CN102365814A - 旋转式振动波驱动装置 - Google Patents

Abstract

提供了一种能够减小接触部件的局部磨损并且能够减小由于长期操作造成的性能降低的旋转式振动波驱动装置。所述装置包括：机电能量转换元件；振动部件，其固定到所述机电能量转换元件并且由供应到所述机电能量转换元件的电压振动；以及移动部件，其与所述振动部件形成接触并且由所述振动摩擦地驱动，并且所述装置被构造成使得所述移动部件包括从所述移动部件的主体部分延伸的支撑部分、和从所述支撑部分延伸并且与所述振动部件形成接触的接触部分，并且使得所述支撑部分和所述接触部分的每一个被构造成在所述移动部件的旋转轴线方向上可独立地弹性变形。

Description

旋转式振动波驱动装置

技术领域

本发明涉及一种旋转式振动波驱动装置。

背景技术

大体上，应用于振动波马达的振动驱动装置具有在其中形成振动波的振动部件和与振动部件形成压力接触的移动部件，并且通过使振动部件和移动部件由振动波摩擦地驱动而获得驱动力。

所以，布置在振动部件和移动部件之间的接触部分通过在变形从而跟随振动部件的振动的同时反复地与振动部件接触和与振动部件分离而获得驱动力。

该类型的振动波马达的现有技术的形式在图9A中示出(参见日本专利申请公报第S61-224882号)。在图9A中，振动部件122形成为环形，并且多个突起122b在振动部件122的整个圆周上形成于振动部件122的上部部分中。

移动部件123借助于压紧部件(未示出)与振动部件122形成压力接触。移动部件123由弹性部件所形成的环状主体部分123a、从主体部分123a延伸的凸缘部分123b和接触部分123c构造，所述接触部分从凸缘部分123b的端部部分延伸并且具有与振动部件122发生接触的摩擦表面。

压电陶瓷121用粘合剂结合到振动部件122的底表面，并且当在其间具有相位差的交流电压从用于驱动马达的驱动电路(未示出)施加于压电陶瓷121时生成行波。当行波的行进方向是θ方向的正方向(参见图9A中的箭头)时，被摩擦驱动的移动部件123的移动方向变为θ方向的负方向。

在移动部件123被构造成具有凸缘部分的这种情况下，当在以移动部件的旋转轴线为中心的柱面坐标系中在由径向方向和竖直方向形成的平面上观察时在振动部件122中生成的振动的轨迹的方向基本上与移动部件123的接触部分的位移的方向一致。当振动轨迹的方向基本上与位移的方向一致时，可以减小在摩擦表面上的径向方向上的滑动以防止效率的降低。

此外，在另一个现有技术的形式中的振动波马达的移动部件的构造在图9C中示出(参见日本专利申请公报第2002-315364号)。

在图9C中，与振动部件形成接触并且具有预定的弹簧刚度的多个接触部分133c同心地设在移动部件133处。

由于设有多个接触部分133c，因此接触面积增加，并且接触部分的表面压力减小。由此，减小了接触部分133c的磨损以改善振动波马达的耐用性。

然而，如上所述的图9A中所示的现有技术形式的振动波马达的接触部分被构造成具有带预定接触宽度的悬臂段。

移动部件123的接触部分123c与振动部件122形成接触，如图9B中所示。

在该情况下，仅仅接触部分123c的摩擦表面的外径侧缘部分附近在强压力下与振动部件122形成接触，并且因此整个摩擦表面未与振动部件122形成均一接触。

所以，即使为了改善振动波马达的耐用性的目的通过简单地扩大接触部分123c来增加接触部分123c的接触面积以减小施加于摩擦表面的表面压力，接触面积也不会增加并且表面压力也不会减小，原因是摩擦表面仅仅在摩擦表面的外径侧缘部分附近与振动部件122形成接触。

此外，当接触部分123c的宽度增加时，即使在接触部分123c的外径侧缘部分附近的磨损加剧并且接触部分123c的整个摩擦表面与振动部件122形成接触的情况下，摩擦表面的其中振动部件122的振动轨迹的方向不与接触部分123c的位移的方向一致的部分也增加。

这导致效率的降低和振鸣声的生成，并且也导致磨损。因此，必须在整体上减小施加于振动部件的压力，使得即使在接触部分123c的外径侧缘部分处也使摩擦稳定，在该外径侧缘部分处，边缘部分在强压力下与振动部件形成接触。

输出扭矩可以被视为基本上与所施加的压力成比例。因此，当所施加的压力减小时，振动波马达的输出扭矩也被限制。

另一方面，在如上所述的图9C中所示的现有技术形式的振动波马达的接触部分133c中，设有多个接触部分，并且因此可以增加接触面积以改善振动波马达的耐用性。

此外，可以使各个接触部分的位移的方向与振动部件的振动轨迹的方向一致，使得减小摩擦表面上的径向方向上的滑动。

然而，接触部分133c中的每一个具有类似于如上所述的图9A中所示的现有技术形式的振动波马达的悬臂段。因此，根据如图9B中所示的振动部件和接触部分133c之间的接触状态，可能导致局部磨损，从而降低振动波马达的性能。

如上所述，在常规的振动波马达的接触部分的构造中，存在振动波马达的耐用性由于接触部分的局部磨损而降低的问题。

发明内容

考虑到上述问题，本发明的目的是提供一种能够减小接触部件的局部磨损并且能够减小由于长期操作造成的性能降低的旋转式振动波驱动装置。

本发明将提供一种旋转式振动波驱动装置，其将如下所述构造。

根据本发明，可以实现一种能够减小接触部件的局部磨损并且能够减小由于长期操作造成的性能降低的旋转式振动波驱动装置。

本发明的另外特征参考附图从示例性实施例的以下详细描述将变得显而易见。

附图说明

图1是用于描述根据本发明的第一实施例的振动驱动装置的构造的截面图。

图2是根据本发明的第一实施例的图1中所示的移动部件的部分放大截面图。

图3是示出一种状态的视图，在所述状态下根据本发明的第一实施例的图1中所示的振动部件和移动部件彼此形成接触。

图4A和图4B是示出分别用于描述这样的情况的比较例子的视图，其中移动部件的支撑部分和接触部分中的仅仅一个可以弹性变形。

图5A是根据第一实施例的振动驱动装置的第一变型的移动部件的部分放大截面图。

图5B是根据第一实施例的振动驱动装置的第二变型的移动部件的部分放大截面图。

图5C是根据第一实施例的振动驱动装置的第三变型的移动部件的部分放大截面图。

图5D是根据第一实施例的振动驱动装置的第四变型的移动部件的部分放大截面图。

图6A是根据本发明的第二实施例的振动驱动装置的移动部件的部分放大截面图。

图6B是根据第二实施例的振动驱动装置的第一变型的移动部件的部分放大截面图。

图7A是根据本发明的第三实施例的振动驱动装置的移动部件的部分放大截面图。

图7B是根据本发明的第四实施例的振动驱动装置的移动部件的部分放大截面图。

图7C是根据第四实施例的第一变型的移动部件的部分放大截面图。

图8A是根据本发明的第五实施例的振动驱动装置的移动部件的部分放大截面图。

图8B是根据第五实施例的第一变型的移动部件的部分放大截面图。

图9A是现有技术形式的振动驱动装置的透视图。

图9B是示出一种状态的视图，在所述状态下现有技术形式的振动驱动装置的振动部件和移动部件彼此形成接触。

图9C是另一现有技术的振动驱动装置的移动部件的部分放大截面图。

具体实施方式

在下面，将描述根据本发明的实施例。

(第一实施例)

