JP5437049B2 - 板状部材の保持装置および保持方法 - Google Patents
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Description
また、保持装置は、前記板状部材を前記載置面に載置する際または前記板状部材を前記載置面から剥離する際に、前記接着剤に振動を付与する加振手段を備えることが好ましい。
さらに、保持装置は、前記板状部材を前記載置面に載置する際または前記板状部材を前記載置面から剥離する際に、前記接着剤を加熱する加熱手段を備えることが好ましい。
さらに、前記接着剤は、エネルギー線硬化型の接着剤であって、前記板状部材を前記載置面に載置した状態で、前記接着剤にエネルギー線を照射するエネルギー線照射手段を備えてもよい。
また、板状部材を載置面に載置するよりも以前に塗布された接着剤を硬化させることで、接着剤の流動性を低めてから載置して保持することができ、載置後における板状部材と載置面とのずれを防止することができる。
また、研削やダイシングなどの工程の後にエネルギー線を照射するようにすれば、接着剤の接着力が弱まり板状部材を速やかに載置面から取り外すことができる。
図1において、ウェハ研削装置1は、表面に回路が形成されたウェハWの裏面を研削して当該ウェハWを薄型化する装置であり、このウェハ研削装置1において、板状部材としてのウェハWを保持する本発明の保持手段および保持方法が利用されている。このウェハ研削装置1は、前工程の払い出しテーブルTからウェハWを受け取って搬送する搬送手段2と、搬送手段2で搬送したウェハWを載置する載置手段3と、載置手段3に載置したウェハWの裏面(一方の面)WAを研削するグラインダ4とを備えるとともに、搬送手段2で搬送する途中において、ウェハWの表面(他方の面)WBにエネルギー線硬化型の接着剤Bを塗布する塗布手段5と、塗布した接着剤Bにエネルギー線である紫外線を照射して当該接着剤Bを硬化させる硬化手段6とを備えて構成されている。
先ず、払い出しテーブルT上に表面WB側を下方にしてウェハWが払い出されると、搬送手段2が直動モータ23を駆動して裏面WAに吸着パッド21を当接させ、ウェハWを吸着保持して払い出しテーブルTから離隔させる。
次に、搬送手段2の図示しない単軸ロボットでスライダ24を駆動し、図1中右方向に所定速度でウェハWを移動させる。このとき、ウェハWが塗布手段5の上方を通過する際に、当該塗布手段5から接着剤Bを吐出することで、表面WBに接着剤Bが塗布される。この際、塗布手段5は、表面WBの全面に接着剤Bを塗布する場合の他に、複数の吐出ノズルからの吐出または非吐出を適宜に切り替えることで、所定の塗布パターンによって接着剤Bを塗布可能に構成されている。
また、図4(B)に示すように、ウェハWの表面WBにおける中間位置の複数箇所(例えば、4箇所)に離散して塗布領域Rを設定しておき、これら塗布領域Rに接着剤Bを塗布したパターンであってもよい。
さらに、図4(C)に示すように、ウェハWの外縁に沿うとともに互いに離隔した複数箇所(例えば、3箇所)に塗布領域Rを設定しておき、これら塗布領域Rに接着剤Bを塗布したパターンであってもよい。
すなわち、ウェハWの表面WBに塗布した接着剤Bを介して当該ウェハWを載置面37に載置して保持することで、載置手段3における吸着保持機構が不要にできて載置手段3の構造が簡素化できる。さらに、ウェハWの表面WBが接着剤Bで保護されることから、別途の表面保護材料などが不要になる。
また、前記実施形態では、ウェハ研削装置1を例示して説明したが、本発明の板状部材の保持装置としては、研削装置に限らず、ダイシング装置におけるウェハの保持装置であってもよい。その場合には、ウェハWの裏面WAを他方の面として裏面WA側から載置面に載置するとともに、接着保持後に表面WB側からウェハWを切断して個片化する適宜な切断手段を設けておけばよい。
また、前記実施形態では、エネルギー線硬化型の接着剤Bを用い、載置前に紫外線ランプ61を有した硬化手段6で硬化させるとともに、載置後に紫外線ランプ84を有したエネルギー線照射手段8でさらに硬化させる構成を採用したが、このような構成に限定されない。すなわち、接着剤としてはエネルギー線硬化型のものに限らず、熱硬化型の接着剤であってもよく、その場合には、硬化手段としてヒータ等の加熱手段を用いることができ、エネルギー線照射手段8を省略することができる。
さらに、加振手段は、超音波振動体7に限らず、振動モータ、エアシリンダ等、上面板32に振動を付与できるものであれば何ら限定されることはない。
また、加振手段の周波数(振動数)や振動幅は、前記実施形態の数値に限定されることなく、適宜な周波数、振動幅を設定することができる。
さらに、加振手段の振動方向は、図1中上下方向や左右方向、斜め方向であってよい。
3 載置手段
5 塗布手段
6 硬化手段
7 超音波振動体(加振手段)
8 エネルギー線照射手段
9 加熱手段
23 直動モータ(移動手段)
37 載置面
B 接着剤
W ウェハ(板状部材)
WA 裏面(一方の面)
WB 表面(他方の面)
Claims (6)
- 一方の面と他方の面とを有する板状部材の他方の面が当接する載置面を有する載置手段と、
前記板状部材の他方の面と前記載置面との少なくとも一方に接着剤を塗布する塗布手段と、
前記板状部材と前記載置面とを互いに相対接近させて前記接着剤を介して当該板状部材を当該載置面に載置する移動手段とを備え、
前記塗布手段は、複数の吐出ノズルを備え、前記複数の吐出ノズルの吐出を調整して前記接着剤を所定のパターンで塗布可能に構成されていることを特徴とする板状部材の保持装置。 - 前記移動手段によって前記板状部材を前記載置面に載置するよりも以前に前記塗布された接着剤を硬化させる硬化手段を備えることを特徴とする請求項1に記載の板状部材の保持装置。
- 前記板状部材を前記載置面に載置する際または前記板状部材を前記載置面から剥離する際に、前記接着剤に振動を付与する加振手段を備えることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の板状部材の保持装置。
- 前記板状部材を前記載置面に載置する際または前記板状部材を前記載置面から剥離する際に、前記接着剤を加熱する加熱手段を備えることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の板状部材の保持装置。
- 前記接着剤は、エネルギー線硬化型の接着剤であって、
前記板状部材を前記載置面に載置した状態で、前記接着剤にエネルギー線を照射するエネルギー線照射手段を備えることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の板状部材の保持装置。 - 一方の面と他方の面とを有する板状部材の他方の面と、当該板状部材の他方の面が当接する載置面との少なくとも一方に複数の吐出ノズルの吐出を調整して接着剤を所定のパターンで塗布し、
前記板状部材および前記載置面を互いに相対接近させ、前記塗布した接着剤を介して当該板状部材を当該載置面に載置することを特徴とする板状部材の保持方法。
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