CN202072797U - 多晶硅铸锭用石英坩埚加高装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种多晶硅铸锭用石英坩埚加高装置，呈规则方形结构，包括前后左右四个侧壁，上下部敞开，前后左右四个侧壁的下边沿分别设有连接卡套，四个侧壁的内表面涂有一层氮化硅涂层。该加高装置可与目前业内的石英坩埚精确的配合，降低石英坩埚的高度，而不减少单次装料量；或者直接于目前的石英坩埚上进行加高，使单次装料量增加；可重复使用多次，减少铸锭过程中石英坩埚的消耗，显著降低多晶硅铸锭的制造成本。

Description

多晶硅铸锭用石英坩埚加高装置

技术领域

本实用新型涉及一种可重复使用的多晶硅铸锭容器，尤其涉及一种多晶硅铸锭用石英坩埚加高装置。

背景技术

石英作为不可再生能源，用于多晶硅铸锭石英坩埚的石英原材料储藏日益减少，石英原材料价格也随之日益增长。

目前，对于多晶硅铸锭使用的坩埚，业内都是单次使用，不可重复使用，造成石英坩埚消耗成本居高不下。

所以，设计一种可重复使用的多晶硅铸锭用石英坩埚加高装置，减少石英材料的消耗，增加单次投料量，对降低多晶硅铸锭生产成本迫在眉睫。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种多晶硅铸锭用石英坩埚加高装置。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

多晶硅铸锭用石英坩埚加高装置，特点是：所述加高装置呈规则方形结构，包括前后左右四个侧壁，上下部敞开，所述前后左右四个侧壁的下边沿分别设有连接卡套，所述四个侧壁的内表面涂有一层氮化硅涂层。

进一步地，上述的多晶硅铸锭用石英坩埚加高装置，其中，所述加高装置的长度为878±4mm，宽度为878±4mm，高度为100～180mm，厚度为18～23mm。

更进一步地，上述的多晶硅铸锭用石英坩埚加高装置，其中，所述氮化硅涂层的厚度为800um。

本实用新型技术方案的实质性特点和进步主要体现在：

①本实用新型根据多晶铸锭炉的技术要求，设计的加高装置具有优异的导热性和高温抗折性，保证了铸锭过程中热场的均匀分布；

②加高装置能与目前业内的石英坩埚精确的配合，降低石英坩埚的高度，而不减少单次装料量；或者直接于目前的石英坩埚上进行加高，使单次装料量增加；

③该加高装置可重复使用多次，减少铸锭过程中石英坩埚的消耗，显著降低多晶硅铸锭的制造成本。

附图说明

下面结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明：

图1：本实用新型加高装置的剖切结构示意图；

图2：本实用新型加高装置的安装应用示意图。

图中各附图标记的含义见下表：

具体实施方式

如图1所示，多晶硅铸锭用石英坩埚加高装置，加高装置呈规则方形结构，包括前后左右四个侧壁1，上下部敞开，加高装置的长度为878±4mm，宽度为878±4mm，高度为100～180mm，厚度为18～23mm，前后左右四个侧壁的下边沿分别设有连接卡套3，四个侧壁的内表面涂有一层氮化硅涂层2，氮化硅涂层2的厚度为800um。氮化硅涂层2采用自动化喷涂，并且氮化硅涂层2与该装置采用高温反应烧结12h，使涂层与该装置具有较好的结合力。石英坩埚加高装置为碳化硅材料，高温抗折强度≥100MPa，导热系数：24W/MK。

具体应用时，如图2所示，将加高装置放置于石英坩埚4上，加高装置通过其前后左右四个侧壁下边沿的连接卡套3与石英坩埚4连接。

应用例1：

将目前使用的878A石英坩埚的壁高降低100mm，应用本实用新型加高装置，单炉投料量保持不变，但石英坩埚原材料使用减少四分之一，对于多晶硅铸锭厂家石英坩埚的消耗成本降低五分之一。

应用例2：

在目前使用的878A石英坩埚上直接应用本实用新型加高装置，单次投料量增加150kg，甚至更大。

本实用新型根据多晶铸锭炉的技术要求，设计的加高装置具有优异的导热性和高温抗折性，保证了铸锭过程中热场的均匀分布，同时该加高装置可重复使用多次，降低铸锭过程中石英坩埚的消耗，显著降低多晶硅铸锭的制造成本。

需要理解到的是：以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (3)

1.多晶硅铸锭用石英坩埚加高装置，其特征在于：所述加高装置呈规则方形结构，包括前后左右四个侧壁，上下部敞开，所述前后左右四个侧壁的下边沿分别设有连接卡套，所述四个侧壁的内表面涂有一层氮化硅涂层。

2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭用石英坩埚加高装置，其特征在于：所述加高装置的长度为878±4mm，宽度为878±4mm，高度为100～180mm，厚度为18～23mm。

3.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭用石英坩埚加高装置，其特征在于：所述氮化硅涂层的厚度为800um。

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