图1中所示的根据本实施例的旋转式振动波驱动装置形成为环形，并且包括压电元件1、振动部件2和移动部件3。

压电元件1是将电量转换为机械量的机电能量转换元件，并且联接到振动部件2。

振动部件2是金属弹性部件，并且由基底2a、突起2b和凸缘部分2c构造，所述凸缘部分从基底2a延伸并且用于固定振动部件2。

突起2b沿着基底2a的外径侧围绕振动部件2的中心轴线同心地布置。突起2b的在移动部件3一侧上的表面是与移动部件3形成接触的表面。

移动部件3由弹性部件所形成的环形主体部分3a、支撑部分3b和具有摩擦表面的接触部分3c构造，所述摩擦表面与振动部件2的突起2b形成接触。

移动部件3被构造成在由压紧单元(未示出)施加的压紧力作用下与振动部件2形成压力接触，并且通过与振动部件2的摩擦被摩擦地驱动。

在振动驱动装置中，来自移动部件3的驱动力经由输出轴或类似物传递到振动驱动装置外部的装置，从而驱动该外部装置。

在示出图1的部分放大截面的图2中，支撑部分3b由第一支撑部分3d和第二支撑部分3e构造。

第一支撑部分3d与振动部件2的接触表面平行地从主体部分3a延伸。第二支撑部分3e从第一支撑部分3d的端部部分竖直地延伸。接触部分3c与振动部件2的接触表面平行地从第二支撑部分3e的端部部分延伸。

支撑部分3b和接触部分3c的每一个在厚度上形成为具有弹簧性质，并且具有悬臂段结构。

由此，使支撑部分3b和接触部分3c的每一个在移动部件3的旋转轴线方向上可弹性变形。此外，也使支撑部分3b和接触部分3c的每一个在移动部件3的径向方向上可弹性变形。支撑部分3b从主体部分3a延伸到内径侧，并且接触部分3c从支撑部分3b的端部部分延伸到外径侧。

此外，支撑部分3b和接触部分3c形成为在周向方向上具有均一厚度，使得接触部分3c的摩擦表面在旋转轴线方向和径向方向上的位移在周向方向上是均一的。在本发明中，径向方向表示垂直于旋转轴线方向的方向。

在示出振动部件和移动部件彼此形成接触的状态的图3中，驱动电压被施加于接合到振动部件2的压电元件1(未在图3中示出)，使得在由振动部件2和压电元件1构造的振动部件中通过常规技术生成行波。在振动部件2中生成的振动的幅度被设置为在外径侧比在内径侧更大。

振动部件2的突起2b的上表面在图3中的箭头所示的方向上振动，从而经由接触部分3c驱动移动部件3。

使移动部件3的支撑部分3b和接触部分3c的每一个可弹性变形，并且接触部分3c的位移被设置为在外径侧比在内径侧更大。由此，振动部件2的接触表面和接触部分3c的摩擦表面反复地彼此形成接触，同时振动部件2的接触表面的倾斜和接触部分3c的摩擦表面的倾斜保持彼此平行。

因此，接触部分3c的整个摩擦表面可以与振动部件2形成接触。

由此，可以使接触部分3c的摩擦表面上的接触表面压力均一，使得有可以减小在常规结构中成为问题的局部磨损。

此外，当在常规结构中移动部件的接触部分被扩大时，摩擦表面的部分(在所述部分中振动部件的振动轨迹的方向不与接触部分的位移的方向一致)增大，使得在径向方向上的滑动增加，这导致性能降低。

另一方面，在本实施例中，如图3中所示，移动部件3的接触部分3c的摩擦表面的位移的方向在摩擦表面的整个区域上与振动部件2的振动轨迹的方向基本上一致。

因此，当通过扩大接触部分3c增加接触面积时，可以改善振动驱动装置的耐用性，同时避免性能的降低(例如效率的降低和振鸣声的生成)。

在这里，描述了本实施例的效果，其中移动部件3的支撑部分3b和接触部分3c的每一个形成为可弹性变形。

作为将与本实施例比较的例子，分别在图4A和4B中示出了这样的情况，其中移动部件的支撑部分和接触部分中的仅仅一个可弹性变形。

如图4A中所示，在支撑部分3b弹性变形并且接触部分3c不弹性变形的情况下，振动部件2的接触表面的倾斜不与接触部分3c的摩擦表面的倾斜一致，这类似于常规结构的情况。所以，仅仅接触部分3c的摩擦表面的外径侧缘部分附近区域在强力作用下与振动部件2形成接触，并且接触部分3c的整个摩擦表面未与振动部件2形成均一接触。

