CN101996767A - 薄膜电容器及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种改良了的薄膜电容器，能够确保充分的耐压，而且能够以更高水平实现小型、大容量化。将多个电介质和至少一个金属蒸镀膜层(14a、14b)叠层，并且，使该多个电介质由一个树脂薄膜层(12)和至少一个蒸镀聚合膜(16a)构成，而且，使用将该至少一个蒸镀聚合膜层(16a)叠层形成在该树脂薄膜层(12)和该金属蒸镀膜(14a、14b)中的至少任一方上而成的基本元件(10)构成薄膜电容器。

Description

薄膜电容器及其制造方法
技术领域
本发明涉及薄膜电容器，尤其涉及卷绕型及叠层型的薄膜电容器的改良。
背景技术
以往，作为电子仪器所使用的薄膜电容器，已知卷绕型和叠层型的薄膜电容器。卷绕型的薄膜电容器，例如，像在日本特开2007-220720号公报(专利文献1)等中明确记载的那样，通过在由聚丙烯或聚对苯二甲酸乙二醇酯等绝缘性的树脂薄膜(层)构成的电介质(层)的一个面上，将通过真空蒸镀等而叠层形成有金属蒸镀膜(层)的叠层薄膜(金属化薄膜)或多个基本元件作为电极膜重叠并卷绕而构成。另外，在日本特开2008-91605号公报(专利文献2)中还明确记载了如下所述的卷绕型的电容器，在使形成有金属蒸镀膜的叠层薄膜和没有形成金属蒸镀膜的树脂薄膜重叠在由树脂薄膜构成的电介质的两面上的状态下，一同卷绕而形成该卷绕型的电容器。另一方面，叠层型的薄膜电容器，例如在日本专利第3908094号公报(专利文献3)中明确记载的那样，多个上述那样的叠层薄膜以中间夹着树脂薄膜而位于该树脂薄膜的两侧的方式被叠层，由此形成叠层型的薄膜电容器。总而言之，卷绕型的薄膜电容器，是在包含树脂薄膜(层)的电介质(层)和金属蒸镀膜(层)以交替取位的方式相互重叠的状态下进行卷绕而构成的；叠层型的薄膜电容器，是包含树脂薄膜(层)的电介质(层)和金属蒸镀膜(层)以交替取位的方式进行叠层而构成的。
近年来，随着电子仪器的小型、高性能化的要求的提高，对于薄膜电容器，小型、大容量化的要求也越来越强。因此，在上述那样的叠层型或卷绕型的薄膜电容器中，进行如下的研究：通过使构成电介质层的树脂薄膜薄壁化，并提高树脂薄膜的电容率，由此同时实现薄膜电容器的小型化和大容量化。
不过，若使树脂薄膜薄壁化，则薄膜材料中的杂质(残渣)的影响会变大，会导致树脂薄膜的耐压降低。因此，自然在树脂薄膜的薄壁化方面存在限度。因此，在具有以往构造的薄膜电容器中，仅仅通过使树脂薄膜薄壁化来确保高耐压并实现能够充分满足所要求性能的小型、大容量化(高性能化)，是极其困难的。
此外，为了使树脂薄膜的耐压上升，只要降低其表面粗糙度、提高表面平滑性即可。但是，以往的薄膜电容器所使用的树脂薄膜由延伸薄膜构成。因此，在这样的树脂薄膜中，想要获得能够达到充分提高耐压的程度的表面平滑性并不容易。
专利文献1：日本特开2007-220720号公报
专利文献2：日本特开2008-91605号公报
专利文献3：日本专利第3908094号公报
发明内容
在此，本发明是以上述情况作为背景而做出的，其要解决的课题在于，在对包含树脂薄膜的电介质层的表面上叠层形成有金属蒸镀膜层的平板状或片状的基本元件进行卷绕、或对多个该基本元件及性能叠层而成的薄膜电容器中，提供一种改良的构造，能够确保充分的耐压，而且能够以更高水平实现小型、大容量化。另外，本发明还以提供一种有利地制造这样的薄膜电容器的方法作为其要解决的课题。
为了解决上述课题或根据本说明书整体的记载以及附图能够掌握的课题，本发明可以在以下列举的各种方式中优选地实施而得到。另外，以下记载的各种实施方式可以以任意的组合运用。此外，本发明的实施方式或技术特征不受以下记载内容的任何限定，而是应根据整个说明书的记载以及附图所公开的发明思想来认识和理解。
(1)一种薄膜电容器，是使用具有将多个电介质层和至少一个金属蒸镀膜层叠层而成的构造的基本元件而得到的，其特征在于，所述多个电介质层由一个树脂薄膜层和至少一个蒸镀聚合膜层构成，且该至少一个蒸镀聚合膜层叠层形成在该树脂薄膜层上及/或所述金属蒸镀膜层上。
(2)如上述方式(1)所述的薄膜电容器，所述基本元件构成为：在所述树脂薄膜层的两面上分别形成所述金属蒸镀膜层，并且，使所述蒸镀聚合膜层进一步叠层形成在这些金属蒸镀膜层中的至少任一方上。
(3)如上述方式(2)所述的薄膜电容器，是使用卷绕所述基本元件而成的卷绕型元件构成的。该薄膜电容器是使用卷绕所述基本元件而成的卷绕型元件而构成的。
(4)如上述方式(3)所述的薄膜电容器，所述卷绕型元件构成为，以使所述蒸镀聚合膜层成为内侧的方式对所述基本元件进行卷绕。
(5)如上述方式(1)或(2)所述的薄膜电容器，该薄膜电容器是使用复合元件构成的，所述复合元件是多个所述基本元件以如下方式重合而成的：该多个所述基本元件形成仅所述树脂薄膜层位于所述金属蒸镀膜层之间的部分和仅所述蒸镀聚合膜层位于该金属蒸镀膜层之间的部分。
(6)如上述方式(2)至(5)的任一项所述的薄膜电容器，所述蒸镀聚合膜层具有0.01～30μm的范围内的厚度。
(7)如上述方式(1)所述的薄膜电容器，所述基本元件通过如下方式构成：在所述树脂薄膜层的单面或两面上分别形成所述蒸镀聚合膜层，并且，使所述金属蒸镀膜层进一步叠层形成在这些蒸镀聚合膜层中的至少任一方上。
(8)如上述方式(7)所述的薄膜电容器，所述蒸镀聚合膜层具有0.001～10μm的范围内的厚度。
(9)如上述方式(7)或(8)所述的薄膜电容器，所述基本元件通过如下方式构成：在所述树脂薄膜层的两面上分别形成所述蒸镀聚合膜层，并且，在这些蒸镀聚合膜层上分别形成所述金属蒸镀膜层，而且，使另外的蒸镀聚合膜层或另外的树脂薄膜层作为电介质层叠层形成在这些金属蒸镀膜层中的至少任一方上。
(10)如上述方式(9)所述的薄膜电容器，该薄膜电容器使用卷绕所述基本元件而成的卷绕型元件构成。
(11)如上述方式(10)所述的薄膜电容器，所述卷绕型元件构成为，以使所述蒸镀聚合膜层成为内侧的方式对所述基本元件进行卷绕。
(12)如上述方式(7)至(9)的任一项所述的薄膜电容器，所述多个基本元件使用复合元件而构成，该复合元件以使所述电介质层的至少一个位于相邻的基本元件的所述金属蒸镀膜层之间的方式重合而成。
(13)如上述方式(1)至(12)的任一项所述的薄膜电容器，所述蒸镀聚合膜层由聚脲树脂膜形成。
(14)如上述方式(1)至(13)的任一项所述的薄膜电容器，所述蒸镀聚合膜层具有三维交联构造。
(15)如上述方式(1)至(14)的任一项所述的薄膜电容器，所述蒸镀聚合膜层具有比所述树脂薄膜层高的电容率。
(16)如上述方式(1)所述的薄膜电容器，所述基本元件具有将所述蒸镀聚合膜层和所述金属蒸镀膜层交替地多层叠层形成在所述树脂薄膜层上而成的构造。
(17)一种薄膜电容器的制造方法，其特征在于，包括：准备上述方式(1)至(16)的任一项所述的基本元件的工序；使用重合多个该基本元件而得到的复合元件或使用卷绕该基本元件而得到的卷绕型元件，得到作为目标的薄膜电容器的工序。
(18)一种薄膜电容器的制造方法，其特征在于，包括如下工序：在在树脂薄膜层的单面或两面上叠层形成蒸镀聚合膜层而形成的复合电介质层的一个面上，使用多个叠层配置有金属蒸镀膜层的基本元件，将这些多个基本元件以该复合电介质层和该金属蒸镀膜层交替取位的方式进行叠层。
