CN112775067B - 一种快速排放的机械手臂夹手清洗槽 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种快速排放的机械手臂夹手清洗槽，包括外槽体、固定在外槽体内的内槽体，以及固定在内槽体中的喷淋管组件，所述外槽体顶部敞口，底部为倾斜底面并在最低位置处具有排泄口，所述内槽体的顶部和底部均为敞口。本发明能够将清洗产生的残留物，快速排放出清洗槽外，提高清洗效率，能有效防止交叉污染机械手臂夹手。

Description

一种快速排放的机械手臂夹手清洗槽
技术领域
本发明属于半导体制造设备技术领域，涉及一种用于清洗机械手臂夹手的清洗槽，尤其涉及一种能够快速排放残留物的清洗槽。
背景技术
在半导体制造工艺中需要使用大量的湿法工艺设备，相关的湿法工艺设备透过机械手臂夹取批量晶圆片或晶圆托篮等物件进行湿法工艺。以湿法清洗设备为例，机械手臂夹手将批量晶圆片或是晶圆托篮运送至各式晶圆清洗槽需先进行机械手臂夹手的清洗。通常，机械手臂夹手清洗槽会通过阵列排布的喷淋装置利用纯净水将上下摆动的机械手臂夹手进行喷淋清洗，但是清洗槽通常采取平底式的腔体设计，清洗过程中常有因为残留物如清洗液、微尘附着腔体的壁上清洗不易造成清洗过程的交叉污染，进而产生机械手臂夹手对其它工艺区段的污染问题。因此，需要提供一种既可以提高清洗效率，又可达成快速泄排的机械手臂夹手清洗槽。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种快速排放的机械手臂夹手清洗槽，以克服现有技术存在的不足。
为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：
一种快速排放的机械手臂夹手清洗槽，其特征在于：包括外槽体、固定在外槽体内的内槽体，以及固定在内槽体中的喷淋管组件，所述外槽体顶部敞口，底部为倾斜底面并在最低位置处具有排泄口，所述内槽体的顶部和底部均为敞口。
采用上述结构，采用内、外槽体结构，将内槽体底部设计成敞口，并且外槽体的底部设计成倾斜底面，同时将排泄口设置在底面最低处，这样清洗产生的残留物，如清洗液、灰尘颗粒等能够快速排放出清洗槽外，提高清洗效率，避免残留在清洗槽内，有效防止交叉污染机械手臂夹手。
所述喷淋管组件由一对间隔相对布置的喷气管以及位于所述喷气管下方的一对间隔相对布置的喷液管组成。在清洗时，机械手臂夹手是插入两根喷气管以及两根喷液管之间，被两侧喷气管喷气以及两侧的喷液管喷淋进行清洗工作。
在本发明的具体实施方式中，所述内槽体内固定有两个喷淋管组件。这样一个清洗槽能够同时清洗两个机械手臂夹手，清洗效率比较高。
所述喷气管沿轴向分布有喷气孔，两根喷气管上的喷气孔彼此相对；所述喷液管沿轴向分布有喷液嘴，两个喷液管上的喷液嘴彼此相对。
在本发明的具体实施方式中，所述内槽体的两端的端板顶面设有与所述端板顶面共同夹紧所述喷淋管组件的一对喷气管的活动式压紧块。所述内槽体的两侧端板上还开设通孔，所述喷淋管组件的一对喷液管两端分别位于两侧端板的所述通孔内，所述端板内侧具有一对夹紧所述喷淋管组件的一对喷液管的活动式夹紧块。采用活动式压紧块和活动式夹紧块能够实现快速拆装喷气管和喷液管，也方便调节喷气管的喷气孔角度以及喷液管的喷液嘴角度。
在本发明的具体实施方式中，所述外槽体的两侧内壁中部分别具有支撑档，所述内槽体两侧壁下边缘具有向外折出的折边，所述折边通过螺栓固定所述支撑档上。这样的结构，方便内、外槽体的组装和拆卸。
在本发明的具体实施方式中，所述外槽体的底部底面分别从前端和后端向排泄口倾斜。这样的结构，使得残留物能够集中向底部中间流动排出，使得残留物不容易附着在槽体侧壁上。
在本发明的具体实施方式中，所述内槽体的一端面上固定有气体用三通阀和液体用三通阀，所述气体用三通阀的两出气口分别通过气体连接管分别与两个喷淋管组件的喷气管连接，所述液体用三通阀的两出液口分别通过液体连接管与两个喷淋管组件的喷液管连接。这样的结构，能够方便与清洗槽外的气体管路和液体管路连接。
采用上述技术方案，本发明的机械手臂夹手清洗槽具有快速排放残留物的优点，能够提高机械手臂夹手清洗效率，另外还具有方便拆装和调节喷气管和喷液管的优点，提高了清洗槽的使用范围的适用性。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本发明进行详细说明：
图1为本发明的内槽体和外槽体分离的结构示意图；
图2为本发明的外槽体的剖面示意图；
图3为本发明的内槽体部分的结构示意图；
图4为本发明的清洗槽清洗机械手臂夹手的示意图。
具体实施方式
如图1至图3所示，本发明的快速排放的机械手臂夹手清洗槽，包括外槽体100、内槽体200以及两个喷淋管组件300。
外槽体100和内槽体200均为矩形槽体。内槽体200固定在外槽体100内，内槽体200的顶面略低于外槽体的顶面，内槽体200的底面延伸至外槽体200的中间位置。
其中，外槽体100顶部敞口，底部具有分别从前端和后端向下倾斜的倾斜底面，前端侧的倾斜底面的倾斜角度为176°，后端侧的倾斜底面的倾斜角度为178°。外槽体100底部的最低位置开设有排泄口101，该排泄口101的孔径不小于50mm。外槽体100两侧内壁的中间位置分别固定有一根支撑档102。内槽体200顶部和底部均为敞口，两侧壁下边缘分别具有向外折出的折边201。折边201通过螺栓固定在支撑档102上。这样的结构，方便内、外槽体的组装和拆卸。
本发明的清洗槽内、外槽体结构，将内槽体200底部设计成敞口，并且外槽体100的底部设计成倾斜底面，同时将排泄口设置在底面最低处，这样清洗产生的残留物能够快速排放出清洗槽外，提高了清洗效率，避免残留在清洗槽内，有效防止交叉污染机械手臂夹手。
外槽体100和内槽体200选择具有一定刚度和强度且耐腐蚀的材质制作，例如聚丙烯(PP)、聚氯乙烯(PVC)、ABS树脂(ABS)、环氧树脂(EPOXY)、聚酰胺(PA)、聚酰亚胺(PI)、聚丁烯(PB)、聚碳酸酯(PC)、聚乙烯(PE)、聚醚醚酮(PEEK)、聚对苯二甲酸乙二酯(PET)、酚醛树脂(PF)、聚异丁烯(PIB)、聚乳酸(PLA)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚缩醛(POM)、聚丙烯(PP)、聚苯乙烯(PS)、可塑性淀粉材料(PSM)、聚砜(PSU.PSF)、聚偏氟乙烯(PVDF,Polyvinylidene fluoride)、聚四氟乙烯(PTFE)、聚氨酯(PU)、聚乙烯醇(PVA)、聚氯乙烯(PVC)、聚苯硫醚(PPS)、聚苯并恶唑(PBO)、聚苯并噻唑(PBT)、聚苯并咪唑(PBl)等塑料，金属材料可以不锈钢(SS304)、铝合金(AL3101)等。
两个喷淋管组件300沿纵向间隔布置在内槽体200内。喷淋管组件300由一对间隔相对的喷气管310以及位于喷气管310下方的一对间隔相对的喷液管320构成。
喷气管310上沿轴向间隔排列有10个喷气孔311。喷气管310采用聚偏氟乙烯(PVDF,Polyvinylidene fluoride)材料制作，这种材料本身刚性好，并且还具有低表面张力的特性，具有自洁性。
喷液管320上也是沿轴向间隔排列10个喷液嘴321，喷液管320的材质也选用聚偏氟乙烯。
为方便拆装喷气管以及调节喷气孔的方向，该一对喷气管310由内槽体200的两端的端板202顶面与活动式压紧块401共同夹紧固定在内槽体200的顶面上。具体地，端板202的顶面对应安装喷淋管组件300的位置上开设有两个半圆凹槽，活动式压紧块401的下表面也对应具有两个半圆凹槽，活动式压紧块401通过螺钉固定在端板202顶面上，喷气管310的端头则被夹紧固定在端板202顶面半圆凹槽和活动式压紧块402的半圆凹槽形成的圆孔中。如果需要拆卸喷气管，只需拆除活动式压紧块即可，如果要调整喷气管310的喷气孔的位置，只需松开螺钉，旋动喷气管即可。
