CN102296354A - 一种硅料的铸锭方法 - Google Patents

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Abstract

一种硅料的铸锭方法,包括配料,按冶金级硅与太阳能级硅的重量比4:8备料,其中太阳能级硅中包含2-5%总重量的细碎硅料;布料,将细碎太阳能级硅铺设在坩埚底部,将冶金级硅铺设在细碎硅料上面和坩埚侧面,形成“凹”形,在坩埚中间铺设剩余太阳能级硅料,并根据目标电阻率加入掺杂剂;加热,将装有上述原料的坩埚置于铸锭炉中进行抽真空加热,分阶段升温使上部和四周的硅料熔化,至熔化后期延长熔化时间,使底部硅料全部熔化,然后进入长晶阶段;长晶,在长晶阶段,分阶段降温,使晶体由下至上生长,待晶体长成后,经退火冷却得到硅锭。该方法易于操作、成本低,适合规模化生产,制备的硅锭收益率高,且其回收料可重复利用。

Description

一种硅料的铸锭方法
技术领域
本发明涉及一种硅料的铸锭方法,特别是一种冶金级硅料的铸锭方法。
背景技术
在高速发展的光伏行业中,低成本一直是主要竞争点。目前晶体硅是最主要的太阳能电池材料。近年来,太阳能硅材料价格居高不下,且有逐步上升的趋势。
冶金级硅料其纯度介于工业硅和太阳能级硅之间,高纯度的冶金级硅通过铸锭、切片等加工可生产出符合要求的太阳能电池片。冶金级硅的生产技术在不断是深入,其产能也在不断扩大。对于冶金级硅的铸锭生产技术的也在不断的研究。利用低成本的冶金级硅和铸锭生产技术,可生产出多晶硅片,在降低成本的同时可满足市场的需求。
发明内容
本发明其目的就在于提供一种硅料的铸锭方法,该方法易于操作、成本低,适合规模化生产,制备的硅锭收益率高,且其回收料可重复利用。
实现上述目的而采取的技术方案,包括
(1) 配料,按冶金级硅与太阳能级硅的重量比4:8备料,其中太阳能级硅中包含2-5%总重量的细碎硅料;
(2) 布料,将细碎太阳能级硅铺设在坩埚底部,将冶金级硅铺设在细碎硅料上面和坩埚侧面,形成“凹”形,在坩埚中间铺设剩余太阳能级硅料,并根据目标电阻率加入掺杂剂;
(3) 加热,将装有上述原料的坩埚置于铸锭炉中进行抽真空加热,分阶段升温使上部和四周的硅料熔化,至熔化后期延长熔化时间,使底部硅料全部熔化,然后进入长晶阶段;
(4) 长晶,在长晶阶段,分阶段降温,使晶体由下至上生长,待晶体长成后,经退火冷却得到硅锭。
与现有技术相比,本发明的优点在于,利用低成本的冶金级硅和太阳能级硅混合铸锭技术生长多晶硅,得到的硅锭有高的收益率,降低了生产成本;整个工艺在铸锭炉中进行,易操作,容易实现产业化。
附图说明
下面结合附图对本发明作进一步详述。
图1是本发明的工艺流程图。
图2为第一层冶金级硅的装料图。
图3为第二层冶金级硅的装料图。
图4为第三层冶金级硅的装料图。
具体实施方式
如图1、图2、图3和图4所示,包括
(1) 配料,按冶金级硅与太阳能级硅的重量比4:8备料,其中太阳能级硅中包含2-5%总重量的细碎硅料;
(2) 布料,将细碎太阳能级硅铺设在坩埚底部,将冶金级硅铺设在细碎硅料上面和坩埚侧面,形成“凹”形,在坩埚中间铺设剩余太阳能级硅料,并根据目标电阻率加入掺杂剂;
(3) 加热,将装有上述原料的坩埚置于铸锭炉中进行抽真空加热,分阶段升温使上部和四周的硅料熔化,至熔化后期延长熔化时间,使底部硅料全部熔化,然后进入长晶阶段;
(4) 长晶,在长晶阶段,分阶段降温,使晶体由下至上生长,待晶体长成后,经退火冷却得到硅锭。
所述太阳能级硅中的细碎硅料的最大尺寸为20mm。
所述的冶金级硅为长条形状,最少两个面平整,可稳定与底面及顶部冶金级硅相接触,底层与上层的冶金级硅之间的布置角度为90度,共计铺设三层冶金级硅,冶金级硅之间和冶金级硅与坩埚之间留有2~5cm间隙。
