CN102035498B - 振动片、振子、振荡器以及电子仪器 - Google Patents
振动片、振子、振荡器以及电子仪器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102035498B CN102035498B CN201010501423.3A CN201010501423A CN102035498B CN 102035498 B CN102035498 B CN 102035498B CN 201010501423 A CN201010501423 A CN 201010501423A CN 102035498 B CN102035498 B CN 102035498B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- groove
- vibrating
- arm
- vibrating reed
- vibrating arm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 title claims description 60
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 9
- 230000005284 excitation Effects 0.000 abstract description 34
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 33
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 15
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 10
- 244000273256 Phragmites communis Species 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders or supports
- H03H9/0538—Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements
- H03H9/0547—Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements consisting of a vertical arrangement
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders or supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
- H03H9/1014—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device
- H03H9/1021—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device the BAW device being of the cantilever type
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/21—Crystal tuning forks
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009-234068 | 2009-10-08 | ||
| JP2009234068 | 2009-10-08 | ||
| JP2010163647A JP5565163B2 (ja) | 2009-10-08 | 2010-07-21 | 振動片、振動子、発振器、および電子機器 |
| JP2010-163647 | 2010-07-21 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102035498A CN102035498A (zh) | 2011-04-27 |
| CN102035498B true CN102035498B (zh) | 2015-01-14 |
Family
ID=43854386
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201010501423.3A Expired - Fee Related CN102035498B (zh) | 2009-10-08 | 2010-10-08 | 振动片、振子、振荡器以及电子仪器 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8164393B2 (enExample) |
| JP (1) | JP5565163B2 (enExample) |
| CN (1) | CN102035498B (enExample) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011193399A (ja) * | 2010-03-16 | 2011-09-29 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子および圧電デバイス |
| JP2011259120A (ja) * | 2010-06-08 | 2011-12-22 | Seiko Epson Corp | 振動片、周波数調整方法、振動子、振動デバイス、および電子機器 |
| JP5617392B2 (ja) * | 2010-07-09 | 2014-11-05 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子及び発振器 |
| JP5659585B2 (ja) * | 2010-07-09 | 2015-01-28 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
| TW201242246A (en) * | 2011-02-25 | 2012-10-16 | Seiko Epson Corp | Piezoelectric vibration element, piezoelectric vibrator, piezoelectric oscillator, vibration gyro element, vibration gyro sensor, and electronic apparatus |
| JP5819151B2 (ja) * | 2011-09-28 | 2015-11-18 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計 |
| JP5839919B2 (ja) * | 2011-09-28 | 2016-01-06 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計 |
| JP6349622B2 (ja) | 2013-03-14 | 2018-07-04 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
| JP6145288B2 (ja) * | 2013-03-15 | 2017-06-07 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器、及び電波時計 |
| KR20140118792A (ko) * | 2013-03-29 | 2014-10-08 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 진동 소자, 진동자, 발진기, 전자 기기, 센서, 및 이동체 |
| JP6521148B2 (ja) * | 2018-06-05 | 2019-05-29 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1711680A (zh) * | 2002-12-17 | 2005-12-21 | 精工爱普生株式会社 | 压电振动片和使用压电振动片的压电器件、使用压电器件的便携电话装置和使用压电器件的电子设备 |
| JP4020010B2 (ja) * | 2003-05-20 | 2007-12-12 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片と圧電振動片を利用した圧電デバイス、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 |
| CN101316097A (zh) * | 2007-05-30 | 2008-12-03 | 爱普生拓优科梦株式会社 | 音叉型振动片以及音叉型振子 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5110755Y1 (enExample) | 1975-05-15 | 1976-03-23 | ||
| WO2000044092A1 (en) | 1999-01-20 | 2000-07-27 | Seiko Epson Corporation | Vibrator and electronic device with vibrator |
| JP2002319838A (ja) * | 2001-02-19 | 2002-10-31 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイス及びそのパッケージ |
| JP2004120249A (ja) * | 2002-09-25 | 2004-04-15 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片と圧電振動片を利用した圧電デバイス、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 |
| JP4241022B2 (ja) * | 2002-12-17 | 2009-03-18 | セイコーエプソン株式会社 | 水晶振動片とその製造方法及び水晶振動片を利用した水晶デバイス、ならびに水晶デバイスを利用した携帯電話装置および水晶デバイスを利用した電子機器 |
| JP2004282230A (ja) * | 2003-03-13 | 2004-10-07 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片、及びこれを利用した圧電デバイス、並びにこれを利用した携帯電話装置、電子機器 |
| JP4297251B2 (ja) | 2003-05-12 | 2009-07-15 | 日本碍子株式会社 | 回転角速度測定装置 |
| JP4356366B2 (ja) * | 2003-06-10 | 2009-11-04 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片、圧電振動片の製造方法および圧電振動子、圧電振動子を搭載した電子機器 |
| JP4026074B2 (ja) * | 2003-06-30 | 2007-12-26 | 有限会社ピエデック技術研究所 | 水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器 |
| JP4211578B2 (ja) * | 2003-11-13 | 2009-01-21 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片とその製造方法、ならびに圧電デバイスおよび圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 |
| US7859172B2 (en) * | 2007-06-19 | 2010-12-28 | Epson Toyocom Corporation | Piezoelectric resonator, manufacturing method thereof and lid for piezoelectric resonator |
| ATE453954T1 (de) | 2007-07-19 | 2010-01-15 | Eta Sa Mft Horlogere Suisse | Piezoelektrischer resonator mit optimierten bewegungsfähigkeiten |
| JP5128262B2 (ja) * | 2007-12-17 | 2013-01-23 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計並びに圧電振動片の製造方法 |
-
2010
- 2010-07-21 JP JP2010163647A patent/JP5565163B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-10-01 US US12/896,482 patent/US8164393B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2010-10-08 CN CN201010501423.3A patent/CN102035498B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1711680A (zh) * | 2002-12-17 | 2005-12-21 | 精工爱普生株式会社 | 压电振动片和使用压电振动片的压电器件、使用压电器件的便携电话装置和使用压电器件的电子设备 |
| JP4020010B2 (ja) * | 2003-05-20 | 2007-12-12 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片と圧電振動片を利用した圧電デバイス、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 |
| CN101316097A (zh) * | 2007-05-30 | 2008-12-03 | 爱普生拓优科梦株式会社 | 音叉型振动片以及音叉型振子 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| JP特许第4020010号B2 2007.12.12 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2011101340A (ja) | 2011-05-19 |
| US20110084776A1 (en) | 2011-04-14 |
| CN102035498A (zh) | 2011-04-27 |
| JP5565163B2 (ja) | 2014-08-06 |
| US8164393B2 (en) | 2012-04-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102035498B (zh) | 振动片、振子、振荡器以及电子仪器 | |
| CN102025341B (zh) | 振动片、振子、振荡器及电子设备 | |
| CN103532512B (zh) | 振动片、振子、振荡器以及电子设备 | |
| CN102332889B (zh) | 振动片、振子以及振荡器 | |
| CN102025342B (zh) | 振动片、振子、振荡器、以及电子仪器 | |
| KR101219211B1 (ko) | 진동편, 진동자, 발진기, 전자기기, 및 주파수 조정 방법 | |
| US8665032B2 (en) | Flexural mode resonator element, resonating device, and electronic apparatus | |
| JP2012019440A (ja) | 屈曲振動片、振動子、発振器及び電子機器 | |
| JP5652122B2 (ja) | 振動片、振動デバイス及び電子機器 | |
| JP2013205328A (ja) | 振動片、センサーユニット、電子機器 | |
| JP2004297198A (ja) | 圧電振動片と圧電デバイスならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 | |
| JP5565158B2 (ja) | 振動片、振動子、発振器、および電子機器 | |
| CN102195610B (zh) | 振动片、压电装置、以及电子设备 | |
| JP2011199330A (ja) | 振動片、振動子、発振器 | |
| JP2011228980A (ja) | 振動片、振動子、発振器、および電子機器 | |
| JP5671821B2 (ja) | 振動片及びデバイス | |
| JP2005123828A (ja) | 音叉型圧電振動片及び圧電デバイス | |
| JP2011254351A (ja) | 圧電振動片、圧電振動子および圧電発振器 | |
| CN104410382B (zh) | 振动片、振子、振荡器、以及电子仪器 | |
| JP5621285B2 (ja) | 振動片、振動子および発振器 | |
| JP4020031B2 (ja) | 圧電振動片と圧電振動片を利用した圧電デバイス、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 | |
| JP5761429B2 (ja) | 振動片、振動子、発振器、および電子機器 | |
| JP7677849B2 (ja) | 圧電振動片、圧電振動子および発振器 | |
| JP2004336207A (ja) | 圧電振動片と圧電振動片を利用した圧電デバイス、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 | |
| JP2001185987A (ja) | 音叉型圧電振動子 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20150114 Termination date: 20191008 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |