CN201305659Y - 多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅喷涂装置 - Google Patents

多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅喷涂装置 Download PDF

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左云翔
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Abstract

本实用新型涉及一种用于多晶硅太阳能电池铸锭用的石英坩埚的氮化硅喷涂装置。主要用于在石英坩埚内壁喷涂氮化硅薄膜。所述装置包括石英坩埚(1)、雾化头(2)、压缩空气站(3)、石墨加热板(4)、低压容器(5)、阀门(6)、搅拌器(8)和盛氮化硅浆容器(9)，所述低压容器(5)与压缩空气站(3)相连，所述石英坩埚(1)置于密闭的低压容器(5)内，石墨加热板(4)设置于石英坩埚(1)底部，雾化头(2)设置于石英坩埚(1)内，雾化头(2)通过管路(7)与盛氮化硅浆容器(9)相连，管路(7)上设有阀门(6)，盛氮化硅浆容器(9)内设置有搅拌器(8)。采用本实用新型装置在石英坩埚的内表面喷涂氮化硅合理、洁净和经济。

Description

多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅喷涂装置
(一)技术领域
本实用新型涉及一种用于多晶硅太阳能电池铸锭用的石英坩埚的氮化硅喷涂装置。主要用于在石英坩埚内壁喷涂氮化硅薄膜。属太阳能电池技术领域。
(二)背景技术
多晶硅铸锭采用石英坩埚作为容器，多晶硅在其中熔融、冷却、退火结晶。由于普通石英坩埚杂质含量大，高纯坩埚成本又太高，而且坩埚会与熔融硅产生如下反应：
SiO2+Si＝2SiO
引起粘埚现象发生，同时对成品电池片电性能不利的氧元素和杂质元素也能混入锭中。所以采用的方法是在普通石英坩埚内壁喷涂一层氮化硅。
在本实用新型作出以前，以往采用的多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅喷涂工艺是：将粉末氮化硅和去离子水按照一定配比制成浆状，在常压下喷涂在坩埚内壁，在普通烘箱中烘干。它主要存在以下不足：没有注意喷涂和烘干过程中洁净度的需求。
(三)发明内容
本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种合理、洁净和经济的多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅喷涂装置。
本实用新型的目的是这样实现的：一种多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅喷涂装置，所述装置包括石英坩埚、雾化头、压缩空气站、石墨加热板、低压容器、阀门、搅拌器和盛氮化硅浆容器，所述低压容器与压缩空气站相连，所述石英坩埚置于密闭的低压容器内，石墨加热板设置于石英坩埚底部，雾化头设置于石英坩埚内，雾化头通过管路与盛氮化硅浆容器相连，管路上设有阀门，盛氮化硅浆容器内设置有搅拌器。
本实用新型有以下特点：
1、氮化硅膜能阻止高温熔融的硅液与石英坩埚反应，避免出现粘埚现象。
2、同时氮化硅膜的出现，替代了高纯石英坩埚的使用，能节约成本，减少投资。
3、还能最大程度阻止对成品电池片电性能不利的氧元素和杂质元素的混入，为电池片的质量提供了保障。
(四)附图说明
图1为本实用新型多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅喷涂装置示意图。
图中：
石英坩埚1
雾化头2
压缩空气站3
石墨加热板4
低压容器5
阀门6
管路7
搅拌器8
盛氮化硅浆容器9
出气口10。
(五)具体实施方式
参见图1，本实用新型所涉及的多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅喷涂装置，主要由石英坩埚1、雾化头2、压缩空气站3、石墨加热板4、低压容器5、阀门6、搅拌器8和盛氮化硅浆容器9组成。所述低压容器5与压缩空气站3相连，所述石英坩埚1置于密闭的低压容器5内，石墨加热板4设置于石英坩埚1底部，雾化头2设置于石英坩埚1内，雾化头2通过管路7与盛氮化硅浆容器9相连，管路7上设有阀门6，盛氮化硅浆容器9内设置有搅拌器8。

Claims (1)

1、一种多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅喷涂装置，其特征在于：所述装置包括石英坩埚(1)、雾化头(2)、压缩空气站(3)、石墨加热板(4)、低压容器(5)、阀门(6)、搅拌器(8)和盛氮化硅浆容器(9)，所述低压容器(5)与压缩空气站(3)相连，所述石英坩埚(1)置于密闭的低压容器(5)内，石墨加热板(4)设置于石英坩埚(1)底部，雾化头(2)设置于石英坩埚(1)内，雾化头(2)通过管路(7)与盛氮化硅浆容器(9)相连，管路(7)上设有阀门(6)，盛氮化硅浆容器(9)内设置有搅拌器(8)。
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Assignor: Jiangyin Hairun Solar Energy Power Co., Ltd.

Contract record no.: 2011320000796

Denomination of utility model: Silicon nitride spraying device of quartz crucible for multi-crystal silicon solar battery ingot casting

Granted publication date: 20090909

License type: Exclusive License

Record date: 20110610

ASS Succession or assignment of patent right

Owner name: HAREON SOLAR TECHNOLOGY CO., LTD.

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Effective date: 20120112

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TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20120112

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Patentee after: Hareon Solar Technology Co., Ltd.

Address before: 214408, No. 6, Huang Tong Industrial Park, Xia Yue town, Jiangyin, Jiangsu

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Contract record no.: 2011320000796

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