (en) * 1984-07-31 1986-10-21 Yamatake-Honeywell Co. Limited Switching valve and an electro-pneumatic pressure converter utilizing the same
US4712580A (en) * 1986-03-21 1987-12-15 Intertech Resources Inc. Exhalation valve assembly
US4715578A (en) * 1986-12-22 1987-12-29 Cla-Val Company Diaphragm valve
US5176658A (en) * 1991-05-03 1993-01-05 Sherwood Medical Company Valve assembly for use in medical devices
US5203537A (en) * 1992-03-09 1993-04-20 Teledyne Industries, Inc. Piezoceramic valve actuator sandwich assembly and valve incorporating such an assembly
US5340081A (en) * 1993-06-07 1994-08-23 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Means for positively seating a piezoceramic element in a piezoelectric valve during inlet gas injection
US5282546A (en) * 1993-07-15 1994-02-01 Hoover Group, Inc. Composite above ground liquid storage vault
JP3456747B2 (ja) * 1994-04-20 2003-10-14 株式会社アサヒ・エンタープライズ 調整弁
US5628411A (en) * 1994-12-01 1997-05-13 Sortex Limited Valve devices for use in sorting apparatus ejectors
EP0826109B1 (de) * 1995-09-15 1998-12-09 Hahn-Schickard-Gesellschaft Für Angewandte Forschung E.V. Rückschlagventillose fluidpumpe
US5865417A (en) * 1996-09-27 1999-02-02 Redwood Microsystems, Inc. Integrated electrically operable normally closed valve
DE19648730C2 (de) * 1996-11-25 1998-11-19 Fraunhofer Ges Forschung Piezoelektrisch betätigtes Mikroventil
JPH10325474A (ja) * 1997-05-27 1998-12-08 Nok Corp 傘形バルブ
US6189858B1 (en) * 1997-12-12 2001-02-20 Smc Kabushiki Kaisha Piezoelectric valve
US7198250B2 (en) * 2000-09-18 2007-04-03 Par Technologies, Llc Piezoelectric actuator and pump using same
US7025324B1 (en) * 2002-01-04 2006-04-11 Massachusetts Institute Of Technology Gating apparatus and method of manufacture
US7628590B2 (en) * 2005-02-16 2009-12-08 Sterling Investments Lc Method and apparatus for reducing free flow risk
JP4793441B2 (ja) * 2006-03-22 2011-10-12 株式会社村田製作所 圧電マイクロポンプ
CN101415945A (zh) * 2006-03-29 2009-04-22 株式会社村田制作所 微型泵
CN102094796B (zh) 2006-07-11 2013-02-13 株式会社村田制作所 压电泵
JP4873014B2 (ja) * 2006-12-09 2012-02-08 株式会社村田製作所 圧電マイクロブロア
JP4858546B2 (ja) 2006-12-27 2012-01-18 株式会社村田製作所 圧電バルブ

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6065479U (ja) * 1983-10-14 1985-05-09 エスエムシ−株式会社 ２ポ−ト弁
JPH0665479U (ja) * 1993-02-17 1994-09-16 村田機械株式会社 糸条のスチームセッター
JP2003167635A (ja) * 2001-11-29 2003-06-13 Ace:Kk 背圧制御弁
CN1629528A (zh) * 2003-12-19 2005-06-22 株式会社三协精机制作所 阀装置
JP2006077823A (ja) * 2004-09-07 2006-03-23 Saginomiya Seisakusho Inc 圧力作動制御弁
JP2008218056A (ja) * 2007-02-28 2008-09-18 Toshiba Corp 燃料電池

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112377648A (zh) * 2020-10-15 2021-02-19 北京航天石化技术装备工程有限公司 一种用于低压工况的单向阀

Also Published As

Publication number Publication date
CN102449363B (zh) 2015-02-04
US9574674B2 (en) 2017-02-21
US20120244454A1 (en) 2012-09-27
EP2436961B1 (en) 2020-09-30
US9052021B2 (en) 2015-06-09
EP2436961A4 (en) 2017-09-27
WO2010137578A1 (ja) 2010-12-02
EP2436961A1 (en) 2012-04-04
JP5494658B2 (ja) 2014-05-21
US20150233484A1 (en) 2015-08-20
JPWO2010137578A1 (ja) 2012-11-15

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