CN102437158B - Cmos半导体器件及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种CMOS半导体器件，包括：NMOS晶体管，其衬底具有(100)/<110>织构；PMOS晶体管，其衬底外延生长在该NMOS晶体管衬底上，具有(110)/<111>织构；反应离子刻蚀工艺形成的沟槽，形成于该PMOS晶体管衬底上，其深度与该PMOS衬底厚度相等；GeSi外延层，生长在该沟槽中，其厚度至少可填满该沟槽深度。这种CMOS半导体器件在保证良好空穴迁移率的同时避免了eGeSi技术在(110)晶面上成核速度过快而导致应力损失的情况，并简化了eGeSi技术的难度。

Description

CMOS半导体器件及其制造方法
技术领域
本发明涉及一种互补金属氧化物半导体(Complementary Metal OxideSemiconductor，简称CMOS)半导体器件及其制造方法。
背景技术
随着器件尺寸越来越小(沟道长度已经缩短到数十nm)，相应地就使得晶体管阈值电压对半导体表面态(界面态)的敏感性变小了，同时在工艺上对阈值电压的控制水平也提高了。于是，为了进一步提高器件的频率、速度等性能，如何增大迁移率的问题就上升成为了一个需要注意的重要问题。
在传统的CMOS工艺中，(100)/<110>型织构的衬底为主流的衬底，但该衬底在保证电子的迁移率的同时，并不是对于空穴的最优衬底，因此，在衬底片晶向的选取上也相应地应该有所改变。由于在(100)晶面的Si片上，电子的迁移率较高，这有利于制作n-MOSFET，但是空穴的迁移率却较低(比电子的要低2.5倍～3倍)，这不利于制作p-MOSFET。因此对于CMOS器件和电路而言，单只采用(100)晶面的衬底片是不太好的。而采用(110)晶面的衬底可以得到更高的空穴迁移率。
为了克服此弊病，现在已经开始研制在同一块衬底片上具有两种晶面((100)晶面和(110)晶面)的片子，以便分别在(100)晶面和(110)晶面上制作n-MOSFET和p-MOSFET，使得CMOS器件和电路的性能得以大大提高。这种采用具有几种晶向的衬底片来制作器件和集成电路的技术称为混合晶向衬底技术(HOT)。HOT技术对于CMOS大规模集成电路的发展具有重要的意义。
目前业界主流的HOT技术，基本上是以(110)/<110>型织构为衬底，在其上集成(100)晶面，形成绝缘衬底上的硅(Silicon-On-Insulator，简称SOI)或者bulk(体衬底)的金属-氧化物-半导体(N-Mental-Oxide-Semiconductor，简称NMOS)。在其上应用eGeSi(嵌入式锗硅应变技术)时，势必有(110)晶面的出现。
对于(110)晶面，由于(110)晶面上GeSi外延的成核速度大，导致其上生长的GeSi薄膜粗糙度变大，由此带来的晶格适配造成了应力的损失，从而使eGeSi对于P沟道耗尽型场效应晶体管(positive channel Metal OxideSemiconductor，简称PMOS)的改善效果有所降低。这在Intel公司的eGeSi发展历史上也得到了印证，其沟槽形貌从第一代的矩形发展为避免(110)晶面出现的sigma形状。
现有技术中有实验证明，(110)/<110>衬底和(110)/<111>衬底在应力条件下，其空穴迁移率的表面差别不大，在高应力条件下，后者反而更好一些。
因此，如何避免(110)晶面在eGeSi沟道中出现，以及避免Sigma形状沟道的出现，实为目前业界需要解决的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种避免将eGeSi技术应用在(110)晶面上而引起晶格适配并带来应力损失的CMOS半导体器件及其制造方法。
为实现上述目的，本发明的技术方案如下：
一种CMOS半导体器件，包括：NMOS晶体管，其衬底具有(100)/<110>织构；PMOS晶体管，其衬底外延生长在该NMOS晶体管衬底上，具有(110)/<111>织构；反应离子刻蚀工艺形成的沟槽，形成于该PMOS晶体管衬底上，其深度与该PMOS衬底厚度相等；GeSi外延层，生长在该沟槽中，其厚度至少可填满该沟槽深度。
作为本发明上述CMOS半导体器件的一种优选方案：该沟槽截面形状为矩形。
本发明还公开了一种制造CMOS半导体器件的方法，包括如下步骤：以(100)/<110>织构作为NMOS晶体管的衬底，在该衬底上生长(110)/<111>织构作为PMOS晶体管的衬底；以反应离子刻蚀工艺形成沟槽，该沟槽深度与该PMOS衬底厚度相等；以选择性外延工艺在该沟槽中生长GeSi外延层，该外延层厚度应至少可填满该沟槽深度。
本发明中的CMOS半导体器件，由于避免了将eGeSi技术应用在(110)晶面上，从而在保证良好空穴迁移率的同时避免了eGeSi技术在该晶面上成核速度过快而导致应力损失的情况，并简化了eGeSi技术的难度。
附图说明
图1为CMOS半导体器件的原始衬底结构示意图；
图2为生长了PMOS晶体管衬底后的衬底结构示意图；
图3为生长了PMOS晶体管衬底后CMOS半导体器件结构示意图；
图4为形成了eGeSi沟槽后的CMOS半导体器件结构示意图；
图5为生长了GeSi外延层后的CMOS半导体器件结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图，对本发明的具体实施方式作进一步的详细说明。
本发明公开的一种CMOS半导体器件如图5所示，其具有：NMOS晶体管14，其衬底10具有(100)/<110>织构；PMOS晶体管13，其衬底12外延生长在该NMOS晶体管衬底10上，其衬底12具有(110)/<111>织构；反应离子刻蚀工艺形成的沟槽15，形成于该PMOS衬底12上，其深度与该PMOS衬底12厚度相等；GeSi外延层16，生长在该沟槽中，其厚度至少可填满该沟槽15深度。
图1至图5中的等腰梯形区域为STI浅沟槽隔离工艺形成的沟槽11，其中沉积有绝缘物质氧化物层。
本发明的CMOS半导体器件避免了将eGeSi技术应用在(110)晶面上，从而在保证良好空穴迁移率的同时避免了eGeSi技术在(110)晶面上成核速度过快导致的应力损失的情况。同时，反应离子刻蚀工艺形成的沟槽15截面形状为矩形，从而简化了eGeSi技术难度。
为制造本发明的CMOS半导体器件，其制造方法具体为：
第一步、提供经STI浅沟槽隔离、CVD化学气相沉积、CMP化学机械研磨等工艺后的第一衬底10，如图1所示，该第一衬底具有(100)/<110>织构；
第二步、在该第一衬底上生长具有一定厚度的第二衬底12，如图2所示，该第二衬底具有(110)/<111>织构；
第三步、在该第一衬底上制备NMOS晶体管14，在该第二衬底上制备PMOS晶体管13，如图3所示；
第四步、以反应离子刻蚀工艺在该第二衬底上形成沟槽15，使该沟槽15底部落在第一衬底10与第二衬底12的接触面上，如图4所示；
第五步、在沟槽15中生长GeSi外延层16，其厚度应至少可填满该沟槽15的深度，如图5所示。
根据本发明的一个实施例，沟槽15的截面形状为矩形，而不是sigma形状，从而降低了eGeSi技术的难度。
根据本发明的一个实施例，以APC高级制程控制技术控制第二衬底12的生长厚度、反应离子刻蚀工艺形成的沟槽15的深度以及GeSi外延层16的生长厚度，其中第二衬底12的生长厚度为300-600埃，沟槽15的深度与之相同，以确保沟槽15底部落在第一衬底10与第二衬底12的接触面上。GeSi外延层16的生长厚度为400-700埃，当GeSi外延层16超出沟槽15的深度100埃以上时，可确保(110)晶面在衬底的表面不会出现。
以上所述的仅为本发明的优选实施例，所述实施例并非用以限制本发明的专利保护范围，因此凡是运用本发明的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本发明的保护范围内。

Claims (4)

1.一种CMOS半导体器件，包括：
NMOS晶体管，其衬底具有(100)/<110>织构；
PMOS晶体管，其衬底外延生长在该NMOS晶体管衬底上，具有(110)/<111>织构；所述PMOS晶体管和所述NMOS晶体管在同一平面上；
反应离子刻蚀工艺形成的沟槽，形成于该PMOS晶体管衬底上，所述沟槽截面形状为矩形；所述沟槽深度与该PMOS衬底厚度相等，所述沟槽底部落在所述NMOS晶体管的衬底与PMOS晶体管的衬底的接触面上，形成所述沟槽底面的晶面为(100)晶面；
GeSi外延层，以选择性外延工艺生长在该沟槽中，其厚度至少可填满该沟槽深度以避免在该沟槽中出现(110)晶面，所述GeSi外延层的生长厚度为400-700埃；所述GeSi外延层厚度超出所述沟槽深度100埃以上。
2.如权利要求1所述的CMOS半导体器件，其特征在于，所述PMOS晶体管衬底的生长厚度为300-600埃。
3.一种制造如权利要求1所述的CMOS半导体器件的方法，包括如下步骤：
1)以(100)/<110>织构作为NMOS晶体管的衬底，在该衬底上生长(110)/<111>织构作为PMOS晶体管的衬底；所述PMOS晶体管和所述NMOS晶体管形成在同一平面上；
2)以反应离子刻蚀工艺形成沟槽，所述沟槽截面形状为矩形；该沟槽深度与该PMOS衬底厚度相等；所述沟槽底部落在所述NMOS晶体管的衬底与PMOS晶体管的衬底的接触面上，形成所述沟槽底面的晶面为(100)晶面；
3)以选择性外延工艺在该沟槽中生长GeSi外延层，该外延层厚度应至少可填满该沟槽深度；通过控制GeSi外延层的厚度，确保(110)晶面不出现在所述沟槽中，所述GeSi外延层的生长厚度为400-700埃；所述GeSi外延层厚度超出所述沟槽深度100埃以上。
4.如权利要求3所述的制造CMOS半导体器件的方法，其特征在于，所述PMOS晶体管衬底的生长厚度为300-600埃。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN111986991B (zh) * 2020-08-19 2023-06-23 株洲中车时代半导体有限公司 沟槽的刻蚀方法、碳化硅器件的制备方法及碳化硅器件

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7023057B2 (en) * 2003-10-29 2006-04-04 International Business Machines Corporation CMOS on hybrid substrate with different crystal orientations using silicon-to-silicon direct wafer bonding

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7439110B2 (en) * 2006-05-19 2008-10-21 International Business Machines Corporation Strained HOT (hybrid orientation technology) MOSFETs
US20080217686A1 (en) * 2007-03-09 2008-09-11 International Business Machines Corporation Ultra-thin soi cmos with raised epitaxial source and drain and embedded sige pfet extension
US8211786B2 (en) * 2008-02-28 2012-07-03 International Business Machines Corporation CMOS structure including non-planar hybrid orientation substrate with planar gate electrodes and method for fabrication

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7023057B2 (en) * 2003-10-29 2006-04-04 International Business Machines Corporation CMOS on hybrid substrate with different crystal orientations using silicon-to-silicon direct wafer bonding

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