(19)一种薄膜电容器的制造方法，其特征在于，包括如下工序：在在树脂薄膜层的单面或两面上叠层形成蒸镀聚合膜层而成的复合电介质层的两面上，分别叠层配置金属蒸镀膜层，并且，在这些金属蒸镀膜层中的任一个的与该复合电介质层侧相反侧的面上，使用进一步叠层配置有另外的该蒸镀聚合膜层的多个基本元件，将这些多个基本元件以使该蒸镀聚合膜层和该金属蒸镀膜层相互重合的方式进行叠层。
(20)一种薄膜电容器的制造方法，其特征在于，包括如下工序：使用至少一个第一基本元件和至少一个第二基本元件，该第一基本元件中，在在树脂薄膜层的单面或两面叠层形成蒸镀聚合膜层而成的复合电介质层的一个面上，叠层配置有金属蒸镀膜层；该第二基本元件，在该复合电介质的两面上，分别叠层配置有该金属蒸镀膜层，并且，在这些金属蒸镀膜层中的任一方的与该复合电介质层侧相反侧的面上，进一步叠层配置有该蒸镀聚合膜层，将这些第一基本元件和第二基本元件以该蒸镀聚合膜层与该金属蒸镀膜层相互重合的方式进行叠层。
(21)一种薄膜电容器的制造方法，其特征在于，包括如下工序：使用至少一个第三基本元件和至少一个第四基本元件，该第三基本元件中，在在树脂薄膜层的单面或两面叠层形成蒸镀聚合膜层而成的复合电介质层的两个面上，分别叠层配置有金属蒸镀膜层；该第四基本元件，在该复合电介质的两面上，分别叠层配置有该金属蒸镀膜层，并且，在这些金属蒸镀膜层的两方的与该复合电介质层侧相反侧的面上，进一步叠层配置有该蒸镀聚合膜层，将这些第三基本元件和第四基本元件以该蒸镀聚合膜层与该金属蒸镀膜层相互重合的方式进行叠层。
(22)一种薄膜电容器的制造方法，其特征在于，包括如下工序：在在树脂薄膜层的单面或两面上叠层形成蒸镀聚合膜层而成的复合电介质层的一个面上，使用多个叠层配置有金属蒸镀膜层的基本元件，在该复合电介质层和该金属蒸镀膜层以交替取位的方式重合的状态下，对这些多个基本元件卷绕。
(23)一种薄膜电容器的制造方法，其特征在于，包括如下工序：在在树脂薄膜层的单面或两面上叠层形成有蒸镀聚合膜层而成的复合电介质层的两面上，分别叠层配置有金属蒸镀膜层，并且，在这些金属蒸镀膜层中的任一方的与该复合电介质层侧相反侧的面上，使用进一步叠层配置有该蒸镀聚合膜层的基本元件，并对其进行卷绕。
(24)一种薄膜电容器的制造方法，其特征在于，包括如下工序：使用至少一个第一基本元件和至少一个第二基本元件，该第一基本元件中，在在树脂薄膜层的单面或两面叠层形成蒸镀聚合膜层而成的复合电介质层的一个面上，叠层配置有金属蒸镀膜层；该第二基本元件，在该复合电介质的两面上，分别叠层配置有该金属蒸镀膜层，并且，在这些金属蒸镀膜层中的至少任一方的与该复合电介质层侧相反侧的面上，进一步叠层配置有该蒸镀聚合膜层，将这些第一基本元件和第二基本元件以该蒸镀聚合膜层与该金属蒸镀膜层相互重合的方式进行叠层。
(25)一种薄膜电容器的制造方法，其特征在于，包括如下工序：使用至少一个第三基本元件和至少一个第四基本元件，该第三基本元件中，在在树脂薄膜层的单面或两面叠层形成蒸镀聚合膜层而成的复合电介质层的两个面上，分别叠层配置有金属蒸镀膜层；该第四基本元件，在该复合电介质的两面上，分别叠层配置有该金属蒸镀膜层，并且，在这些金属蒸镀膜层的两方的与该复合电介质层侧相反侧的面上，进一步叠层配置有该蒸镀聚合膜层，将这些第三基本元件和第四基本元件以该蒸镀聚合膜层与该金属蒸镀膜层相互重合的方式进行叠层。
发明的效果
即，如前所述，现有的卷绕型或叠层型的薄膜电容器仅具有构造(A)，该构造(A)中，金属蒸镀膜将构成电介质层的树脂薄膜夹在中间，而位于该树脂薄膜的两侧。对此，在根据本发明的叠层型和卷绕型的薄膜电容器中，在金属蒸镀膜层上叠层形成蒸镀聚合膜层而成的结构，不仅具有上述A构造，还能够导入构造(B)，该构造(B)中，金属蒸镀膜层将蒸镀聚合膜层夹在中间，该金属蒸镀膜层位于蒸镀聚合膜层的两侧。在该B构造中，能够对蒸镀聚合膜层进行毫微级的膜厚控制，不仅能够形成极薄且均匀的膜厚，还能使膜中的杂质量充分减少。由此，在这样的B构造部位，能够有效提高静电容量，并且能够有利地实现其薄壁化。
因此，在根据本发明的薄膜电容器中，不必使构成一个电介质层的树脂薄膜层极端地薄壁化或减少薄膜材料中的杂质，便能够谋求整个电容器的小型化，同时能够有效地使静电容量增大。
另外，在根据本发明的薄膜电容器中，由于树脂薄膜层没有被极端地薄壁化，因此，不会由于树脂薄膜层的材料中的杂质的影响而引起耐压降低的问题。而且，例如，在使用高速收卷式装置并通过金属蒸镀在树脂薄膜层上连续地形成金属蒸镀膜层时，能够避免因高速收卷而在树脂薄膜层上产生褶皱。而且，还具有在金属蒸镀工序中，在高温的金属原子附着在树脂薄膜层上时，不会引起树脂薄膜层产生热损伤(熱負け)情况的特征。
另一方面，在根据本发明的叠层型和卷绕型的薄膜电容器中，对于在构成一个电介质层的树脂薄膜层上叠层形成有蒸镀聚合膜层的结构来说，蒸镀聚合膜层的膜厚形成得极薄，并且，膜中的杂质量充分减少。由此，能够同时充分地提高蒸镀聚合膜层的电容率和耐压。另外，蒸镀聚合膜层其膜厚均匀，能够充分提高表面平滑性。
因此，在本发明的薄膜电容器中，即使树脂薄膜层被薄壁化，由于叠层形成在其上的蒸镀聚合膜层的存在，在电介质层中，能够有利地同时实现高电容率和高耐压。而且，即使树脂薄膜层由延伸薄膜构成，也能够容易且有效地提高树脂薄膜层的表面的平滑性，由此，能够有利地提高电介质层的耐压。
因此，在根据本发明的薄膜电容器中，无论是叠层型还是卷绕型，都能够确保充分的耐压，同时有利地实现小型化和大容量化。而且，作为其结果，能够以更高的水平实现相对于近年的薄膜电容器的小型、高性能化的要求。
而且，根据本发明的薄膜电容器的制造方法，无论叠层型还是卷绕型，都能够极有利地制造出确保充分耐压且能够有利地同是谋求小型化和大容量化的薄膜电容器。
附图说明
图1是表示叠层薄膜的一例的局部放大剖视说明图，该叠层薄膜提供了构成具有本发明构造的薄膜电容器的基本元件。
图2是表示将图1所示的叠层薄膜卷绕而成的卷绕型元件的剖视说明图。
图3是表示叠层薄膜的其他例的、与图1相对应的图，该叠层薄膜提供了构成具有本发明构造的薄膜电容器的基本元件。
图4是表示将多个图1所示的叠层薄膜叠层而成的复合元件的局部放大剖视说明图。
图5是表示叠层薄膜的另外其他例的局部放大剖视说明图，该叠层薄膜提供了构成具有本发明构造的薄膜电容器的基本元件。
图6是表示将图5所示的叠层薄膜卷绕而成的卷绕型元件的剖视说明图。
图7是表示将多个图5所示的叠层薄膜叠层而成的复合元件的局部放大剖视说明图。
图8是表示叠层薄膜的另一例的、与图1相对应的图，该叠层薄膜提供了构成具有本发明构造的薄膜电容器的基本元件。
图9是表示将图8所示的叠层薄膜卷绕而成的卷绕型元件的剖视说明图。
图10是表示将多个图8所示的叠层薄膜叠层而成的复合元件的局部放大剖视说明图。
图11是表示叠层薄膜的又一例的、与图1相对应的图，该叠层薄膜提供了构成具有本发明构造的薄膜电容器的基本元件。
图12是表示叠层薄膜的其他例的、与图1相对应的图，该叠层薄膜提供了构成具有本发明构造的薄膜电容器的基本元件。
图13是表示叠层薄膜的另外其他例的、与图1相对应的图，该叠层薄膜提供了构成具有本发明构造的薄膜电容器的基本元件。
图14是表示将图1所示的叠层薄膜和图5所示的叠层薄膜叠层而成的复合元件的部分放大说明图。
图15是表示叠层薄膜的另一例的剖视说明图，该叠层薄膜提供了构成具有本发明构造的薄膜电容器的基本元件。
图16是示意地表示图15所示的叠层薄膜的制造装置的说明图。
图17是使用图15所示的叠层薄膜形成的、具有本发明的构造的薄膜电容器的剖视说明图。
图18是表示叠层薄膜的另外其他例的、与图1相对应的图，该叠层薄膜提供了构成具有本发明构造的薄膜电容器的基本元件。
图19是表示叠层薄膜的另一例的、与图1相对应的图，该叠层薄膜提供了构成具有本发明构造的薄膜电容器的基本元件。
图20是表示叠层薄膜的又一例的、与图1相对应的图，该叠层薄膜提供了构成具有本发明构造的薄膜电容器的基本元件。
附图标记说明
10、19、21、34、40、42、44、50、52、56、78、80、82叠层薄膜
12、22树脂薄膜
14a、28a第一金属蒸镀膜
14b、28b第二金属蒸镀膜
16a、24a第一蒸镀聚合膜
16b、24b第二蒸镀聚合膜
18、30、36卷绕型元件
20、32、38、54复合元件
24c第三蒸镀聚合膜
24d第四蒸镀聚合膜
26复合电介质
76薄膜电容器
具体实施方式
以下，为了更具体地明确本发明，参照附图详细说明本发明的实施方式。
首先，图1中，示出了提供构成本发明的薄膜电容器的基本元件的叠层薄膜的一例处于卷绕前的状态。根据图1可以明确，片状的叠层薄膜10具有作为电介质的树脂薄膜12，并由该树脂薄膜12构成叠层构造中的一个电介质层。在此，该树脂薄膜12由聚丙烯制成的延伸薄膜构成，具有1～10μm左右的厚度。此外，树脂薄膜12的形成材料并非限定为聚丙烯。例如，可以取代聚丙烯适宜地使用聚对苯二甲酸乙二醇酯或聚苯硫醚、聚萘二甲酸乙二醇酯等作为现有薄膜电容器的树脂薄膜的形成材料进行使用的树脂材料。
在树脂薄膜12的一个面(图1中的树脂薄膜12的上面)和另一个面(图1中的树脂薄膜12的下面)上，分别叠层形成有第一金属蒸镀膜14a和第二金属蒸镀膜14b，分别构成一层。这些第一及第二金属蒸镀膜14a、14b发挥作为内部电极膜的作用。而且，这样的第一及第二金属蒸镀膜14a、14b，是通过在真空中实施蒸镀法而在树脂薄膜12上成膜的，所述蒸镀法将形成薄膜电容器的内部电极膜的公知的金属材料作为蒸镀材料使用。各金属蒸镀膜14a、14b的膜电阻值为1～50Ω/cm2左右，另外，它们的膜厚可以根据各自的膜电阻值等适宜地决定。
作为第一及第二金属蒸镀膜14a、14b的形成材料，与现有产品一样，使用从铝或锌等金属材料中根据例如树脂薄膜12的材质等适宜地选择出来的材料。这些各金属蒸镀膜14a、14b的形成方法，可以采用属于PVD或CVD的范畴的、一直以来公知的真空蒸镀法中的任何一种。第一金属蒸镀膜14a和第二金属蒸镀膜14b可以不必由相同金属材料构成。它们的形成材料可以根据对薄膜电容器的要求性能等适宜地决定。第一金属蒸镀膜14a和第二金属蒸镀膜14b的各自的厚度以及膜电阻值，也可以根据对薄膜电容器的要求性能等，设定成相互相同的值或相互不同的值。
而且，在本实施方式中，尤其，在与第一金属蒸镀膜14a的树脂薄膜12侧相反侧的面上，叠层形成有作为电介质发挥功能的第一蒸镀聚合膜16a，构成另一个电介质层。该第一蒸镀聚合膜16a由聚脲(polyurea)树脂薄膜构成，该聚脲树脂薄膜通过在真空中按照公知的手法实施蒸镀聚合法而生成。即，在形成第一蒸镀聚合膜16a时，首先，将形成有第一金属蒸镀膜14a及第二金属蒸镀膜14b的树脂薄膜12配置在真空槽内，该真空槽内的压力被控制在10-5～100Pa左右。然后，在该真空槽内，使作为原料的二异氰酸酯和二胺蒸发，在第一金属蒸镀膜14a上引起聚合反应，由此生成聚脲树脂。而且，通过该生成的聚脲树脂，第一蒸镀聚合膜16a在第一金属蒸镀膜14a上成膜。
