CN102280394A - Led及晶圆检查装置、以及利用上述装置的检查方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供可在一个装置连续实施LED及晶圆表面检查及内部检查的LED及晶圆检查装置及晶圆检查方法。该装置包括：装载部，在其一侧设置推送装置，以使装载多个LED及晶圆的晶圆匣通过升降装置升降，并使上述LED及晶圆沿水平方向一张张引出；旋转型LED及晶圆移送部，包括装载上述LED及晶圆以将其移送至后续工序的旋转台；表面检查部，包括用于上述LED及晶圆表面检查的第一视觉模块及第一不良品收纳部；内部检查部，包括用于上述LED及晶圆内部检查的第二视觉模块及第二不良品收纳部；卸载部，包括通过升降装置升降以依次装载上述LED及晶圆的晶圆匣；及控制部，根据顺序控制程序控制上述LED及晶圆的检查过程。本发明通过上述装置提高了作业效率及空间利用率。

Description

LED及晶圆检查装置、以及利用上述装置的检查方法

技术领域

本发明涉及LED及晶圆检查装置、以及利用上述装置的LED及晶圆检查方法，尤其涉及可在一个装置连续实施LED及晶圆的表面检查及内部检查的晶圆检查装置、以及利用上述装置的LED及晶圆检查方法。

背景技术

一般而言，太阳能电池是利用半导体的特性将太阳光转换为电能的元件。近年来，太阳能电池用于移动电话或PDA等便携式信息设备的辅助电源、汽车等交通工具的驱动电源、发电及热水的生产等。而且，目前为了获得较大的电力，积极开展通过串联或并联多个太阳电池获得小型化及高输出的太阳能电池模块的研究。在上述太阳能电池(以下称为“晶圆”)的制造过程中，将依次进行表面检查及内部检查，即对电池的均一性、热点、排列不均匀及表面污染度等进行必要的检查，而上述表面检查及内部检查在各自独立的检查装置中完成。即，在表面检查装置上完成对晶圆的表面检查之后，作业者将晶圆匣搬运至另一检查装置进行晶圆内部检查。

另外，作为发光元件的LED最近因其发光率的提升，其应用范围从最初的用于显示信号，扩展至用于手机背光源(Back Light Unit，BLU)或液晶显示装置(LCD)等大型显示装置的光源及照明装置。其原因是LED较之作为现有技术的照明装置工具的灯泡或荧光灯等，其电力消耗少，寿命长。

作为最近常用的高亮度发光元件的LED的检查方法，有将LED作为单品事先进行检查的方法和在将其组装(内置)于PCB的状态下通过施加测试电源而检查部件(LED)状态的方法。在此，作为单品进行检查是指在晶圆上进行的检查，一般是指半导体生产企业在出厂前进行的检查。

但是，上述LED及晶圆的一系列检查作业在主生产线上被独立区分，从而降低作业连贯性，降低生产效率。

另外，为了进行上述检查过程，需由作业者手工搬运装载形成有多个LED或多个电池的多个晶圆的晶圆匣，因而较为繁琐。而且，在这种LED及晶圆匣的搬运过程中，存在因作业者的疏忽导致发生LED及晶圆的破损或被微粒污染的问题。

因此，为了减少LED及晶圆检查中的晶圆破损或污染，需在检查过程中最大限度地减少LED及晶圆的移动。

另外，因现有技术的LED及晶圆检查装置的体积比较大，在安装及运行过程中受到空间的限制。因此，为了提高空间利用率，要求检查装置小型化。

此外，还提出了在不破坏晶圆检查过程中判定为不良的晶圆的情况下，对其进行分类收集，从而加以回收利用的必要性。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术之不足而提供一种LED及晶圆检查装置，其可在一个装置中连续实施对LED及太阳能电池的表面检查及内部检查，以提高作业效率。

本发明的另一目的在于提供一种LED及晶圆检查装置，其最大限度地减少待检查的LED及晶圆的移动，以减少检查过程中有可能发生的LED及晶圆破损或污染。

本发明的又一目的在于提供一种LED及晶圆检查装置，其实现小型化，以提高空间利用率。

本发明的再一目的在于提供一种LED及晶圆检查装置，其可以原始状态分离收集在检查过程中判定为不良的LED及晶圆。

为解决上述问题，本发明提供一种晶圆检查装置，其包括：装载部，在其一侧设置推送装置，以使装载多个晶圆的晶圆匣通过升降装置升降，并使上述晶圆沿水平方向一张张引出；旋转型晶圆移送部，包括装载上述晶圆以将其移送至后续工序的旋转台；表面检查部，包括用于上述晶圆的表面检查的第一视觉模块及第一不良品收纳部；内部检查部，包括用于上述晶圆的内部检查的第二视觉模块及第二不良品收纳部；卸载部，包括通过升降装置升降、以依次装载上述晶圆的晶圆匣；及控制部，根据顺序控制程序控制上述晶圆的检查过程。

另外，在上述旋转台形成用于装载上述晶圆的四个空间部，且在上述每个空间部均形成用于支撑上述装载晶圆的两个晶圆支撑台，而且，上述两个晶圆支撑台可分别向左右移动，以使上述晶圆降落。