这导致在强力作用下与振动部件形成接触的外径侧缘部分附近的局部磨损。由此，振动驱动装置的性能可能被降低。

相反地，如图4B中所示，在接触部分3c弹性变形并且支撑部分3b不弹性变形的情况下，振动部件2的接触表面的倾斜变为与接触部分3c的摩擦表面的倾斜基本上平行，使得接触部分3c的整个摩擦表面可以与振动部件2形成接触。

然而，接触部分3c的摩擦表面的位移的方向不与振动部件2的振动轨迹的方向一致，使得在径向方向上产生滑动。

这导致性能的降低，例如振鸣声的生成、扭矩的减小和效率的降低。

在本实施例中，由于支撑部分3b和接触部分3c的每一个可以弹性变形，因此接触部分3c的摩擦表面以这样的方式变形使得分别在图4A和4B中示出的支撑部分3b的变形和接触部分3c的变形彼此组合。

也就是说，接触部分3c的摩擦表面的倾斜(所述倾斜由支撑部分3b的变形形成)可以通过接触部分3c的变形改变，从而变为与振动部件2的接触表面的倾斜基本上平行。

此外，可以在移动部件3的接触部分3c的摩擦表面的整个区域上使振动部件2的振动轨迹的方向与该摩擦表面的位移的方向基本上一致。

由此，接触部分3c的整个摩擦表面可以与振动部件2形成接触。因此，接触部分3c的局部磨损可以被减小，并且由于长期操作造成的性能降低可以被减小。

应当注意在本实施例中，由第一支撑部分3d和第二支撑部分3e构造的支撑部分3b被构造成使得第一支撑部分3d与振动部件2的接触表面平行地从主体部分3a延伸，并且使得第二支撑部分3e从第一支撑部分3d竖直地延伸。

然而，本发明不限于这些构造。

例如，如图5A中所示，第一支撑部分13d可以从主体部分13a朝着内径侧倾斜地延伸。

此外，如图5B中所示，第二支撑部分23e可以从第一支撑部分23d朝着内径侧倾斜地延伸。此外，相反地，如图5C中所示，第二支撑部分33e可以从第一支撑部分33d朝着外径侧倾斜地延伸。

此外，如图5D中所示，支撑部分43b可以由一个支撑部分以这样的方式构造使得支撑部分43b从主体部分朝着内径侧倾斜地延伸，并且使得接触部分43c从支撑部分43b延伸。

当支撑部分如图5A、图5B、图5C和图5D中所示倾斜时，支撑部分的重量可以减小。由此，移动部件的支撑部分和接触部分的固有频率升高，使得关于振动部件的振动的随动性能可以被改善。

应当注意在图5A、图5B、图5C和图5D中，附图标记13a、13b、13c、13d和13e，附图标记23a、23b、23c、23d和23e，附图标记33a、33b、33c、33d和33e，以及附图标记43a至43c，对应于图2中的附图标记3a至3e。

(第二实施例)

