CN102061446A - 具有工件连续翻转装置的真空成膜机 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种真空成膜机，其在成膜物质放出源的上方能够旋转配置具有多个开口的穹顶。与各开口对应地分别设有工件连续翻转装置。工件连续翻转装置具有装卸自如地保持工件的工件支架、支承该工件支架的支承框、设于穹顶的上表面的圆环状轨道、载置在圆环状轨道上的重量环。通过穹顶的急剧减速由惯性移动重量环。该重量环的移动由齿条和小齿轮转换为旋转力，传递给工件支架。当工件支架旋转时，工件的表背面翻转。

Description

具有工件连续翻转装置的真空成膜机

技术领域

本发明涉及一种具有工件连续翻转装置，在工件的表背面上形成薄膜的真空成膜机。

背景技术

工件、例如玻璃基板、半导体晶片、反光镜或透镜等光学部件在其表面形成一层或多层薄膜。该膜形成使用在真空室内在工件的表面上形成膜的真空成膜机。一般的真空成膜机具有由真空泵形成真空状态的腔体(真空腔体)、在该腔体内旋转的工件保持体(也称作旋转穹顶)和成膜物质放出源。该工件保持体形成球面形状，在其内侧安装多个工件。成膜物质放出源配置在工件保持体的下方。

在工件保持体上安装多个工件后，在腔体内使工件保持体旋转。在该工件保持体的旋转中，从成膜物质放出源放出的成膜物质均匀地堆积在各工件的表面上。另外，也可以设置多个成膜物质放出源，顺次对所述工件堆积不同的成膜物质，在所述工件上形成多层膜。

在所述工件保持体中，仅在工件的单面上形成膜。在工件的双面上形成膜的情况下，需要使真空成膜机停止，将所述工件翻转而安装在所述工件保持体上。因此，需要进行工件的翻转安装的作业，另外，由于必须将腔体内再次形成真空状态，所以需要花费时间和工时。

在日本专利特许第4140270号公报中，记载着为了使工件的翻转作业容易而具有工件翻转装置的真空成膜机。该真空成膜机具有旋转自如地设置在腔体内的工件保持体和配置在工件支承体的下方的成膜物质放出源。工件保持体其内部形成中空的圆锥形(伞形状)，具有构成板状的倾斜面。在该倾斜面上形成有多个开口。工件翻转装置具有翻转自如地安装在各开口内的工件支架和能够滑动的压动杆。当在工件的一方的面上形成膜，则压动杆插入工件支架的臂部(翻转动作部件)的移动区域中。当在该压动杆上挂上臂部，则翻转工件支架，开始向其他面形成膜。

另外，在日本专利特开2008-240105号公报中记载有形成切掉顶部的金字塔形的工件翻转装置。该工件翻转装置由形成四方形的旋转板和形成梯形的四张工件保持板构成。工件保持板能够旋转地安装在旋转板的边缘。另外，在工件保持板上形成多个开口，在该开口内嵌入工件。四张工件保持板通过公转运动，顺次与蒸发源相对，在工件的一面上形成蒸镀膜。之后，使各工件保持板旋转，使另一面与蒸镀源相对。通过使工件保持板公转，从而在工件的表背面形成蒸镀膜。

日本专利特许第4140270号公报的装置虽然能够在工件的表背面上成膜，但是由于翻转仅是一次，所以能够成膜的仅是一层。对于形成多层涂敷来说，需要每涂敷一层打开腔体，将工件支架重新恢复到初始的姿势。另外，由于为了打开腔体而解除真空状态，所以内部的温度也从高温(例如100～400℃)下降到接近常温。因此，重新设置工件后，不得不再次形成高温和真空，花费大量的时间。

另外，当由多个成膜物质进行多层涂敷时，因成膜物质而成膜时的温度不同(例如在400℃下成膜后，在100℃下成膜等)。当采用在一面上连续形成多层膜后，在另一面上连续多层成膜的方法时，会在一面上实施成膜的阶段，工件出现翘曲。特别是，在工件较薄的玻璃板的情况下，会发生较大翘曲，不耐于使用。

另外，在日本专利特开2008-240105号公报的装置中，四张的工件保持板组合成顶部被切掉的金字塔形，并且分别能够自由翻转。另外，由于翻转装置以蒸镀源为中心公转，所以结构复杂。另外，由于在公转以及翻转中使用十字轮机构，所以不能进行快速且稳定的动作。

发明内容

本发明目的在于提供一种不使用复杂且大型的装置，保持腔体内真空状态，使工件连续翻转的真空成膜机。

为了达成上述目的，本发明的真空成膜机具有由工件支架、支承框和重量环构成的工件连续翻转装置。真空成膜机具有真空腔体、内部形成中空的圆锥形的旋转穹顶、以垂直轴为中心而使所述旋转穹顶旋转的旋转机构和配置在旋转穹顶的下方的成膜物质放出源。在旋转穹顶的倾斜的外周面(倾斜面)上，为了使从成膜物质放出源放出的成膜物质通过，形成多个开口。在每个开口上设置工件连续翻转装置。

所述支承框以包围所述开口的方式固定在旋转穹顶上，并且，能够旋转地支承所述工件支架。所述工件支架装卸自如地保持工件。所述工件支架在一被成膜面经由所述开口朝向所述成膜物质放出源的初始位置和另一被成膜面朝向所述成膜物质放出源的翻转位置之间旋转。重量环以所述垂直轴为中心旋转自如地载置在所述倾斜面上，由伴随所述旋转穹顶的加速或减速作用的惯性转动，将所述工件支架切换到所述初始位置和所述翻转位置。

在所述工件支架上设有定位突起。在所述支承框上设置有第一及第二限位部。所述第一限位部阻挡所述定位突起，而将所述工件支架保持在所述初始位置上，所述第二限位部阻挡所述定位突起，而将所述工件支架保持在所述翻转位置上。

第一及第二旋转轴从所述工件支架的两侧突出。该第一及第二旋转轴能够旋转地由支承框支承。另外，在支承框上安装有靠压弹簧。在所述第一旋转轴上固定有凸轮板。该凸轮板的凸轮面由所述靠压弹簧靠压，而在所述初始位置向所述定位突起靠压所述第一限位部的方向施加旋转力，在所述翻转位置向所述定位突起靠压所述第二限位部的方向施加旋转力。

在所述重量环上形成有齿条。在所述第一旋转轴上以规定的摩擦力嵌合小齿轮。所述重量环由惯性相对于穹顶15相对转动时，从所述齿条接受旋转力，所述工件支架旋转。

所述小齿轮具有在与所述一旋转轴之间以规定的摩擦力卡合的齿轮轴。该齿轮轴的前端侧呈圆筒，该圆筒在圆周方向被分割为多个。另外，圆筒以规定的压力压接在所述第一旋转轴的外周面上，将所述小齿轮的旋转传递给所述第一旋转轴，而使所述工件支架旋转。所述工件支架旋转到所述初始位置或所述翻转位置后，所述圆筒相对于所述第一旋转轴滑动，而使所述小齿轮空转。

在所述圆筒的一部分上以向内侧突出的方式形成凸部。在所述第一旋转轴的外周形成止脱槽，在该止脱槽中卡合所述凸部。

在所述旋转穹顶的上表面形成有圆环状轨道。在该圆环状轨道上形成轨道槽。在所述重量环上形成圆环状的支承槽。在所述轨道槽和所述支承槽之间配置多个轴承滚珠，所述重量环在惯性的作用下，而能够相对于穹顶15相对转动。

所述重量环以同心圆状设置多个。各重量环同时切换多个所述工件支架的位置。

根据本发明，通过将以往的压动杆置换为带齿轮旋转环，从而不用使用复杂和大型的装置，能够在真空腔体内简单连续地翻转安装在旋转穹顶上的工件。

附图说明

图1是表示真空成膜机的结构的说明图。

图2是从上方观察穹顶的图示。

图3是说明工件连续翻转装置的结构的立体图。

图4是说明工件安装单元的结构的立体图。

图5是说明工件支架的结构的立体图。

图6是说明工件连续翻转装置的结构的剖面图。

图7是说明位于初始位置的工件支架的剖面图。

图8是说明位于翻转位置的工件支架的剖面图。

图9是表示各功能的时序表的图示。

图10是表示另一时序表的图示。

图11是表示再一时序表的图示。

具体实施方式

如图1所示，真空成膜机10在内部形成真空的腔体(真空腔体)12内设置有以垂直轴13为中心旋转的穹顶(旋转穹顶)15。该穹顶15形成切掉顶部的圆锥形，具有例如以30°倾斜的倾斜面14。在该倾斜面14上形成多个安装工件安装单元30的开口16(参照图2)。穹顶15固定在载置环18上，由三根支承臂19从腔体12的顶板旋转自如地悬吊。穹顶15由减速齿轮装置21和电机22以恒定速度旋转，此外也能够进行急剧的加速和减速。减速齿轮装置21众所周知具有制动装置(未图示)。由该电机22、减速齿轮装置21、支承臂19构成穹顶旋转机构。在穹顶15的下部位置配置使成膜物质24飞起的成膜物质放出源25。另外，若电机22使用具有电磁制动功能的电机，则不需要减速齿轮装置21的制动装置。

如图3及图6所示，工件连续翻转装置由工件安装单元30和重量环27构成。在穹顶15的倾斜面14上以同心圆状设置三根圆环状轨道17(参照图1、2)。在该圆环状轨道17上以垂直轴13为中心以圆形形成轨道槽20，在该轨道槽20上嵌合多个轴承滚珠65。重量环27载置在穹顶15上，在形成于下表面侧的圆环状的支承槽28上嵌合轴承滚珠65。工件安装单元30载置在开口16上，由螺栓23固定在穹顶15上。设于工件安装单元30上的小齿轮70与形成在重量环27的上表面侧的齿条29啮合。

另外，工件安装单元30虽然由螺栓23固定在穹顶15上，但是可以采用板簧等夹板机构(扣板：パチン止め)等，使工件的安装和拆卸容易。另外，也可以代替小齿轮70以及齿条29，使用摩擦辊以及摩擦板(摩擦环)等。另外，重量环27由惯性而相对于穹顶15相对转动，从而使工件支架32旋转180°，所以旋转移动的角度范围被确定。齿条29可以不形成重量环27的整周上。例如可以在移动范围的两端设置限位部，并且仅在小齿轮70卡合的范围形成小齿轮29。

如图4所示，工件安装单元30具有装卸自如地保持玻璃板(工件)31的工件支架32和旋转自如地支承工件支架32的支承框35。玻璃板(工件)31的表背面是使从成膜物质放出源25飞出的成膜物质24堆积的被成膜面45、46(参照图5)。在上述支承框35上形成有支承固定在工件支架32上的旋转轴33以及旋转轴34的轴支承槽63、64。该工件安装单元30向玻璃板31的被成膜面45朝向成膜物质放出源25的初始位置(参照图7)和被成膜面46朝向成膜物质放出源25的翻转位置(参照图8)旋转。另外，旋转轴34可以固定在支承框35上。

在支承框35上形成有抵接形成在支架座50上的定位突起60而将工件支架32保持在初始位置上的第一限位部61和将工件支架32保持在翻转位置上的第二限位部62。工件支架32组装在支承框35上后，压制部件78由螺栓79固定在支承框35的轴支承槽64上。靠压弹簧48由螺栓79固定在轴支承槽63的附近。该靠压弹簧48靠压固定在旋转轴33上的凸轮板47(参照图7)上。另外，在支承框35上设置四处安装臂36，在各安装臂36上形成让螺栓23插通的安装孔37。

如图5所示，工件支架32在支架座50和支架罩51之间装卸自如地保持玻璃板31。螺栓53插通形成在支架罩51上的孔52后，与支架座50的螺栓孔54螺合，使玻璃板31、支架座50和支架罩51形成一体。在支架座50和支架罩51的中央形成分别露出被成膜面45、46的开口55、56，从成膜物质放出源25放出的成膜物质24堆积在被成膜面45、46上。

如图5以及图6所示，在支架座50上形成轴固定孔57、58，分别压入旋转轴33、34的一端侧。旋转轴33在轴长度方向的中间设置凸轮板47，在另一端侧的外周面76上形成止脱槽77。在旋转轴33的另一端侧卡合齿轮轴71。齿轮轴71在一端侧设置卡合部72，并且在另一端侧固定小齿轮70。卡合部72具有在圆周方向上分割为多个的圆筒状的内壁73，在该内壁73上形成向圆筒的中心侧突出的凸部74。

凸部74形成在内壁73的整周上，并且与形成在旋转轴33的外周面76上的止脱槽77卡合。在卡合部72的形状上加入图6所示的中间变细形状的止脱槽77和凸部74，从而旋转轴33和齿轮轴71的摩擦卡合稳定。但是，止脱槽77和凸部74不是必要的。例如，可以以齿轮轴71和旋转轴33的卡合不脱离的方式，在齿轮轴71的外侧(小齿轮70侧)从穹顶15立设限位部，作为齿轮轴71的止脱结构。

旋转轴33插入卡合部72时，圆筒状的内壁73以规定的压力压接在旋转轴33的外周面76上，小齿轮70的旋转被传递给旋转轴33，使工件支架32旋转。工件支架32旋转到初始位置或翻转位置，定位突起60抵接第一限位部61或第二限位部62后，在旋转轴33的外周面76和圆筒状的内壁73之间产生滑动，所以小齿轮70空转。这时，止脱槽77由于形成在旋转轴33的外周面76的整周上，所以与凸部74卡合，防止齿轮轴71从旋转轴33脱离。另外，由止脱槽77和凸部74的卡合，圆筒状的内壁73以规定的压力嵌合在外周面76上。

如图7所示，凸轮板47当工件支架32位于所述初始位置上时，由靠压弹簧48在逆时针方向受到旋转力。由此，工件支架32在逆时针方向上受到旋转力，所以定位突起60被第一限位部61靠压。如图8所示，当工件支架32位于所示翻转位置上时，凸轮板47由靠压弹簧48在顺时针方向上受到旋转力。由此，工件支架32也在顺时针方向上受到旋转力，所以定位突起60被第二限位部62靠压。这样，工件支架32无论位于初始位置以及翻转位置的任一个上，都不会因振动等摇摆，另外，当重量环27受到比规定的惯性力小的惯性力时，工件支架32不会旋转。

接着，参考图9所示的时序表，关于在作为玻璃板31的表背面的被成膜面45、46上涂敷多层成膜物质24(24A、24B、24C、24D，……)的情况进行说明。如图3所示，首先在工件支架32上安装玻璃板31。在将该工件支架32设置在初始位置上的状态下安装在支承框35上。接着，将安装玻璃板31的工件安装单元30由螺丝23固定在穹顶15的倾斜面14上。该状态下，工件支架32能够在开口16内旋转。

在穹顶15的倾斜面14上安装多个工件安装单元30后，开始穹顶15的旋转。当穹顶15的旋转变快，则重量环27由惯性力相对于穹顶15相对向箭头82的方向旋转。由于工件支架32被设置在初始位置上，所以定位突起60抵接第一限位部61。这时，被成膜面45朝向下方。

如图7所示，穹顶15当达到预定的第一速度时，保持该速度，在顺时针方向继续旋转。在穹顶15的旋转中，从配置在其下部的成膜物质放出源25放出成膜物质24A(最初堆积的成膜物质24A称作24A)。该第一成膜物质24A堆积在从保持在初始位置上的工件支架32的开口55露出的被成膜面45上。当第一成膜物质24A向被成膜面45堆积结束，则穹顶15减速到比第一速度慢的第二速度。

由穹顶15的急剧减速，在重量环27上在箭头81(参照图3)的方向上作用惯性力，重量环27相对于穹顶15相对在箭头81的方向上旋转。由此，小齿轮70绕顺时针方向上，使工件支架32翻转(参照图8)。工件支架32使定位突起60抵接在第二限位部62上，保持在从所述初始位置旋转180°的翻转位置上。由此，玻璃板31的被成膜面46朝向下方。在穹顶15以减速后的第二速度持续旋转的期间，从成膜物质放出源25放出的第一成膜物质24A通过开口55而堆积在被成膜面46上。这样，在被成膜面45和46的两面上堆积第一成膜物质24A。

当被成膜面45、46的两面上堆积第一成膜物质24A结束，穹顶15再次以第一速度加速。重量环27由惯性力相对于穹顶15相对在箭头82方向上旋转(参照图3)。由此，小齿轮70绕逆时针方向使工件支架32翻转。工件支架32使定位突起60抵接第一限位部61，从翻转位置返回初始位置，所以被成膜面45朝向下方(参照图7)。穹顶15以第一速度持续旋转的期间，选择与第一成膜物质24a不同的第二成膜物质24B，从成膜物质放出源25放出。根据成膜物质24的种类不同，成膜时的环境温度(腔体12内的温度)不同，根据成膜物质24的选择而变更腔体12内的温度。

当第二成膜物质24B堆积在被成膜面45上时，穹顶15再次减速到第二速度。由此，重量环27在箭头81的方向上旋转，小齿轮70绕顺时针方向转动，使工件支架32翻转(参照图8)。工件支架32保持在翻转位置上，被成膜面46朝向下方。穹顶15以第二速度持续旋转期间，从成膜物质放出源25放出第二成膜物质24B，通过开口56，堆积在被成膜面46上。这样，第二成膜物质24B重合堆积在成膜物质24之上。

如图9的时序表所示，通过反复进行穹顶15的加速和减速，从而利用作用于重量环27的惯性力，反复翻转工件支架32。通过连续翻转该工件，从而如前所述，在玻璃板31的表背两面上堆积第一成膜物质24A，接着堆积第二成膜物质24B。同样地、第二成膜物质24C、第四成膜物质24D、……和第多个成膜物质能够顺次重叠，形成多层涂敷。另外，被成膜面45以及46，没必要堆积相同的成膜物质，可以将完全不同的成膜物质堆积在被成膜面45和46上。例如，可以在被成膜面45上堆积第一成膜物质24A后，在被成膜面46上堆积第二成膜物质24B，进而在被成膜面45上堆积第三成膜物质24C后，在被成膜面46上堆积第四成膜物质24D。

接着，参照图10，关于由切换穹顶15的正转(图1的顺时针方向)和逆转(图1的逆时针方向)时的减速，由作用于重量环27上的惯性旋转工件支架32的状态进行说明。该穹顶15通过电机22和减速齿轮装置21交替进行正转和逆转，但是也可以通过电机的正转和逆转进行切换。另外，由减速齿轮装置21切换正转和逆转的情况下，使用输出轴的旋转方向能够正反切换的结构。

工件支架32设置在初始位置的状态下，穹顶15逐渐将在图3中向左方的旋转增速时，重量环27由惯性力相对于穹顶15相对在箭头82的方向上旋转。由于工件支架32设置在初始位置上，所以定位突起60抵接第一限位部61，由此，维持被成膜面45朝向下方的初始位置。

如图7所示，穹顶15保持预定的速度，绕顺时针持续旋转。从成膜物质放出源25放出第一成膜物质24A，在从工件支架32的开口55露出的被成膜面45上堆积第一成膜物质24A。当第一成膜物质24A向被成膜面45堆积结束时，穹顶15结束旋转。

由穹顶15的急剧减速，在重量环27上在箭头81(参照图3)的方向上作用惯性力，重量环27相对于穹顶15相对在箭头81的方向上旋转。由此，小齿轮70在顺时针方向上使工件支架32翻转(参照图8)。工件支架32使定位突起60抵接在第二限位部62上，保持在从所述初始位置旋转180°的翻转位置上。在该翻转位置上，被成膜面46朝向下方。穹顶15在与前端相反的方向上持续旋转，从成膜物质放出源25再次放出第一成膜物质24A，通过开口56，在被成膜面46上堆积第一成膜物质24A。这样，在被成膜面45和46的两面上堆积第一成膜物质24A。

当被成膜面45、46的两面上堆积第一成膜物质24A结束，穹顶15停止后，再次在正转方向上旋转。重量环27由惯性力相对于穹顶15相对在箭头82方向上旋转(参照图3)。由此，小齿轮70绕逆时针方向使工件支架32翻转。工件支架32使定位突起60抵接第一限位部61，从翻转位置返回初始位置，所以被成膜面45朝向下方(参照图7)。穹顶15在正转方向上持续旋转，从成膜物质放出源25选择放出第二成膜物质24B。根据成膜物质24的种类不同，成膜时的环境温度(腔体12内的温度)不同，根据成膜物质24的选择而变更腔体12内的温度。

当第二成膜物质24B堆积在被成膜面45上时，制动器挂到穹顶15上，旋转停止。这时，重量环27由惯性力相对于穹顶15相对在箭头81的方向上旋转，小齿轮70绕顺时针使工件支架32翻转，使被成膜面46朝向下方(参照图8)。之后，穹顶15逆转，从成膜物质放出源25再次放出第二成膜物质24B，通过开口56而在被成膜面46上堆积第二成膜物质24B。这样，在堆积第一成膜物质24A的被成膜面45、46之上重合堆积第二成膜物质24B。

如图10的时序表所示，利用由穹顶15反复进行正转和逆转时的急剧减速而作用于重量环27上的惯性力，反复翻转(连续翻转)工件支架32，在玻璃板31的表背两面上顺次堆积多个成膜物质24(24A、24B、24C、……)。

另外，也可以代替穹顶15减速后翻转玻璃板31，在穹顶15加速后翻转玻璃板31。这种情况下，在减速齿轮装置21上不需要制动器。如图11所示，正转时以及逆转时的减速由于不设有制动装置所以变平缓，重量环27仅由加速时作用的惯性力移动。

重量环27通过在正转以及逆转的加速时在旋转方向的相反方向上作用的惯性力，在穹顶15的正转时在逆转方向上、在穹顶15的逆转时在正转方向上旋转移动。由此，工件支架32在穹顶15的正转时，保持在初始位置上，在逆转时保持在翻转位置上，在被成膜面45、46各自上堆积成膜物质24。穹顶15通过反复交替正转和逆转，而将多个成膜物质24(24A、24B、24C、……)顺次堆积在被成膜面45、46上，进行多层涂敷。

另外，在上述实施方式中，将重量环27配置在工件安装单元30的外侧，但是也可以将重量环27配置在工件安装单元30的内侧。这种情况下，圆环状轨道17以及轨道槽20配置在开口16的内侧。另外，本发明若是具有被成膜面的工件安装成膜在旋转的穹顶上的方式的真空成膜装置，则不仅真空蒸镀装置，也能够采用离子电镀装置或溅射装置等。

Claims (8)

1.一种真空成膜机，其在真空腔体内在工件的被成膜面上堆积从成膜物质放出源飞出的成膜物质，其特征在于，具有：

在所述真空腔体内位于所述成膜物质放出源的上方，且具有圆锥形的倾斜面的旋转穹顶；

以垂直轴为中心而使所述旋转穹顶旋转的旋转机构；

形成在所述旋转穹顶的所述倾斜面上的多个开口；

装卸自如地保持所述工件的工件支架；

支承框，其以所述工件支架与所述开口面对的方式固定在具有所述倾斜面的旋转穹顶上，且能够在一所述被成膜面经由所述开口朝向所述成膜物质放出源的初始位置与另一被成膜面朝向所述成膜物质放出源的翻转位置之间旋转地支承所述工件支架；

重量环，其以所述垂直轴为中心旋转自如地载置在所述倾斜面上，在伴随所述旋转穹顶的加速或减速所作用的惯性的作用下，相对于所述旋转穹顶相对转动，将所述工件支架向所述初始位置与所述翻转位置切换。

2.如权利要求1所述的真空成膜机，其特征在于，还具有：

设于所述工件支架上的定位突起；

设于所述支承框上的第一及第二限位部，所述第一限位部阻挡所述定位突起而将所述工件支架保持在所述初始位置，所述第二限位部阻挡所述定位突起而将所述工件支架保持在所述翻转位置。

3.如权利要求2所述的真空成膜机，其特征在于，还具有：

从所述工件支架的两侧突出的第一及第二旋转轴；

用于旋转自如地支承所述第一及第二旋转轴，而能够使所述工件支架相对于支承框旋转的轴承部；

安装在所述支承框上的靠压弹簧；

固定在所述第一旋转轴上的凸轮板，通过使该凸轮板的凸轮面由所述靠压弹簧靠压，而在所述初始位置向所述定位突起靠压所述第一限位部的方向施加旋转力，在所述翻转位置向所述定位突起靠压所述第二限位部的方向施加旋转力。

4.如权利要求1所述的真空成膜机，其特征在于，还具有：

形成在所述重量环上的齿条；

以规定的摩擦力嵌合在所述第一旋转轴上的小齿轮，在所述重量环旋转时，通过从所述齿条受到的旋转力使所述工件支架旋转。

5.如权利要求4所述的真空成膜机，其特征在于，

所述小齿轮具有在与所述一旋转轴之间以规定的摩擦力卡合的齿轮轴，该齿轮轴的前端侧呈在圆周方向上被分割为多个的圆筒，以规定的压力压接在所述第一旋转轴的外周面上，将所述小齿轮的旋转传递给所述第一旋转轴而使所述工件支架旋转，并且在所述工件支架旋转到所述初始位置或所述翻转位置后，所述圆筒相对于所述第一旋转轴滑动，而使所述小齿轮空转。

6.如权利要求5所述的真空成膜机，其特征在于，还具有：

在所述圆筒的一部分上以向内侧突出的方式形成的凸部；

形成在所述第一旋转轴的外周上且所述凸部所卡合的止脱槽。

7.如权利要求1所述的真空成膜机，其特征在于，还具有：

形成在所述旋转穹顶的上表面的圆环状轨道；

形成在所述圆环状轨道上的轨道槽；

形成在所述重量环上的圆环状的支承槽；

配置在所述轨道槽和所述支承槽之间，且使所述重量环能够转动的多个轴承滚珠。

8.如权利要求1所述的真空成膜机，其特征在于，

所述重量环以同心圆状设置多个，在各重量环上切换多个所述工件支架的位置。

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