所述的加热工艺中硅料熔化温度为1410~1600℃。
所述的长晶工艺,先快速降温到1410~1500℃,同时将隔热笼以选定速度打开,底部散热实现定向凝固,控制长晶速率1.0~1.2cm/h,使晶体由下至上稳定生长。
所述的掺杂剂为硼、稼或磷,掺杂后的目标电阻率为1.0~3.0Ω·cm。
实施例
包含以下步骤:
(1)计算冶金级硅和太阳能级硅混合的比例;
(2)将细碎太阳能级硅铺设在坩埚底部,将冶金级硅铺设在细碎硅料上面和坩埚侧面,形成“凹”形,在坩埚中间铺设剩余太阳能级硅料,并根据目标电阻率加入掺杂剂;
(3)将装有上述原料的坩埚置于铸锭炉中进行抽真空加热,分阶段升温使上部和四周的硅料熔化,至熔化后期延长熔化时间,使底部硅料全部熔化,然后进入长晶阶段;
(4)在长晶阶段,分阶段降温,以一定长晶速率使晶体由下至上生长,待晶体长成后,经退火冷却得到硅锭;
(5)将硅锭后续处理得到用于制作太阳能电池的硅片。
在上述步骤中:
步骤(1)中所述冶金级硅和太阳能级硅的重量比为4:8之间。
步骤(1)中所述的太阳能级硅中应包含一定量的细碎硅料,细碎硅料的最大尺寸为20mm。
步骤(2)中所述的冶金级硅为长条形状,最少两个面平整,可稳定与底面及顶部冶金级硅相接触。
步骤(2)中底层和上层冶金级硅之间的度角为90度,共计铺设三层冶金级硅。
步骤(2)中冶金级硅之间和冶金级硅与坩埚之间留的间隙为2~5cm。
步骤(3)中硅料熔化时候控制温度为1410~1600℃。
步骤(4)中所述的分阶段降温过程为:先快速降温到1410~1500℃,同时将隔热笼以选定速度打开,底部散热实现定向凝固,控制长晶速率1.0~1.2cm/h,使晶体由下至上稳定生长。
步骤(5)中的后续处理包含以下工序:开方、检测、去头尾、磨面、倒角和切片。
步骤(5)中的硅锭的收得率高于60%,硅锭去头尾的硅料可再利用。
本发明提供的一种冶金级硅的铸锭方法的具体工艺流程如图1所示。
计算冶金级硅和太阳能级硅混合的比例,选取的重量,其中包括8~20kg的细碎太阳能级别硅料。选择标准的450型坩埚,即其坩埚内部尺寸为840×840×400mm。依照以上标准,先将细碎硅料铺与坩埚底部,再选择15块冶金级硅按照3×5的方式铺设第一层冶金级硅,放置时候冶金级硅之间和冶金级硅与坩埚之间留的间隙为2~5cm。沿坩埚侧面放置第二层冶金级硅,与第一层之间的角度为90度,第二层铺设12块冶金级别硅。第三层铺设6块冶金级硅,与第二层层90度角。在坩埚的中间放置剩余的原生多晶硅,包括冶金级硅在内,共计装料420kg。冶金级硅、太阳能级硅和掺杂剂的填充方式如图2、3、4所示。掺杂剂为硼、稼或磷,掺杂后的目标电阻率为1.0~3.0Ω·cm。
将上述装有原料的坩埚置于铸锭炉中进行抽真空加热,铸锭炉为GT 450型等,控制加热器加热到1000~1500℃。进入熔化阶段后,采用温度控制加热,控制加热温度在1410~1600℃。进入长晶阶段,快速将温度由1550℃降至1432℃,在开始30min内将隔热笼打开至10cm,使底部散热实现定向凝固,之后隔热笼打开速度先后按1.6cm/h和0.33cm/h的速度打开;长晶过程中控制长晶速率1.0~1.2cm/h,使晶体由下至上稳定生长。
将上述长成后的晶体硅经过退后、冷却后得到硅锭。所得的硅锭进过开方后得到25个小硅棒,小硅棒经过检测、去头尾、切片等工序得到多晶硅片。
以上方法得的小硅棒的整体平均少子寿命大于5us,按少子寿命2us进行检测划线,硅锭收益率为64.81%。
以上铸锭方法得到的多晶硅片制作成的太阳能电池转换效率可达到16.7%以上。

Claims (6)