为方便拆装喷液管以及调节喷液嘴的方向，在内槽体200的两端的端板202上对应喷液管320的安装位置开设有腰型的通孔203，该一对喷液管320的两端分别位于两侧端板202的通孔203内，在端板202内侧具有一对活动式夹紧块402通过螺栓收紧夹紧固定住该一对喷液管320。该一对活动式夹紧块402的结合面上各具有半圆凹槽从而形成夹紧喷液管的圆孔，其中下部的活动式夹紧块与端板的内侧表面固定在一起。如果需要拆卸喷液管，只需拆除上部的活动式夹紧块即可，如果要调整喷喷液管310的喷液嘴的位置，只需松开螺栓，旋动喷液管即可。
在内槽体200的其中一个端面上固定有气体用三通阀330和液体用三通阀340，气体用三通阀330位于液体用三通阀340的上方。气体用三通阀330的两出气口分别通过气体连接管331分别与两个喷淋管组件的喷气管310连接。液体用三通阀340的两个出液口通过液体连接管341分别与两个喷淋管组件的喷液管连接。
气体用三通阀330、气体连接管331、液体用三通阀340以及液体连接管341的材质均选优具有自洁特性的聚偏氟乙烯。
以上就是本发明的快速排放的机械手臂夹手清洗槽，使用时，气体用三通阀330的进气口连接半导体工艺设备中的清洁气体管路，液体用三通阀340的进液口连接半导体工艺设备中的纯净水管路，即喷气管310是使用洁净气体、喷液管320是使用纯净水对机械手臂夹手进行清洗。
如图4所示，机械手臂001的两个夹手002分别深入内槽体内的喷淋管组件300中，夹手002两侧是喷气管310和喷液管320。先由喷液管320上喷液嘴321喷出纯净水，借助机械手臂的上下摆动过程，喷淋洗净夹手表面；然后由喷气管310上喷气孔311喷出洁净气体，也借助机械手臂的上下摆动过程，将附着在夹手表面的纯净水吹离。
通过上述详细介绍可以看出，本发明的机械手臂夹手清洗槽具有快速排放残留物的优点，能够提高机械手臂夹手清洗效率，另外还具有方便拆装和调节喷气管和喷液管的优点，提高了清洗槽的用范围的适用性。
但是，本技术领域中的普通技术人员应当认识到，以上的实施例仅是用来说明本发明，而并非用作为对本发明的限定，只要在本发明的实质精神范围内，对以上所述实施例的变化、变型都将落在本发明的权利要求保护范围内。

Claims (4)

1.一种快速排放的机械手臂夹手清洗槽，包括外槽体、固定在外槽体内的内槽体，以及固定在内槽体中喷淋管组件，所述外槽体顶部敞口，底部为倾斜底面并在最低位置处具有排泄口，所述内槽体的顶部为敞口，其特征在于：所述内槽体的底部也为敞口，所述内槽体的顶面略低于所述外槽体的顶面，且所述内槽体的底面延伸至所述外槽体的中间位置，所述外槽体的两侧内壁中部分别具有支撑档，所述内槽体两侧壁下边缘具有向外折出的折边，所述折边通过螺栓固定所述支撑档上；所述喷淋管组件由一对间隔相对布置的喷气管以及位于所述喷气管下方的一对间隔相对布置的喷液管组成，以供夹手深入所述内槽体内使得所述夹手两侧是所述喷淋管和所述喷液管；所述内槽体的两侧端板顶面设有与所述端板顶面共同夹紧所述喷淋管组件中一对喷气管的活动式压紧块；所述内槽体的两侧端板上对应喷液管的安装位置开设有腰型的通孔，所述喷淋管组件的一对喷液管两端分别位于两侧端板的所述通孔内，所述端板内侧具有一对夹紧所述喷淋管组件的一对喷液管的活动式夹紧块；
所述内槽体的一端面上固定有气体用三通阀和液体用三通阀，所述气体用三通阀的两出气口分别通过气体连接管分别与两个喷淋管组件的喷气管连接，所述液体用三通阀的两出液口分别通过液体连接管分别与两个喷淋管组件的喷液管连接。
2.根据权利要求1所述的快速排放的机械手臂夹手清洗槽，其特征在于：所述内槽体内固定有两个喷淋管组件。
3.根据权利要求1所述的快速排放的机械手臂夹手清洗槽，其特征在于：所述喷气管沿轴向分布有喷气孔，两根喷气管上的喷气孔彼此相对；所述喷液管沿轴向分布有喷液嘴，两个喷液管上的喷液嘴彼此相对。
4.根据权利要求1所述的快速排放的机械手臂夹手清洗槽，其特征在于：所述外槽体的底部底面分别从前端和后端向排泄口倾斜。
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