CN201421252Y - 一种平底石英坩埚 - Google Patents
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Abstract
一种平底石英坩埚，属于坩埚炉技术领域，包括锅壁和锅底，锅壁和锅底为一整体，锅壁为圆柱形，锅底为平面形。锅壁底部和锅底相交处为圆弧形，圆弧弧度较小。本实用新型优点在于单晶硅拉制收尾前，长晶硅料在圆形坩埚底部剩余较少，节省了加工硅料，降低了生产成本；在高温加工过程中，石英坩埚内液面径向的温度、梯度改变较小或者不改变，对长晶非常有利，提高了产品质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种石英坩埚，特别是涉及一种平底石英坩埚。
背景技术
单晶硅棒是生产单晶硅片的原材料，随着国内和国际市场对单晶硅片需求量的快速增加，单晶硅棒的市场需求也呈快速增长的趋势。其中85％的单晶硅是用直拉法生产的，直拉法生产单晶硅时需要将高纯度长晶硅料置于石英坩埚内，加热到其熔点以上，使其液化，现在应用的冶炼单晶硅棒的石英坩埚，一般为圆底石英坩埚(图1)，在收尾前，液态长晶硅料在圆形坩埚底部剩余较多，由于硅料价格比较昂贵，造成一定程度的浪费。在高温加工过程中，石英坩埚内液面径向的温度、梯度改变较大，对长晶非常不利。
实用新型内容
本实用新型的目的是针对上述现有技术的缺陷，提供了一种平底石英坩埚，在收尾前，长晶硅料在圆形坩埚底部剩余较少，在高温加工过程中，石英坩埚内液面径向的温度、梯度改变较小或者不改变，对长晶非常有利。
为了实现上述目的本实用新型采取的技术方案是：一种平底石英坩埚，包括锅壁和锅底，锅壁和锅底为一整体，锅壁为圆柱形，锅底为平面形。
所述锅壁底部和锅底相交处为圆弧形，圆弧弧度较小。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
(1)在收尾前，长晶硅料在圆形坩埚底部剩余较少，节省了加工硅料，降低了生产成本；
(2)在高温加工过程中，石英坩埚内液面径向的温度、梯度改变较小或者不改变，对长晶非常有利，提高了产品质量。
附图说明
附图1圆底石英坩埚结构图；
附图2本实用新型平底石英坩埚结构图
附图标记说明：1锅壁 2锅底
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为对本实用新型的限定。
如图2所示，一种平底石英坩埚，包括锅壁1和锅底2，锅壁1和锅底2为一整体，锅壁1为圆柱形，锅底2为平面形。锅壁1底部和锅底2相交处为圆弧形，圆弧弧度较小。
以上所述的实施例，只是本实用新型较优选的具体实施方式的一种，本领域的技术人员在本实用新型技术方案范围内进行的通常变化和替换都应包含在本实用新型的保护范围内。
Claims (2)
1.一种平底石英坩埚，包括锅壁和锅底，锅壁和锅底为一整体，锅壁为圆柱形，其特征在于：锅底为平面形。
2.根据权利要求1所述的一种平底石英坩埚，其特征在于：锅壁底部和锅底相交处为圆弧形。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2009201539860U CN201421252Y (zh) | 2009-05-20 | 2009-05-20 | 一种平底石英坩埚 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2009201539860U CN201421252Y (zh) | 2009-05-20 | 2009-05-20 | 一种平底石英坩埚 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN201421252Y true CN201421252Y (zh) | 2010-03-10 |
Family
ID=41807911
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2009201539860U Ceased CN201421252Y (zh) | 2009-05-20 | 2009-05-20 | 一种平底石英坩埚 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN201421252Y (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102011179A (zh) * | 2010-12-14 | 2011-04-13 | 维苏威太阳能坩埚(苏州)有限公司 | 一种异形石英坩埚 |
-
2009
- 2009-05-20 CN CN2009201539860U patent/CN201421252Y/zh not_active Ceased
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102011179A (zh) * | 2010-12-14 | 2011-04-13 | 维苏威太阳能坩埚(苏州)有限公司 | 一种异形石英坩埚 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| AV01 | Patent right actively abandoned |
Granted publication date: 20100310 Effective date of abandoning: 20130424 |
|
| C20 | Patent right or utility model deemed to be abandoned or is abandoned | ||
| C35 | Partial or whole invalidation of patent or utility model | ||
| IW01 | Full invalidation of patent right |
Decision date of declaring invalidation: 20130926 Decision number of declaring invalidation: 21369 Granted publication date: 20100310 |