CN102441540B - 封闭式清洗机 - Google Patents
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Abstract
在由可接近和离开工件承载用台架的双罩构成的洗涤槽中,双罩中的内罩设有洗涤喷嘴,在内罩和外罩中形成的通路作为用于排液或排气的流路,这是封闭型洗涤槽。可以产生涡旋流动并且向工件均匀喷射洗涤液并进行均匀清洗。可以产生由通路引起的抽吸效果并在内罩的周边部形成抽吸力并可产生涡旋。可是,因为涡旋生成力弱,所以不能期待有涡旋回旋效果。本发明是一种封闭式清洗机,它包括可自由启闭的封闭型洗涤舱、设置在洗涤舱一侧的喷嘴、设置在另一侧的抽吸部、设置在洗涤舱内且可自由转动的工件支承台,在洗涤舱中,在使由喷嘴喷出的洗涤液、清洗水或空气回旋的同时,能够向抽吸部进行引导。
Description
技术领域
本发明涉及被构造成通过抽吸旋流效果进行清洗或干燥的封闭式清洗机(配备有封闭型洗涤舱的清洗机)。
背景技术
传统的清洗机的概要是如此构成的结构,在清洗机的机体(壳体,箱体)内可自由转动地设有工件载台(支承台)并且在该载台附近设有多个喷嘴,由所述多个喷嘴朝向载台上的工件边回转边喷射洗涤液、清洗水或空气。因此存在着洗涤液、清洗水在机体内四散飞溅并附着或积聚在机体上等缺陷。而且,存在着从工件出来的尘土等附着或积聚在机体上等缺陷。如果有这样的缺陷,则存在机体污染、需要额外的劳力进行清扫等、效率低下等问题。
对于解决这样的问题的手段或清洗机和清洗装置,由现有技术进行了讨论。
文献1是日本专利特开2004-89946的“清洗装置”。该发明的结构是一种洗涤槽,它由可接近和离开设于支承工件的台架的双罩构成,在该双罩的内罩上配设有清洗喷嘴,并且在内罩和外罩中形成的通路作为排液或排气用流路,该发明的意图在于在封闭型清洗槽中实现工件的清洗和干燥。不过,该发明的特点是能够形成涡旋流并将洗涤液均匀喷射到工件上以及实现均匀清洗等。虽然该发明意图通过由通路引起的抽吸效果来产生涡旋流,可由于在内罩周边部上产生吸力,所以尽管可以产生涡旋流,但在内罩内室中没有产生吸力,所以估计涡旋流发生力较弱或者不能太期待有涡旋流效果。而且,双罩是半圆形的,涡流生成范围小,估计不能太期待有涡旋流效果。此外,台架是不转动的结构,估计需要工件清洗时间。而且,因为清洗喷嘴和通路是一体的,所以双罩的操作及其使用容易进行,但存在构造变得复杂或者双罩的重量增大等待改进点。而且,残留在台架上的洗涤液、灰尘等恐怕会从台架散落,估计在其使用和清扫上留有问题。
而且文献2是日本专利特开昭58-210888的“电机的清洗干燥方法”。该发明是这样的结构,安放在台子上的工件被送入封闭构造的处理室,在由上方的喷嘴喷射洗涤液的同时,使用后的洗涤液和尘土通过在处理室底部的排出管来收集。在这样的构造中,没有考虑涡流生成,估计不能期待有涡旋流效果。而且,台架是不转动的结构,想来需要工件清洗时间。
文献1:日本专利特开2004-89946;
文献2:日本专利特开昭58-210888。
发明内容
如上所述,在文献1和文献2中有着各种课题,本发明所着眼的以下特点是怎么也预期不到的。
1)特点是,在全封闭情况下发挥涡旋流效果,实现清洗(包括干燥)的高效化、洗涤舱内表面的无污染和干燥时间缩短或尘土的可靠回收等。
2)特点是,在全封闭情况下发挥涡旋流效果,由此将喷射所带来的脏污封在里面(消除洗涤舱外污染),而且沿着洗涤舱的内表面,洗涤液(洗涤剂)、清洗水和/或空气(气体)被向下引导,因此实现了洗涤舱的内表面无污染,干燥时间缩短或洗涤舱内表面的清扫次数减少、维护变得容易等。
3)特点是,在固定洗涤舱侧设置抽吸部和在活动洗涤舱侧设置洗涤液和清洗水用喷嘴和空气用喷嘴的结构中,活动洗涤舱能简单顺利地升降。
