CN102259756B - 直线电机式硅片搬送机构 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种直线电机式硅片搬送机构，解决了现有技术存在的传送速度低和碎片率高的问题。包括PLC和处理硅片平台（3），在处理硅片平台（3）的两侧分别设置有柔性皮带进料和出料机构，在柔性皮带进料机构的下方分别设置有输入或输出硅片行走横梁，与PLC电连接的伺服电机（18）通过驱动同步带（19）驱动两凸轮转动，带动升降板（24）上下移动，在升降板（24）上端面上固定设置有直线电机定子（27），直线电机动子（28）可沿直线电机定子（27）在左右水平方向上移动，在直线电机动子（28）上端固定设置有传送硅片的负压吸盘（6），传送硅片的负压吸盘（6）设置在输入吸盘让位缺口（13）中，适用于全自动硅片电池生产线。

Description

直线电机式硅片搬送机构

技术领域

 本发明涉及一种直线电机式硅片搬送机构，具体是一种将硅片搬送至特定工位，待该工位工作完成后将硅片再搬出的平行传动机构，配套用于全自动硅片生产线中。

背景技术

在硅片电池的制造过程中，硅片的自动供料及取料是非常重要的工序，主要实现将硅片传入及传出某个特定工位的过程。目前，硅片的供料及取料主要是半自动或气动式搬送机构完成，搬送速度低，同时存在碎片率高的问题。

发明内容

本发明提供了一种直线电机式硅片搬送机构，解决了现有技术存在的传送速度低和碎片率高的问题。

本发明是通过以下方案解决以上问题的：

一种直线电机式硅片搬送机构，包括PLC和处理硅片平台，在处理硅片平台的一侧设置有柔性皮带进料机构，在处理硅片平台的另一侧设置有柔性皮带出料机构，在柔性皮带进料机构的下方设置有输入硅片行走横梁，在柔性皮带出料机构的下方设置有输出硅片行走横梁，在柔性皮带进料机构的硅片传送平台上设置有输入吸盘让位缺口，在输入吸盘让位缺口的两侧的柔性皮带进料机构的硅片传送平台上分别设置有硅片限位块和硅片位置正位调整块，硅片位置正位调整块与正位气缸的输出轴连接，正位气缸与PLC电连接，设置在柔性皮带进料机构的硅片传送平台下方的同步带驱动电机通过同步带轮驱动同步带传送硅片，同步带驱动电机与PLC电连接，输入硅片行走横梁的底座板竖立固定在机架上，在底座板的前面板上分别固定设置有伺服电机和凸轮轴，在凸轮轴的两端分别设置有一凸轮，与PLC电连接的伺服电机通过驱动同步带驱动两凸轮转动，在底座板的后面板上固定设置有滑块，在升降板上固定设置有升降导轨，升降导轨与滑块活动连接在一起，在升降板的底端两侧分别固定设置有两块L形连接块，在L形连接块的尾端均设置有滚轮，滚轮与凸轮滚动连接，在升降板上端面上固定设置有直线电机定子，直线电机动子可沿直线电机定子在左右水平方向上移动，在直线电机动子上端固定设置有传送硅片的负压吸盘，传送硅片的负压吸盘设置在输入吸盘让位缺口中，在直线电机动子侧面固定设置有拖链连接板，在拖链连接板与输入硅片行走横梁的底座板之间设置有拖链。

所述的输出硅片行走横梁的结构与输入硅片行走横梁的结构相同，硅片出料吸盘设置在柔性皮带出料机构的出料吸盘让位口中；在所述的柔性皮带出料机构中设置有输出同步带驱动电机和输出同步带轮。

本发明有效解决了现有半自动、气动搬送硅片传送速度低的问题，适用于全自动硅片电池生产线。

附图说明

图1是本发明的总体结构示意图

图2是本发明的柔性皮带进料机构1的结构示意图

图3是本发明的输入硅片行走横梁2的结构示意图

图4是本发明的柔性皮带出料机构5的结构示意图。

具体实施例

一种直线电机式硅片搬送机构，包括PLC和处理硅片平台3，在处理硅片平台3的一侧设置有柔性皮带进料机构1，在处理硅片平台3的另一侧设置有柔性皮带出料机构5，在柔性皮带进料机构1的下方设置有输入硅片行走横梁2，在柔性皮带出料机构5的下方设置有输出硅片行走横梁4，在柔性皮带进料机构1的硅片传送平台上设置有输入吸盘让位缺口13，在输入吸盘让位缺口13的两侧的柔性皮带进料机构1的硅片传送平台上分别设置有硅片限位块14和硅片位置正位调整块15，硅片位置正位调整块15与正位气缸16的输出轴连接，正位气缸16与PLC电连接，设置在柔性皮带进料机构1的硅片传送平台下方的同步带驱动电机10通过同步带轮11驱动同步带12传送硅片，同步带驱动电机10与PLC电连接，输入硅片行走横梁2的底座板17竖立固定在机架上，在底座板17的前面板上分别固定设置有伺服电机18和凸轮轴20，在凸轮轴20的两端分别设置有一凸轮21，与PLC电连接的伺服电机18通过驱动同步带19驱动两凸轮转动，在底座板17的后面板上固定设置有滑块26，在升降板24上固定设置有升降导轨25，升降导轨25与滑块26活动连接在一起，在升降板24的底端两侧分别固定设置有两块L形连接块23，在L形连接块23的尾端均设置有滚轮22，滚轮22与凸轮21滚动连接，PLC控制伺服电机18驱动两凸轮21围绕着凸轮轴20同步转动，与两凸轮21滚动接触的两滚轮22带动升降板24通过升降导轨25与滑块26的配合使升降板24升起或降下，从而带动设置在升降板24顶端的直线电机动子28上的负压吸盘6在输入吸盘让位缺口13中升起，将柔性皮带上的硅片托起后，并在PLC的控制下水平运送到处理硅片平台3上。

在升降板24上端面上固定设置有直线电机定子27，直线电机动子28可沿直线电机定子27在左右水平方向上移动，在直线电机动子28上端固定设置有传送硅片的负压吸盘6，传送硅片的负压吸盘6设置在输入吸盘让位缺口13中，在直线电机动子28侧面固定设置有拖链连接板7，在拖链连接板7与输入硅片行走横梁2的底座板17之间设置有拖链8，在拖链8设置柔性皮带进料机构1上的控制电缆。

所述的输出硅片行走横梁4的结构与输入硅片行走横梁2的结构相同，硅片出料吸盘9设置在柔性皮带出料机构5的出料吸盘让位口中；在所述的柔性皮带出料机构5中设置有输出同步带驱动电机30和输出同步带轮29。

工作时，柔性皮带进料机构上的传感器检测到同步带上传送过来的硅片，皮带伺服电机控制的皮带开始减速，硅片低速传送，由其上硅片限位块14进行定位，之后硅片位置正位调整块15对硅片进行整形，输入硅片行走横梁2中的伺服电机18驱动凸轮21上升完成从底部让料位到中部吸料位再到最高送料位的运动过程，运动高度的精度依靠伺服电机18控制，使两组对称的滚子实现升降的时序控制，依靠升降板24上两组平行导轨保证其运动平稳性。在中部吸料位置，真空传感器负压吸硅片系统按照时序启动与关闭实现对硅片的吸附定位作用。直线电机在硅片升至最高送料位时，由高精度的直线电机带动负压吸盘6送入处理硅片平台3；其中硅片负压吸盘依照负压学原理进行设计，保证硅片吸附之后变形最小且吸附牢靠；高精度的直线电机在带动负压吸盘运动过程中由精密级中预压导轨导向，保证机构水平运动过程中的平面度；高精度的直线电机的运动距离精度由光栅尺定位部件保证，保证硅片传送距离的一致性，减少后期硅片处理过程的视觉定位系统的计算时间。柔性皮带出料机构5上的传感器检测到硅片后，伺服电机带动前同步带机构将硅片加速传出，并由过渡传出部件将处理完毕的硅片传至下道工序平台之上，其中过渡传出部件与前同步带机构串行连接，单电机驱动。

Claims (2)

1.一种直线电机式硅片搬送机构，包括PLC和处理硅片平台（3），在处理硅片平台（3）的一侧设置有柔性皮带进料机构（1），在处理硅片平台（3）的另一侧设置有柔性皮带出料机构（5），在柔性皮带进料机构（1）的下方设置有输入硅片行走横梁（2），在柔性皮带出料机构（5）的下方设置有输出硅片行走横梁（4），其特征在于，在柔性皮带进料机构（1）的硅片传送平台上设置有输入吸盘让位缺口（13），在输入吸盘让位缺口（13）的两侧的柔性皮带进料机构（1）的硅片传送平台上分别设置有硅片限位块（14）和硅片位置正位调整块（15），硅片位置正位调整块（15）与正位气缸（16）的输出轴连接，正位气缸（16）与PLC电连接，设置在柔性皮带进料机构（1）的硅片传送平台下方的同步带驱动电机（10）通过同步带轮（11）驱动第一同步带（12）传送硅片，同步带驱动电机（10）与PLC电连接，输入硅片行走横梁（2）的底座板（17）竖立固定在机架上，在底座板（17）的前面板上分别固定设置有伺服电机（18）和凸轮轴（20），在凸轮轴（20）的两端分别设置有一凸轮（21），与PLC电连接的伺服电机（18）通过驱动第二同步带（19）驱动两凸轮转动，在底座板（17）的后面板上固定设置有滑块（26），在升降板（24）上固定设置有升降导轨（25），升降导轨（25）与滑块（26）活动连接在一起，在升降板（24）的底端两侧分别固定设置有两块L形连接块（23），在L形连接块（23）的尾端均设置有滚轮（22），滚轮（22）与凸轮（21）滚动连接，在升降板（24）上端面上固定设置有直线电机定子（27），直线电机动子（28）可沿直线电机定子（27）在左右水平方向上移动，在直线电机动子（28）上端固定设置有传送硅片的负压吸盘（6），传送硅片的负压吸盘（6）设置在输入吸盘让位缺口（13）中，在直线电机动子（28）侧面固定设置有拖链连接板（7），在拖链连接板（7）与输入硅片行走横梁（2）的底座板（17）之间设置有拖链（8）。

2.根据权利要求1所述的一种直线电机式硅片搬送机构，其特征在于，所述的输出硅片行走横梁（4）的结构与输入硅片行走横梁（2）的结构相同，硅片出料吸盘（9）设置在柔性皮带出料机构（5）的出料吸盘让位口中；在所述的柔性皮带出料机构（5）中设置有输出同步带驱动电机（30）和输出同步带轮（29）。

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