这样，第一蒸镀聚合膜16a通过蒸镀聚合方式由在真空中生成的聚合体构成，该蒸镀聚合方式中，以气体供给提供成为电介质的聚合体的原料(单体)，使其聚合，并进行基于生成的聚合体的成膜。因此，能够进行毫微级(nano-order)的膜厚控制，膜厚能够被控制得极薄且均匀。而且，膜中的杂质量被充分减少。该第一蒸镀聚合膜16a的厚度一般为0.01～30μm左右，是比树脂薄膜12薄的厚度。其原因在于，若使第一蒸镀聚合膜16a为不足0.01μm的过薄的膜厚，则有可能无法充分确保耐压特性。另外，若第一蒸镀聚合膜16a的厚度为超过30μm的过大的厚度，则谋求薄膜电容器的小型化变得困难。
此外，这样的第一蒸镀聚合膜16a并非特别限定于例示的聚脲树脂膜。例如，还可以由聚酰胺树脂膜、聚酰亚胺树脂膜、聚酰胺-酰亚胺树脂膜、聚酯树脂膜、聚甲亚胺(polyazomethine)树脂膜、聚亚安酯树脂膜、亚克力树脂膜等能够通过蒸镀聚合法成膜的公知的树脂膜构成。而且，其中，优选采用具有比树脂薄膜12高的电容率的树脂膜。通过以这样的树脂膜形成第一蒸镀聚合膜16a，能够有效地使薄膜电容器的静电容量增大。此外，作为分别形成具有不同的电容率的树脂薄膜12和第一蒸镀聚合膜16a的树脂材料，并非限定于例示的如聚丙烯和聚脲的组合。
另外，第一蒸镀聚合膜16a，在如上述那样的具有高电容率的树脂膜中，尤其优选由聚脲树脂膜构成。其原因在于，聚脲树脂在原料单体(二异氰酸酯和二胺)的聚合时，不需要加热处理，而且，是在完全不存在水或乙醇等的脱离的加成聚合反应中形成的物质。因此，不需要用于在原料单体的聚合时实施加热处理的设备，能够实现低成本化。另外，能够有利地避免因加热处理时的热引起树脂薄膜12发生变形即所谓的热损伤。而且，不必将因聚合反应而脱离的水或乙醇等从进行聚合反应的真空槽中去除，不需要用于此的设备，由此，能够实现低成本化。另外，聚脲树脂膜具有优良的耐湿性。由此，能够更稳定地确保第一蒸镀聚合膜16a的高耐压。
另外，本实施方式中，对叠层形成在第一金属蒸镀膜14a上的第一蒸镀聚合膜16a的表面实施等离子处理，将三维交联构造导入第一蒸镀聚合膜16a中。由此，有利地提高第一蒸镀聚合膜16a的耐压。作为针对该第一蒸镀聚合膜16a的表面的等离子处理的具体手法，可以采用任何公知的手法。例如，可以采用对第一蒸镀聚合膜16a的表面照射利用激光而产生的等离子的手法。作为三维交联构造向第一蒸镀聚合膜16a的导入方法，除等离子处理以外，例如，还可以适宜地采用基于针对第一蒸镀聚合膜16a的UV处理或热处理等的方法。
这样，如图1所示的叠层薄膜10形成为具有多层结构，在树脂薄膜12的两面上叠层有第一及第二金属蒸镀膜14a、14b，并且在第一金属蒸镀膜14a上进一步叠层有第一蒸镀聚合膜16a。
而且，如图2所示，这样的叠层薄膜10，例如，以第一蒸镀聚合膜16a作为内侧地卷绕数圈，或者以第一蒸镀聚合膜16a作为内侧将叠层薄膜10在规定的卷芯(未图示)上卷绕一圈或数圈，由此，形成卷绕型元件(电容器元件)18。而且，虽未图示，但对这样形成的卷绕型元件18的外周面，卷绕与现有相同的保护薄膜等，并安装后述的图17所示的一对金属喷镀电极(74a、74b)等外部电极或规定元件，由此，构成所需要的卷绕型的薄膜电容器。
此外，还可以使多个叠层薄膜10相互叠层，形成平板状乃至片状的叠层构造体，并对其进行卷绕，由此形成卷绕型元件18。另外，虽未图示，还可以将仅在树脂薄膜10的一个面上叠层有第一金属蒸镀膜14a的叠层薄膜和图1所示的叠层薄膜10，以前者的第一金属蒸镀膜14a和后者的第一蒸镀聚合膜16a重合的方式叠层，形成平板状乃至片状的叠层构造体，并对其进行卷绕，由此形成卷绕型元件18。该情况下，相互叠层的叠层薄膜中的一方，不具有在形成操作中耗费时间和成本的第一蒸镀聚合膜16a，能够与之相应地有利地谋求卷绕型元件18的制造作业的效率化和低成本化。
根据图2能够明确，由叠层薄膜10的卷绕物构成的卷绕型元件18是下述的元件：第一蒸镀聚合膜16a、第一金属蒸镀膜14a、树脂薄膜12、第二金属蒸镀膜14b以这一顺序在径向上从中心侧向外侧叠层，另外，将这样的叠层形态作为一个单位，进一步在径向上叠层有多个单位。而且，由此，能够得到构造(A)和构造(B)，构造(A)是将树脂薄膜12夹在中间，在其内侧配置第一金属蒸镀膜14a、在其外侧配置第二金属蒸镀膜14b而成的构造；构造(B)是将第一蒸镀聚合膜16a夹在中间，在其内侧配置第二金属蒸镀膜14b、在其外侧配置第一金属蒸镀膜14a而成的构造。换言之，以第一金属蒸镀膜14a和第二金属蒸镀膜14b将树脂薄膜12和第一蒸镀聚合膜16a中的任一方夹在中间的状态进行叠层，构成卷绕型元件18。
这样，在使用本实施方式的卷绕型元件18的薄膜电容器中，与以往的卷绕型的薄膜电容器不同，不仅具有将树脂薄膜12夹在第一金属蒸镀膜14a与第二金属蒸镀膜14b之间而成的A构造，还具有将具有极薄且均匀的膜厚且膜中的杂质量极少的第一蒸镀聚合膜16a夹在第一金属蒸镀膜14a与第二金属蒸镀膜14b之间而成的B构造。
因此，在使用这样的本实施方式的卷绕型元件18的薄膜电容器中，与仅具有将树脂薄膜12夹在第一金属蒸镀膜14a与第二金属蒸镀膜14b之间而成的A构造的现有的卷绕型薄膜电容器不同，由于B构造的存在，因此，不必使树脂薄膜12极端地薄壁化或降低树脂薄膜12的材料中的杂质，便能够有效地实现整个电容器的小型化和静电容量的增大。
而且，在该薄膜电容器中，由于树脂薄膜12没有被极端地薄壁化，所以，能够避免因树脂薄膜12中不可避免地存在的杂质的影响而导致树脂薄膜12进而作为整个电容器全体的耐压降低，能够有利地确保充分的耐压。另外，能够有利地防止在通过金属蒸镀在树脂薄膜12的两面上连续地形成第一及第二金属蒸镀膜14a、14b时，因高速收卷而在树脂薄膜12上产生褶皱、或树脂薄膜12因与高温的金属原子接触而发生变形等导致品质降低的情况。
因此，在使用本实施方式的卷绕型元件18的薄膜电容器中，不必一定谋求基于薄壁化以及杂质的残存量的降低等的树脂薄膜12的高功能化，另外，不会发生因树脂薄膜12的薄壁化导致的问题，而且，能够有利地确保充分的耐压，并能够极有效地实现基于小型、大容量化的高性能化。
在使用本实施方式的卷绕型元件18的薄膜电容器中，第一蒸镀聚合膜16a由聚脲树脂膜构成。因此，进行基于蒸镀聚合的第一蒸镀聚合膜16a的形成时能够尽可能地省略多余的设备，从而发挥能够有利地实现低成本化的特征。另外，有效地排除了因树脂薄膜12的加热引起的弊害，能够有效地确保稳定的品质。
在本实施方式中，第一蒸镀聚合膜16a具有三维交联构造，由此，能够提高第一蒸镀聚合膜16a的耐压。由此，能够有效地实现品质的提高和稳定化。
在使用本实施方式的卷绕型元件18的薄膜电容器中，第一蒸镀聚合膜16a被形成为极薄壁，而且具有比树脂薄膜12高的电容率。由此，能够有效地增大整个薄膜电容器的静电容量，谋求高品质化。
另外，虽然在所述实施方式中，对第一金属蒸镀膜14a仅在其与树脂薄膜12侧相反侧的面上叠层形成第一蒸镀聚合膜16a，但也可以替代第一金属蒸镀膜14a而仅在第二金属蒸镀膜14b的与树脂薄膜12侧相反侧的面上叠层形成第一蒸镀聚合膜16a。
另外，还可以如图3所示，构成为在第一金属蒸镀膜14a的与树脂薄膜12侧相反侧的面上叠层形成第一蒸镀聚合膜16a，另一方面，在第二金属蒸镀膜14b的与树脂薄膜12侧相反侧的面上叠层形成第二蒸镀聚合膜16b，由此构成提供基本元件的叠层薄膜19。在使用这样的叠层薄膜19的情况下，对其进行卷绕从而制作卷绕型元件18时，无论以树脂薄膜12的两面中的哪个面作为内侧，卷绕型元件18的中心侧部分都由第一蒸镀聚合膜16a和第二蒸镀聚合膜16b的任一个构成。因此，能够有利地得到有效地实现了静电容量的增大化的品质优良的卷绕型元件18以及薄膜电容器。