1.一种硅料的铸锭方法,其特征在于,包括
(1)配料,按冶金级硅与太阳能级硅的重量比4:8备料,其中太阳能级硅中包含2-5%总重量的细碎硅料;
(2)布料,将细碎太阳能级硅铺设在坩埚底部,将冶金级硅铺设在细碎硅料上面和坩埚侧面,形成“凹”形,在坩埚中间铺设剩余太阳能级硅料,并根据目标电阻率加入掺杂剂;
(3)加热,将装有上述原料的坩埚置于铸锭炉中进行抽真空加热,分阶段升温使上部和四周的硅料熔化,至熔化后期延长熔化时间,使底部硅料全部熔化,然后进入长晶阶段;
(4)长晶,在长晶阶段,分阶段降温,使晶体由下至上生长,待晶体长成后,经退火冷却得到硅锭。
2.根椐权利要求1所述的一种硅料的铸锭方法,其特征在于,所述太阳能级硅中的细碎硅料的最大尺寸为20mm。
3.根椐权利要求1所述的一种硅料的铸锭方法,其特征在于,所述的冶金级硅为长条形状,最少两个面平整,可稳定与底面及顶部冶金级硅相接触,底层与上层的冶金级硅之间的布置角度为90度,共计铺设三层冶金级硅,冶金级硅之间和冶金级硅与坩埚之间留有2~5cm间隙。
4.根椐权利要求1所述的一种硅料的铸锭方法,其特征在于,所述的加热工艺中硅料熔化温度为1410~1600℃。
5.根椐权利要求1所述的一种硅料的铸锭方法,其特征在于,所述的长晶工艺,先快速降温到1410~1500℃,同时将隔热笼以选定速度打开,底部散热实现定向凝固,控制长晶速率1.0~1.2cm/h,使晶体由下至上稳定生长。
6.根椐权利要求1所述的一种硅料的铸锭方法,其特征在于,所述的掺杂剂为硼、稼或磷,掺杂后的目标电阻率为1.0~3.0Ω·cm。
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Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102776557A (zh) * 2012-08-16 2012-11-14 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司 一种用碎硅片作为籽晶来铸造多晶硅锭的方法
CN102899720A (zh) * 2012-09-28 2013-01-30 东海晶澳太阳能科技有限公司 一种高效多晶硅的铸锭方法
CN102925958A (zh) * 2012-08-16 2013-02-13 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司 一种利用复熔工艺提高多晶晶体质量的方法
CN103215633A (zh) * 2013-04-10 2013-07-24 衡水英利新能源有限公司 一种多晶硅的铸锭方法
CN103361731A (zh) * 2013-06-21 2013-10-23 东海晶澳太阳能科技有限公司 一种掺镓晶体硅中金属镓的使用方法
CN103422165A (zh) * 2013-07-22 2013-12-04 湖南红太阳光电科技有限公司 一种多晶硅及其制备方法
CN103696001A (zh) * 2013-12-11 2014-04-02 浙江硅宏电子科技有限公司 一种多晶硅铸锭时的长晶控制方法
CN104131341A (zh) * 2014-08-14 2014-11-05 无锡尚品太阳能电力科技有限公司 高效多晶硅铸锭的制作工艺
CN104131339A (zh) * 2014-07-18 2014-11-05 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种多晶硅片的制备方法
CN104499046A (zh) * 2014-12-15 2015-04-08 山西潞安太阳能科技有限责任公司 一种多晶硅锭制备方法
CN105780110A (zh) * 2016-04-20 2016-07-20 佳科太阳能硅(龙岩)有限公司 一种采用冶金法多晶硅掺镓制作高效多晶硅片的方法
CN106191993A (zh) * 2016-06-26 2016-12-07 河南盛达光伏科技有限公司 一种籽晶重复利用铸造多晶的方法
CN110965121A (zh) * 2019-12-31 2020-04-07 宁晋晶兴电子材料有限公司 一种低衰减多晶硅及其制备方法

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005016821A1 (ja) * 2003-08-14 2005-02-24 Tokyo University Of Agriculture And Technology Tlo Co., Ltd. Gaドープ結晶シリコン、その製造方法及びその製造方法に用いるGaドープ結晶シリコン製造装置、並びにGaドープ結晶シリコン基板を用いた太陽電池及びその製造方法
EP1766107A2 (en) * 2004-06-30 2007-03-28 Rec Silicon, Inc. Process for producing a crystalline silicon ingot
CN101357765A (zh) * 2008-09-11 2009-02-04 贵阳高新阳光科技有限公司 一种太阳能级硅的制备方法
CN101570888A (zh) * 2009-06-11 2009-11-04 浙江碧晶科技有限公司 一种可去除含碳杂质的太阳能级硅晶体的制备方法
US20100052105A1 (en) * 2008-08-29 2010-03-04 Silicon Genesis Corporation Free-standing thickness of single crystal material and method having carrier lifetimes
CN101864594A (zh) * 2010-06-10 2010-10-20 晶海洋半导体材料(东海)有限公司 一种准单晶硅的铸锭方法
CN101880911A (zh) * 2010-04-29 2010-11-10 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司 一种多晶硅铸锭工艺
CN102021650A (zh) * 2010-12-31 2011-04-20 常州天合光能有限公司 一种大型多晶锭的生产方法
CN102066249A (zh) * 2008-06-16 2011-05-18 N.E.D.硅股份公司 通过定向凝固提纯冶金级硅以及获得光电用途的硅锭的方法和装置

