CN102290360B - 一种t轴旋转限位结构 - Google Patents
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Abstract
一种旋转角度大于1000°的T轴旋转限位结构包括T轴限位上联接盘1、一级拨榫机构组合2、一级旋转限位拨盘3、二级拨榫机构组合4、上轴承5、轴承隔套6、旋转轴7、下轴承8、二级旋转限位拨盘9、限位套10、限位块11、联接螺钉12等。完成装配后,T轴限位机构旋转的总角度达1010°,以适应集成度要求更高、能够满足多角度、多工位进行硅片传输的T轴限位旋转机构。
Description
技术领域
本发明涉及在半导体设备制造领域内,一种与普通的硅片传输机器人相比较,T轴旋转角度更大、适应集成度更高、能够满足多角度、多工位进行硅片传输的T轴限位旋转机构。
背景技术
一般说来,国内使用的半导体硅片传输机器人T轴的旋转角度范围在600°左右,最大的也不超过700°,即从T轴的零位算起,机械手臂可向左或向右各旋转300°,最大不超过350°的范围,超过此范围,即被T轴旋转硬限位所限制。随着半导体制造业的不断进步,生产线的集成度越来越高,要求在同一工位上所完成的工步越来越多,工步的分布角度越来越广,这就要求T轴的可旋转角度越来越大。
发明内容
本发明的目的在于提供一种结构合理,T轴旋转角度大于1000°的T轴旋转限位机构。即从T轴的零位算起,机械手臂可向左或向右各旋转500°。
本发明的发明目的是这样实现的:一种旋转角度大于1000°的T轴旋转限位结构,包括T轴限位上联接盘1、一级拨榫机构组合2、一级旋转限位拨盘3、二级拨榫机构组合4、上轴承5、轴承隔套6、旋转轴7、下轴承8、二级旋转限位拨盘9、限位套10、限位块11、联接螺钉12。通过采用二级拨榫拨盘旋转限位机构,得到大于1000°的可旋转角度。
本发明一种旋转角度大于1000°的T轴旋转限位结构的结构特点为:T轴限位上联接盘1的沉孔内,装有一级拨榫机构组合2;一级旋转限位拨盘3的沉孔内,装有二级拨榫机构组合4;上表面开有圆周为330°的限位拨盘槽;旋转轴7轴肩上部装有下轴承8、轴承隔套6、上轴承5;、二级旋转限位拨盘9的上表面开有圆周为340°的限位拨盘槽,外侧设有20°的限位凸缘;限位套10的外侧圆柱面上,通过联接螺纹钉12装有限位块11。定位套10安装有机体上固定;二级旋转限位拨盘9的内孔与下轴承8配合并安装到位;一级旋转限位拨盘3的内孔与上轴承5配合安装到位,并使二级拨榫机构组合4的拨榫进入至二级旋转限位拨盘9的限位拨盘槽内;T轴限位上联接盘1的内孔,与旋转轴7的上部轴径相配合安装到位,并使一级拨榫机构组合2的拨榫进入至一级旋转限位拨盘3的限位拨盘槽内;最后将装配后的机构通过旋转轴7的下端轴径,安装在限位套10的内孔。具体方法为:
1、将下轴承5以“热装法”装入旋转轴7的轴径相应部位,并压紧到位。
2、将二级旋转限位拨盘9以“热装法”装入下轴承8外环轴径的相应部位,并压紧到位。
3、将轴承隔套6套入旋转轴7,靠紧下轴承8内环。
4、将上轴承5以“热装法”装入旋转轴7轴径的相应部位,紧贴轴承隔套压紧到位。
5、先将二级拨榫机构组合4安装在一级旋转限位拨盘3的相应孔内并拧紧紧固螺钉。再将一级旋转限位拨盘3以“热装法”装入上轴承5外环的相应部位,并注意对正二级拨榫机构组合4与二级旋转限位拨盘槽的位置,压紧到位。
6、先将一级拨榫机构组合2安装在T轴限位上联接盘1的相应孔内并拧紧紧固螺钉,再将T轴限位上联接盘1安装在旋转轴7上方的相应轴径上,并注意对正一级拨榫机构组合2与一级旋转限位拨盘槽的位置,压紧到位。
7、先将限位块11以联接螺钉12安装在限位套10上,再将限位套10安装在旋转轴7下方的相应轴径上,压紧到位。
完成以上装配后,用手以顺时针方向转动T轴限位上联接盘,直到转不动(限位)为止。此时,再逆时针转动T轴限位上联接盘,可以看到,当T轴限位上联接盘旋转330°时,一级拨榫机构组合带动一级旋转限位拨盘开始旋转;再逆时针旋转340°后,二级拨榫机构组合带动二级旋转限位拨盘开始旋转;继续逆时针旋转340°后,二级旋转限位拨盘侧面的限位凸缘被限位套上的限位块阻挡,达到另一侧的限位位置。此时T轴限位机构旋转的总角度为:330°+340°+340°=1010°。
本发明一种旋转角度大于1000°的T轴旋转限位结构,具有如下优点:
1、本发明属于应用二级拨榫机构组合的纯机械结构,原理简单,作用可靠。
2、在装配过程中,只要在相关的T轴零件上作出相应的装配标记,即可保证零位的一致性,装配过程中及装配后无需调整。
3、体积小巧,整个体积与现有结构相比,在高度方向不大于10mm,在长度方向和宽度方向与现有结构相同。
附图说明
图1为旋转角度大于1000°的T轴旋转限位结构俯视图,图2为旋转角度大于1000°的T轴旋转限位结构主剖视图,图3为旋转角度大于1000°的T轴旋转限位结构三维立体图。
在附图中,具体数字表示:1-T轴限位上联接盘、2-一级拨榫机构组合、3-一级旋转限位拨盘、4-二级拨榫机构组合、5-上轴承、6-轴承隔套、7-旋转轴、8-下轴承、9-二级旋转限位拨盘、10-限位套、11-限位块、12-联接螺钉等。
具体实施方式
结合附图对本发明作进一步说明:
参照附图所示,一种旋转角度大于1000°的T轴旋转限位结构包括T轴限位上联接盘1、一级拨榫机构组合2、一级旋转限位拨盘3、二级拨榫机构组合4、上轴承5、轴承隔套6、旋转轴7、下轴承8、二级旋转限位拨盘9、限位套10、限位块11、联接螺钉12等。将下轴承8以热装法套入旋转轴7的相应部位,压紧到位,使轴承温度8降至室温。将二级旋转限位拨盘9以热装法,套入下轴承8外环的相应部位,压紧到位,使二级旋转限位拨盘9的温度降至室温。将轴承隔套6套入旋转轴7,靠紧下轴承8内环。将上轴承5以热装法,套入旋转轴7的相应部位,紧贴轴承隔套6压紧到位,使上轴承5温度降至室温。先将二级拨榫机构组合4安装在一级旋转限位拨盘3的相应孔内并拧紧紧固螺钉。再将一级旋转限位拨盘3以热装法,对正二级拨榫机构组合4与二级旋转限位拨盘9的限位槽位置,趁热套入上轴承5外环的相应部位,压紧到位,使一级旋转限位拨盘3的温度降至室温。先将一级拨榫机构组合2安装在T轴限位上联接盘1的相应孔内并拧紧紧固螺钉,再将T轴限位上联接盘1安装在旋转轴7的上方,并注意对正一级拨榫机构组合2与一级旋转限位拨盘3的限位槽的位置。先将限位块11以联接螺钉12安装在限位套10上,再将限位套10安装在旋转轴7的下方。完成以上装配后,用手以顺时针方向转动T轴限位上联接盘1,直到转不动(限位)为止。此时,再逆时针转动T轴限位上联接盘1,可以看到,当T轴限位上联接盘1旋转了330°时,一级拨榫机构组合2带动一级旋转限位拨盘3开始旋转;再逆时针旋转340°后,二级拨榫机构组合4带动二级旋转限位拨盘9开始旋转;继续逆时针旋转340°后,二级旋转限位拨盘9侧面的限位凸缘被限位套10上的限位块11阻挡,达到另一侧的限位位置。此时T轴限位机构旋转的总角度为:330°+340°+340°=1010°。
Claims (1)
1.T轴旋转限位机构,用在硅片传输机器人中,旋转角度大于1000°,包括T轴限位上联接盘(1)、一级拨榫机构组合(2)、一级旋转限位拨盘(3)、二级拨榫机构组合(4)、上轴承(5)、轴承隔套(6)、旋转轴(7)、下轴承(8)、二级旋转限位拨盘(9)、限位套(10)、限位块(11)与联接螺钉(12);其特征在于:所述T轴限位上联接盘(1)的沉孔内,装有一级拨榫机构组合(2);所述一级旋转限位拨盘(3)的沉孔内,装有二级拨榫机构组合(4),上表面开有圆周为330°的限位拨盘槽;所述旋转轴(7)轴肩上部装有下轴承(8)、轴承隔套(6)、上轴承(5);所述二级旋转限位拨盘(9)的上表面开有圆周为340°的限位拨盘槽,外侧设有20°的限位凸缘;所述限位套(10)的外侧圆柱面上,通过联接螺钉(12)装有限位块(11);所述限位套(10)安装在机体上固定;所述二级旋转限位拨盘(9)的内孔与下轴承(8)配合并安装到位;所述一级旋转限位拨盘(3)的内孔与上轴承(5)配合安装到位,并使二级拨榫机构组合(4)的拨榫进入至二级旋转限位拨盘(9)的限位拨盘槽内;所述T轴限位上联接盘(1)的内孔,与旋转轴(7)的上部轴径相配合安装到位,并使一级拨榫机构组合(2)的拨榫进入至一级旋转限位拨盘(3)的限位拨盘槽内;将所述装配后的机构通过旋转轴(7)的下端轴径,安装在限位套(10)的内孔;所述结构中,用手以顺时针方向转动T轴限位上联接盘(1),直到转不动为止;此时,再逆时针转动T轴限位上联接盘(1),可以看到,当T轴限位上联接盘(1)旋转了330°时,一级拨榫机构组合(2)带动一级旋转限位拨盘(3)开始旋转;再逆时针旋转340°后,二级拨榫机构组合(4)带动二级旋转限位拨盘(9)开始旋转;继续逆时针旋转340°后,二级旋转限位拨盘(9)侧面的限位凸缘被限位套(10)上的限位块(11)阻挡,达到另一侧限位位置;此时T轴限位机构旋转的总角度为:330°+340°+340°=1010°。
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