CN102077100A - 法拉第屏蔽以及具有该法拉第屏蔽的装置 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于提供一种法拉第屏蔽以及具有该法拉第屏蔽的装置，其在导体容器内可拆卸地收纳有过滤器盒，使将过滤器盒放入导体容器内或从中取出的作业简单化，由此能够简化下一次测定时的准备作业。法拉第屏蔽(1)具有框体(1a)和收纳在框体(1a)中的过滤器盒(4)。框体(1a)具有第一壳体部件(2)和第二壳体部件(3)，并被构成为能够分离成两部分，所述第一壳体部件(2)具有外侧第一罩(21)、第一保持架(22)以及内侧第一罩(23)，所述第二壳体部件(3)具有外侧第二罩(51)、第二保持架(52)以及内侧第二罩(53)。过滤器盒(4)配置在两壳体部件(2、3)之间，并具有对从框体(1a)的外部吸引的粉体进行捕集的过滤器。

Description

法拉第屏蔽以及具有该法拉第屏蔽的装置

技术领域

本发明涉及法拉第屏蔽以及具有该法拉第屏蔽的装置，其对作为测定试料的电子摄像技术中的调色剂、静电粉体涂装技术中的带电粉体涂料等带电的粉体进行吸引，并测定该吸引的粉体的电荷量或带电量。

背景技术

作为现有的法拉第屏蔽，例如专利文献1记载了下述法拉第屏蔽，该法拉第屏蔽具有绝缘容器以及收纳在绝缘容器内且通过吸气口部和排气口部夹着捕集调色剂的过滤器而成的吸嘴(导体容器)，对作为导体容器的吸嘴内的调色剂的电荷量进行测定。在该法拉第屏蔽中，测定在绝缘容器内吸引到吸嘴内的调色剂的电荷量。并且，拆下绝缘容器的盖，从绝缘容器取出吸嘴，测定进入有调色剂的吸嘴的重量。通过用测定的电荷量除该测定的重量和预先测定的吸嘴单体重量的差，能够求出每单位重量的调色剂的带电量。

【专利文献1】日本专利第3567463号公报(图5)

在上述专利文献1所述的法拉第屏蔽中，为了测定吸嘴的重量而需要拆下绝缘容器的盖。对于该盖相对于绝缘容器的安装结构，专利文献1没有任何具体记载。如果该盖通过多个螺钉等牢固地固定于绝缘容器，则将吸嘴放入绝缘容器或从中取出时的作业非常繁杂。在进行下次测定时，需要拆分吸嘴并对附着有调色剂的吸嘴内进行清扫，进而需要进行更换吸嘴内的过滤器等繁杂的作业，从而存在测定作业的准备工作被拖延等的问题。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种法拉第屏蔽以及具有该法拉第屏蔽的装置，其在导体容器内可拆卸地收纳有过滤器盒，使将过滤器盒放入导体容器内或从中取出的作业简单化，由此能够简化下一次测定时的准备作业。

本发明的法拉第屏蔽包括：框体，其包括第一壳体部件和第二壳体部件，并能够分离成两部分，所述第一壳体部件具有由导电材料构成的外侧第一罩和收纳于该外侧第一罩中并与该外侧第一罩电绝缘的由导电材料构成的内侧第一罩，所述第二壳体部件具有能够与所述外侧第一罩嵌合并由导电材料构成的外侧第二罩和收纳于该外侧第二罩中并与该外侧第二罩电绝缘的由导电材料构成的内侧第二罩；过滤器盒，其配置在被构成为能够分离成两部分的所述框体内，并收纳有对从所述框体的外部吸引的粉体进行捕集的第一过滤器。

由此，由于框体被构成为能够分离成两部分，因此，将过滤器盒放入框体或从中取出的作业变简单。除此之外，在进行下一次测定时，仅将过滤器盒更换成新的即可，不需要像以往那样拆分吸嘴等后进行清扫，使测定的作业性得以提高。

另外，本发明的法拉第屏蔽包括：框体，其包括第一壳体部件和第二壳体部件，所述第一壳体部件具有由导电材料构成的外侧第一罩和收纳于该外侧第一罩中并与该外侧第一罩电绝缘的由导电材料构成的内侧第一罩，所述第二壳体部件具有能够与所述外侧第一罩嵌合并由导电材料构成的外侧第二罩和收纳于该外侧第二罩中并与该外侧第二罩电绝缘的由导电材料构成的内侧第二罩；过滤器盒，其配置在所述框体内，并收纳有对从所述框体的外部吸引的粉体进行捕集的第一过滤器。在所述第一壳体部件以及第二壳体部件设有锁定机构，通过使所述外侧第一罩以及第二罩嵌合，所述锁定机构在其嵌合方向上保持所述内侧第一罩的端面和所述内侧第二罩的端面压接的状态并使两壳体部件相互卡合。

由此，通过嵌合外侧第一罩以及第二罩，锁定机构起作用，使内置有过滤器盒的两壳体部件相互卡合。这样，利用使两壳体部件相互卡合的锁定机构，使将过滤器盒放入被构成为能够分成两部分的框体或从中取出的作业变简单。除此之外，在进行下一次测定时，仅将过滤器盒更换成新的即可，不需要像以往那样拆分吸嘴等后进行清扫，使测定的作业性得以提高。另外，当使两壳体部件相互卡合时，能够牢固地保持外侧第一罩及第二罩的电接触以及内侧第一罩及第二罩的电接触。因此，能够精度良好地测定内侧第一罩以及第二罩的闭空间内的电荷量，并能够利用电接触的外侧第一罩以及第二罩，在测定内侧第一罩以及第二罩的闭空间内的电荷量时有效排除外部电场的影响。

在本发明中，所述锁定机构具有：突起，其在所述嵌合方向上从所述外侧第一罩以及第二罩的任一方的罩的与另一方罩相重合的内周面突出；环状突起，其从所述另一方罩的与所述一方的罩相重合的外周面突出并具有与所述突起相对应的缺口部。优选在以所述突起穿过所述缺口部的方式嵌合所述外侧第一罩以及第二罩之后，通过使所述一方的壳体部件沿周向旋转不足一周而使所述突起和所述环状突起相卡合。锁定机构形成更简单的结构。

另外，在本发明中，优选在所述外侧第一罩和所述内侧第一罩之间设有第一施力部件，该第一施力部件以使所述内侧第一罩沿所述嵌合方向离开所述外侧第一罩的方式对所述内侧第一罩施力。由此，两壳体部件相互卡合时内侧第二罩的端面相对于内侧第一罩的端面的压接力变大。因此，能够进一步可靠地保持两者的电接触状态。

另外，在本发明中，优选在所述内侧第一罩和所述过滤器盒之间设有第二施力部件，该第二施力部件以使所述过滤器盒沿所述嵌合方向离开所述内侧第一罩的方式对所述过滤器盒施力。由此，即使在嵌合方向上过滤器盒的尺寸多少有些偏差，也可以通过第二施力部件吸收该尺寸偏差。

另外，在本发明中，优选在所述外侧第一罩以及第二罩的嵌合区域形成有硬质覆膜，所述硬质覆膜比所形成的该罩的基材硬质。由此，由于在外侧第一罩以及第二罩的嵌合区域形成硬质覆膜，因此，当组装外侧第一罩以及第二罩时，能够在嵌合区域中抑制产生由罩彼此的摩擦而引起的刮削、卡住等。因此，能够使外侧第一罩以及第二罩反复组装和分离。

另外，在本发明中，所述硬质覆膜具有绝缘性，优选在所述嵌合区域中的组装了所述外侧第一罩以及第二罩时相互接触的所述外侧第一罩以及第二罩的接触区域，没有形成所述硬质覆膜。由此，即使硬质覆膜具有绝缘性，当组装外侧第一罩以及第二罩时，也能够使外侧第一罩以及第二罩彼此电连接。因此，通过外侧第一罩以及第二罩，在测定内侧第一罩以及第二罩内的电荷量时，能够有效排除外部电场的影响。

另外，在本发明中，优选所述硬质覆膜形成于所述外侧第一罩以及第二罩的除所述接触区域之外的整个表面。由此，即使在外侧第一罩和内侧第一罩之间、以及外侧第二罩和内侧第二罩之间进入导电性异物或水滴等，由于外侧第一罩以及第二罩被硬质覆膜覆盖，因此外侧第一罩和内侧第一罩、以及外侧第二罩和内侧第二罩不会导通。因此，能够精度良好地测定内侧第一罩以及第二罩内的电荷量。

另外，在本发明中，优选所述外侧第一罩以及第二罩由铝或包含铝的合金构成，所述硬质覆膜通过防蚀钝化处理而形成。由此，能够使外侧第一罩以及第二罩的重量比较轻，从而使法拉第屏蔽的整体重量轻量化。

另外，在本发明中，优选所述硬质覆膜具有导电性。由此，当组装外侧第一罩以及第二罩时，外侧第一罩以及第二罩彼此能够电连接。因此，通过外侧第一罩以及第二罩，当测定内侧第一罩以及第二罩内的电荷量时，能够有效排除外部电场的影响。

另外，在本发明中，所述过滤器盒包括：由合成树脂构成并沿吸引粉体的吸引方向延伸的第一筒部；收纳所述第一过滤器且与所述第一筒部相比其直径被扩径的筒状的扩径部；沿所述吸引方向延伸并在所述吸引方向上将所述扩径部夹在其与所述第一筒部之间的第二筒部。优选在所述第一筒部、所述扩径部以及所述第二筒部中的至少任一个上形成有透光区域。由此，可以从透光区域确认是吸引了粉体的使用后的过滤器盒还是未使用的过滤器盒。因此，能够防止错误地对使用后过滤器盒再次使用。

另外，在本发明中，优选所述透光区域在所述吸引方向上形成于所述扩径部的所述第一过滤器的上游。由此，能够从透光区域确认由第一过滤器捕集的粉体。因此，能够可靠地防止对使用后过滤器盒再次使用。

另外，在本发明中，优选所述过滤器盒由半透明或透明的合成树脂构成，在整个过滤器盒形成所述透光区域。由此，能够容易确认过滤器盒是否是使用后的。另外，当过滤器盒为透明时，还能够确认第一过滤器的收纳状态。

另外，在本发明中，所述第一筒部在所述吸引方向上配置在所述扩径部的上游，其长度形成为比所述扩径部的直径以及所述第二筒部长。优选在所述第一筒部形成有内径沿所述吸引方向递减的递减区域和形成于该递减区域的下游且其内径沿所述吸引方向递增的递增区域。由此，外部的带电粉体的吸引操作变容易，且能够将制造长尺寸的第一筒部时使用的模具形成为组合模具。因此，能够降低过滤器盒的制造成本。

另外，在本发明中，优选在所述第二筒部形成有内径沿所述吸引方向递增的递增区域，位于所述第二筒部的最下游的排出口的直径大于位于所述第一筒部的最上游的吸引口的直径。由此，能够提高来自吸引口的吸引力。

另外，在本发明中，优选在所述第二筒部的所述吸引方向的下游端部形成有从所述第二筒部的外周面突出的环状突起。由此，当将过滤器盒放入框体或从中取出时，容易把持过滤器盒。

另外，在本发明中，优选所述扩径部的外周侧面被倒角成多面形状。由此，从框体拆下的过滤器盒难以滚动。因此，粉体难以从过滤器盒内撒出，且能够稳定地测定捕集了粉体的过滤器盒的重量。

另外，在本发明中，所述过滤器盒包括由合成树脂构成的容器。优选对所述容器赋予导电性。由此，由于对容器赋予了导电性，因此，能够用重量测定器高精度地测定包括容器的过滤器盒。当对过滤器盒赋予了导电性时，通过静电感应而在容器产生相对于由第一过滤器捕集的粉体的电荷、因吸引时的摩擦带电而在容器的内面产生的电荷以及赋予了粉体的电荷分别等量并具有相反极性的电荷。在测定重量时，粉体的电荷、因吸引时的摩擦带电而在过滤器盒内面产生的电荷以及赋予了粉体的电荷，通过电力线与由静电感应产生的各电荷闭合，从而能够抑制在容器的外部产生电荷的影响，能够使电荷的影响不在外部产生。

另外，在本发明中，优选在所述合成树脂中添加有导电性材料。由此，能够用重量测定器更高精度地测定过滤器盒。

另外，在本发明中，优选在所述容器的外表面的至少一部分形成有导电膜。由此，能够用重量测定器高精度地测定作为容器的过滤器盒。其原因在于，由于通过静电感应在导电膜上产生与过滤器盒内的电荷等量并具有相反极性的电荷，因此，能够抑制在容器外部产生这些电荷的影响，或者，能够使电荷的影响不在外部产生。

另外，在本发明中，优选在所述容器的整个外表面形成有导电膜。由此，能够用重量测定器更高精度地测定过滤器盒。

另外，在本发明中，在所述过滤器盒的外周面形成有沿其周向相互隔离配置的多个突起。优选当将所述过滤器盒插入所述内侧第一罩时，所述多个突起的前端与所述内侧第一罩卡合。由此，当从框体内拆下过滤器盒时，过滤器盒难以从框体脱落。因此，粉体难以从过滤器盒内撒出。

另外，在本发明中，优选所述内侧第一罩的上游端和所述过滤器盒的上游端被配置在沿吸引粉体的吸引方向实质相同的位置处。由此，能够将内侧第一罩以及第二罩吸引的所有粉体捕集到过滤器盒内。

另外，在本发明中，优选还具有过滤器单元，该过滤器单元设置在所述过滤器盒的下游路径的中途部位，并具有过滤精度在所述第一过滤器以上的第二过滤器。由此，由于在路径的中途部位设置过滤器单元，因此，当第一过滤器破损、或者当发生第一过滤器没有安装在过滤器盒内的故障时，能够用过滤器单元捕集与气体一起吸引的粉体。因此，能够可靠地防止所吸引的粉体向外部飞散等的危险性。

另外，在本发明中，优选所述过滤器单元设置在所述框体的外侧。由此，能够使框体小型化。另外，设置过滤器单元的情况能够一目了然。

另外，在本发明中，所述过滤器单元具有收纳所述第二过滤器的树脂盒。优选在所述树脂盒的与所述第二过滤器相对的区域形成有透光区域。由此，本来应由第一过滤器捕集的粉体是否被过滤器单元捕集的情况一目了然，因此能够确认第一过滤器是否破损或者是否被忘记安装。

另外，在本发明中，优选所述第二过滤器的过滤精度比所述第一过滤器高。由此，能够可靠地捕集从过滤器盒通过来的粒径小于第一过滤器的过滤精度的粉体等。

本发明的装置包括：

法拉第屏蔽，该法拉第屏蔽包括：框体，其包括第一壳体部件和第二壳体部件，并能够分离成两部分，所述第一壳体部件具有由导电材料构成的外侧第一罩和收纳于该外侧第一罩中并与该外侧第一罩电绝缘的由导电材料构成的内侧第一罩，所述第二壳体部件具有能够与所述外侧第一罩嵌合并由导电材料构成的外侧第二罩和收纳于该外侧第二罩中并与该外侧第二罩电绝缘的由导电材料构成的内侧第二罩；过滤器盒，其配置在被构成为能够分离成两部分的所述框体内，并收纳有对从所述框体的外部吸引的粉体进行捕集的第一过滤器；

与连接于所述外侧第一罩及第二罩的任一方以及连接于所述内侧第一罩及第二罩的任一方的配线相连的电位计；

能够测定所述过滤器盒的重量的重量测定器。

由此，在测定了吸引到过滤器盒内的粉体的电荷量之后，通过测定该过滤器盒内的粉体的重量，能够分别高效率地测定粉体的电荷量和重量。另外，在测定电荷量之后，通过从框体取出过滤器盒，能够简单且可靠地从框体除去粉体。

附图说明

图1是本发明一实施方式的装置的概略结构图。

图2是使本发明一实施方式的法拉第屏蔽的第一壳体部件和第二壳体部件相分离时的立体图。

图3是图1所示的法拉第屏蔽的拆分立体图。

图4是本发明一实施方式的法拉第屏蔽的截面图。

图5是沿图3所示的V-V线的截面图。

图6是图2所示的外侧第二罩的立体图，其示出从该罩拆下突起形成部件后的状态。

图7(a)是从吸引方向的上游侧观察过滤器盒时的立体图，(b)是从吸引方向的下游侧观察过滤器盒时的立体图。

图8是图3所示的过滤器盒的截面图。

图9是在第一以及第二壳体部件组装过滤器盒时的截面图。

图10是示出使用法拉第屏蔽来测定所吸引的粉体的电荷量时在过滤器盒产生的电荷的状态的概略截面图。

图11是示出在测定所吸引的粉体的电荷量之后用电子天平测定过滤器盒的重量时在过滤器盒产生的电荷的状态的概略截面图。

图12示出本发明一实施方式的过滤器盒的变形例，是示出使用法拉第屏蔽测定所吸引的粉体的电荷量时在过滤器盒产生的电荷的状态的概略截面图。

图13示出本发明一实施方式的过滤器盒的变形例，是示出在测定所吸引的粉体的电荷量之后用电子天平测定过滤器盒的重量时在过滤器盒产生的电荷的状态的概略截面图。

图14(a)是示出内侧第一罩的前端部的变形例的主要部分截面图，(b)是示出内侧第一罩和内侧第二罩的接触部分的变形例的主要部分截面图。

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的优选实施方式。

如图1所示，装置100包括：用于测定从外部吸引的粉体的电荷量的法拉第屏蔽1；通过连接部件70与法拉第屏蔽1连接的配管部件6；设于配管部件6的中途部位的过滤器单元5；经由配管部件6与法拉第屏蔽1连接的吸引泵12；与连接于法拉第屏蔽1的同轴电缆13相连接的电位计14；重量测定器18。需要说明的是，电位计14和重量测定器18(本实施方式中为电子天平18)采用公知设备。吸引泵12和电位计14可以一体构成。另外，作为配管部件6，使用由橡胶或合成树脂构成的具有可挠性的管件。

如图2所示，法拉第屏蔽1具有外形为大致圆筒形状的框体1a和收纳于框体1a中的过滤器盒4。框体1a具有第一壳体部件2和第二壳体部件3，构成可分离的结构。需要说明的是，过滤器盒4配置在这两个壳体部件2、3之间。这样，由于框体1a被构成为能够分离成两部分，因此，将过滤器盒4放入框体1a或从中取出的作业变简单。在框体1a中设有将配管部件6连接于框体1a的连接部件70。因此，通过驱动吸引泵12，法拉第屏蔽1能够在与其轴向平行的方向、即在图4中从左方朝向右方的方向(吸引方向A)上从外部一起吸引气体和粉体。通过该吸引，从框体1a排出的气体(从外部吸入框体1a的气体)通过连接部件70的孔70a、配管部件6以及过滤器单元5而流向吸引泵侧。即，连接部件70、配管部件6以及设于配管部件6的中途部位的过滤器单元5构成气体的排出路径。

如图3及图4所示，第一壳体部件2具有：由铝合金构成的圆筒状的外侧第一罩21；由聚碳酸酯树脂构成的圆筒状的第一保持架22；由不锈钢构成的圆筒状的内侧第一罩23。在内侧第一罩23与外侧第一罩21之间夹着第一保持架22。外侧第一罩21和内侧第一罩23以电绝缘状态进行配置。需要说明的是，外侧第一罩21也可以由铝、铜以及镁合金等具有导电性的材料构成。另外，内侧第一罩23也可以由不锈钢以外的导电材料构成。第一保持架22也可以由聚碳酸酯树脂以外的绝缘材料构成。

在外侧第一罩21的吸引方向A的上游端形成有环状凸缘31。在环状凸缘31形成有能够插通第一保持架22以及内侧第一罩23的一部分的孔31a。在外侧第一罩21的吸引方向A的下游端形成有环状突起33，该环状突起33通过在该下游端附近沿周向形成延伸的槽32而构成。在环状突起33上形成有两个缺口部34a、34b。这两个缺口部34a、34b以外侧第一罩21的中心轴为中心点对称配置。即，缺口部34a形成于从缺口部34b旋转180°的位置处。需要说明的是，如图4所示，当使外侧第一罩21和第二壳体部件3的外侧第二罩51相嵌合时，环状突起33在其嵌合方向上从外侧第一罩21的与外侧第二罩51重合的外周面突出。

在外侧第一罩21的整个表面形成有通过防蚀钝化处理而形成的阳极氧化覆膜，即形成有比作为外侧第一罩21的基材的铝合金硬质且具有绝缘性的硬质覆膜10。在本实施方式中，作为表面处理采用防蚀钝化处理，硬质覆膜10的厚度为30μm左右，但只要在10μm以上100μm以下的范围内，可以为任意厚度。即，硬质覆膜10的厚度只要在10μm以上，就能够将外侧第一罩21的整个表面形成为比基材硬质，只要在100μm以下，就能够制造硬质覆膜10。

另外，除了防蚀钝化处理之外，只要能够在外侧第一罩21的整个表面形成比外侧第一罩21的基材硬质的硬质覆膜，也可以是例如硬质镀铬、无电解镀镍等各种镀敷处理、化学转化处理、LD(防锈黑色导电薄皮膜)处理以及上述处理相组合的表面处理。需要说明的是，通过硬质镀铬、无电解镀镍等各种镀敷处理、化学转化处理、LD处理以及上述处理相组合的表面处理而形成的硬质覆膜具有导电性。作为其它处理，还可举出将能够形成硬质覆膜的材料向外侧第一罩21的表面涂敷、浸渍，之后进行硬化处理的方法。另外，还可以采用利用了离子电镀或者激光照射、淬火的方法。本发明所述的覆膜还包括在基材表面上形成新的膜或层的情况、以及在基材的表面内部形成性质(硬化等)与基材本身不同的膜或层的情况。

在外侧第一罩21的环状突起33的槽32侧的面33a上，如图5所示，形成有未形成硬质覆膜10的两个接触区域11。这两个接触区域11以外侧第一罩21的中心轴为中心点对称配置。需要说明的是，两个接触区域11配置在从缺口部34a、34b旋转90°后的位置处。在组装了两壳体部件2、3时，两个接触区域11形成于外侧第一罩21和后述的外侧第二罩51相嵌合的嵌合区域(在嵌合方向上相互重合的表面区域)内，并配置于能够与后述的突起形成部件66、67相接触的位置。

本实施方式的接触区域11被如下构成，即以仅在该区域11部分实施掩模的状态进行防蚀钝化处理，之后去除掩模，由此在外侧第一罩21的除接触区域11以外的整个表面形成硬质覆膜10。即，接触区域11是防蚀钝化处理之前的外侧第一罩21的基材的表面。需要说明的是，接触区域11也可以如下形成，即在外侧第一罩21的整个表面形成硬质覆膜10之后，仅对成为该接触区域11的部分进行切削加工，以露出防蚀钝化处理前的外侧第一罩21的基材的表面。另外，在本实施方式中，虽然在外侧第一罩21的除接触区域11以外的整个表面形成硬质覆膜10，但也可以仅在除接触区域11以外的嵌合区域形成硬质覆膜10，还可以仅在除接触区域11以外的槽32形成硬质覆膜10。进而，也可以仅在除接触区域11以外的面33a形成硬质覆膜10。

如图3以及图4所示，第一保持架22具有：从孔31a向外部突出的圆筒状的前端部22a；被外侧第一罩21覆盖其大部分的圆筒状的主体部22b；连接前端部22a和主体部22b的环状凸缘22c。如图4所示，第一保持架22通过从外侧第一罩21的外侧拧入螺钉而以密接彼此的环状凸缘31、22c的状态固定于外侧第一罩21。

在主体部22b的吸引方向A的下游端形成有向主体部22b的径向突出的环状突起36。环状突起36的外径与环状突起33的外径大致相同。在环状突起36形成有两个缺口部37a、37b。当将第一保持架22固定于外侧第一罩21时，上述缺口部37a、37b被配置成缺口部37a正与缺口部34a相对，缺口部37b正与缺口部34b相对。于是，缺口部37a和缺口部34a构成一个大的缺口部38a，缺口部37b和缺口部34b构成一个大的缺口部38b。

在环状突起36设有两个压力配合塞(プレスフイツトプランジヤ)39a、39b，这两个压力配合塞39a、39b具有沿主体部22b的径向被向外侧施力的树脂球。这两个压力配合塞39a、39b以主体部22b的中心轴为中心点对称配置。即，压力配合塞39a配置在从压力配合塞39b旋转180°的位置处。需要说明的是，压力配合塞39a、39b配置在从缺口部37a、37b旋转90°的位置处。

如图3以及图4所示，内侧第一罩23具有：沿吸引方向A延伸的长尺寸部23a；与长尺寸部23a的下游端的内径相比被大地扩径的扩径部23b；配置在扩径部23b内的筒状的套环45。长尺寸部23a具有：将内侧第一罩23安装于第一保持架22时从第一保持架22向外部突出的前端部41a；沿吸引方向A阶梯式扩径并连接前端部41a和扩径部23b的连接部41b。需要说明的是，通过设置C形挡圈42，使得内侧第一罩23在通过第一保持架22之后，不会从第一保持架22脱落。另外，在前端部41a嵌入有由绝缘材料构成并具有可挠性的短尺寸的管件99，但也可以不用特别设置。

扩径部23b沿吸引方向A阶梯式扩径。在套环45的内周面形成有相对于吸引方向A倾斜的锥形面45a。套环45以与在扩径部23b的吸引方向A的上游端形成的环状凸缘43密接的状态通过螺钉固定于扩径部23b。需要说明的是，套环45由作为导电性材料的黄铜构成，也可以由黄铜以外的导电性材料构成。

在连接部41b内配置有施力部件47。该施力部件47配置在连接部41b的阶梯部48和套环45之间，并对插入内侧第一罩23内的过滤器盒4向吸引方向A施力。即，施力部件47对过滤器盒4向离开内侧第一罩23的方向施力。施力部件47包括螺旋弹簧47a和配置在螺旋弹簧47a与套环45之间的台座47b，但也可以例如将螺旋弹簧47a换成橡胶等弹性部件，也可以没有台座47b。

在第一保持架22的主体部22b内配置有施力部件49。施力部件49配置在环状凸缘22c和扩径部23b之间，并对插入第一保持架22内的内侧第一罩23向吸引方向A施力。需要说明的是，在内侧第一罩23设有C形挡圈42，内侧第一罩23被第一保持架22支承为能够沿吸引方向A滑动。施力部件49由螺旋弹簧构成，但也可以由例如橡胶等弹性部件构成。

如图3以及图4所示，第二壳体部件3具有：由铝合金构成的圆筒状的外侧第二罩51；由聚碳酸酯树脂构成的第二保持架52；由不锈钢构成且与外侧第二罩51夹着第二保持架52的圆筒状的内侧第二罩53；由聚碳酸酯树脂构成且与第二保持架52夹着外侧第二罩51的接头保持架54。外侧第二罩51和内侧第二罩53以电绝缘状态进行配置。需要说明的是，外侧第二罩51也可以由铝、铜以及镁合金等具有导电性的材料构成。另外，内侧第二罩53也可以由不锈钢以外的导电材料构成。第二保持架52以及接头保持架54也可以由聚碳酸酯树脂以外的绝缘材料构成。

在外侧第二罩51的吸引方向A的下游端形成有环状凸缘61。在环状凸缘61形成有能够插通第二保持架52的一部分的孔61a。在环状凸缘61形成有穿过与电位计14连接的同轴电缆13的孔61b。同轴电缆13的外侧屏蔽线与外侧第二罩51连接，芯线与内侧第二罩53连接。

如图4所示，外侧第二罩51在吸引方向A的上游端具有从内周面突出的两个突起51a、51b。上述突起51a、51b由固定于外侧第二罩51的基材的两个突起形成部件66、67构成。突起形成部件66、67由不锈钢等导电性材料构成。具体而言，如图6所示，在外侧第二罩51的上游端形成有两个缺口部68、69。上述缺口部68、69以外侧第二罩51的中心轴为中心点对称配置。如图4所示，突起形成部件66、67分别嵌入缺口部68、69并通过螺钉固定于外侧第二罩51，使前端部(突起51a、51b)从外侧第二罩51的内周面突出。突起形成部66、67的从外侧第二罩51的内周面突出的部分的形状与缺口部38a、38b相对应。因此，通过使两个外侧第一罩以及第二罩21、51嵌合后使第一壳体部件2沿周向旋转90°，突起51a、51b和环状突起33在与吸引方向A平行的嵌合方向上卡合，从而组装二者。这样，突起51a、51b以及环状突起33构成锁定两壳体部件2、3的嵌合的锁定机构。

在外侧第二罩51的整个表面形成有通过防蚀钝化处理而形成的具有绝缘性的硬质覆膜15。硬质覆膜15与硬质覆膜10同样，其厚度也为30μm左右，但只要在10μm以上100μm以下的范围，可以是任意厚度。另外，该硬质覆膜15与上述的硬质覆膜10同样，也可以通过各种表面处理以及其它处理形成。

如图6中剖面线所示，在缺口部68、69的面68a，69a形成有未形成硬质覆膜15的两个接触区域16。当突起形成部件66、67固定于缺口部68、69时，该面68a，69a是与该突起形成部件66、67相接触的面。因此，突起形成部件66、67与外侧第二罩51的基材电连接。本实施方式的突起形成部件66、67由于固定于通过以在接触区域16实施掩模的状态进行防蚀钝化处理而形成有硬质覆膜15的外侧第二罩51的基材，因此，在该部件66、67没有形成硬质覆膜15。因而，当组装两壳体部件2、3时，外侧第一罩21的接触区域11和突起形成部件66、67接触而电连接。需要说明的是，在突起形成部件66、67的整个表面没有形成硬质覆膜15，而是该表面本身成为接触区域，但由于自身由不锈钢构成，因此该表面比外侧第二罩51的基材硬质。从而，当组装两罩21、51时，能够在嵌合区域抑制因罩彼此的摩擦而引起的刮削、卡住等的发生。另外，接触区域16和上述同样，也可以通过在进行防蚀钝化处理之后进行切削加工而形成。

在本实施方式中，突起形成部件66、67也可以与外侧第二罩51一体形成。这种情况下，当组装了两壳体部件2、3时，没有形成硬质覆膜的接触区域只要形成在外侧第一罩以及第二罩21、51嵌合的嵌合区域内且与接触区域11相对的区域中即可。换言之，硬质覆膜15也可以形成在除该接触区域以外的嵌合区域。另外，也可以只在突起51a、51b的与槽32的底面相对的前端面形成硬质覆膜。这样，只要预先形成硬质覆膜，则在组装两罩时，能够在嵌合区域抑制因罩彼此的摩擦而引起的刮削、卡住等的发生。

如图3所示，第二保持架52具有大致圆板形状，并在与内侧第二罩53相对的面形成有凹部63，内侧第二罩53的吸引方向A的下游端嵌入该凹部63。在凹部63的底面的中心形成有孔64，构成从过滤器盒4排出的气体的排出路径的一部分。如图4所示，在第二保持架52的形成有凹部63的面的相反侧的面，形成有内包孔64且插入孔61a内的环状突起52a。另外，第二保持架52形成有孔52b，当第二保持架52固定于外侧第二罩51时，该孔52b与孔61b相对且与孔61b大致同径。在该孔52b中也穿过与内侧第二罩53连接的同轴电缆13的芯线以及覆盖该芯线的绝缘部件。

如图4所示，内侧第二罩53具有由相对于吸引方向A倾斜的锥形面53a、沿吸引方向A延伸的柱面(ストレ一ト面)53b以及连接锥形面53a和柱面53b的弯曲面53c构成的内周面。在内侧第二罩53的与第二保持架52相反一侧的端部外周形成有向径向突出的环状突起65。环状突起65的外径与内侧第一罩23的扩径部23b的最大外径相同。内侧第二罩53通过从第二保持架52的外侧拧入螺钉，以内侧第二罩53的吸引方向A的下游端嵌入凹部63的状态固定于第二保持架52。

如图4所示，接头保持架54具有：嵌入环状凸缘61的孔61a和第二保持架52的环状突起52a之间的内筒71；配置于内筒71外侧的外筒72；连接内筒以及外筒71、72的环状凸缘73。在内筒71的内周面，沿吸引方向A从中央附近至下游端形成有内螺纹，连接部件70旋入该内螺纹部分。

在内筒71的上游端部嵌入有第二保持架52的环状突起52a。在环状突起52a的外周面形成有环状槽，在该环状槽中配置有O形环。由此提高内筒71和第二保持架52之间的密封性。需要说明的是，接头保持架54通过从接头保持架54的外侧拧入第二保持架52螺钉，以在接头保持架54和第二保持架52之间夹着环状凸缘61的状态来固定外侧第二罩51、第二保持架52以及接头保持架54这三者。

过滤器单元5经由连接部件70以及配管部件6设置在框体1a的外部。过滤器单元5具有圆筒状的树脂盒7和收纳在树脂盒7内的过滤器部件(第二过滤器)8。树脂盒7具有透明的圆筒状的主体部7a和将配管部件6连接于主体部7a的两端的连接部7b。连接部7b构成为能够与配管部件6拆装自如的单触式。由此，使过滤器单元5相对于配管部件6的拆装变容易。

过滤器部件8收纳在主体部7a内。这样，通过将过滤器部件8收纳在整体为透光区域的主体部7a中，能够使是否在过滤器单元5捕集了本来应由过滤器83(后述)捕集的粉体的情况一目了然。因此，能够确认过滤器83是否破损或者是否忘记安装。另外，过滤器部件8设有中空丝膜过滤器，该中空丝膜过滤器比收纳在过滤器盒4内的过滤器83的过滤精度高。即，例如在作为过滤器83使用颗粒保持能力为1.0μm或者0.7μm的滤纸时，作为过滤器部件8设有过滤精度为0.01μm的中空丝膜过滤器。

接着，以下对过滤器盒4进行说明。如图7以及图8所示，过滤器盒4包括能够相互嵌合的两个壳体81、82和收纳在两壳体81、82内的过滤器(第一过滤器)83。通过嵌合这两个壳体81、82而构成一个容器。

两个壳体81、82由作为绝缘材料的聚丙烯树脂构成。另外，这两个壳体81、82也可以由添加了作为导电性材料的金属微粉末的聚丙烯树脂构成，使整体具有导电性。过滤器盒4的容器由于由合成树脂构成，因此其重量能够约为2～3g左右。即，能够使过滤器盒4的重量更加接近所吸引的粉体的重量。假如在金属容器内设置过滤器的结构的重量大到约100g左右，则为了精度良好地测定由金属容器捕集的粉体和金属容器的总重量，需要将电子天平18的计量范围例如设为0.01mg，这样，由于总重量过大而不能进行测定。当为了测定金属容器和粉体的总重量而较大设置计量范围时，其测定重量的精度会下降。但是，在本发明中，由于过滤器盒4的重量能够轻至约2～3g左右，因此，即使将计量范围设为0.01mg，也能够测定过滤器盒4和粉体的总重量。

需要说明的是，在本实施方式中，作为构成壳体81、82的材料，使用添加了金属微粉末的聚丙烯树脂来代替绝缘材料，该情况下，只要具有导电性，也可以是例如金属纤维或碳黑等金属微粉末以外的导电性材料，另外，构成树脂也可以是例如聚乙烯树脂或者苯乙烯系树脂等聚丙烯树脂以外的合成树脂。

合成树脂的表面电导率一般在10^-14Scm²以下。在本实施方式中，优选通过向合成树脂中添加导电性材料而使表面电导率在10^-11Scm²以上。更优选在10^-9Scm²以上。

另外，构成本实施方式的两壳体81、82的合成树脂只要是具有能够明了从外部到内部的状态的程度的透明性的材料，可以是任意合成树脂。例如，当使用乳白色的树脂时，通过将厚度减得比较薄，能够成为可确认从外部到内部的状态、即可确认是否是在过滤器盒4内吸引有粉体的使用后的过滤器盒4的半透明。在该情况下，几乎整个过滤器盒4成为透光区域。由此，也能够确认过滤器盒4内的过滤器83的收纳状态。

需要说明的是，导电性材料在合成树脂中的添加量优选为使合成树脂具有适当的表面电导率、且能够确保明了从外部到内部状态的程度的透明性。另外，在两壳体81、82中的至少一方由具有透明性的合成树脂(例如聚碳酸酯树脂)构成的情况下，也能够获得与上述相同的效果。进而，只要两壳体81、82中的至少一部分具有透明性即可。此时也能够获得与上述相同的效果。

另外，过滤器盒4具有：沿吸引方向A延伸的筒状的长尺寸部(第一筒部)4a；被扩径为比长尺寸部4a的下游端的内径大的筒状的扩径部4b；以及比长尺寸部4a短的筒状的短尺寸部(第二筒部)4c。长尺寸部4a的长度形成得比扩径部4b的外径长。更为具体而言，长尺寸部4a的长度可以形成为从与扩径部4b的外径相同至扩径部4b外径的2倍左右的长度，更为优选的是1.2倍至1.8倍左右，最为优选的是1.5倍左右。该情况下，通过将过滤器盒4插入法拉第屏蔽1，使长尺寸部4a的前端部从法拉第屏蔽1的第一壳体部件2突出，使吸引外部的带电粉体时的操作变容易。

过滤器83是具有圆板形状的滤纸型过滤器，根据成为测定对象的粉体的粒径来选定，例如当测定电子摄像技术中的调色剂的电荷量时，采用颗粒保持能力为1.0μm的滤纸，当测定更微细的粉体的电荷量时，采用例如颗粒保持能力为0.7μm的滤纸。

如图7所示，将距离扩径部4b的中心最远的外周侧面倒角为多面形状(例如16边形)。由此，即使将从框体1a拆下的过滤器盒4以其外周侧面接触的方式载置到平坦的面上，过滤器盒4也难以滚动。因此，粉体难以从过滤器盒4内撒出，且能够稳定地测定捕集了粉体的过滤器盒4的重量。

壳体81具有长尺寸部4a和构成扩径部4b的上游侧一半部分的上游半部85。长尺寸部4a包括：具有比前端部41a的内径小若干的外径的前端部86；连接前端部86和上游半部85，并具有比连接部41b的最小内径小若干的外径的连接部87。

如图8所示，在前端部86形成有沿吸引方向A其内径递减的递减区域84a。即，在吸引方向A上，形成于前端部86的上游端的吸引口86a的内径d1比下游端的内径d2稍大。另外，前端部86在吸引方向A上具有和前端部41a大致相同的长度，当将过滤器盒4插入内侧第一罩23时，前端部86的上游端和前端部41a的上游端配置在实质相同的位置。由此，吸引到法拉第屏蔽1的粉体不会附着到前端部41a的内周面，几乎所有粉体都进入过滤器盒4内。因此，通过过滤器盒4的重量测定，能够对测定了电荷量的所有粉体的重量进行测定。

在连接部87形成有沿吸引方向A其内径递增的递增区域84b。即，在吸引方向A上，连接部87的上游端的内径d3比下游端的内径d4小。这样，通过在前端部86形成递减区域84a，在连接部87形成递增区域84b，能够将用于成形长尺寸部4a的模具形成为在前端部86和连接部87的边界进行组合的组合模具。因此，能够降低过滤器盒4的制造成本。另外，连接部87在吸引方向A上具有与连接部41b大致相同的长度。在连接部87的外周面的吸引方向A的下游端，形成有沿吸引方向A延伸并从外周面突出的三个抵接部88以及三个突起89。这些抵接部88以及突起89沿周向相互等间隔隔离并交替配置。

三个抵接部88具有沿吸引方向A延伸的棱柱形状，距离连接部87的外周面的高度比突起89低。具体而言，当将过滤器盒4插入内侧第一罩23时，抵接部88不与套环45的内周面接触，而是穿过套环45的内周面与台座47b抵接。过滤器盒4被施力部件47向吸引方向A施力。这样，通过对过滤器盒4向吸引方向A施力，能够将过滤器盒4的下游端压靠在第二保持架52的侧面。因此，能够提高过滤器盒4的排出口98和孔64的连接部分的密封性，可靠地对过滤器盒4的吸引口86a作用吸引力。其结果是，能够将粉体可靠地吸引捕集到过滤器盒4内，而不会将粉体从两前端部41a、86之间误吸引到内侧第一罩23和过滤器盒4的间隙中。需要说明的是，为了进一步提高过滤器盒4和内侧第二罩53之间的密封性，可以在内侧第二罩53与过滤器盒4的下游端部相接的面处插入例如2mm厚的硅树脂制的填料。

三个突起89具有沿吸引方向A延伸的三棱柱形状，突起89的尖的前端配置在距离连接部87的外周面最远的位置。另外，突起89具有当将过滤器盒4插入内侧第一罩23时、前端与套环45的内周面接触而被挤压程度的高度。由此，当从框体1a拆下过滤器盒4时，由于套环45和突起89相卡合，因此过滤器盒4难以从第一壳体部件2脱落。因此，粉体难以从过滤器盒4内撒出。进而，突起89的吸引方向的上游端面倾斜。因此，当将过滤器盒4插入内侧第一罩23时，突起89的前端容易被挤压。需要说明的是，当将过滤器盒4插入内侧第一罩23时，由于突起89和套环45接触，因此在过滤器盒4具有导电性的情况下，过滤器盒4和内侧第一罩23电连接。

如图7(a)以及图8所示，在上游半部85内形成有四个肋91。肋91具有从上游半部85的入口附近沿倾斜面85a延伸至上游半部85的外周端附近的大致三角形形状。这些肋91被配置在以上游半部85的中心轴为中心相互离开90°的位置处。这些肋91的下游侧的端面配置在能够与收纳在过滤器盒4内的过滤器83的上游侧表面接触的位置处，限制吸引粉体时的过滤器83的振动范围。因此，能够防止因过滤器83变形大而引起的破损，并能够利用过滤器83可靠地捕集粉体。

另外，在上游半部85的外周端部附近，形成有用于焊接两壳体81、82的沿周向延伸的环状的焊接部85b。由此，能够以在两壳体81、82之间夹着过滤器83的状态使二者嵌合，通过从过滤器盒4的外部加热焊接部85b而焊接两壳体81、82。需要说明的是，两壳体81、82也可以通过粘接剂进行固定。该情况下可以不形成焊接部85b。

壳体82具有短尺寸部4c和构成扩径部4b的下游侧一半部分的下游半部92。短尺寸部4c具有比内侧第二罩53的最小内径小若干的外径。另外，在短尺寸部4c的下游端形成有环状突起95。环状突起95具有在吸引方向A的上游侧形成的倾斜面96和在下游侧形成的倾斜面97，且其外径与内侧第二罩53的最小内径大致相同。倾斜面97相对于短尺寸部4c的外周面的倾斜角度比倾斜面96小，形成得比较缓和。通过在短尺寸部4c形成上述环状突起95，当用户用指头把持短尺寸部4c时，环状突起95被指尖适当地挂住。因此，当将过滤器盒4放入框体1a或从中取出时，能够容易地把持过滤器盒4。另外，由于倾斜面97缓和地形成，因此环状突起95的外周前端适当陷入指尖，能够使过滤器盒4更容易把持。

在短尺寸部4c形成有沿吸引方向A其内径递增的递增区域84c。即，在吸引方向A上，短尺寸部4c的上游端的内径d 5比形成于下游端的排出口98的内径d 6稍小。排出口98的直径大于吸引口86a。由此，能够提高来自吸引口86a的吸引力。

如图7(b)以及图8所示，在下游半部92内形成有相互正交的大致梯形形状的两个肋93，这两个肋93从短尺寸部4c和下游半部92的边界部分沿着倾斜面92a延伸至下游半部92的外周端附近。这些肋93的上游侧的端面配置在能够与收纳在过滤器盒4内的过滤器83的下游侧表面接触的位置处，限制吸引粉体时的过滤器83的振动范围。因此，能够抑制因过滤器83变形大而导致的破损，并能够利用过滤器83可靠地捕集粉体。另外，在各肋93的下游端形成有缺口部93a。

接着，参照图1以及图9～图11，对在装置100中求出用法拉第屏蔽1吸引的粉体的每单位重量的电荷量之前的动作进行说明。

首先，用户从外部确认过滤器盒4的内部状态，从而确认过滤器盒4是否是使用后的过滤器盒。用电子天平18测定未使用的过滤器盒4的单体重量。如图9所示，用户在相分离的第一以及第二壳体部件2、3之间配置过滤器盒4，将该过滤器盒4的长尺寸部4a插入内侧第一罩23的长尺寸部23a。此时，抵接部88与台座47b抵接，突起89的前端与套环45的内周面接触而被挤压，突起89和套环45相卡合。通过这三个突起89和套环45的卡合，过滤器盒4的沿吸引方向A的中心轴与框体1a的中心轴大致一致。另外，此时，过滤器盒4和内侧第一罩23隔着套环45，而过滤器盒4和内侧第二罩53直接接触而电连接。

接着，当嵌合两罩21、51时，在突起51a、51b能够穿过缺口部38a、38b的位置处进行两罩21、51的对位。使第一以及第二壳体部件2、3向相互接近的方向移动而使罩21、51彼此嵌合。在嵌合罩21、51彼此之前，如图9所示，内侧第一罩23的吸引方向A的下游端在施力部件49的施力的作用下比第一保持架22的下游端更向吸引方向A突出。但是，通过嵌合罩21、51彼此，如图4所示，内侧第一罩23的下游端面和内侧第二罩53的环状突起65的上游端面相接触，内侧第一罩23压入第一保持架22内。此时，由于在施力部件49的施力的作用下，环状突起65的上游端面相对于内侧第一罩23的下游端面的压接力变大，因此使内侧第一罩23和内侧第二罩53的电接触状态更可靠。进而，当嵌合外侧第一罩以及第二罩21、51彼此，使突起51a、51b和环状突起33相卡合时，若在两罩21、51之间有晃动，则内侧第二罩53相对于内侧第一罩23的下游端面的压接力下降，但通过设置施力部件49，能够吸收两罩21、51之间的晃动，抑制内侧第一罩23和内侧第二罩53之间的压接力的下降。

另外，当嵌合两罩21、51彼此时，由于施力部件47的施力作用于过滤器盒4，因此过滤器盒4的下游端面和第二保持架52的侧面的压接力变大。该结果使得能够如上所述将粉体可靠地吸引捕集到过滤器盒4内，不会将粉体误吸引到内侧第一罩23和过滤器盒4的间隙中。除此之外，即使在嵌合方向上过滤器盒4的尺寸多少有些偏差，施力部件47也能够吸收该尺寸偏差。

接着，用户在嵌合外侧第一罩以及第二罩21、51之后，使第一壳体部件2旋转90°。这样，压力配合塞39a、39b的树脂球进入两个弯曲槽，该两个弯曲槽形成于外侧第二罩51的内周面的与环状突起33相对的部分、即沿吸引方向A与突起形成部件66、67相重合的位置处。需要说明的是，弯曲槽在外侧第二罩51形成有四个，配置在以外侧第二罩51的中心轴为中心相互隔离90°的位置处。由此，第一壳体部件2成为相对于第二壳体部件3难以旋转的状态。即，如果不对第一以及第二壳体部件2、3施加一定程度的旋转力，第一以及第二壳体部件2、3不会轻易旋转。

另外，由于突起51a、51b从穿过缺口部38a、38b的位置开始旋转90°，因此突起51a、51b和环状突起33在嵌合方向上卡合，从而组装两壳体部件2、3，构成框体1a。这样，当嵌合外侧第一罩以及第二罩21、51彼此并旋转90°时，即使突起51a、51b和环状突起33接触，并进而环状突起33和外侧第二罩51的内周面接触，由于在此处形成有硬质覆膜10、15，因此可抑制刮削、卡住等的发生。进而，由于在两罩21、51的内周面也形成有硬质覆膜10、15，因此，即使在外侧第一罩21和内侧第一罩23之间、以及外侧第二罩51和内侧第二罩53之间进入导电性异物或水滴等，外侧第一罩21和内侧第一罩23、以及外侧第二罩51和内侧第二罩53也不会导通。因此，能够精度良好地测定内侧第一以及第二罩23、53内的电荷量。两罩21、51的接触区域彼此接触，从而两罩21、51也电连接。这样，即使具有硬质覆膜10、15，在组装两罩21、51时，由于两罩彼此电连接，因此在测定内侧第一以及第二罩内的电荷量时，能够有效排除外部电场的影响。需要说明的是，当硬质覆膜具有导电性时，也可以在两罩21、51的整个表面形成硬质覆膜。即，在两罩21、51也可以不形成接触区域11、16。其中，当组装两罩21、51时，两罩21、51彼此电连接，能够获取与上述相同的效果。

需要说明的是，通过形成硬质覆膜10、15，即使在插入过滤器盒4时由于两罩21、51的内面和过滤器盒4接触或摩擦而带电，只要在测定电荷量之前相应复位即可。即，只要进行电位计的调零即可。另外，由于施力部件49的施力作用于两罩21、51相离开的方向(与嵌合方向平行的方向)，因此突起51a、51b和环状突起33的卡合力增加，并使电接触状态更可靠。从该观点出发，施力部件49也构成锁定机构的一部分。

接着，用户使吸引泵12进行驱动，在组装到法拉第屏蔽1上的过滤器盒4的吸引口86a产生吸引力，从外部将气体和粉体一起吸入过滤器盒4内。此时，所吸入的粉体被过滤器83捕集，气体从排出口98通过排出路径(孔64、70a、配管部件6以及过滤器单元5)而排出到吸引泵侧。如果没有按正规安装过滤器盒4的过滤器83、或者过滤器83在吸引泵12的动作中产生破损，则在该情况下，所吸引的粉体通过过滤器盒4而被排出到吸引泵侧，但由于在排出路径设有过滤器单元5，因此粉体被过滤器单元5的过滤器部件8捕集，不会排出到吸引泵侧。因此，能够可靠地防止吸引的粉体从吸引泵12向外部飞散等的危险性。另外，此时，由于过滤器单元5的主体部7a为透明，因此在过滤器单元5中是否捕集了粉体的情况一目了然。需要说明的是，当在过滤器单元5中捕集有粉体时，更换为没有故障的过滤器盒4，并再次进行粉体吸引。

接着，用户停止吸引泵12的驱动，当在过滤器单元5中没有捕集粉体时，测定过滤器盒4内的粉体的总电荷量。如图10所示，在过滤器盒4中对应于在过滤器盒4内捕集的粉体的电荷E1(例如负电荷)的电荷量，通过静电感应而产生等量的具有相反极性的电荷E2(正电荷)。此时，当吸引粉体时，粉体在过滤器盒4的内壁摩擦带电，在过滤器盒4的内面产生电荷E3a、E3b(例如负电荷)，并在粉体产生电荷E4a、E4b(正电荷)。其中，如图10所示，产生通过电力线(图10中的虚线所示的箭头)闭合而成对的电荷E3a、E4a和没有通过电力线闭合而实质上没有成对的电荷E3b、E4b。这被认为是由于具有后者电荷E4b的粉体通过在盒内的移动，从过滤器盒4的内壁中存在有电荷E3b的部位离开的原因。这样，对应于这两个电荷E3b、E4b的电荷量，通过静电感应而在过滤器盒4产生等量的具有相反极性的电荷E5b、E6b。在形成于法拉第屏蔽1的内侧第一、第二罩23、53和外侧第一、第二罩21、51(图示为接地)之间的电容器C产生与在过滤器盒4的内壁产生的电荷E2、E5b、E6b的电荷量等量的电荷。另一方面，两个电荷E5b、E6b由于为等量且具有相反极性而相互抵消，结果在电容器C蓄积和电荷E2等量的电荷。通过用电位计14测定在电容器C产生的与电荷E2等量的电荷量，可以测定在过滤器盒4内捕集的粉体的电荷E1。根据以上的测定原理，能够不受因摩擦带电而赋予的电荷E3a、E3b、E4a、E4b的影响地测定粉体本来的电荷量E1。

接着，测定过滤器盒4以及捕集的粉体的总重量。该情况下，以与上述相反的顺序从框体1a取出进入有所捕集的粉体的过滤器盒4。即，使第一壳体部件2旋转90°，并使两壳体部件2、3在相互离开的方向上移动。将通过套环45和突起89的卡合而被内侧第一罩23支承的过滤器盒4从内侧第一罩23取出。

接着，如图11所示，用户在电子天平18的计量皿18a上载置过滤器盒4。此时，以过滤器盒4的长尺寸部4a位于短尺寸部4c上方的方式、即以短尺寸部4c的下游端以及扩径部4b的外周端接触电子天平18的计量皿18a的方式，将过滤器盒4载置到计量皿18a上。由此，能够防止被过滤器83捕集的粉体从吸引口86a溢出。

然后，用户用电子天平18测定过滤器盒4以及粉体的总重量。此时，过滤器盒4内的电荷的状态维持图10的状态。即，如图11所示，对应于粉体的电荷E1、因摩擦带电而生成的过滤器盒4的内面的电荷E3b以及赋予粉体的电荷E4b的电荷量，通过静电感应而在过滤器盒4产生等量的具有相反极性的电荷E2、E5b、E6b。因此，在电荷E1和电荷E2、电荷E3b和电荷E5b、电荷E4b和电荷E6b之间电力线闭合，这些电荷E1、E3b、E4b对过滤器盒4的外部不产生影响。需要说明的是，在电荷E3a和电荷E4a之间电力线闭合。因而，即使将过滤器盒4载置到计量皿18a上，也不会在计量皿18a产生在过滤器盒4和计量皿18a之间产生库仑引力的电荷。进而，在电子天平中的由绝缘性玻璃构成的防风部件产生的电荷也不会在过滤器盒4之间产生库仑引力，从而能够利用电子天平18高精度地测定过滤器盒4。需要说明的是，由于过滤器盒4的容器由导电性材料构成，因此电荷E3b和电荷E5b有时会经由计量皿18a从过滤器盒4逃逸。进而，当用户把持过滤器盒4时，电荷E3b和电荷E5b会从过滤器盒4逃逸到用户或空气中。

接下来，用其测定的总重量和将过滤器盒4安装于框体1a之前预先测定的过滤器盒4的单体重量的差值除上述的粉体的总电荷量，从而能够求得粉体的每单位重量的电荷量。

以上，根据本实施方式，通过在嵌合两罩21、51之后仅使第一壳体部件2沿周向旋转90°，锁定机构就能够使安装有过滤器盒4的两壳体部件2、3相互卡合。这样，通过将使两壳体部件2、3相互卡合的锁定机构形成为简易结构，能够使将过滤器盒4放入框体1a或从中取出的作业变简单。另外，在进行下一次测定时，仅将过滤器盒4更换成新的即可，不需要像以往那样拆分吸嘴等进行清扫，提高了测定的作业性。

除此之外，当相互卡合两壳体部件2、3时，能够牢固地保持外侧第一罩以及第二罩21、51的电接触以及内侧第一罩以及第二罩23、53的电接触。因此，能够精度良好地测定内侧第一以及第二罩23、53的封闭空间内的电荷量，并且，当测定内侧第一以及第二罩23、53的封闭空间内的电荷量时，利用电接触的外侧第一罩以及第二罩21、51，能够有效排除外部电场的影响。

另外，由于在两罩21、51的嵌合区域形成有硬质覆膜10、15，因此当组装两罩21、51时，能够在嵌合区域中抑制由罩彼此的摩擦而引起的刮削、卡住等的发生。因此，能够反复组装及分离两罩21、51。另外，由于两罩21、51由铝合金构成，且硬质覆膜10、15通过防蚀钝化处理而形成，因此，能够使两罩21、51的重量比较轻，使法拉第屏蔽整体的重量轻量化。

另外，由于过滤器单元5设置在框体1a的外侧，因此，与在框体内设置过滤器单元的情况相比，能够使框体1a小型化。进而，过滤器单元5设置在框体1a的外部，一目了然，使过滤器单元5的更换变容易。另外，由于过滤器单元5的过滤器部件8比过滤器83的过滤精度高，因此，能够可靠地捕集从过滤器盒4通过来的粒径比过滤器83的过滤精度小的粉体等。

另外，由于几乎整个过滤器盒4为透光区域，因此，能够容易从外部确认是吸引了粉体的使用后的过滤器盒4还是未使用的过滤器盒4。因此，能够防止错误地再次使用使用后的过滤器盒。

在本实施方式中，虽然几乎整个过滤器盒4为透光区域，但只要长尺寸部4a、扩径部4b以及短尺寸部4c的任一个中局部形成透光区域即可。这样，也可以确认过滤器盒是否是使用后的过滤器盒。进而，透光区域也可以形成在扩径部4b的过滤器83的上游。该情况下，除了上述效果之外，还能够从透光区域确认由过滤器83捕集的粉体。因此，能够可靠地防止再次使用使用后的过滤器盒。需要说明的是，当在过滤器盒局部设置透光区域时，只要在设置该透光区域的部分形成开口部，并将覆盖该开口部的透明薄膜或树脂板焊接或粘接在过滤器盒上即可。

另外，当测定吸引了粉体的过滤器盒4的重量时，电荷E1、E3b、E4b不会对过滤器盒4的外部产生影响。另外，从电荷E4a产生的电力线在E3a闭合。因此，能够高精度地测定过滤器盒4的重量。因而，也能够精度良好地求得粉体的每单位的电荷量。

这里，作为比较例，考虑在过滤器盒4中没有添加导电性材料的情况，即考虑壳体81、82例如仅由合成树脂构成的情况。该情况下，由于绝缘体不会产生静电感应现象，因此，图10中的电荷E2、E5b、E6b不会产生在过滤器盒4的内部，而是产生于法拉第屏蔽1的内侧第一、第二罩23、53的内壁。与电荷E2、E5b、E6b等量的电荷通过法拉第屏蔽1的内侧第一、第二罩23、53，产生在形成于内侧第一、第二罩23、53和外侧第一、第二罩21、51之间的电容器C，这一点与图10相同。结果是，在电容器C残留与电荷E1等量的电荷，能够测定被捕集到过滤器盒4内的粉体的电荷E1。

接着，当用户在电子天平18的计量皿18a上载置过滤器盒4时，与图11的状态不同。即，存在于图11的过滤器盒4的电荷E2、E5b、E6b等是不存在的，在过滤器盒内不能闭合电力线。其结果是，对应于过滤器盒4内的电荷E1、E3b、E4b的电荷量，通过静电感应在计量皿18a产生具有相反极性的电荷，在这些电荷之间产生库仑引力。另外，在电子天平中的由绝缘性玻璃构成的防风部件产生的电荷之间产生库仑引力，由于这些库伦引力的作用，测定值表现为不稳定的值。这样，由绝缘体构成的过滤器盒虽然不具有将过滤器盒内部的电荷的电力线闭合在里面的优点，但不会因向合成树脂添加导电性材料或向合成树脂外表面进行基于喷射的涂敷而花费时间和人力，因此能够廉价地提供。因而，当不测定粉体的每单位重量的电荷量，而仅测定所吸引的粉体整体的电荷量时，由绝缘体构成的过滤器盒是适用的。

本实施方式的过滤器盒4的壳体81、82由添加了导电性材料的合成树脂构成，但也可以是在由壳体81、82构成的容器的整个外表面赋予了导电性的过滤器盒204。以下根据图12以及图13说明该变形例。需要说明的是，对与上述实施方式相同的部件用相同的符号表示，并省略说明。

本变形例中的过滤器盒204如图12所示，构成容器的两个壳体281、282由没有添加导电性材料的聚丙烯树脂构成，在上述壳体的整个外表面形成有通过喷射而涂敷的导电膜283。导电膜283例如由在基料(バインダ一材料)中混入有金属微粉末等导电性微粒的材料构成，但只要具有导电性，可以是任意材料。表面电导率如前所述，优选设为10^-11Scm²以上，更优选为10^-9Scm²以上。

这样，若在过滤器盒204的整个外表面形成导电膜283，则在测定粉体的总电荷量时，导电膜283的与壳体281、282相对的面侧处于与图10中的壳体81、82基本相同的状态。即，如图12所示，对应于在过滤器盒204内捕集的粉体的电荷E1的电荷量，通过静电感应产生等量的具有相反极性的电荷E2，进而，对应于通过摩擦带电产生的电荷E3a、E3b以及电荷E4a、E4b中的电荷E3b、E4b的电荷量，通过静电感应产生等量的具有相反极性的电荷E5b、E6b。

另外，当测定过滤器盒204以及捕集在其中的粉体的总重量时，如图13所示，用户将过滤器盒204载置到电子天平18的计量皿18a上。此时，过滤器盒204的电荷的状态维持为图12的状态。需要说明的是，在该变形例中，由于电荷E3b存在于作为绝缘体的壳体281、282，因此电荷E3b不能活动。另一方面，由于电荷E5b是通过电荷E3b被静电感应出的电荷，因此不能活动。电荷E3b和电荷E5b不能经由计量皿18a、用户、空气中而从过滤器盒204逃逸，这一点与图11不同。但是，由于电荷E3b和电荷E5b之间通过电力线闭合，因此，能够与上述实施方式相同地利用电子天平18高精度地测定过滤器盒204的重量。

在上述的变形例中，导电膜283形成于壳体281、282的整个外表面，但也可以例如仅在构成扩径部4b以及短尺寸部4c的部位的整个外表面形成导电膜。即，仅在与计量皿18a、绝缘性玻璃等接触及接近的部位形成导电膜即可。即使这样，由于与上述变形例相同，在扩径部4b以及短尺寸部4c的内面产生的电荷被抵消，因此能够取得相同的效果。需要说明的是，由于因摩擦带电产生的长尺寸部4a的内面中的电荷距离计量皿18a较远，因此该电荷对于重量测定的影响极小。

另外，在上述实施方式以及变形例中，以过滤器盒4、204与法拉第屏蔽1的内侧第一以及第二罩23、53电连接的状态测定所吸引的粉体的电荷量，但也可以在过滤器盒4、204与内侧第一以及第二罩23、53绝缘、没有电连接的状态下测定粉体的电荷量。该情况下，在过滤器盒4、204的外面侧和内侧第一以及第二罩23、53的内面侧产生电荷。在过滤器盒4、204的外面侧产生的电荷和在内侧第一以及第二罩23、53的内面侧产生的电荷是通过电荷E2、E5b、E6b的静电感应而产生的。产生于过滤器盒4、204的外面侧的电荷在测定重量之前，当用户把持过滤器盒4、204时，可以从过滤器盒4、204逃逸到用户或空气中，或者能够经由计量皿18a逃逸到过滤器盒4、204，因此，与上述相同，能够用电子天平9高精度地测定过滤器盒4、204的重量。

需要说明的是，过滤器盒即使不是对合成树脂赋予导电性而得到的部件，也可以是对玻璃纤维、布、纸、木材等绝缘体赋予导电性而得到的部件。另外，在上述实施方式中，对于安装在测定从外部吸引的粉体的电荷量的法拉第屏蔽内并收纳有捕集所吸引的粉体的过滤器的过滤器盒进行了说明。除了上述过滤器盒，例如也可以是对利用合成树脂、玻璃纤维、布、纸、木材等形成袋状的网状捕集容器通过导电性喷射等赋予导电性而成的部件。

以上，对本发明的优选实施方式进行了说明，但本发明不限于上述实施方式，只要在权利要求所记载的范围内，就能够进行各种变更。例如，在上述实施方式以及变形例中，过滤器盒的容器具有长尺寸部、扩径部以及短尺寸部，但也可以是在吸引方向上一样的圆筒、方形筒或多角筒形状。另外，也可以是同轴电缆13的外侧屏蔽线与外侧第一罩21连接，芯线与内侧第一罩23连接。另外，也可以采用同轴电缆13以外的配线部件。

另外，在上述的本实施方式中，锁定机构由突起51a、51b和环状突起33构成，但也可以在罩21的外周面形成外螺纹部，在罩51的内周面形成内螺纹部，使任一方的壳体部件沿周向旋转，将外螺纹部旋入内螺纹部，由此卡合两壳体部件。另外，也可以将突起51a、51b形成于第一壳体部件2，将环状突起33形成于第二壳体部件3。即，也可以与本实施方式相反地在壳体部件2、3上形成突起51a、51b以及环状突起33。

另外，锁定机构不限于上述结构，只要是能够可靠并简单地进行第一以及第二壳体部件2、3的组装、分离的机构即可。例如，可以是仅通过将第一壳体部件2嵌合于第二壳体部件3，就能够使两壳体部件2、3的嵌合不脱落地与槽32相卡合的钩式锁定机构或耦合(カプラ)式锁定机构。进而，也可以是仅通过压力配合塞39a、39b，就能够使两壳体2、3的嵌合不脱落地进行锁定的塞(プランジヤ)式锁定机构。

另外，在上述实施方式中，通过将过滤器盒4的下游端压靠在第二保持架52的侧面，使粉体不会被从内侧第一罩23的前端部41a和过滤器盒4的前端部86之间误吸引至内侧第一罩23和过滤器盒4的间隙中，但除此之外，通过将内侧第一罩23的前端部形成为图14(a)所示的形状，能够使上述效果更加可靠。

如图14(a)所示，使前端部241a的吸入口241c的内径从其上游端朝向下游端递减，且使该下游端的内径比过滤器盒4的吸引口86a的内径小。通过形成上述构造，能够更加可靠地防止粉体附着到过滤器盒4的吸引口86a的外周上。

另外，在上述实施方式中，使内侧第一罩23的下游端面和内侧第二罩53的环状突起65的上游端面接触，形成内侧第一罩23和内侧第二罩53电接触的状态，但通过将内侧第一罩的下游端和内侧第二罩的上游端的接触形状形成为图14(b)所示的形状，电接触状态会更加可靠。

如图14(b)所示，在与内侧第一罩的扩径部223b的下游端面相接触的内侧第二罩253的环状突起265的上游端面，形成有环状的突出肩部265a。突出肩部265a的外径与扩径部223b的内径相一致。该情况下，当内侧第一罩和内侧第二罩接触时，扩径部223b的下游端面和环状突起265的上游端面面接触，且突出肩部265a的外周侧面和扩径部223b的内周面接触。因此，即使在扩径部223b的下游端面以及环状突起265的上游端面产生支承面污垢，也能够确保突出肩部265a与扩径部223b的内周面面接触的状态，使电接触状态的可靠性进一步得以提高。

另外，过滤器单元也可以设置在框体1a内。该情况下，只要设置在过滤器盒4的排出口98的下游的排出路径中即可。另外，过滤器单元5也可以具有局部透明或不透明的主体部来代替主体部7a。另外，过滤器单元5内的过滤器部件8具有至少与过滤器83相同的过滤精度即可。

另外，也可以不设置施力部件47、49。另外，在过滤器盒4的外周面也可以不形成多个突起89。另外，内侧第一罩23的上游端和过滤器盒4的上游端在吸引方向A上也可以不实质上一致。过滤器盒4的外周侧面也可以不被倒角。另外，也可以不在壳体82形成肋93。

另外，在上述实施方式中，虽然在长尺寸部4a形成递减区域84a以及递增区域84b，但也可以不形成这两个区域84a、84b。即，也可以在长尺寸部4a形成沿吸引方向A其内径递增(递减)的一个递增区域(递减区域)或内径一定的柱形区域(ストレ一ト領域)。需要说明的是，也可以在短尺寸部4c中形成沿吸引方向A其内径递减的递减区域或内径一定的柱形区域。另外，吸引口86a的直径既可以比排出口98的直径大，也可以与其相同。另外，也可以不在短尺寸部4c的下游端形成环状突起95。

符号说明

1法拉第屏蔽

1a框体

2第一壳体部件

3第二壳体部件

4、204过滤器盒

4a长尺寸部(第一筒部)

4b扩径部

4c短尺寸部(第二筒部)

5过滤器单元

7树脂盒

8过滤器部件(第二过滤器)

10、15硬质覆膜

11、16接触区域

14电位计

18电子天平(重量测定器)

21外侧第一罩

23内侧第一罩

33环状突起

34a、34b缺口部

47施力部件(第二施力部件)

49施力部件(第一施力部件)

51外侧第二罩

51a、51b突起

53内侧第二罩

81、82、281、282壳体(容器)

83过滤器(第一过滤器)

84a递减区域

84b、84c递增区域

86a吸引口

89突起

95环状突起

98排出口

100装置

283导电膜

Claims (28)

1.一种法拉第屏蔽，其特征在于，包括：

框体，其包括第一壳体部件和第二壳体部件，并能够分离成两部分，所述第一壳体部件具有由导电材料构成的外侧第一罩和收纳于该外侧第一罩中并与该外侧第一罩电绝缘的由导电材料构成的内侧第一罩，所述第二壳体部件具有能够与所述外侧第一罩嵌合并由导电材料构成的外侧第二罩和收纳于该外侧第二罩中并与该外侧第二罩电绝缘的由导电材料构成的内侧第二罩；

过滤器盒，其配置在被构成为能够分离成两部分的所述框体内，并收纳有对从所述框体的外部吸引的粉体进行捕集的第一过滤器。

2.一种法拉第屏蔽，其特征在于，包括：

框体，其包括第一壳体部件和第二壳体部件，所述第一壳体部件具有由导电材料构成的外侧第一罩和收纳于该外侧第一罩中并与该外侧第一罩电绝缘的由导电材料构成的内侧第一罩，所述第二壳体部件具有能够与所述外侧第一罩嵌合并由导电材料构成的外侧第二罩和收纳于该外侧第二罩中并与该外侧第二罩电绝缘的由导电材料构成的内侧第二罩；

过滤器盒，其配置在所述框体内，并收纳有对从所述框体的外部吸引的粉体进行捕集的第一过滤器，

在所述第一壳体部件以及第二壳体部件设有锁定机构，通过使所述外侧第一罩以及第二罩嵌合，所述锁定机构在其嵌合方向上保持所述内侧第一罩的端面和所述内侧第二罩的端面压接的状态并使两壳体部件相互卡合。

3.根据权利要求2所述的法拉第屏蔽，其特征在于，

所述锁定机构具有：突起，其在所述嵌合方向上从所述外侧第一罩以及第二罩的任一方的罩的与另一方罩相重合的内周面突出；环状突起，其从所述另一方罩的与所述一方的罩相重合的外周面突出并具有与所述突起相对应的缺口部，

在以所述突起穿过所述缺口部的方式嵌合所述外侧第一罩以及第二罩之后，通过使所述一方的壳体部件沿周向旋转不足一周而使所述突起和所述环状突起相卡合。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的法拉第屏蔽，其特征在于，

在所述外侧第一罩和所述内侧第一罩之间设有第一施力部件，该第一施力部件以使所述内侧第一罩沿嵌合方向离开所述外侧第一罩的方式对所述内侧第一罩施力。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的法拉第屏蔽，其特征在于，

在所述内侧第一罩和所述过滤器盒之间设有第二施力部件，该第二施力部件以使所述过滤器盒沿嵌合方向离开所述内侧第一罩的方式对所述过滤器盒施力。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的法拉第屏蔽，其特征在于，

在所述外侧第一罩以及第二罩的嵌合区域形成有硬质覆膜，

所述硬质覆膜比所形成的该罩的基材硬质。

7.根据权利要求6所述的法拉第屏蔽，其特征在于，

所述硬质覆膜具有绝缘性，

在所述嵌合区域中的组装了所述外侧第一罩以及第二罩时相互接触的所述外侧第一罩以及第二罩的接触区域，没有形成所述硬质覆膜。

8.根据权利要求7所述的法拉第屏蔽，其特征在于，

所述硬质覆膜形成于所述外侧第一罩以及第二罩的除所述接触区域之外的整个表面。

9.根据权利要求6～8中任一项所述的法拉第屏蔽，其特征在于，

所述外侧第一罩以及第二罩由铝或包含铝的合金构成，

所述硬质覆膜通过防蚀钝化处理而形成。

10.根据权利要求6所述的法拉第屏蔽，其特征在于，

所述硬质覆膜具有导电性。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的法拉第屏蔽，其特征在于，

所述过滤器盒包括：由合成树脂构成并沿吸引粉体的吸引方向延伸的第一筒部；收纳所述第一过滤器且与所述第一筒部相比其直径被扩径的筒状的扩径部；沿所述吸引方向延伸并在所述吸引方向上将所述扩径部夹在其与所述第一筒部之间的第二筒部，

在所述第一筒部、所述扩径部以及所述第二筒部中的至少任一个上形成有透光区域。

12.根据权利要求11所述的法拉第屏蔽，其特征在于，

所述透光区域在所述吸引方向上形成于所述扩径部的所述第一过滤器的上游。

13.根据权利要求11所述的法拉第屏蔽，其特征在于，

所述过滤器盒由半透明或透明的合成树脂构成，在整个过滤器盒形成所述透光区域。

14.根据权利要求11～13中任一项所述的法拉第屏蔽，其特征在于，

所述第一筒部在所述吸引方向上配置在所述扩径部的上游，其长度形成为比所述扩径部的直径以及所述第二筒部长，

在所述第一筒部形成有内径沿所述吸引方向递减的递减区域和形成于该递减区域的下游且其内径沿所述吸引方向递增的递增区域。

15.根据权利要求11～14中任一项所述的法拉第屏蔽，其特征在于，

在所述第二筒部形成有内径沿所述吸引方向递增的递增区域，

位于所述第二筒部的最下游的排出口的直径大于位于所述第一筒部的最上游的吸引口的直径。

16.根据权利要求11～15中任一项所述的法拉第屏蔽，其特征在于，

在所述第二筒部的所述吸引方向的下游端部形成有从所述第二筒部的外周面突出的环状突起。

17.根据权利要求11～16中任一项所述的法拉第屏蔽，其特征在于，

所述扩径部的外周侧面被倒角成多面形状。

18.根据权利要求1～17中任一项所述的法拉第屏蔽，其特征在于，

所述过滤器盒包括由合成树脂构成的容器，

对所述容器赋予导电性。

19.根据权利要求18所述的法拉第屏蔽，其特征在于，

在所述合成树脂中添加有导电性材料。

20.根据权利要求18所述的法拉第屏蔽，其特征在于，

在所述容器的外表面的至少一部分形成有导电膜。

21.根据权利要求20所述的法拉第屏蔽，其特征在于，

在所述容器的整个外表面形成有导电膜。

22.根据权利要求1～21中任一项所述的法拉第屏蔽，其特征在于，

在所述过滤器盒的外周面形成有沿其周向相互隔离配置的多个突起，

当将所述过滤器盒插入所述内侧第一罩时，所述多个突起的前端与所述内侧第一罩卡合。

23.根据权利要求1～22中任一项所述的法拉第屏蔽，其特征在于，

所述内侧第一罩的上游端和所述过滤器盒的上游端被配置在沿吸引粉体的吸引方向实质相同的位置处。

24.根据权利要求1～23中任一项所述的法拉第屏蔽，其特征在于，

还具有过滤器单元，该过滤器单元设置在所述过滤器盒的下游路径的中途部位，并具有过滤精度在所述第一过滤器以上的第二过滤器。

25.根据权利要求24所述的法拉第屏蔽，其特征在于，

所述过滤器单元设置在所述框体的外侧。

26.根据权利要求25所述的法拉第屏蔽，其特征在于，

所述过滤器单元具有收纳所述第二过滤器的树脂盒，

在所述树脂盒的与所述第二过滤器相对的区域形成有透光区域。

27.根据权利要求24～26中任一项所述的法拉第屏蔽，其特征在于，

所述第二过滤器的过滤精度比所述第一过滤器高。

28.一种装置，其特征在于，包括：

权利要求1～27中任一项所述的法拉第屏蔽；

与连接于所述外侧第一罩及第二罩的任一方以及连接于所述内侧第一罩及第二罩的任一方的配线相连的电位计；

能够测定所述过滤器盒的重量的重量测定器。

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