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005016821A1 (ja) * 2003-08-14 2005-02-24 Tokyo University Of Agriculture And Technology Tlo Co., Ltd. Gaドープ結晶シリコン、その製造方法及びその製造方法に用いるGaドープ結晶シリコン製造装置、並びにGaドープ結晶シリコン基板を用いた太陽電池及びその製造方法
EP1766107A2 (en) * 2004-06-30 2007-03-28 Rec Silicon, Inc. Process for producing a crystalline silicon ingot
EP1766107A4 (en) * 2004-06-30 2009-11-11 Rec Silicon Inc METHOD FOR PRODUCING A SILICONE CRYSTAL STAIN
CN102066249A (zh) * 2008-06-16 2011-05-18 N.E.D.硅股份公司 通过定向凝固提纯冶金级硅以及获得光电用途的硅锭的方法和装置
US20100052105A1 (en) * 2008-08-29 2010-03-04 Silicon Genesis Corporation Free-standing thickness of single crystal material and method having carrier lifetimes
CN101357765A (zh) * 2008-09-11 2009-02-04 贵阳高新阳光科技有限公司 一种太阳能级硅的制备方法
CN101570888A (zh) * 2009-06-11 2009-11-04 浙江碧晶科技有限公司 一种可去除含碳杂质的太阳能级硅晶体的制备方法
CN101880911A (zh) * 2010-04-29 2010-11-10 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司 一种多晶硅铸锭工艺
CN101864594A (zh) * 2010-06-10 2010-10-20 晶海洋半导体材料(东海)有限公司 一种准单晶硅的铸锭方法
CN102021650A (zh) * 2010-12-31 2011-04-20 常州天合光能有限公司 一种大型多晶锭的生产方法

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102925958A (zh) * 2012-08-16 2013-02-13 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司 一种利用复熔工艺提高多晶晶体质量的方法
CN102776557A (zh) * 2012-08-16 2012-11-14 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司 一种用碎硅片作为籽晶来铸造多晶硅锭的方法
CN102899720B (zh) * 2012-09-28 2015-06-10 东海晶澳太阳能科技有限公司 一种高效多晶硅的铸锭方法
CN102899720A (zh) * 2012-09-28 2013-01-30 东海晶澳太阳能科技有限公司 一种高效多晶硅的铸锭方法
CN103215633A (zh) * 2013-04-10 2013-07-24 衡水英利新能源有限公司 一种多晶硅的铸锭方法
CN103215633B (zh) * 2013-04-10 2016-04-13 衡水英利新能源有限公司 一种多晶硅的铸锭方法
CN103361731A (zh) * 2013-06-21 2013-10-23 东海晶澳太阳能科技有限公司 一种掺镓晶体硅中金属镓的使用方法
CN103361731B (zh) * 2013-06-21 2016-01-27 东海晶澳太阳能科技有限公司 一种掺镓晶体硅中金属镓的使用方法
CN103422165A (zh) * 2013-07-22 2013-12-04 湖南红太阳光电科技有限公司 一种多晶硅及其制备方法
CN103696001A (zh) * 2013-12-11 2014-04-02 浙江硅宏电子科技有限公司 一种多晶硅铸锭时的长晶控制方法
CN104131339A (zh) * 2014-07-18 2014-11-05 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种多晶硅片的制备方法
CN104131341A (zh) * 2014-08-14 2014-11-05 无锡尚品太阳能电力科技有限公司 高效多晶硅铸锭的制作工艺
CN104499046A (zh) * 2014-12-15 2015-04-08 山西潞安太阳能科技有限责任公司 一种多晶硅锭制备方法
CN104499046B (zh) * 2014-12-15 2017-02-22 山西潞安太阳能科技有限责任公司 一种多晶硅锭制备方法
CN105780110A (zh) * 2016-04-20 2016-07-20 佳科太阳能硅(龙岩)有限公司 一种采用冶金法多晶硅掺镓制作高效多晶硅片的方法
CN106191993A (zh) * 2016-06-26 2016-12-07 河南盛达光伏科技有限公司 一种籽晶重复利用铸造多晶的方法
CN110965121A (zh) * 2019-12-31 2020-04-07 宁晋晶兴电子材料有限公司 一种低衰减多晶硅及其制备方法

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