CN102011179A - 一种异形石英坩埚 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种异形石英坩埚，包括锅壁和锅底，锅壁和锅底为一整体，锅底为平面形，其中，锅壁的横截面为正多边形。本发明由于采用正六边形的设计，相同的容量相对于四边形单面面积变小，对石膏模具的收缩率要求降低，同时也由于单面面积的缩小，对坯体含水率的要求也相对降低，且对加热板的收缩率要求降低，提高了热转换率。
Description
技术领域
本发明涉及一种石英坩埚，尤其涉及一种异形石英坩埚。
背景技术
随着科技的进步，市场对单晶硅的品质要求有着具体细化到对硅片的品质要求，而坩埚的品质就会直接影响到单晶硅的品质。现有技术中，一般都是为圆底的石英坩埚，在收尾时，液态长晶硅料在圆形坩埚底部剩余料较多，造成一定程度的浪费。于是，有人生产出了四边形的坩埚，一定程度上解决了锅底余料的浪费，但是，这对模具的要求甚高，且单面面积较大，收缩率也较大，对加热板的要求较高，不易控制。
发明内容
本发明的目的在于解决上述的技术问题，提供一种异形石英坩埚。
本发明的目的通过以下技术方案来实现：
一种异形石英坩埚，包括锅壁和锅底，所述锅壁和锅底为一整体，锅底为平面形，所述锅壁的横截面为正多边形。
进一步地，以上所述的一种异形石英坩埚，所述锅壁的横截面为正六边形或正八边形中的一种。
本发明的有益效果主要体现在：由于采用六边形的设计，相同的容量相对于四边形单面面积变小，对石膏模具的收缩率要求降低，同时也由于单面面积的缩小，对坯体含水率的要求也相对降低，且对加热板的收缩率要求降低，提高了热转换率。
附图说明
下面结合附图对本发明技术方案作进一步说明：
图1：本发明的正六边形坩埚的锅壁横截面示意图。
图2：本发明的正八边形坩埚的锅壁横截面示意图。
图3：本发明石英坩埚的结构图
其中：
1、锅壁 2、锅底
具体实施方式
本发明揭示了一种异形石英坩埚，包括锅壁1和锅底2，锅壁1和锅底2为一整体，锅底2为平面形，锅壁1横截面为正多边形。如图1所示，异形石英坩埚的锅壁1横截面为正六边形，如图2所示，锅壁1横截面也可为正八边形。
由于坩埚中得到的单晶硅在使用时还需要进行一定的分切，为了不造成材料的浪费，且使得更容易分配切割，本发明采用的正多边形，其边数为双数，不采用单数边，而如果采用正八边形以上的正多边形，使得坩埚的制造工艺繁琐，单面面积再小反而不能满足实用的要求。
该坩埚是用石英材料通过注浆烧结得到，先将原料石英材料投入造粒设备中湿法造粒，再将浆料充分搅拌放置后倒入压力装置，注入石膏模具，脱水脱模，最后干燥烧结，得到坩埚。
本发明与现有技术相比具有以下优点：由于采用六边形的设计，相同的容量相对于四边形单面面积变小，对石膏模具的收缩率要求降低，同时也由于单面面积的缩小，对坯体含水率的要求也相对降低，且对加热板的收缩率要求降低，提高了热转换率。
本发明尚有多种具体的实施方式，凡采用等同替换或者等效变换而形成的所有技术方案，均落在本发明要求保护的范围之内。
Claims (2)
1.一种异形石英坩埚，包括锅壁(1)和锅底(2)，所述锅壁(1)和锅底(2)为一整体，锅底(2)为平面形，其特征在于：所述锅壁(1)的横截面为正多边形。
2.根据权利要求1所述的一种异形石英坩埚，其特征在于：所述锅壁(1)的横截面为正六边形或正八边形中的一种。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN 201010587599 CN102011179A (zh) | 2010-12-14 | 2010-12-14 | 一种异形石英坩埚 |
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| CN 201010587599 Pending CN102011179A (zh) | 2010-12-14 | 2010-12-14 | 一种异形石英坩埚 |
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|---|---|
| CN (1) | CN102011179A (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2010
- 2010-12-14 CN CN 201010587599 patent/CN102011179A/zh active Pending
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