CN102010208A - 硅锭线切割废料陶瓷导液管的制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种硅锭线切割废料陶瓷导液管的制备方法，包括陶瓷粉料制备、成型、烧成，其特征在于：将硅锭线切割废料、粒度为0.01-3μm的氮化铝粉体、粒度为0.01-3μm的氮化硅粉体、粒度为0.01-3μm二氧化硅粉体、锂玻璃粉按重量比为40～70∶8～15∶8～15∶8～15∶6～15均匀混合，经等静压成型，然后在1600～1800℃×1～2小时氮气气氛烧制成硅锭线切割废料陶瓷导液管。本发明制备的硅锭线切割废料陶瓷导液管具有强度高，生产效率高，使用寿命长等特点。

Description

硅锭线切割废料陶瓷导液管的制备方法
技术领域
本发明涉及一种硅锭线切割废料陶瓷导液管的制备方法，属于陶瓷制备技术领域。
背景技术
硅锭线切割废料陶瓷导液管目前采用钛酸铝注浆、等静压成型技术生产，其缺点是使用寿命短、生产效率低，人工操作，产品性能不稳定。
发明内容
本发明的目的在于提供一种能克服上述缺陷、性能优良的硅锭线切割废料陶瓷导液管的制备方法。其技术方案为：
包括陶瓷粉料制备、成型、烧成，将硅锭线切割废料、粒度为0.01-3μm的氮化铝粉体、粒度为0.01-3μm的氮化硅粉体、粒度为0.01-3μm二氧化硅粉体、锂玻璃粉按重量比为40～70∶8～15∶8～15∶8～15∶6～15均匀混合，经等静压成型，然后在1600～1800℃×1～2小时氮气气氛烧制成硅锭线切割废料陶瓷导液管。
所述的硅锭线切割废料陶瓷导液管的制备方法，硅锭线切割废料粒度小于5μm。
所述的硅锭线切割废料陶瓷导液管的制备方法，锂玻璃粉粒度小于3μm。
本发明与现有技术相比，其优点为：
1、本发明生产的硅锭线切割废料陶瓷导液管是采用氮化硅、氮化铝和二氧化硅粉体，在烧结过程中形成了塞隆陶瓷结合硅锭线切割废料，由于添加了锂玻璃粉进一步降低烧成温度并扩大烧成范围、使得硅锭线切割废料陶瓷导液管的显微结构均匀，热膨胀系数低，强度高，气密性好，整体可靠性高，使用寿命长。
2、本发明中主要由于使用了硅锭线切割废料和锂玻璃粉，使生产成本大幅度降低。
具体实施方式
实施例1
将硅锭线切割废料、粒度为3μm的氮化铝粉体、粒度为3μm的氮化硅粉体、粒度为3μm二氧化硅粉体、锂玻璃粉按重量比为40∶15∶15∶15∶15均匀混合，经等静压成型，在1600℃×2小时氮气气氛烧制，制成硅锭线切割废料陶瓷导液管。
实验所用原料的纯度均为工业纯。
所获得硅锭线切割废料陶瓷导液管的耐压强度为360MPa.，气密性大于0.03Mpa/mm，热膨胀系数小于2.3×10-6/℃，使用寿命大于180天。
实施例2
将硅锭线切割废料、粒度为1μm的氮化铝粉体、粒度为1μm的氮化硅粉体、粒度为1μm二氧化硅粉体、锂玻璃粉按重量比为55∶11∶11∶12∶11均匀混合，经等静压成型，在1700℃×1.5小时氮气气氛烧制，制成硅锭线切割废料陶瓷导液管。
实验所用原料的纯度均为工业纯。
所获得硅锭线切割废料陶瓷导液管耐压强度为380MPa.，气密性大于0.03Mpa/mm，热膨胀系数小于1.8×10-6/℃，使用寿命大于180天。
实施例3
将硅锭线切割废料、粒度为0.01μm的氮化铝粉体、粒度为0.01μm的氮化硅粉体、粒度为0.01μm二氧化硅粉体、锂玻璃粉按重量比为70∶8∶8∶8∶6均匀混合，经等静压成型，在1800℃×1小时氮气气氛烧制，制成硅锭线切割废料陶瓷导液管。
实验所用原料的纯度均为工业纯。
所获得硅锭线切割废料陶瓷导液管耐压强度为340MPa.，气密性大于0.03Mpa/mm，热膨胀系数小于2.0×10-6/℃，使用寿命大于180天。

Claims (3)

1.一种硅锭线切割废料陶瓷导液管的制备方法，包括陶瓷粉料制备、成型、烧成，其特征在于：将硅锭线切割废料、粒度为0.01-3μm的氮化铝粉体、粒度为0.01-3μm的氮化硅粉体、粒度为0.01-3μm二氧化硅粉体、锂玻璃粉按重量比为40～70∶8～15∶8～15∶8～15∶6～15均匀混合，经等静压成型，然后在1600～1800℃×1～2小时氮气气氛烧制成硅锭线切割废料陶瓷导液管。
2.根据权利要求1所述的硅锭线切割废料陶瓷导液管的制备方法，其特征在于：硅锭线切割废料粒度小于5μm。
3.根据权利要求1所述的硅锭线切割废料陶瓷导液管的制备方法，其特征在于：锂玻璃粉为锂玻璃制成粒度小于3μm的粉体。
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