另外，上述第一视觉模块，包括：表面检查用摄像头，位于上述旋转台上侧；及两个表面检查用紫外线照明装置，设置于上述表面检查用摄像头两侧；而且，上述第一不良品收纳部位于上述第一视觉模块及上述旋转台的下方。

另外，上述第二视觉模块，包括：内部检查用摄像头，位于上述旋转台上侧；及两个内部检查用红外线照明装置，设置于上述旋转台下侧以与上述内部检查用摄像头相对；而且，上述第二不良品收纳部位于上述第二视觉模块及上述旋转台的下方。

另外，上述两个内部检查用红外线照明装置，在上述晶圆的内部检查过程中位于相邻的位置，而在上述晶圆降落时分别向左右移动，以便使上述晶圆通过。

另外，上述晶圆支撑台由蓝宝石材料制作而成。

另外，上述检查装置还包括：显示/保存部，显示及保存通过上述第一视觉模块及第二视觉模块获取的图像；及输入/输出部，向上述显示/保存部输入图像或输出保存于上述显示/保存部的图像；而且，作业者可实时监控上述显示部所显示的上述图像。

根据本发明的一个方面，提供利用晶圆检查装置的晶圆检查方法，其中，上述晶圆检查装置包括：装载部，在其一侧设置推送装置，以使装载多个晶圆的晶圆匣通过升降装置升降，并使上述晶圆沿水平方向一张张引出；旋转型晶圆移送部，包括装载上述晶圆以将其移送至后续工序的旋转台；表面检查部，包括用于上述晶圆的表面检查的第一视觉模块及第一不良品收纳部；内部检查部，包括用于上述晶圆的内部检查的第二视觉模块及第二不良品收纳部；卸载部，包括通过升降装置升降以依次装载上述晶圆的晶圆匣；及控制部，根据顺序控制程序控制上述晶圆的检查过程；

而上述晶圆检查方法，包括如下步骤：将上述晶圆从上述装载部装载至上述旋转型晶圆移送部；将装载的上述晶圆移送至上述表面检查部进行表面检查之后，将判定为不良的晶圆分离并排出至上述第一不良品收纳部；将在上述表面检查中判定为无异常的晶圆移送至上述内部检查部进行内部检查之后，将判定为不良的晶圆分离并排出至上述第二不良品收纳部；将在上述内部检查中判定为无异常的晶圆移送至上述卸载部；及卸载移送至上述卸载部的晶圆。

根据本发明的另一方面，本发明提供一种晶圆检查装置，其包括：装载部，在其一侧设置推送装置，以使装载多个晶圆的晶圆匣通过升降装置升降，并使上述晶圆沿水平方向一张张引出；旋转型晶圆移送部，包括装载上述晶圆以移送至后续工序的旋转台；表面检查部，包括用于上述晶圆的表面检查的第一视觉模块及由通过升降装置升降的晶圆匣构成的第一不良品收纳部；内部检查部，包括用于上述晶圆的内部检查的第二视觉模块及由通过升降装置升降的晶圆匣构成的第二不良品收纳部；卸载部，包括通过升降装置升降以依次装载上述晶圆的晶圆匣；及控制部，根据顺序控制程序控制上述晶圆的检查过程。

另外，在上述旋转台形成用于装载上述晶圆的四个空间部，且对应上述四个空间部均形成推送装置，以向上述旋转台的外侧方向推送上述装载的晶圆，而且，上述每个空间部均形成用于支撑上述装载晶圆的晶圆支撑台。

另外，上述第一视觉模块包括：表面检查用摄像头，位于上述旋转台上侧；及两个表面检查用紫外线照明装置，设置于上述表面检查用摄像头两侧；而且，上述第一不良品收纳部位于与上述旋转台的外侧相邻的位置。

另外，上述第二视觉模块包括：内部检查用摄像头，位于上述旋转台上侧；及内部检查用红外线照明装置，设置于上述旋转台下侧以与上述内部检查用摄像头相对；而且，上述第二不良品收纳部位于与上述旋转台的外侧相邻的位置。

另外，上述晶圆支撑台由蓝宝石材料制作而成。

另外，上述检查装置还包括：显示/保存部，显示及保存通过上述第一视觉模块及第二视觉模块获取的图像；及输入/输出部，向上述显示/保存部输入图像或输出保存于上述显示/保存部的图像；而且，作业者可实时监控上述显示部所显示的上述图像。

根据本发明的又一方面，提供利用晶圆检查装置的晶圆检查方法，其中，上述晶圆检查装置包括：装载部，在其一侧设置推送装置，以使装载多个晶圆的晶圆匣通过升降装置升降，并使上述晶圆沿水平方向一张张引出；旋转型晶圆移送部，包括装载上述晶圆以将其移送至后续工序的旋转台；表面检查部，包括用于上述晶圆的表面检查的第一视觉模块及由通过升降装置升降的晶圆匣构成的第一不良品收纳部；内部检查部，包括用于上述晶圆的内部检查的第二视觉模块及由通过升降装置升降的晶圆匣构成的第二不良品收纳部；卸载部，包括通过升降装置升降以依次装载上述晶圆的晶圆匣；及控制部，根据顺序控制程序控制上述晶圆的检查过程；

而上述晶圆检查方法，包括如下步骤：将上述晶圆从上述装载部装载至上述旋转型晶圆移送部；将装载的上述晶圆移送至上述表面检查部进行表面检查之后，将判定为不良的晶圆分离收集至上述第一不良品收纳部；将在上述表面检查中判定为无异常的晶圆移送至上述内部检查部进行内部检查之后，将判定为不良的晶圆分离收集至上述第二不良品收纳部；将在上述内部检查中判定为无异常的晶圆移送至上述卸载部；及卸载移送至上述卸载部的晶圆。

如上所述，本发明LED及晶圆检查装置，在一个装置连续实施对检查对象的表面检查及内部检查，从而提高作业效率。

另外，在检查过程中减少待检查的LED及晶圆的移动，以减少检查过程中有可能发生的检查对象的破损或污染。

另外，利用简单的方法迅速分离并排出在表面检查及内部检查过程中判定为不良的LED及晶圆，从而提高生产量，并可选择性地以原始状态分离收集在检查过程中判定为不良的LED及晶圆，从而回收利用。

附图说明

图1为本发明LED及晶圆检查装置的立体图；

图2为图1所示的LED及晶圆检查装置的平面图；

图3为图1所示的LED及晶圆检查装置结构的模式图；

图4为图1所示的LED及晶圆检查装置的装载部的示意图；

图5为图1所示的LED及晶圆检查装置的推送装置的平面图；

图6为图1所示的LED及晶圆检查装置的第一视觉模块的概略图；

图7为图1所示的LED及晶圆检查装置的不良品收纳部的立体图；

图8为表示图1所示的LED及晶圆检查装置的晶圆支撑台启动的平面图；

图9为图1所示的LED及晶圆检查装置的第二视觉模块的概略图；

图10为图1所示的LED及晶圆检查装置的卸载部的立体图；

图11为本发明另一实施例LED及晶圆检查装置的立体图；

图12为本发明的图11所示的LED及晶圆检查装置的平面图；

图13为本发明的图11所示的LED及晶圆检查装置的第一不良品收纳部的立体图；

图14为本发明的图11所示的LED及晶圆检查装置的第二视觉模块的概略图；

图15为本发明的图11所示的LED及晶圆检查装置的第二不良品收纳部的立体图。

附图标记

1：晶圆检查装置        30：表面检查部

70：内部检查部         110：控制部

10：装载部             51：旋转台

90：卸载部

具体实施方式

下面，结合附图对本发明优选实施例的结构及作用进行详细说明。

在本发明说明书中，对于附图中的相同结构，即使标示于不同的附图中，也尽可能用相同的标记表示。

下面，为便于说明，将“LED及晶圆检查装置”简称为“晶圆检查装置”。

实施例1

如图1至图3所示，本发明晶圆检查装置1包括装载部10、表面检查部30、旋转型晶圆移送部50、内部检查部70、卸载部90及控制部110。

上述装载部10是一张张依次引出装载于晶圆匣11内的晶圆W以便进行检查的部分，且上述晶圆匣11内部形成有多个插槽，以使晶圆W装载于上述多个插槽。另外，上述装载部10包括：升降装置13，用于升降上述晶圆匣11；及推送装置15，固定设置于上述晶圆匣11一侧并可沿水平方向前进或后退，以向外部推送装载于晶圆匣11内的晶圆。

只要能够升降上述晶圆匣，上述升降装置13可以是升降机等任何装置。为将装载于晶圆匣11内的晶圆W装载至稍后述及的旋转台51，上述升降装置13使引出对象晶圆W位于与上述旋转台51及上述推送装置15相同的平面。

如图4及图5所示，上述推送装置15包括：利用空压的气缸15a；及推杆15b，以可前进或后退地方式结合于上述气缸15a内部并在其前端结合有水平往复部件15c。为将装载于上述晶圆匣11内的晶圆W引出至外部，上述水平往复部件15c通过前进和后退，向上述旋转台51沿水平方向推出上述晶圆W。

如图1及图2所示，上述旋转台51可利用电机(未图示)等动力旋转。而且，用于装载晶圆W的多个空间部53形成为以旋转轴52为中心按一定角度隔开。在本发明优选实施例中，上述空间部53的数量为四个，而上述空间部相互隔开的角度为90°。上述四个空间部53分别对应装载部、表面检查部、内部检查部及卸载部。

在本发明中，可通过调节上述空间部53的大小，对各种大小的晶圆W进行检查。为此，较佳地，以可装拆的方式构成上述旋转台51。

另外，如图8所示，在上述四个空间部53形成可向两侧扩展的两个晶圆支撑台33，以在检查过程中支撑晶圆，并在晶圆判定为不良时，分离并排出上述晶圆。较佳地，上述晶圆支撑台33由透过率及强度优异的蓝宝石材料制作而成。在上述空间部53形成有推送装置55，其用于将上述晶圆支撑台33支撑的晶圆W推送至上述空间部53的外侧。较佳地，上述推送装置55位于上述旋转台51的中心方向。

上述两个晶圆支撑台33，均具备晶圆检测传感器33c。上述晶圆检测传感器33c可使用棱镜传感器等任意传感器。由上述晶圆检测传感器33c获取的信息被传送至控制部110，而上述控制部110基于上述所检测的信息调节上述装载部10的晶圆匣11的高度。即，较佳地，上述控制部110的程序设计为，在通过上述晶圆检测传感器33c检测到晶圆的装载之后，将上述装载部10的晶圆匣的高度上升相当于一个插槽的高度，以准备晶圆W下一次的装载。

如图6所示，表面检查部30是对从上述装载部10装载至上述旋转台51的晶圆W表面进行是否存在划痕、破裂、污染等现象的检查的部分。并且，若晶圆W表面存在异常，也可分离并排出晶圆W。

具体而言，上述表面检查部30包括第一视觉模块35，上述第一视觉模块包括：表面检查用摄像头35a，位于上述旋转台51上侧；及表面检查用紫外线照明装置35b，设置于上述表面检查用摄像头35a两侧。对上述表面检查用摄像头35a没有特殊的限制，但较佳地，选用可获得高质量电子图像的设备。较佳地，上述表面检查用紫外线照明装置35b选用LED照明装置。在此，之所以选用紫外线照明装置，是因为紫外线具有因波长短而渗透力弱、但可发现表面上的细微划痕等的特性。

控制部110在接收上述第一视觉模块35所摄取的图像之后，将接收图像与事先保存的规定的标准数据进行比较，以判定表面不良与否。此时，若判定为不良，则上述控制部110将分离并排出相应晶圆W；而若判定为无异常，则将该晶圆W移送至作为下一步骤的内部检查部70。

如图7所示，为分离并排出在表面检查中判定为不良的晶圆，在设置有上述第一视觉模块35的上述旋转台51的下端，设置第一不良品收纳部37。上述第一不良品收纳部37与上述旋转台51相隔一定间距，且延长至上述旋转台51的下方。

具体而言，如图7及图8所示，在上述空间部53，晶圆W受由气缸33b的启动向两侧移动的两个晶圆支撑台33a的支撑。因此，当晶圆W被控制部110判断为不良、并需将该不良晶圆分离并排出至上述第一不良品收纳部37时，启动上述气缸33b以使上述支撑台33a分别向左右移动，从而扩大两个支撑台33a之间的距离。因此，受上述支撑台支撑的上述晶圆W将降落至上述第一不良品收纳部37。

此时，由于上述第一不良品收纳部37对晶圆W的回收数量有限制，因此，较佳地，由控制部110计算降落至上述第一不良品收纳部37的不良晶圆W的数量，并在达到预先设定的数量之后，中止晶圆检查装置1的运行并发出警报。

根据情况，可不使用如上所述的可向两侧移动的两个晶圆支撑台33a，而利用形成于上述旋转台51的推送装置，将不良晶圆W推落至上述第一不良品收纳部37。此时，无需扩展上述晶圆支撑台33a，而由上述推送装置将位于上述晶圆支撑台33a的不良晶圆W推向上述空间部53外侧，以使其降落至上述第一不良品收纳部37。

在表面检查部30完成表面检查的晶圆W，即在表面检查中判定为无异常的晶圆W，被上述旋转型晶圆移送部50移送至作为下一步骤的内部检查部70。与此同时，装载部10将新装载的晶圆移送至上述表面检查部30。

上述内部检查部70是对旋转型晶圆移送部50移送的晶圆内部进行是否存在划痕、空隙等内部缺陷的检查的部分。另外，可根据上述晶圆W的异常与否，分离并排出晶圆W。

如图9所示，上述内部检查部70包括第二视觉模块75，上述第二视觉模块75包括：内部检查用摄像头75a及两个内部检查用红外线照明装置75b。对上述内部检查用摄像头75a没有特殊的限制，但较佳地，选用可获得高质量电子图像的设备。较佳地，上述内部检查用红外线照明装置75b选用LED照明装置。在此，之所以选用红外线照明装置，是因为红外线的波长长，从而渗透力好。

另外，较佳地，上述内部检查用摄像头75a和内部检查用红外线照明装置75b以相隔设定空间的方式相对而设。根据本发明优选实施例，上述内部检查用摄像头75a位于上述旋转台51的上侧，而上述内部检查用红外线照明装置75b位于上述旋转台51的下侧。

另外，上述两个内部检查用红外线照明装置75b，在检查过程中位于相邻的位置，以辅助图像的获取(见图9(a))，而在使检查中判定为不良的晶圆W降落时分别向左右移动，以形成便于上述晶圆通过的空间(见图9(b))。

控制部110在接收上述第二视觉模块75所摄取的图像之后，将接收图像与事先保存的规定的标准数据进行比较，以判定晶圆W的内部不良与否。此时，若判定为不良，则上述控制部110将分离并排出相应晶圆W；而若判定为无异常，则将该晶圆W移送至作为下一步骤的卸载部。

为分离并排出在表面检查中判定为不良的晶圆，在设置有上述第二视觉模块75的上述旋转台51的下端，设置第二不良品收纳部(未图示)。与如上所述的第一不良品收纳部一样，上述第二不良品收纳部与上述两个内部检查用红外线照明装置75b相隔一定间距，且延长至上述两个内部检查用红外线照明装置75b的下方。

具体而言，如图9所示，在上述空间部53，晶圆W受由气缸33b的启动向两侧移动的两个晶圆支撑台33a的支撑。因此，当晶圆W被控制部110判断为不良并需将不良晶圆分离并排出至上述第二不良品收纳部时，启动上述气缸33b以使上述支撑台33a分别向左右移动，从而扩大两个支撑台33a之间的距离。此时，因上述两个内部检查用红外线照明装置75b位于上述晶圆支撑台33a的垂直方向下方。因此，为了使判定为不良的晶圆W降落，上述两个内部检查用红外线照明装置75b需在上述支撑台33a扩展时一并扩展。因此，受上述支撑台33a支撑的上述晶圆W，在被上述控制部110判定为不良的同时，通过上述支撑台及上述内部检查用红外线照明装置75b，降落至上述第二不良品收纳部47。

根据情况，可不扩展上述支撑台33a，而利用形成于上述旋转台51的推送装置，将不良晶圆W推落至上述第二不良品收纳部47。

接着，在内部检查部完成内部检查的晶圆W，即在内部检查中判定为无异常的晶圆W，被上述旋转型晶圆移送部50移送至作为下一步骤的卸载部90。与此同时，在上述表面检查部30被判定为无异常的晶圆移送至上述内部检查部，而新装载于上述装载部10的晶圆移送至上述表面检查部30，且在装载部10装载新的晶圆。

上述卸载部90包括通过升降机等升降装置93升降的晶圆匣91。完成内部检查的上述晶圆W依次进入并装载于上述晶圆匣91。

具体而言，在形成于上述旋转台51的空间部53的里面中，上述旋转台51的中心52方向内，设置有用于推送晶圆的推送装置55。上述推送装置55的结构与用于上述装载部10的推送装置15的结构相同。

此时，上述晶圆匣91的每个内部插槽均具备晶圆检测传感器(未图示)，用于检测是否装载有晶圆W，之后将其信息传送到控制部110。控制部110根据收到的检测信息，利用上述升降装置93调节上述晶圆匣91的高度。

如图3所示，本发明LED以及晶圆检查装置1还包括：显示/保存部130，显示及保存通过上述第一视觉模块35及第二视觉模块75获取的图像；及输入/输出部150，向上述显示/保存部130输入图像或输出保存于上述显示/保存部130的图像。因此，使用上述检查装置1的作业者可实时监控及控制上述显示部130所显示的上述图像。

实施例2

实施例2涉及利用上述实施例1的检查装置的晶圆检查方法。

具体而言，本发明提供了利用晶圆检查装置的晶圆检查方法，其中，上述晶圆检查装置包括：装载部，在其一侧设置推送装置，以使装载多个晶圆的晶圆匣通过升降装置升降，并使上述晶圆沿水平方向一张张引出；旋转型晶圆移送部，包括装载上述晶圆以将其移送至后续工序的旋转台；表面检查部，包括用于上述晶圆的表面检查的第一视觉模块及第一不良品收纳部；内部检查部，包括用于上述晶圆的内部检查的第二视觉模块及第二不良品收纳部；卸载部，包括晶圆匣，晶圆匣通过升降装置升降，并依次装载上述晶圆；及控制部，根据顺序控制程序控制上述晶圆的检查过程；

而上述晶圆检查方法，包括如下步骤：将上述晶圆从上述装载部装载至上述旋转型晶圆移送部；将装载的上述晶圆移送至上述表面检查部进行表面检查之后，将判定为不良的晶圆分离并排出至上述第一不良品收纳部；将在上述表面检查中判定为无异常的晶圆移送至上述内部检查部进行内部检查之后，将判定为不良的晶圆分离并排出至上述第二不良品收纳部；将在上述内部检查中判定为无异常的晶圆移送至上述卸载部；及卸载移送至上述卸载部的晶圆。

下面，对实施例2的晶圆检查方法进行详细说明。

首先，若装载部10向设置于旋转台51的多个空间部53中的一个空间部53装载晶圆W，则控制部110通过晶圆检测传感器检测晶圆W装载信息，从而将旋转台51逆时针旋转90°。

此时，第一个装载至上述空间部53的晶圆W旋转移送至表面检查部30的同时，将在装载部10的空间部53装载第二个晶圆W，而这样的对晶圆W的装载操作将连续进行。

另外，利用设置于上述表面检查部30的第一视觉模块35对装载晶圆W进行表面检查。

在表面检查中判定为不良的晶圆W，在空间部的晶圆支撑台33a向两侧扩展的同时，分离并排出至第一不良品收纳部37。根据情况，可不扩展上述晶圆支撑台33a，而利用形成于上述旋转台51的推送装置，将不良晶圆W推落至上述第一不良品收纳部37。

在表面检查中判定为无异常的晶圆W，将旋转移送至作为下一个检查步骤的内部检查部70，并利用设置于上述内部检查部70的第二视觉模块75对装载的晶圆进行内部检查。

在内部检查中判定为不良的晶圆W，在空间部的晶圆支撑台33a及内部检查用红外线照明装置75b向两侧扩展的同时，分离并排出至第二不良品收纳部47。根据情况，可不扩展上述晶圆支撑台33a及上述内部检查用红外线照明装置75b，而利用形成于上述旋转台51的推送装置55，将不良晶圆W推落至上述第二不良品收纳部47。

在内部检查中判定为无异常的晶圆W，将旋转移送至卸载部90。移送至上述卸载部90的晶圆，通过推送装置55转载于晶圆匣91。

在上述晶圆检查过程中，控制部110控制在装载部10中对晶圆的检测及晶圆匣的升降、在表面检查部30及内部检查部70中对不良与否的判定、及在卸载部90中装载晶圆与否等一系列过程。

实施例3

如图11至图12所示，与上述实施例1一样，本发明实施例3的晶圆检查装置1包括装载部10、旋转型晶圆移送部50、表面检查部30、内部检查部70、卸载部90及控制部110。

除上述结构之外，升降装置93、旋转台51、推送装置15、晶圆支撑台33的结构与上述实施例1相同。因此，在此不再赘述。

如图13所示，为分离收集在表面检查中判定为不良的晶圆W，在设置有上述第一视觉模块35的上述旋转台的外侧，设置第一不良品收纳部37。上述第一不良品收纳部37设置于与上述旋转台51相邻的位置。

上述第一不良品收纳部37包括与上述装载部的晶圆装载晶圆匣11相同的晶圆匣，及可升降上述晶圆匣的升降装置93。在上述晶圆匣沿垂直方向形成多个插槽，而在上述插槽上均设置晶圆检测传感器(未图示)。若上述晶圆检测传感器检测到晶圆W的装载，则控制部110调节上述晶圆匣的高度。

因此，本发明可以原始状态分离收集在表面检查过程中判定为不良的晶圆。

选择性地，若无需以原始状态分离收集晶圆，则可不在上述第一不良品收纳部37设置晶圆匣，而设置独立的回收盒。

此时，较佳地，若设置于第一不良品收纳部37的晶圆匣装满了不良晶圆，则上述控制部110中止晶圆检查装置1的运行并发出警报。为此，较佳地，上述控制部110计算被判定为不良而再次装载于上述第一不良品收纳部37的晶圆W的数量。

在表面检查部30完成表面检查的晶圆W，即在表面检查中判定为无异常的晶圆W，被上述旋转型晶圆移送部50移送至作为下一步骤的内部检查部70。与此同时，装载部10将新装载的晶圆移送至上述表面检查部30。

上述内部检查部70是对旋转型晶圆移送部50移送的晶圆W内部依次进行是否存在划痕、空隙等内部缺陷的部分。另外，可根据上述晶圆W的异常与否，分离收集晶圆W。

如图14所示，上述内部检查部70包括第二视觉模块75，上述第二视觉模块75包括：内部检查用摄像头75a及内部检查用红外线照明装置75b。对上述内部检查用摄像头75a没有特殊的限制，但较佳地，选用可获得高质量电子图像的设备。较佳地，上述内部检查用红外线照明装置75b选用红外线(IR)照明装置。

另外，较佳地，上述内部检查用摄像头75a和内部检查用红外线照明装置75b相隔一定空间并相对而设。根据本发明较佳实施例，上述内部检查用摄像头75a位于上述旋转台51的上侧，而上述内部检查用红外线照明装置75b位于上述旋转台51的下侧。

此时，在上述内部检查用摄像头75a和上述内部检查用红外线照明装置75b之间，设置晶圆支撑台33。因此，较佳地，上述晶圆支撑台33由透光性及强度好的蓝宝石材料或蓝宝石水晶材料制作而成。

控制部110接收上述第二视觉模块73所摄取的图像之后，将接收图像与事先保存的规定的标准数据进行比较，以判定晶圆W的内部不良与否。此时，若判定为不良，在上述控制部110将分离收集相应晶圆W；而若判定为无异常，则将该晶圆W移送至作为下一步骤的卸载部90。

如图9所示，为分离收集在内部检查中判定为不良的晶圆，在设置上述第二视觉模块35的上述旋转台51的外侧，设置第二不良品收纳部47。上述第二不良品收纳部47设置于与上述旋转台51相邻的位置。

上述第二不良品收纳部47，包括与上述装载部10的晶圆装载晶圆匣11相同的晶圆匣，及可升降上述晶圆匣的升降装置。在上述晶圆匣沿垂直方向形成多个插槽，而在上述插槽上均设置晶圆检测传感器(未图示)。若上述晶圆检测传感器检测到晶圆的装载，则控制部110调节上述晶圆匣的高度。

因此，本发明可以原始状态分离收集在表面检查过程中判定为不良的晶圆。

选择性地，若无需以原始状态分离收集晶圆，则可不在上述第二不良品收纳部47设置晶圆匣，而设置独立的回收盒。

与上述表面检查部30一样，较佳地，在上述内部检查部70，也由在判定晶圆W的不良与否之后，计算被判定为不良的晶圆W的数量，从而当达到上述第二不良品收纳部47可装载的最大数量之后，中断晶圆检查装置1的运行并发出警报。

接着，在上述内部检查部完成内部检查的晶圆W，即在内部检查中判定为无异常的晶圆W，被上述旋转台51移送至作为下一步骤的卸载部90。与此同时，在上述表面检查部30被判定为无异常的晶圆W移送至上述内部检查部70，而新装载于上述装载部10的晶圆W移送至上述表面检查部30，且在装载部10装载新的晶圆。

之后的过程与上述实施例1相同。因此，在此不再赘述。

实施例4

实施例4涉及利用上述实施例3的晶圆检查装置的晶圆检查方法。

根据本发明实施例4，利用晶圆检查装置的晶圆检查方法，其中，上述晶圆检查装置包括：装载部，在其一侧设置推送装置，以使装载多个晶圆的晶圆匣通过升降装置升降，并使上述晶圆沿水平方向一张张引出；旋转型晶圆移送部，包括装载上述晶圆以将其移送至后续工序的旋转台；表面检查部，包括用于上述晶圆的表面检查的第一视觉模块及第一不良品收纳部；内部检查部，包括用于上述晶圆的内部检查的第二视觉模块及第二不良品收纳部；卸载部，包括通过升降装置升降的晶圆匣，以依次装载上述晶圆；及控制部，根据顺序控制程序控制上述晶圆的检查过程；

而上述晶圆检查方法，包括如下步骤：将上述晶圆从上述装载部装载至上述旋转型晶圆移送部；将装载的上述晶圆移送至上述表面检查部进行表面检查之后，将判定为不良的晶圆分离收集至上述第一不良品收纳部；将在上述表面检查中判定为无异常的晶圆移送至上述内部检查部进行内部检查之后，将判定为不良的晶圆分离收集至上述第二不良品收纳部；将在上述内部检查中判定为无异常的晶圆移送至上述卸载部；及卸载移送至上述卸载部的晶圆。

下面，对实施例4的晶圆检查方法进行详细说明。

首先，若装载部10利用推送装置15向设置于旋转台51的多个空间部53中的一个空间部53装载晶圆W，则旋转台51逆时针旋转90°。

此时，第一个装载至上述空间部53的晶圆W旋转移送至表面检查部30的同时，将在装载部10的空间部53装载第二个晶圆W，而这样的对晶圆W的装载操作将连续进行。

另外，利用设置于上述表面检查部30的第一视觉模块35对装载晶圆W进行表面检查。

在表面检查中判定为不良的晶圆W，被旋转台的推送装置55分离回收至第一不良品收纳部37。

在表面检查中判定为无异常的晶圆W，将旋转移送至作为下一个检查步骤的内部检查部70，并利用设置于上述内部检查部70的第二视觉模块75对装载的晶圆进行内部检查。

在表面检查中判定为不良的晶圆W，被旋转台的推送装置55分离回收至第二不良品收纳部47。

在内部检查中判定为无异常的晶圆W，将旋转移送至卸载部90。移送至上述卸载部90的晶圆，通过推送装置55转载至晶圆匣91。

与实施例2相同，在上述晶圆检查过程中，控制部110控制在装载部10中对晶圆的检测及晶圆匣的升降、在表面检查部30及内部检查部70中对不良与否的判定、及在卸载部90中装载晶圆与否等一系列过程。

本发明晶圆检查装置，以用于晶圆(太阳能电池)的表面及内部检查的为例进行了说明，但本发明不受上述实施例的限制。本发明还可用于手机摄像头用镜头或数码相机用镜头、CCTV用镜头、IR相机用镜头(人造蓝宝石)、宝石类等的表面及内部检查，而且，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明进行修改、变形或者等同替换，而不脱离本发明的精神和范围，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。

Claims (15)

1.一种LED及晶圆检查装置，包括：

装载部，在其一侧设置推送装置，以使装载多个LED及晶圆的晶圆匣通过升降装置升降，并使上述LED及晶圆沿水平方向一张张引出；

旋转型LED及晶圆移送部，包括装载上述LED及晶圆以将其移送至后续工序的旋转台；

表面检查部，包括用于上述LED及晶圆的表面检查的第一视觉模块及第一不良品收纳部；

内部检查部，包括用于上述LED及晶圆的内部检查的第二视觉模块及第二不良品收纳部；

卸载部，包括通过升降装置升降以依次装载上述LED及晶圆的晶圆匣；及

控制部，根据顺序控制程序控制上述LED及晶圆的检查过程。

2.根据权利要求1所述的LED及晶圆检查装置，其特征在于：

在上述旋转台中形成的用于装载上述LED及晶圆的四个空间部，

且在上述每个空间部均形成有两个LED及晶圆支撑台，用于支撑上述装载的LED及晶圆，而且，

上述两个LED及晶圆支撑台可分别向左右移动，以使上述LED及晶圆降落。

3.根据权利要求1所述的LED及晶圆检查装置，其特征在于：

上述第一视觉模块包括：

表面检查用摄像头，位于上述旋转台上侧；及

两个表面检查用紫外线照明装置，设置于上述表面检查用摄像头两侧；而且，上述第一不良品收纳部位于上述第一视觉模块及上述旋转台的下方。

4.根据权利要求1所述的LED及晶圆检查装置，其特征在于：

上述第二视觉模块包括：

内部检查用摄像头，位于上述旋转台上侧；及

两个内部检查用红外线照明装置，设置于上述旋转台下侧以与上述内部检查用摄像头相对；而且，

上述第二不良品收纳部位于上述第二视觉模块及上述旋转台的下方。

5.根据权利要求4所述的LED及晶圆检查装置，其特征在于：

在上述LED及晶圆的内部检查过程中，上述两个内部检查用红外线照明装置位于相邻的位置，而在上述LED及晶圆降落时分别向左右移动，以便使上述LED及晶圆通过。

6.根据权利要求2所述的LED及晶圆检查装置，其特征在于：

上述LED及晶圆支撑台由蓝宝石材料制作而成。

7.根据权利要求1所述的LED及晶圆检查装置，还包括：显示/保存部，用于显示及保存通过上述第一视觉模块及第二视觉模块获取的图像；及

输入/输出部，向上述显示/保存部输入图像或输出保存于上述显示/保存部的图像；而且，

作业者能实时监控上述显示部所显示的上述图像。

8.根据权利要求1所述的LED及晶圆检查装置，其中

所述第一不良品收纳部由通过升降装置升降的晶圆匣构成；

所述第二不良品收纳部由通过升降装置升降的晶圆匣构成。

9.根据权利要求8所述的LED及晶圆检查装置，其特征在于：

在上述旋转台形成的用于装载上述LED及晶圆的四个空间部，且对应上述四个空间部均形成有推送装置，以向上述旋转台的外侧方向推送上述装载的LED及晶圆，而且，

在上述每个空间部均形成有用于支撑上述装载的LED及晶圆的LED及晶圆支撑台。

10.根据权利要求8所述的LED及晶圆检查装置，其特征在于：

上述第一视觉模块包括：

表面检查用摄像头，位于上述旋转台上侧；及

两个表面检查用紫外线照明装置，设置于上述表面检查用摄像头两侧；而且，上述第一不良品收纳部位于与上述旋转台的外侧相邻的位置。

11.根据权利要求8所述的LED及晶圆检查装置，其特征在于：

上述第二视觉模块包括：

内部检查用摄像头，位于上述旋转台上侧；及

内部检查用红外线照明装置，设置于上述旋转台下侧以与上述内部检查用摄像头相对；而且，

上述第二不良品收纳部位于与上述旋转台的外侧相邻的位置。

12.根据权利要求9所述的LED及晶圆检查装置，其特征在于：

上述LED及晶圆支撑台由蓝宝石材料制作而成。

13.根据权利要求8所述的LED及晶圆检查装置，其特征在于：

还包括：显示/保存部，显示及保存通过上述第一视觉模块及第二视觉模块获取的图像；

及输入/输出部，向上述显示/保存部输入图像或输出保存于上述显示/保存部的图像；而且，

作业者可实时监控上述显示部所显示的上述图像。

14.一种利用LED及晶圆检查装置的LED及晶圆检查方法，其中，

上述LED及晶圆检查装置包括：装载部，在其一侧设置推送装置，以使装载多个LED及晶圆的晶圆匣通过升降装置升降，并使上述LED及晶圆沿水平方向一张张引出；旋转型LED及晶圆移送部，包括装载上述LED及晶圆以将其移送至后续工序的旋转台；表面检查部，包括用于上述LED及晶圆的表面检查的第一视觉模块及第一不良品收纳部；内部检查部，包括用于上述LED及晶圆的内部检查的第二视觉模块及第二不良品收纳部；卸载部，包括通过升降装置升降以依次装载上述LED及晶圆的晶圆匣；及控制部，根据顺序控制程序控制上述LED及晶圆的检查过程；

而上述LED及晶圆检查方法包括如下步骤：

将上述LED及晶圆从上述装载部装载至上述旋转型LED及晶圆移送部；

将装载的上述LED及晶圆移送至上述表面检查部进行表面检查之后，将判定为不良的LED及晶圆分离并排出至上述第一不良品收纳部；

将在上述表面检查中判定为无异常的LED及晶圆移送至上述内部检查部进行内部检查之后，将此次检查后判定为不良的LED及晶圆分离并排出至上述第二不良品收纳部；

将在上述内部检查中判定为无异常的LED及晶圆移送至上述卸载部；及

卸载移送至上述卸载部的LED及晶圆。

15.一种利用LED及晶圆检查装置的LED及晶圆检查方法，其中，

上述LED及晶圆检查装置包括：装载部，在其一侧设置推送装置，以使装载多个LED及晶圆的晶圆匣通过升降装置升降，并使上述LED及晶圆沿水平方向一张张引出；旋转型LED及晶圆移送部，包括装载上述LED及晶圆以将其移送至后续工序的旋转台；表面检查部，包括用于上述LED及晶圆的表面检查的第一视觉模块及由通过升降装置升降的晶圆匣构成的第一不良品收纳部；内部检查部，包括用于上述LED及晶圆的内部检查的第二视觉模块及由通过升降装置升降的晶圆匣构成的第二不良品收纳部；卸载部，包括通过升降装置升降以依次装载上述LED及晶圆的晶圆匣；及控制部，根据顺序控制程序控制上述LED及晶圆的检查过程；

而上述LED及晶圆检查方法，包括如下步骤：

将上述LED及晶圆从上述装载部装载至上述旋转型LED及晶圆移送部；

将装载的上述LED及晶圆移送至上述表面检查部进行表面检查之后，将判定为不良的LED及晶圆分离收集至上述第一不良品收纳部；

将在上述表面检查中判定为无异常的LED及晶圆移送至上述内部检查部进行内部检查之后，将此次检查后判定为不良的LED及晶圆分离收集至上述第二不良品收纳部；

将在上述内部检查中判定为无异常的LED及晶圆移送至上述卸载部；及卸载移送至上述卸载部的LED及晶圆。

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