CN102023497A - 一种有机电致发光显示面板显影设备及其方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种有机电致发光显示面板显影设备及其方法，采用的显影方法是以浸润式显影为主，再同时以喷淋的方式施加一定的喷淋压力于显影液面，大大减少了直接撞击基板产生的泡沫，改善了显影效果，使用循环的方式缩短了设备的长度和设备占据的净化房空间，有利于节约研发成本，设备结构简单，维修容易，制造成本低，能大大缩短设备长度。

Description

一种有机电致发光显示面板显影设备及其方法

技术领域

本发明涉及一种电子半导体元器件制造技术领域，特别涉及一种有机电致发光显示面板显影设备及其方法。

背景技术

有机电致发光显示器件(OLED)作为平板显示器的一大分支，具有面板厚度薄(小于2mm)，自发光，低操作电压(3-10V)，高亮度，高对比，宽视角等特性，成为极具潜力的一项平面显示技术。有机电致发光显示器件已在部分厂家进行了商业上的批量生产，但由于有机电致发光显示器件(OLED)毕竟是一个比较新的显示领域，仍然面临许多困难尚待克服。有机电致发光器件研发的实验线设备仍是量产厂家及研究机构配备的必须设备，主要用于开发新产品及产品性能的改进。这种实验线设备既要能同量产设备有一定的相同流程的控制，也要尽可能的节省资金投入。

有机电致发光器件一般是由上，下两个电极和夹在其中间的具有半导体性质的有机材料薄膜组成，其中的阳极是透明导电的氧化銦锡(ITO)。无论是有源电致发光显示器件(AMOLED)还是无源电致发光显示器件(PMOLED)都需要用到光阻的显影技术来形成各种图案或进一步进行选择性蚀刻来形成各种功能层。

目前来说，实验线上使用的显影设备往往有两种情况。一种简单的使用不同显影槽和水洗槽对光阻层进行显影，其间必须利用人手取出或传送基板，并吹干，大大延长了显影过程，且无法精确控制显影的时间，此外由于人为因素无法严格控制，在传送过程中容易损伤和沾污，无法保障显影基板的品质。另一种情况是比较常见的量产设备上用的方法：将曝光后的玻璃传送入显影腔，使用摇摆的喷头将显影液直接喷洒在光刻胶表面，过一段时间后显出图形来，这种情况下投入的资金基本会很大，设备对喷嘴的要求很严格，喷淋的高度距离压力都要特别编排，使喷淋均匀，水流稳定，达到最佳效果，整个设备过于复杂，不易修理，不符合实验线简单高效率，投入少，修理容易，流程尽量短的要求。而且由于喷淋下来的显影液直接撞击基板，会产生大量泡沫从而影响显影反应的均匀性，使得高分辨率的OLED显示器件难以获得。

发明内容

本发明是针对现有技术中存在的问题，提出了一种有机电致发光显示面板显影设备及其方法，采用的显影方法是以浸润式显影为主，再以喷淋的方式施加一定的喷淋压力于显影液面，大大减少了直接撞击基板产生的泡沫，改善了显影效果。

本发明的技术方案为：一种有机电致发光显示面板显影设备，设备从基板的输入端至输出端依次为投片口、用于显影基板的显影单元、设有风刀用于吹除显影液的液切单元、用于水洗基板的水洗单元、用于吹干、清洁基板的风刀干燥单元，所述各单元由用于运送基板的滚轮传送单元连接，所述显影单元为一可循环传送的显影槽，该槽体能存放显影液，上方有分布均匀的喷淋头，所述水洗单元为一可循环传送的冲洗槽。

所述风刀干燥单元内安装光电感应探头，感应信号控制风刀干燥单元启动和关闭工作。

所述循环冲洗槽包括传动齿轮和主槽，传动齿轮和主槽相隔，单独摆放，传动齿轮的材料选用高分子聚合物。

一种有机电致发光显示面板显影方法，包括有机电致发光显示面板显影设备，方法包括如下步骤：

1)基板送入投片口；

2)投片口出来后的基板，送入显影单元，浸入显影槽的显影液中，基板在显影液中沿水平方向做往复运动，并且同时上方分布均匀的喷淋头喷出显影液对下方显影液的表面施加均衡的压力，完成显影；

3)完成显影的基板进入液切单元，由风刀吹掉基板表面的显影液；

4)液切单元出来的基板送入水洗单元，基板在该单元做循环往复运动，纯水对基板表面不断的冲淋；

5)清洗完毕的基板通过风刀干燥单元吹干表面，最后流出。

本发明的有益效果在于：本发明有机电致发光显示面板显影设备及其方法，使用循环的方式缩短了设备的长度和设备占据的净化房空间，有利于节约研发成本，设备结构简单，维修容易，制造成本低，能大大缩短设备长度和提高显影效果。

附图说明

图1为本发明有机电致发光显示面板显影设备结构示意图。

具体实施方式

如图1所示一种有机电致发光显示面板显影设备结构示意图，基板的输入端至输出端依次有投片口1、用于显影基板的显影单元2、设有风刀用于吹除显影液的液切单元3、用于水洗基板的水洗单元4、用于吹干、清洁基板的风刀干燥单元5，所述各单元由用于运送基板的滚轮传送单元6连接，滚轮传送单元6的系统控制采用PLC控制和编码器控制，传送电机为小型齿轮减速电机；所述显影单元2为一循环显影槽，该槽体能存放一定数量的显影液，上方有分布均匀的喷淋头；所述水洗单元4为一循环冲洗槽，所述风刀干燥单元5的风刀由光电感应探头控制开启和关闭，所述水洗单元的传动齿轮与主槽相隔，单独摆放，传动齿轮的材料选用高分子聚合物。

在操作过程中，将需要进行显影的曝光完的涂有光阻OLED玻璃基板投入有一定传输速度的实验线用显影设备中，基板进入设备唯一的显影槽，在显影液中沿水平方向做往复运动，上方的喷淋头喷出显影液并进行高压喷淋，经过几个循环后显影完成，继续向下传送到水洗槽，同样是经过几个往复运动后，基板清洗干净，继续传送到风刀单元，在风刀作用下完全干燥玻璃表面，最后流出。其特征一：传送单元在显影和纯水清洗单元内是往复运动，单元和单元之间是连续传输。传送单元的传送速度是无级调速，并能在各个处理单元实现来回往返运动，往返时间可在控制面板上设置。在确定传送速度的情况下，设置循环的次数可以较为精确的控制显影的时间和纯水清洗的时间。其特征二：基板是浸在显影液中的，同时上方要受到显影液的全面喷淋，且要求喷淋分布和压力都均匀；其特征三：在风刀单元安装光电感应探头，只有在玻璃基板传送到该单元的情况下风刀的送气系统7才会启动开始送气吹干玻璃，这样可以避免玻璃基板在显影槽和水洗槽耽搁的时候就启动风刀，节约了干燥空气。其特征四：纯水清洗单元的传动齿轮与主槽相隔，单独摆放，材料选用高分子聚合物。这是因为OLED器件对金属粒子非常敏感，一旦有金属粒子沾污ITO像素部分就容易造成阴阳极的短路。

一种有机电致发光显示面板显影方法如下，将一枚曝光完的表面是光阻的玻璃基板沿着传送方向A送入显影机的投片口1，接着基板被送入显影单元2，浸入光阻的专用显影液(四甲基氢氧化铵系列)中，其中的显影液已经在循环储备槽10中经过了加热和过滤，喷嘴8喷出显影液，对下方的显影表面施加全面均匀的喷淋压力，调节喷淋压力可以使得产生的泡沫最少，且一定的喷淋压力有助于缩短浸置式显影的速度，有利于形成良好的显影效果。此外调节传送单元的传输速度为1米/分钟，根据显影单元的长度和以确定的显影时间精确设置传送单元在此处的循环处理槽中往复运动的次数，使得玻璃基板在该显影单元中彻底完成显影。接下来基板经过液切单元3，有风刀吹掉基板表面的显影液，避免污染水洗槽。接着基板流入水洗单元4，此处使用纯水对基板表面进行冲洗，通过调整纯水9喷淋的压力，可以更好的冲洗掉基板表面的显影液。在该单元同样调节传送单元使其带着基板在循环冲洗槽中做往复运动，通过数次循环冲洗可以更好的清洗掉基板表面的残留显影液。最后清洗完毕的布有完整光阻图形的基板通过风刀干燥单元5，在光电探测器感应到玻璃基板经过的同时风刀的供气系统启动，将干燥洁净空气吹到基板的上下两面，吹干基板，至此一枚清洁干燥的有完整光阻图形的OLED用基板从出片口流出。

Claims (4)

1.一种有机电致发光显示面板显影设备，设备从基板的输入端至输出端依次为投片口、用于显影基板的显影单元、设有风刀用于吹除显影液的液切单元、用于水洗基板的水洗单元、用于吹干、清洁基板的风刀干燥单元，所述各单元由用于运送基板的滚轮传送单元连接，其特征在于，所述显影单元为一循环传送的显影槽，该槽体能存放显影液，上方有分布均匀的喷淋头，所述水洗单元为一循环传送冲洗槽。

2.根据权利要求1所述的有机电致发光显示面板显影设备，其特征在于，所述风刀干燥单元内安装光电感应探头，感应信号控制风刀干燥单元启动和关闭工作。

3.根据权利要求1所述的有机电致发光显示面板显影设备，其特征在于，所述循环冲洗槽包括传动齿轮和主槽，传动齿轮和主槽相隔，单独摆放，传动齿轮的材料选用高分子聚合物。

4.一种有机电致发光显示面板显影方法，包括有机电致发光显示面板显影设备，其特征在于，方法包括如下步骤：

1)基板送入投片口；

2)投片口出来后的基板，送入显影单元，浸入显影液中开始显影，显影槽内基板沿水平方向做往复运动，并且同时上方分布均匀的喷淋头喷出显影液对显影的表面施加均衡的压力，完成显影；

3)完成显影的基板进入液切单元，由风刀吹掉基板表面的显影液；

4)液切单元出来的基板送入水洗单元，基板在该单元做循环往复运动，纯水对基板表面不断的冲淋；

5)清洗完毕的基板通过风刀干燥单元吹干表面，最后流出。

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