4)特点是,在沿交叉方向在活动洗涤舱侧设置洗涤液和清洗水用喷嘴和空气用喷嘴的结构中,发挥涡旋流效果,实现清洗高效化、洗涤舱内表面无污染、干燥时间缩短等。
5)特点是,在活动洗涤舱侧设置门形框架,框架的两端上分开设置洗涤液和清洗水用配管和空气用配管,由此能可靠顺利地给该洗涤液和清洗水用喷嘴和空气用喷嘴供应喷射用洗涤液、清洗水等。
6)特点是,采取在固定洗涤舱侧的开放部的表面上设置工件支承台的台面的结构,通过使洗涤液和清洗水用喷嘴和空气用喷嘴以及工件之间的距离接近,进一步发挥上述涡旋流效果,实现了清洗高效化、洗涤舱内表面无污染、干燥时间缩短等。
7)特点是,由设置在固定洗涤舱侧的抽吸部通过配管被引导至抽吸泵的蒸汽和/或灰尘通过烟雾收集器(过滤袋)来处理,清洁后的空气被排出,实现了避免车间空气污染。
本发明的第一发明方案实现了上述1)、2)和6)的特点。
第一发明方案是一种封闭式清洗机,它包括设置在机体上的可自由启闭的封闭型洗涤舱、设置在该洗涤舱的一侧的喷嘴、设置在另一侧的抽吸部、设置在该洗涤舱内的工件支承台和转动该工件支承台的驱动部,在所述封闭型洗涤舱中,在使由该喷嘴喷出的洗涤液、清洗水或空气回旋的同时,能够向该抽吸部进行引导。
第二发明方案实现了上述3)的特点。
第二发明方案是一种封闭式清洗机,在第一发明方案所述的封闭式清洗机中,该洗涤舱包括固定洗涤舱侧和活动洗涤舱侧,该活动洗涤舱侧可通过缸来升降。
第三发明方案实现了上述1)、3)和4)的特点。
第三发明方案是一种封闭式清洗机,在第一发明方案所述的封闭式清洗机中,在该洗涤舱的活动洗涤舱侧,沿交叉方向配置有喷嘴,所述喷嘴的纵向被用于洗涤液和清洗水,而所述喷嘴的横向被用于空气,并且设置在该固定洗涤舱侧的抽吸部与抽吸泵相连。
第四发明方案实现了上述5)的特点。
第四发明方案是一种封闭式清洗机,在第一发明方案所述的封闭式清洗机中,在设于该洗涤舱的活动洗涤舱侧的门形框架上立设有成对导杆,在该导杆从该机体的顶板突出的同时,支承板与该导杆的自由端侧对置,并且该缸设置在该支承板和该顶板之间。
第五发明方案实现了上述7)的特点。
第五发明方案是一种封闭式清洗机,在第四发明方案所述的封闭式清洗机中,在该门形框架上分别设有洗涤液和清洗水用配管和空气用配管,所述洗涤液和清洗水用配管通过管子与所述洗涤液和清洗水用喷嘴连接,并且该空气用配管通过管子与空气用喷嘴连接。
第一发明方案是一种封闭式清洗机,它包括设置在机体上的可自由启闭的封闭型洗涤舱、设置在该洗涤舱一侧的喷嘴、设置在另一侧的抽吸部、设置在洗涤舱内的工件支承台和转动该工件支承台的驱动部,在封闭型洗涤舱中,在使由该喷嘴喷出的洗涤液、清洗水或空气回旋的同时,能向该抽吸部进行引导。
因此,第一发明方案有以下特点:1)在全封闭情况下发挥涡旋流效果,实现清洗(包括干燥)的高效化、洗涤舱内表面的无污染和干燥时间缩短或尘土的可靠回收等;2)在全封闭情况下发挥涡旋流效果,由此将喷射所带来的脏污封在里面,而且沿着洗涤舱的内表面,洗涤液(洗涤剂)、清洗水和/或空气(气体)被向下引导,因此实现了洗涤舱的内表面无污染,干燥时间缩短或洗涤舱内表面的清扫次数减少、维护变得容易等;6)采取在固定洗涤舱侧的开放部的表面上设置工件支承台的结构,通过使洗涤液和清洗水用喷嘴和空气用喷嘴以及工件之间的距离接近,进一步发挥上述涡旋流效果,实现清洗高效化、洗涤舱内表面无污染、干燥时间缩短等。
第二发明方案是一种封闭式清洗机,在第一发明方案所述的封闭式清洗机中,该洗涤舱包括固定洗涤舱侧和活动洗涤舱侧,该活动洗涤舱侧可通过缸来升降。
因此,第二发明方案有以下特点:3)在固定洗涤舱侧设置抽吸部和在活动洗涤舱侧设置洗涤液和清洗水用喷嘴和空气用喷嘴的结构中,该活动洗涤舱侧能简单顺利地升降。
第三发明方案是一种封闭式清洗机,在第一发明方案所述的封闭式清洗机中,在该洗涤舱的活动洗涤舱侧,沿交叉方向配置有喷嘴,所述喷嘴的纵向被用于洗涤液和清洗水,而所述喷嘴的横向被用于空气,并且设置在该固定洗涤舱侧的抽吸部与抽吸泵相连。
因此,第三发明方案有以下特点:1)在全封闭情况下发挥涡旋流效果,实现清洗(包括干燥)的高效化、洗涤舱内表面的无污染和干燥时间缩短或尘土的可靠回收等;3)在固定洗涤舱侧设置抽吸部和在活动洗涤舱侧设置洗涤液和清洗水用喷嘴和空气用喷嘴的结构中,该活动洗涤舱侧能简单顺利地升降;4)在沿交叉方向在活动洗涤舱侧设置洗涤液和清洗水用喷嘴和空气用喷嘴的结构中,发挥涡旋流效果,实现清洗高效化、洗涤舱内表面无污染、干燥时间缩短等。
第四发明方案是一种封闭式清洗机,在第一发明方案所述的封闭式清洗机中,在设于该洗涤舱的活动洗涤舱侧的门形框架上立设有成对导杆,在该导杆从该机体的顶板突出的同时,支承板与该导杆的自由端侧对置,并且该缸设置在该支承板和该顶板之间。
因此,第四发明方案有以下特点:5)在活动洗涤舱侧设置门形框架,在框架两端上分开设置洗涤液和清洗水用配管和空气用配管,由此能可靠顺利地给洗涤液和清洗水用喷嘴和空气用喷嘴供应喷射用洗涤液、清洗水等。
第五发明方案是一种封闭式清洗机,在第四发明方案所述的封闭式清洗机中,在门形框架上分别设有洗涤液和清洗水用配管和空气用配管,所述洗涤液和清洗水用配管通过管子与所述洗涤液和清洗水用喷嘴连接,并且该空气用配管通过管子与空气用喷嘴连接。
因此,第五发明方案有以下特点:7)由设置在固定洗涤舱侧的抽吸部通过配管被引导至抽吸泵的蒸汽和/或灰尘通过烟雾收集器(过滤袋)来处理,清洁后的空气被排出,实现了避免车间空气污染。
附图说明
图1是表示配备有封闭型洗涤舱的本发明清洗机的整体的斜视图;
图2是表示清洗机整体的省略了局部截面的软管的正面原理图;
图3是表示清洗机主要部分的省略了软管的平面原理图;
图4是表示清洗机主要部分且示出从正面看上去的其局部的、省略了软管的侧视原理图;
图5是说明洗涤舱和洗涤液和清洗液用配管、支路软管和喷嘴的连接关系、空气用配管、支路软管与喷嘴的连接关系的放大模式图;
图6是简略示出洗涤舱的涡旋流效果、废气管和同抽吸泵的关系、废气流动的模式图;
图7是表示洗涤液、清洗水和空气的流动和回路的视图。
具体实施方式
1是清洗机A的底座,在该底座1上设有机体2(箱体)。而且,该机体2在两侧面上配备有观察窗200并在正面配设有工件W进出口201。在机体2内设有洗涤舱3。该洗涤舱3由未示出的、固定在支承于机体2上的支承部件上的固定洗涤舱侧300(固定洗涤舱)和可接近和离开固定洗涤舱侧300的活动洗涤舱侧301(活动洗涤舱)构成,在活动洗涤舱侧301闭合到固定洗涤舱侧300上时,形成封闭舱,而在分开时形成开放舱。
活动洗涤舱侧301可移动地设置在机体2上,在这个例子中,它由支承活动洗涤舱侧301的门形框架302、立设在框架302上且贯穿设置在机体2的顶面外侧的成对导杆303、与该导杆303的上端对置的支承板304构成。图中的305是缸,缸305设置在机体2的顶板上面和支承板304上。因此,通过缸305的活塞杆305a的上升(前进),导杆303通过支承板304上升,活动洗涤舱侧301通过与导杆303做相同运动的框架302上升,在离开固定洗涤舱侧300的同时,洗涤舱3开放,从而形成开放舱。而且,通过缸305的活塞杆305a的下降(后撤),导杆303通过支承板304下降,通过与导杆303做相同运动的框架302,活动洗涤舱侧301下降,闭合到固定洗涤舱侧300,同时洗涤舱3封闭而形成封闭舱。图中的5表示密封件。而且,306是导杆303的套筒,其垂设在机体2的顶板上面。
而且,在固定洗涤舱侧300的开放部的表面上300a,工件W支承台6的台面600被构造成齐平面设置。其理由是,通过使后述的洗涤液和清洗水用喷嘴、空气用喷嘴和工件W之间的距离B接近,进一步发挥上述涡旋流效果C,能够实现洗涤高效化并消除洗涤舱3的内表面3a(固定洗涤舱侧300的内表面和活动洗涤舱侧301的内表面)的污染。而且,估计起到使工件W的干燥时间缩短的作用。此外,工件支承台6通过马达M、减速器和/或传动装置等被转动。
在固定洗涤舱侧300的底面300b开设有大开口的抽吸部7(吸入部)。抽吸部7通过管道8与抽吸泵10(吸入泵)相连。因此,通过抽吸泵10的作用,能够在洗涤舱3的工作时通过抽吸部7和管道8使封闭舱内保持负压,或者通过该负压和涡旋流效果C,能将洗涤液、清洗水和空气或灰尘瞬间引导向抽吸泵10。
另外,在活动洗涤舱侧301上,平面看上去(图5)地沿交叉方向设有多个喷嘴11,在该纵向上直线设置的喷嘴11a用于洗涤液和清洗水,而在横向上直线设置的喷嘴11b用于空气。各喷嘴11分别通过管子(细软管)12a、12b和配管13a、13b以及粗软管(比管子粗)15a、15b与后述的供应源相连。因此,洗涤液、清洗水从供应源经软管15a和配管13a并且还经过管子12a由喷嘴11a喷向封闭的洗涤舱3。而且,空气从供应源经过软管15b和配管13b并且还经过管子12b由喷嘴11b喷向封闭的洗涤舱3。于是,在这个例子中,通过将配管13a、13b设置在支承活动洗涤舱侧301的框架302上而省略了用于支承配管13a、13b的支承部件(因使用框架302而省略),并且实现了清洗机A(机体1)的小型化和空间的有效利用和成本降低,同时具有保证配管13a、13b的长度并能够均匀供应交叉配置的多个喷嘴11等实用性。
图中的16表示烟雾收集器,17表示控制部,18表示开关。
接着,在参见图7来说明洗涤液、清洗水(假定为水)和空气的流动时,水通过配设了与水箱30相连的各部件的第一路径31沿箭头X方向供应并连同空气到达配管13a。而且,用过的水从抽吸部7被分支出来,通过配备有滤尘用过滤器的返回流路32沿箭头Y方向流动,返回到水箱并被再利用。而且,空气通过未示出的风机和配设了各部件的第二路径33沿箭头Z方向被输送,到达配管13b。于是,用过的空气经过抽吸部7、管道8和抽吸泵10,在烟雾收集器16中被处理之后,作为洁净空气向室内排出。
以下,在说明本发明动作的一个例子时,工件进出口201打开,工件W安置在工件支承台6上。接着,在工件进出口201被关闭之后,开关18被接通时,工件支承台6通过马达M被转动,同时从喷嘴11a喷射水和空气的混合液。因为洗涤舱3的密闭形状并处于负压氛围中,而且因为喷嘴11a直线配置和工件W在固定洗涤舱侧300的表面300a上且与工件支承台6台面600齐平地设置且工件W转动,所以喷出的水如图6所示涡旋回旋。因此,通过该涡旋流效果C,短时间内整洁地清洗干净。洗涤后的水在通过抽吸部7被比重分离之后返回到水箱30,而且蒸汽通过管道8在烟雾收集器16中被处理。
接着,从喷嘴11b喷射干燥用空气。因为洗涤舱3的密闭形式且处于负压气氛,而且因为喷嘴11b直线配置且工件W在固定洗涤舱侧300的表面上300a且以与工件支承台6的台面600齐平面的状态设置且工件W转动,所以所喷射的空气如图6所示涡旋回旋。因此,通过该涡旋流效果C,短时间内整洁地进行干燥。在被润湿和污染的空气在抽吸部7中经过比重分离后,蒸汽通过管道8在烟雾收集器16中被处理。
干燥结束后,切换开关18,开放工件进入口201,取出在工件支承台6上的处理完毕后的工件W,结束作业。
而且,尽管未示出,但该工件W的安放和取出也可以是自动化的。
附图标记列表
1底座;2机体;200观察窗;201工件进出口;3洗涤舱;3a内表面;300固定洗涤舱侧;300a表面上;300b底面;301活动洗涤舱侧;302框架;303导杆;304支承板;305缸;305a活塞杆;306套筒;5密封件;6工件支承台;600台面;7抽吸部;8管道;10抽吸泵;11喷嘴;11a喷嘴;11b喷嘴;12a管子;12b管子;13a配管;13b配管;15a软管;15b软管;16烟雾收集器;17控制部;18开关;30水箱;31第一路径;32返回流路;33第二路径;A清洗机;B距离;C涡旋流效果;M马达;W工件。
Claims (3)
1.一种封闭式清洗机,包括设置在机体上的可自由启闭的封闭型洗涤舱、设置在该洗涤舱的一侧的喷嘴、设置在另一侧的抽吸部、设置在该洗涤舱内的工件支承台和转动该工件支承台的驱动部,
该洗涤舱包括固定洗涤舱侧和活动洗涤舱侧,该活动洗涤舱侧通过缸来升降;
在该洗涤舱的活动洗涤舱侧,沿交叉方向配置有所述喷嘴,沿所述交叉中的一条直线设置的所述喷嘴用于洗涤液和清洗水,沿所述交叉中的另一直线设置的所述喷嘴用于空气,所述抽吸部设置在固定洗涤舱侧,抽吸泵连接至该抽吸部;
在所述封闭型洗涤舱中,在使由该喷嘴喷出的洗涤液、清洗水或空气回旋的同时,能向该抽吸部进行引导。
2.根据权利要求1所述的封闭式清洗机,其中,在设于该洗涤舱的活动洗涤舱侧的门形框架上立设有成对导杆,该导杆从该机体的顶板突出,同时,该导杆的自由端侧设置有支承板,并且该缸设置在该支承板和该顶板之间。
3.根据权利要求2所述的封闭式清洗机,其中,在该门形框架上分别设有用于洗涤液和清洗水的配管和用于空气的配管,所述用于洗涤液和清洗水的配管通过管子与用于洗涤液和清洗水的喷嘴连接,并且所述用于空气的配管通过管子与用于空气的喷嘴连接。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010-224111 | 2010-10-01 | ||
JP2010224111A JP5497607B2 (ja) | 2010-10-01 | 2010-10-01 | カプセル型の洗浄機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102441540A CN102441540A (zh) | 2012-05-09 |
CN102441540B true CN102441540B (zh) | 2016-02-10 |
Family
ID=45888737
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201010622488.3A Active CN102441540B (zh) | 2010-10-01 | 2010-12-28 | 封闭式清洗机 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9623447B2 (zh) |
JP (1) | JP5497607B2 (zh) |
KR (1) | KR101701517B1 (zh) |
CN (1) | CN102441540B (zh) |
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---|---|
US9623447B2 (en) | 2017-04-18 |
JP5497607B2 (ja) | 2014-05-21 |
KR20120034537A (ko) | 2012-04-12 |
KR101701517B1 (ko) | 2017-02-13 |
CN102441540A (zh) | 2012-05-09 |
US20120080063A1 (en) | 2012-04-05 |
JP2012076025A (ja) | 2012-04-19 |
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Legal Events
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---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant |