CN103941562A - 显影机 - Google Patents
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Abstract
本发明实施例公开了一种显影机,包括显影装置、吹风装置(2)、水洗装置(1)、干燥装置,以及传送装置(3);水洗装置(1)包括第一液刀(11)与第二液刀(12);第一液刀(11)的出液方向与被显影物体垂直设置,第二液刀(12)的出液方向与被显影物体倾斜设置,且第一液刀(11)的出液方向与第二液刀(12)的出液方向之间形成对流区域。本发明实施例提供的显影机采用与被显影物体垂直设置的第一液刀以及与被显影物体倾斜设置的第二液刀的结构,清洗被显影物体过程中,第一液刀的出液方向与第二液刀的出液方向之间形成对流区域,能够提高清除显影液的效果,有效地避免被显影物体产生色差,从而提高产品的良品率。
Description
技术领域
本发明涉及显影技术领域,更具体地说,涉及一种显影机。
背景技术
现有技术中,显影机通常包括显影装置、水洗装置、干燥装置,以及传送装置。其中,显影装置用于使显影液均匀地分布在被显影物体上,水洗装置用于清除残留在被显影物体上的显影液,干燥装置用于干燥经过水洗装置处理过的被显影物体,传送装置用于带动被显影物体依次位移通过显影装置、水洗装置与干燥装置。然而上述水洗装置清除残留在被显影物体上的显影液时,其清除效果较差,残留的显影液会继续产生反应,造成显影不均匀,使得被显影物体产生色差,从而影响产品的良品率。
发明内容
本发明实施例提供一种显影机,能够提高清除显影液的效果。
本发明实施例提供一种显影机,包括用于使显影液均匀分布在被显影物体上的显影装置、用于清除残留在所述被显影物体上的显影液的水洗装置、用于干燥经过所述水洗装置处理过的所述被显影物体的干燥装置,以及用于带动所述被显影物体依次位移通过所述显影装置、所述水洗装置与所述干燥装置的传送装置;所述显影机还包括用于吹除残留在所述被显影物体上的显影液的吹风装置,所述显影装置、所述吹风装置、所述水洗装置以及所述干燥装置依次并排设置,且所述传送装置位于所述显影装置、所述吹风装置、所述水洗装置以及所述干燥装置的下方;所述水洗装置包括第一液刀与第二液刀;所述第一液刀的出液方向与所述被显影物体垂直设置,所述第二液刀的出液方向与所述被显影物体倾斜设置,且所述第一液刀的出液方向与所述第二液刀的出液方向之间形成对流区域。
在本发明实施例提供的所述显影机中,所述显影机还包括位于所述水洗装置与所述干燥装置之间的喷雾装置。
在本发明实施例提供的所述显影机中,所述第二液刀位于所述第一液刀与所述喷雾装置之间。
在本发明实施例提供的所述显影机中,所述喷雾装置的出液方向与所述被显影物体之间的夹角为30°~60°。
在本发明实施例提供的所述显影机中,所述第二液刀的出液方向与所述被显影物体之间的夹角为30°~60°。
在本发明实施例提供的所述显影机中,所述显影机还包括固定支架;所述水洗装置还包括可活动地安装在所述固定支架上的第一活动支架与第二活动支架;所述第一液刀安装在所述第一活动支架上;所述第二液刀安装在所述第二活动支架上。
在本发明实施例提供的所述显影机中,所述显影机还包括用于控制所述传送装置传送所述被显影物体的速度的控制装置。
在本发明实施例提供的所述显影机中,所述吹风装置为风刀。
在本发明实施例提供的所述显影机中,所述传送装置为传动滚轮。
本发明实施例还提供了一种显影机,包括用于使显影液均匀分布在被显影物体上的显影装置、用于清除残留在所述被显影物体上的显影液的水洗装置、用于干燥经过所述水洗装置处理过的所述被显影物体的干燥装置,以及用于带动所述被显影物体依次位移通过所述显影装置、所述水洗装置与所述干燥装置的传送装置;所述显影机还包括用于吹除残留在所述被显影物体上的显影液的吹风装置,所述显影装置、所述吹风装置、所述水洗装置以及所述干燥装置依次并排设置,且所述传送装置位于所述显影装置、所述吹风装置、所述水洗装置以及所述干燥装置的下方;所述水洗装置包括第一液刀与第二液刀;所述第一液刀的出液方向与所述被显影物体垂直设置,所述第二液刀的出液方向与所述被显影物体倾斜设置,且所述第一液刀的出液方向与所述第二液刀的出液方向之间形成对流区域;
所述显影机还包括位于所述水洗装置与所述干燥装置之间的喷雾装置;所述第二液刀位于所述第一液刀与所述喷雾装置之间;
所述喷雾装置的出液方向与所述被显影物体之间的夹角为30°~60°;所述第二液刀的出液方向与所述被显影物体之间的夹角为30°~60°。
本发明实施例提供的显影机采用与被显影物体垂直设置的第一液刀以及与被显影物体倾斜设置的第二液刀的结构,清洗被显影物体过程中,第一液刀的出液方向与第二液刀的出液方向之间形成对流区域,能够提高清除显影液的效果,有效地避免被显影物体产生色差,从而提高产品的良品率。
附图说明
下面将结合附图及实施例对本发明作进一步说明,附图中:
图1是本发明较佳实施例提供的显影机的结构示意图。
具体实施方式
为了对本发明的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解,现对照附图详细说明本发明的具体实施方式。
如图1所示,本发明的较佳实施例提供一种显影机,其包括显影装置(未图示)、吹风装置2、水洗装置1、干燥装置(未图示)、传送装置3、喷雾装置4、固定支架5以及控制装置(未图示)。显影装置、吹风装置2、水洗装置1以及干燥装置依次并排设置,且传送装置3位于显影装置、吹风装置2、水洗装置1以及干燥装置的下方。水洗装置1可移动地安装在固定支架5上,吹风装置2固定安装在固定支架5上。
具体地,显影装置用于使显影液均匀分布在被显影物体(未图示)上,本实施例中,该被显影物体为玻璃基板。该显影装置的一侧设置有吹风装置2,被显影物体经过显影装置处理后再由吹风装置2处理。该显影装置为现有技术中常见的结构,在此不再赘述。
吹风装置2用于吹除残留在被显影物体上的显影液的吹风装置。本实施例中,吹风装置2为风刀,该风刀吹出的气流作用于被显影物体以去除残留的显影液。被显影物体经过吹风装置2处理后,能够去除大部分残留的显影液,之后被显影物体再通过水洗装置1处理。
水洗装置1用于清除残留在被显影物体上的显影液。该水洗装置1包括第一液刀11、第二液刀12、第一活动支架13以及第二活动支架14。其中,第一液刀11与第二液刀12能够喷出液体以清除残留在被显影物体上的显影液,第一液刀11位于靠近吹风装置2的一侧,第二液刀12位于靠近干燥装置的一侧。本实施例中,第一液刀11与第二液刀12喷出的液体均为水,其成本较低,且第一液刀11与第二液刀12喷出的液体类似刀状,其喷射力度很强,且清洗面积较大,能够有效地清除残留在被显影物体上的显影液。该实施例中,第一液刀11的出液方向与被显影物体垂直设置(即与被显影物体的显影表面垂直),第二液刀12的出液方向与被显影物体倾斜设置(即与被显影物体的显影表面倾斜)。第一液刀11的出液方向与第二液刀12的出液方向之间形成对流区域,也即第二液刀12的出液方向与第一液刀11的出液方向相互靠拢。优选地,第二液刀12的出液方向与被显影物体之间的夹角为30°~60°。最佳地,该夹角为45°。采用上述第一液刀11与第二液刀12的结构,清洗被显影物体时,第一液刀11与第二液刀12作用于被显影物体上能够起到水的搅拌作用,进而提高清除显影液的效果,从而提高产品的良品率。该实施例中,第一液刀11与第二液刀12连接在同一个进水连接件(未标号)上。在本发明的其它实施例中,第一液刀11与第二液刀12亦可以连接在不同的进水连接件上,可以使得第一液刀11与第二液刀12分别喷出不同压力的液体。
第一活动支架13用于使得第一液刀11可平行于被显影物体运动,第二活动支架14用于使得第二液刀12可平行于被显影物体运动。第一活动支架13与第二活动支架14均大致为板状结构,两者均可活动地安装在固定支架5上。本实施例中,固定支架5上开设有与被显影物体平行设置的滑动槽(未标号),第一活动支架13与第二活动支架14均可滑动地安装在该滑动槽内。采用上述第一活动支架13与第二活动支架14的结构,能够便于调整第一液刀11与第二液刀12之间的距离,进而能够调整两者之间形成对流区域的大小以改变清除显影液的效果。
传送装置3用于带动被显影物体依次位移通过显影装置、吹风装置2、水洗装置1与干燥装置。本实施例中,传送装置3为传动滚轮,控制装置用于控制传动滚轮传送被显影物体的速度,传动滚轮的转动速度可根据实际需要进行设定。
喷雾装置4用于清除残留在被显影物体上的显影液。该喷雾装置4位于水洗装置1与干燥装置之间,经过吹风装置2处理后的被显影物体首先通过水洗装置1处理再经过喷雾装置4处理。本实施例中,第二液刀12位于第一液刀11与喷雾装置4之间,喷雾装置4的出液方向与被显影物体之间的夹角为30°~60°,优选地,该夹角为45°。喷雾装置4喷出的液体为水,其喷出的水压小于第一液刀11与第二液刀12的水压,也即喷雾装置4的清除显影液的强度小于水洗装置1清除显影液的强度。采用喷雾装置4的结构,与水洗装置1相互配合,能够进一步提高清除显影液的效果,进而提高产品的良品率。该实施例中,喷雾装置4安装在第二活动支架14上,也即喷雾装置4与第二液刀12相对固定,使得水洗装置1与喷雾装置4的结构更加紧凑。在本发明的其它实施例中,喷雾装置4亦可以固定安装在固定支架5上。
干燥装置用于干燥经过水洗装置1与喷雾装置4处理过的被显影物体。本实施例中,干燥装置为热风机,该热风机吹出的气流作用于被显影物体以去除残留的水分或污染杂质等。
使用本发明提供的上述显影机时,经过显影装置处理之后的被显影物体首先通过吹风装置2处理,再经过水洗装置1与喷雾装置4处理,最后经过干燥装置处理。由于水洗装置1采用与被显影物体垂直设置的第一液刀11以及与被显影物体倾斜设置的第二液刀12的结构,清洗被显影物体过程中,第一液刀11的出液方向与第二液刀12的出液方向之间形成对流区域,能够提高清除显影液的效果,有效地避免被显影物体产生色差,从而提高产品的良品率。再者,采用喷雾装置4的结构,能够进一步提高清除显影液的效果。
上面结合附图对本发明的实施例进行了描述,但是本发明并不局限于上述的具体实施方式,上述的具体实施方式仅仅是示意性的,而不是限制性的,本领域的普通技术人员在本发明的启示下,在不脱离本发明宗旨和权利要求所保护的范围情况下,还可做出很多形式,这些均属于本发明的保护之内。
Claims (10)
1.一种显影机,包括用于使显影液均匀分布在被显影物体上的显影装置、用于清除残留在所述被显影物体上的显影液的水洗装置(1)、用于干燥经过所述水洗装置(1)处理过的所述被显影物体的干燥装置,以及用于带动所述被显影物体依次位移通过所述显影装置、所述水洗装置(1)与所述干燥装置的传送装置(3);其特征在于:所述显影机还包括用于吹除残留在所述被显影物体上的显影液的吹风装置(2),所述显影装置、所述吹风装置(2)、所述水洗装置(1)以及所述干燥装置依次并排设置,且所述传送装置(3)位于所述显影装置、所述吹风装置(2)、所述水洗装置(1)以及所述干燥装置的下方;所述水洗装置(1)包括第一液刀(11)与第二液刀(12);所述第一液刀(11)的出液方向与所述被显影物体垂直设置,所述第二液刀(12)的出液方向与所述被显影物体倾斜设置,且所述第一液刀(11)的出液方向与所述第二液刀(12)的出液方向之间形成对流区域。
2.根据权利要求1所述的显影机,其特征在于:所述显影机还包括位于所述水洗装置(1)与所述干燥装置之间的喷雾装置(4)。
3.根据权利要求2所述的显影机,其特征在于:所述第二液刀(12)位于所述第一液刀(11)与所述喷雾装置(4)之间。
4.根据权利要求2所述的显影机,其特征在于:所述喷雾装置(4)的出液方向与所述被显影物体之间的夹角为30°~60°。
5.根据权利要求1所述的显影机,其特征在于:所述第二液刀(12)的出液方向与所述被显影物体之间的夹角为30°~60°。
6.根据权利要求1所述的显影机,其特征在于:所述显影机还包括固定支架(5);所述水洗装置(1)还包括可活动地安装在所述固定支架(5)上的第一活动支架(13)与第二活动支架(14);所述第一液刀(11)安装在所述第一活动支架(13)上;所述第二液刀(12)安装在所述第二活动支架(14)上。
7.根据权利要求1所述的显影机,其特征在于:所述显影机还包括用于控制所述传送装置(3)传送所述被显影物体的速度的控制装置。
8.根据权利要求1所述的显影机,其特征在于:所述吹风装置为风刀。
9.根据权利要求1所述的显影机,其特征在于:所述传送装置(3)为传动滚轮。
10.一种显影机,包括用于使显影液均匀分布在被显影物体上的显影装置、用于清除残留在所述被显影物体上的显影液的水洗装置(1)、用于干燥经过所述水洗装置(1)处理过的所述被显影物体的干燥装置,以及用于带动所述被显影物体依次位移通过所述显影装置、所述水洗装置(1)与所述干燥装置的传送装置(3);其特征在于:所述显影机还包括用于吹除残留在所述被显影物体上的显影液的吹风装置(2),所述显影装置、所述吹风装置(2)、所述水洗装置(1)以及所述干燥装置依次并排设置,且所述传送装置(3)位于所述显影装置、所述吹风装置(2)、所述水洗装置(1)以及所述干燥装置的下方;所述水洗装置(1)包括第一液刀(11)与第二液刀(12);所述第一液刀(11)的出液方向与所述被显影物体垂直设置,所述第二液刀(12)的出液方向与所述被显影物体倾斜设置,且所述第一液刀(11)的出液方向与所述第二液刀(12)的出液方向之间形成对流区域;
所述显影机还包括位于所述水洗装置(1)与所述干燥装置之间的喷雾装置(4);所述第二液刀(12)位于所述第一液刀(11)与所述喷雾装置(4)之间;
所述喷雾装置(4)的出液方向与所述被显影物体之间的夹角为30°~60°;所述第二液刀(12)的出液方向与所述被显影物体之间的夹角为30°~60°。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1531029A (zh) * | 2003-03-12 | 2004-09-22 | 大日本屏影象制造株式会社 | 基板处理方法和基板处理装置 |
JP2005158911A (ja) * | 2003-11-25 | 2005-06-16 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | 搬送式基板処理装置 |
JP2008093577A (ja) * | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
CN102023497A (zh) * | 2009-09-16 | 2011-04-20 | 上海广电电子股份有限公司 | 一种有机电致发光显示面板显影设备及其方法 |
CN102905803A (zh) * | 2010-05-24 | 2013-01-30 | 昭和电工株式会社 | 清洗方法 |
-
2014
- 2014-05-09 CN CN201410195398.9A patent/CN103941562A/zh active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1531029A (zh) * | 2003-03-12 | 2004-09-22 | 大日本屏影象制造株式会社 | 基板处理方法和基板处理装置 |
JP2005158911A (ja) * | 2003-11-25 | 2005-06-16 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | 搬送式基板処理装置 |
JP2008093577A (ja) * | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
CN102023497A (zh) * | 2009-09-16 | 2011-04-20 | 上海广电电子股份有限公司 | 一种有机电致发光显示面板显影设备及其方法 |
CN102905803A (zh) * | 2010-05-24 | 2013-01-30 | 昭和电工株式会社 | 清洗方法 |
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