根据本发明的第二实施例与上述第一实施例的区别在于支撑部分、接触部分和主体部分如图6A中所示被构造。

本实施例的其他元件(压电元件1和振动部件2)与对应于上述第一实施例的那些元件相同，并且因此它们的描述被省略。

应当注意，根据本实施例的图6A中所示的构造对应于图2以及图5A、图5B、图5C和图5D所示的构造。

在图6A中，支撑部分53b和接触部分53c通过金属板压力加工一体地形成。

支撑部分53b和接触部分53c由不锈钢板制造，并且受到淬火和回火处理以改善耐用性。

主体部分53a形成为环形，主体部分53a和支撑部分53b彼此接合，例如通过粘合剂、金属钎焊(例如软钎焊)结合，以及通过激光、电阻加热等焊接。

支撑部分53b和接触部分53c在厚度上形成为具有弹簧性质，使得使支撑部分53b和接触部分53c的每一个在移动部件53的旋转轴线方向上可弹性变形。此外，也使支撑部分53b和接触部分53c在移动部件53的径向方向上可弹性变形。支撑部分53b和接触部分53c形成为使得在接触部分53c与振动部件2形成接触时产生的接触部分53c的位移在外径侧比在内径侧更大。

由此，振动部件2的接触表面和接触部分53c的摩擦表面反复地彼此形成接触，同时振动部件2的接触表面的倾斜和接触部分53c的摩擦表面的倾斜保持彼此平行。因此，接触部分53c的整个摩擦表面可以与振动部件2形成接触。

由此，可以使接触部分53c的摩擦表面上的接触表面压力均一，使得可以减小局部磨损。

此外，在接触部分53c的摩擦表面的整个区域上，该摩擦表面的位移的方向与振动部件2的振动轨迹的方向基本上一致。

由此，当接触部分53c被扩大以增加接触面积时，可以改善振动驱动装置的耐用性，同时避免性能的降低，例如效率的降低和振鸣声的生成。

此外，支撑部分53b和接触部分53c可以通过压力加工一体地形成，并且主体部分53a也可以通过压力加工、烧结、压模铸造等形成。因此，与由常规切削加工形成这些部分的情况相比可以显著减小成本和制造时间。

此外，由于用于金属板压力加工的原材料的板厚度的精度很高，因此可以减小支撑部分53b和接触部分53c的弹性的变化，从而允许接触部分53c和振动部件2之间的稳定接触。

图6B中所示的本实施例的第一变型的构造对应于图2、图5A、图5B、图5C、图5D和图6A所示的构造。

如图6B中所示，附连部分63f从支撑部分63b的外径侧端部部分竖直地延伸，并且支撑部分63b和附连部分63f分别接合到主体部分63a。当附连部分63f形成为从支撑部分63b的端部部分延伸时，在所述这些部分受到淬火和回火处理时，一体形成的支撑部分63b、接触部分63c和附连部分63f的变形可以被抑制。

由此，可以减小用于以高平面度精度精加工接触部分63c的摩擦表面的抛光加工的时间。

应当注意，在本实施例中，淬火和回火处理作为用于改善耐磨性的表面处理被执行，但是本发明不限于此。接触部分的摩擦表面可以通过氮化处理、金属喷涂等进行硬化。

(第三实施例)

根据本发明的第三实施例与上述第一实施例的区别在于支撑部分、接触部分和主体部分如图7A中所示地构造。

本实施例的其他元件(压电元件1和振动部件2)与对应于上述第一实施例的那些元件相同，并且因此它们的描述被省略。

应当注意，图7A中所示的本实施例的构造对应于图2、图5A、图5B、图5C、图5D、图6A和图6B所示的构造。

在图7A中，接触部分73c从第二支撑部分73e延伸到外径段侧，并且使接触部分73c的内径侧端部部分从第二支撑部分73e突出到内径侧。

接触部分73c到内径侧的突出长度显著小于接触部分73c从第二支撑部分73e到外径侧的延伸长度。

所以，接触部分73c的整个摩擦表面可以与振动部件2形成接触，这类似于第一和第二实施例。

此外，在接触部分73c的摩擦表面的整个区域上，该摩擦表面的位移的方向与振动部件2的振动轨迹的方向基本上一致。

接着，将描述本实施例的效果，其中第二支撑部分73e相对于接触部分73c的端部部分形成于外径侧上。

当接触部分73c被扩大以便改善振动驱动装置的耐用性时，接触部分73c的摩擦表面的位移的方向与这种扩大相关地被调节，并且因此第二支撑部分73e的径向方向宽度也需要增加。

然而，当第二支撑部分73e的宽度增加时，它的重量也增加，使得支撑部分73b和接触部分73c的固有频率可能降低，从而导致关于振动部件2的振动的随动性能的降低。

由于该原因，在本实施例中，第二支撑部分73e的内径侧厚度减小，而第二支撑部分73e和接触部分73c之间的连接部分的外径侧位置被保持。

由此，支撑部分的重量可以减小以升高固有频率，从而可以改善关于振动部件2的振动的随动性能。

(第四实施例)

根据本发明的第四实施例与上述第一实施例的区别在于支撑部分、接触部分和主体部分如图7B中所示地构造。

本实施例的其他元件(压电元件1和振动部件2)与对应于上述第一实施例的那些元件相同，并且因此省略它们的描述。

应当注意，图7B中所示的本实施例的构造对应于图2、图5A、图5B、图5C、图5D、图6A、图6B和图7A所示的构造。

在图7B中，支撑部分83b和接触部分83c分别形成为独立部件。支撑部分83b和接触部分83c彼此接合，例如通过粘合剂、金属钎焊(例如软钎焊)结合，和通过激光、电阻加热等焊接。

这与支撑部分83b和接触部分83c一体地形成的情况相比有利于加工。

此外，可以由能够获得高摩擦力和高耐磨性的材料(例如氧化铝和碳化硅)制造接触部分83c，所述材料常由于其可加工性次于金属而常规上难以使用。

此外，接触部分83c也可以由通过煅烧产生的树脂制造，其中氟树脂粉末(PTFE：聚四氟乙烯)用作主要材料，并且其中碳纤维、聚酰亚胺和二硫化钼用作添加剂。

由此，可以增加振动波马达所生成的扭矩并且改善振动波马达的耐用性。

此外，两个突起83g形成于接触部分83c的摩擦表面上，从而与振动部件2形成接触。所以，即使在支撑部分83b接合到接触部分83c时接触部分83c的接合部分变形的情况下，由于仅仅突起83g与振动部件2形成接触，因此也可以减小这种变形的影响并且保持稳定的接触。

此外，尽管必须以高平面度精度精加工接触部分83c的摩擦表面以便使摩擦表面与振动部件2形成良好接触，根据本实施例，由于仅仅接触部分83c的摩擦表面上的突起83g需要被抛光，因此可以缩短加工时间。

应当注意，在本实施例中，使接触部分83c从支撑部分83b突出到内径侧，但是本实施例不限于此。

例如，如图7C中所示，接触部分93c的端部部分和支撑部分93b可以彼此接合，从而形成一个突起93g。

此外，在本实施例中，突起83g与接触部分83c的摩擦表面一体地形成，但是本发明不限于此。突起83g也可以形成为独立于接触部分83c的部件，从而接合到接触部分83c。

(第五实施例)

根据本发明的第五实施例与上述第一实施例的区别在于这样的构造，其中设有多个可动体，并且其中可动体的各个接触部分同轴地设置。

本实施例的其他元件(压电元件1和振动部件2)与对应于上述第一实施例的那些元件相同，并且因此省略它们的描述。

在示出根据本实施例的构造的图8A中，对于振动部件102，设置两个可动体103。可动体103的每一个的支撑部分103b和接触部分103c以这样的方式形成，使得接触部分103c的整个摩擦表面与振动部件102形成接触，并且振动部件102的振动轨迹的方向与摩擦表面的整个区域的位移的方向基本上一致。

当以这种方式提供两个可动体103时，摩擦力可以增加而不增加作用于接触部分103c的摩擦表面的表面压力，同时在可动体103的每一个中保持关于振动部件2的振动的随动性能。

由此，可以改善振动驱动装置中的扭矩的生成。

此外，当扭矩被保持时，表面压力可以减小，从而改善耐用性。

应当注意，在本实施例中，对于一个主体部分103a，设置一个支撑部分103b和一个接触部分103c，但是在本实施例中使用的支撑部分和接触部分的形状不限于此。

例如，如图8B中所示，对于一个主体113a，也可以设置多组支撑部分113b和接触部分113c。

如上所述，根据本发明的上述实施例的构造，移动部件的支撑部分和接触部分的每一个可弹性变形，使得移动部件的接触部分的整个摩擦表面可以与振动部件形成接触。

由此，接触部件的局部磨损可以减小，并且由于长期操作造成的性能降低可以减小。

此外，移动部件的摩擦表面的整个区域中的位移的方向与振动部件的振动的方向基本上一致，并且因此摩擦表面上的径向方向上的滑动可以减小。

尽管已参考示例性实施例描述了本发明，但是应当理解本发明不限于所公开的示例性实施例。以下权利要求的范围应当与最广义的解释一致，从而涵盖所有这样的变型以及等效结构和功能。

本申请要求于2009年4月7日提交的日本专利第2009-092671号和于2010年2月4日提交的日本专利第2010-023124号的权益，上述申请通过引用完整地被合并于本文中。

Claims (11)

1.一种旋转式振动波驱动装置，其被构造成包括：

机电能量转换元件；

振动部件，该振动部件固定到所述机电能量转换元件并且由供应到所述机电能量转换元件的电压振动；以及

移动部件，该移动部件与所述振动部件形成接触并且通过所述振动被摩擦地驱动，

其中所述移动部件包括：从所述移动部件的主体部分延伸的支撑部分、和从所述支撑部分延伸并且与所述振动部件形成接触的接触部分，并且

其中所述支撑部分和所述接触部分中的每一个被构造成在所述移动部件的旋转轴线方向上能够独立地弹性变形。

2.一种旋转式振动波驱动装置，其被构造成包括：

机电能量转换元件；

振动部件，该振动部件固定到所述机电能量转换元件并且由供应到所述机电能量转换元件的电压振动；以及

移动部件，该移动部件与所述振动部件形成接触并且通过所述振动被摩擦地驱动，

其中所述移动部件包括：从所述移动部件的主体部分延伸到内径侧的支撑部分；和从所述支撑部分的端部部分延伸到外径侧从而与所述振动部件形成接触的接触部分。

3.根据权利要求2的旋转式振动波驱动装置，其中所述支撑部分和所述接触部分形成为在周向方向上具有均一厚度。

4.根据权利要求1至权利要求3之一的旋转式振动波驱动装置，其中所述接触部分的位移在外径侧比在内径侧更大。

5.根据权利要求1至权利要求4之一的旋转式振动波驱动装置，其中所述支撑部分包括：从所述主体部分延伸的第一支撑部分；和从所述第一支撑部分的端部部分延伸的第二支撑部分。

6.根据权利要求1至权利要求5之一的旋转式振动波驱动装置，其中所述支撑部分和所述接触部分通过压力加工形成。

7.根据权利要求1至权利要求6之一的旋转式振动波驱动装置，其中使所述接触部分的内径侧端部部分从所述支撑部分突出到内径侧。

8.根据权利要求1至权利要求7之一的旋转式振动波驱动装置，其中所述接触部分由独立于所述支撑部分的部件形成，从而与所述支撑部分联接。

9.根据权利要求1至权利要求8之一的旋转式振动波驱动装置，其中摩擦表面包括至少一个突起。

10.根据权利要求9的旋转式振动波驱动装置，其中所述突起由独立于所述接触部分的部件形成，从而与所述接触部分联接。

11.一种旋转式振动波驱动装置，其包括根据权利要求1至权利要求10之一的旋转式振动波驱动装置中的至少两组的支撑部分和接触部分，其中各个接触部分同轴地设置。

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