CN104775099B - 一种翻转式溅射镀膜机 - Google Patents

一种翻转式溅射镀膜机 Download PDF

Info

Publication number
CN104775099B
CN104775099B CN201410011791.8A CN201410011791A CN104775099B CN 104775099 B CN104775099 B CN 104775099B CN 201410011791 A CN201410011791 A CN 201410011791A CN 104775099 B CN104775099 B CN 104775099B
Authority
CN
China
Prior art keywords
fixed
rotary shaft
turnover
turnover panel
cylinder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201410011791.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN104775099A (zh
Inventor
吕春哲
孙旭东
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yantai Likai CNC Technology Co., Ltd.
Original Assignee
Yantai Likai Intelligent Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yantai Likai Intelligent Technology Co Ltd filed Critical Yantai Likai Intelligent Technology Co Ltd
Priority to CN201410011791.8A priority Critical patent/CN104775099B/zh
Publication of CN104775099A publication Critical patent/CN104775099A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN104775099B publication Critical patent/CN104775099B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

本发明涉及一种镀膜机，尤其是一种用于晶片自动翻转的翻转式溅射镀膜机，包括晶片夹具、治具架、固定旋转轴、圆柱滚珠、压件、弹簧、顶丝、安装块、转轮和翻板，治具架安装在固定旋转轴上，固定旋转轴安装在安装块的槽内，下面用转轮限位固定，固定旋转轴上设有两个2个V型槽，V型槽成180°分布，圆柱滚珠圆柱滚珠采用压件、弹簧和顶丝固定在安装块的槽孔内，圆柱滚珠的柱面卡在固定旋转轴的一侧V型槽内，翻板固定在治具架需要翻转的位置，同时使翻板接触弧面和转轮弧面相切，该装置可用于溅射镀膜机镀膜过程中的晶片翻转，从而减少了镀膜过程中的工序，提高了工作效率，降低了生产成本。

Description

一种翻转式溅射镀膜机
技术领域
本发明涉及一种镀膜机，尤其是一种用于晶片自动翻转的翻转式溅射镀膜机。
背景技术
石英晶体谐振器是一种用于稳定频率和选择频率的电子元件，被广泛的应用在电子产品上。随着产品生产自动化程度的提高，生产商在保证质量的前提下，降低生产成为企业生存与发展的关键，晶片镀膜是石英晶体生产的重要环节，关系到产品的各项技术参数是否合格。现有的磁控溅射镀膜机采用磁控溅射原理提高了产品质量，并降低了生产成本，但磁控溅射镀膜在镀膜的过程中，晶片安装在晶片夹具上，每次只能对晶片的正对面进行镀膜，而晶片两个面均需要镀膜，因此，需要采用一种技术解决晶片夹具在生产过程中自动翻转180°的问题。
发明内容
针对现有技术存在的缺陷，本发明提供了一种翻转式溅射镀膜机，能通过晶片夹具翻转，实现晶片双面镀膜，解决了晶片夹具在生产过程中自动翻转180°的问题。
本发明采用的技术方案是，一种翻转式溅射镀膜机，包括晶片夹具、治具架、固定旋转轴、圆柱滚珠、压件、弹簧、顶丝、安装块、转轮和翻板；
所述晶片夹具安装在治具架槽内；
所述治具架安装在固定旋转轴上，固定旋转轴安装在安装块上，安装块下面用转轮限位固定，固定旋转轴周面上设有2个V型槽，V型槽成180°分布；
所述圆柱滚珠放入安装块的槽孔内，使得圆柱滚珠柱面卡在固定旋转轴的V型槽内；
所述圆柱滚珠采用压件、弹簧和顶丝固定在安装块的槽孔内，同时可以调节顶丝来控制弹簧的压缩量，从而控制圆柱滚珠柱面与固定旋转轴的V型槽面之间的压力；
所述翻板固定在治具架需要翻转的位置，同时使翻板接触弧面和转轮弧面相切。
溅射镀膜机在生产过程中，转轮相邻的两个弧面与翻板两个弧面连续相切，翻板拨动转轮带动治具架翻转180°，圆柱滚珠在弹簧的作用下，柱面卡在固定旋转轴另一侧的V型槽内，起到定位作用。
本发明的有益效果，本发明采用翻转式溅射镀膜机对晶片镀膜，晶片夹具在生产过程中自动翻转180°，减少了镀膜过程中的工序，节省了人力，提高了工作效率，降低了生产成本。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细描述。
图1 为本发明翻转式镀膜机的结构示意图。
图2为本发明晶片夹具安装示意图。
图3为本发明治具架翻转180°定位结构图。
图4为本发明转轮与翻板接触结构示意图。
图中1.晶片夹具，2 .治具架，3.固定旋转轴，4.圆柱滚珠，5.压件，6.弹簧，7.顶丝，8.安装块，9.转轮，10.翻板，11.V型槽。
具体实施方式
参照附图，一种翻转式溅射镀膜机，包括晶片夹具1，所述晶片夹具1安装在治具架2槽内，所述治具架2安装在固定旋转轴3上，所述固定旋转轴3安装在安装块8上，安装块8下面用转轮9限位、固定，固定旋转轴3周面上设有2个V型槽11，V型槽11成180°分布，所述圆柱滚珠4放入安装块8的槽孔内，使得圆柱滚珠4的柱面卡在固定旋转轴3的V型槽内，所述圆柱滚珠4采用压件5、弹簧6和顶丝7固定在安装块8的槽孔内，所述翻板10固定在治具架2需要翻转的位置，同时使翻板10的接触弧面和转轮9弧面相切；在生产过程中，转轮相邻的两个弧面与翻板10的两个弧面连续相切，翻板10拨动转轮9带动治具架2翻转180°，圆柱滚珠4在弹簧6的作用下，柱面卡在固定旋转轴3另一侧的V型槽11内，起到定位作用。

Claims (3)

1.一种翻转式溅射镀膜机，包括晶片夹具、治具架、固定旋转轴、圆柱滚珠、压件、弹簧、顶丝、安装块、转轮和翻板，其特征在于：
所述晶片夹具安装在治具架槽内；
所述治具架安装在固定旋转轴上，固定旋转轴安装在安装块上，安装块下面用转轮限位固定，固定旋转轴周面上设有2个V型槽，V型槽成180°分布；
所述圆柱滚珠放入安装块的槽孔内，使得圆柱滚珠柱面卡在固定旋转轴的V型槽内，所述圆柱滚珠采用压件、弹簧和顶丝固定在安装块的槽孔内，同时可以调节顶丝来控制弹簧的压缩量，从而控制圆柱滚珠柱面与固定旋转轴的V型槽面之间的压力；
所述翻板固定在治具架需要翻转的位置，使翻板接触弧面和转轮弧面相切。
2.根据权利要求1所述的翻转式溅射镀膜机，其特征在于：溅射镀膜机在生产过程中，转轮相邻的两个弧面与翻板的两个弧面连续相切，翻板拨动转轮带动治具架翻转180°。
3.根据权利要求1所述的翻转式溅射镀膜机，其特征在于：圆柱滚珠在弹簧的作用下，柱面卡在固定旋转轴另一侧的V型槽内，起到定位作用。
CN201410011791.8A 2014-01-11 2014-01-11 一种翻转式溅射镀膜机 Active CN104775099B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410011791.8A CN104775099B (zh) 2014-01-11 2014-01-11 一种翻转式溅射镀膜机

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410011791.8A CN104775099B (zh) 2014-01-11 2014-01-11 一种翻转式溅射镀膜机

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN104775099A CN104775099A (zh) 2015-07-15
CN104775099B true CN104775099B (zh) 2017-05-17

Family

ID=53616860

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410011791.8A Active CN104775099B (zh) 2014-01-11 2014-01-11 一种翻转式溅射镀膜机

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN104775099B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107699890B (zh) * 2017-09-27 2020-01-03 武汉华星光电技术有限公司 镀膜机夹具及镀膜机
CN110284114B (zh) * 2019-06-17 2021-02-05 福建省福联集成电路有限公司 一种晶圆镀膜的真空装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101575699A (zh) * 2008-05-06 2009-11-11 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 镀膜支架
CN101597749A (zh) * 2008-06-03 2009-12-09 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 自动镀膜装置
CN101899648A (zh) * 2009-05-28 2010-12-01 富士能株式会社 工件翻转单元、真空成膜装置及工件装配单元
JP2011105983A (ja) * 2009-11-16 2011-06-02 Fujifilm Corp ワーク連続反転装置
CN202877827U (zh) * 2012-11-15 2013-04-17 深圳市泰科盛自动化系统有限公司 一种升降式翻转治具

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101575699A (zh) * 2008-05-06 2009-11-11 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 镀膜支架
CN101597749A (zh) * 2008-06-03 2009-12-09 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 自动镀膜装置
CN101899648A (zh) * 2009-05-28 2010-12-01 富士能株式会社 工件翻转单元、真空成膜装置及工件装配单元
JP2011105983A (ja) * 2009-11-16 2011-06-02 Fujifilm Corp ワーク連続反転装置
CN202877827U (zh) * 2012-11-15 2013-04-17 深圳市泰科盛自动化系统有限公司 一种升降式翻转治具

Also Published As

Publication number Publication date
CN104775099A (zh) 2015-07-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104775099B (zh) 一种翻转式溅射镀膜机
WO2017022389A1 (ja) 板ガラス加工装置及びガラス基板
US20150044949A1 (en) Grinding Device and Method for Grinding Panel
CN209598793U (zh) 磨齿机用工件定位料盘
JP5674145B2 (ja) 片面研磨装置
CN104976200A (zh) 适用于硬质合金硬面加工中硬质合金条的双面粘结方法及应用
WO2008058200A3 (en) Method and apparatus for electrochemical mechanical polishing nip substrates
CN105186802B (zh) 一种定子磁钢粘接模具及其粘接方法
CN208008872U (zh) 一种用于晶片镀膜的工装
RU2334603C2 (ru) Устройство для электроискрового легирования
CN207667954U (zh) 一种端涂夹具及端涂机
CN208883984U (zh) 一种可拆装基板载体
KR20030025086A (ko) 액정패널 제작용 세정장치
CN208592740U (zh) 一种烧结砂轮的基材
CN220742451U (zh) 转印设备
CN105116623A (zh) 一种消除lcd摩擦沟槽不均匀的方法
CN216733165U (zh) 一种下压板及热压机
JP5565342B2 (ja) 電着金属剥離装置及びこれを用いた電着金属分離装置
TWI384096B (zh) Electrochemical process of the processing electrode, the preparation method and manufacturing equipment
CN205731880U (zh) 涂布机用挡料装置及使用该挡料装置的涂布机
KR101351250B1 (ko) 기판 검사 장비용 얼라인 스테이지 장치
CN217317132U (zh) 一种数控机床用自动上下料装置
US20160187677A1 (en) Rubbing device and rubbing alignment method using the same
CN209408267U (zh) 一种可变打磨粗糙面的打磨盘
CN219377826U (zh) 一种组合式家居产品用uv固化设备

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
EXSB Decision made by sipo to initiate substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
CB02 Change of applicant information

Address after: 265500 Shandong province Fushan District of Yantai City Jin Road No. 120

Applicant after: SHANDONG LIKAI ELECTRONIC TECHNOLOGY CO., LTD.

Address before: Zhenhua Street Fushan District 265500 Shandong city of Yantai province No. 859

Applicant before: Yantai Likai Electronic Technology Co., Ltd.

CB02 Change of applicant information
TA01 Transfer of patent application right

Effective date of registration: 20170308

Address after: 265500 Zhenhua street, Fushan hi tech Zone, Shandong, Yantai, China, No. 859

Applicant after: Yantai Likai Intelligent Technology Co Ltd

Address before: 265500 Shandong province Fushan District of Yantai City Jin Road No. 120

Applicant before: SHANDONG LIKAI ELECTRONIC TECHNOLOGY CO., LTD.

TA01 Transfer of patent application right
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20190605

Address after: 264006 No. 406 Inner Building, 71 Changjiang Road, Yantai Economic and Technological Development Zone, Shandong Province

Patentee after: Yantai Likai CNC Technology Co., Ltd.

Address before: 265500 Zhenhua Street 859, Fushan High-tech Zone, Yantai City, Shandong Province

Patentee before: Yantai Likai Intelligent Technology Co Ltd

TR01 Transfer of patent right
PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right

Denomination of invention: Turnover-type sputtering coater

Effective date of registration: 20200605

Granted publication date: 20170517

Pledgee: China Everbright Bank Limited by Share Ltd. Yantai branch

Pledgor: YANTAI LIKAI CNC TECHNOLOGY Co.,Ltd.

Registration number: Y2020980002788

PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right
PC01 Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right

Date of cancellation: 20211118

Granted publication date: 20170517

Pledgee: China Everbright Bank Limited by Share Ltd. Yantai branch

Pledgor: YANTAI LIKAI CNC TECHNOLOGY Co.,Ltd.

Registration number: Y2020980002788

PC01 Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right