此外，在对叠层薄膜19进行卷绕从而制作卷绕型元件18时，在第一金属蒸镀膜14a与第二金属蒸镀膜14b之间，第一蒸镀聚合膜16a和第二蒸镀聚合膜16b相互重合地配置。因此，希望将这些第一及第二蒸镀聚合膜16a、16b各自的厚度形成为图1所示的叠层薄膜10所具有的第一蒸镀聚合膜16a的厚度的大致一半左右。由此，在卷绕叠层薄膜19而成的卷绕型元件18中，位于第一及第二金属蒸镀膜14a、14b之间的第一及第二蒸镀聚合膜16a、16b的合计厚度，与图1所示的卷绕叠层薄膜10而成的卷绕型元件18中位于第一及第二金属蒸镀膜14a、14b之间的第一蒸镀聚合膜16a的厚度大致相同，能够防止无意义的厚度过大。另外，这样，通过使第一及第二蒸镀聚合膜16a、16b的各自的厚度变薄，具有能够迅速且有效地制造叠层薄膜19的优点。
为得到卷绕型元件18而被卷绕的叠层薄膜10、19的卷绕数，没有特别限定。例如，在以第一蒸镀聚合膜16a或第二蒸镀聚合膜16b作为内侧而对叠层薄膜10、19进行卷绕的情况下，由于卷绕型元件18的中心部分由这些第一蒸镀聚合膜16a和第二蒸镀聚合膜16b中的任一个构成，因此，也可以使叠层薄膜10、19的卷绕数为一次。
另外，还可以使具有图1所示构造的至少一个叠层薄膜10和具有图3所示构造的至少一个叠层薄膜19相互叠层，形成平板状乃至片状的叠层构造体，并对其进行卷绕，由此形成卷绕型元件18。在该情况下，叠层在叠层薄膜10的第一金属蒸镀膜14a上的第一蒸镀聚合膜16a和分别叠层在叠层薄膜19的第一及第二金属蒸镀膜14a、14b上的第一及第二蒸镀聚合膜16a、16b中的任一方相互重合。因此，叠层薄膜10的第一蒸镀聚合膜16a的厚度和与其重合的叠层薄膜19的第一及第二蒸镀聚合膜16a、16b中的任一方的厚度，例如形成为未与叠层薄膜10的第一蒸镀聚合膜16a重合的叠层薄膜19的第一及第二蒸镀聚合膜16a、16b中的任意另一方的厚度的一半左右。由此，能够有效地防止相互重合的蒸镀聚合膜16a、16b无意义地变厚。另外，这样，通过使相互重合的蒸镀聚合膜16a、16b各自的厚度变薄，能够更迅速且有效地制造供叠层的叠层薄膜10和叠层薄膜19。
另外，在使用具有图1所示构造的叠层薄膜10的情况下，例如可以如图4所示，使用多个(这里为5个)该叠层薄膜10，并对其进行相互叠层，由此能够得到平板状乃至块状的叠层型的复合元件(电容器元件)20。在该叠层型的复合元件20中，不仅具有仅树脂薄膜12被夹在第一金属蒸镀膜14a与第二金属蒸镀膜14b之间而成的A构造，还具有仅第一蒸镀聚合膜16a被夹在第一金属蒸镀膜14a与第二金属蒸镀膜14b之间而成的B构造，其中，第一蒸镀聚合膜16a具有极薄且均匀的膜厚，而且膜中的杂质量极少。因此，在该叠层型的复合元件20中，能够有效地享有并获得与在所述实施方式的卷绕型元件18中发挥的作用、效果实质上相同的作用、效果。
此外，在得到如上所述的叠层型的复合元件20时，优选以一个叠层薄膜10的第一蒸镀聚合膜16a和另一个叠层薄膜10的第二金属蒸镀膜14b相互重合的方式对多个叠层薄膜10进行叠层。由此，在复合元件20中，在第一金属蒸镀膜14a与第二金属蒸镀膜14b之间必然存在蒸镀聚合膜16和树脂薄膜12中的任一个。因此，能够有利且有效地实现这样的叠层型的复合元件20进而作为使用该复合元件20而成的整个薄膜电容器的小型化和静电容量的增大。
另外，虽未图示，但也可以使用多个具有图3所示构造的叠层薄膜19，对其进行叠层，从而形成复合元件。该情况下，叠层薄膜19的厚度方向两侧的最外层由第一蒸镀聚合膜16a和第二蒸镀聚合膜16b构成。因此，在使叠层薄膜19彼此重合时，聚合面没有特殊规定，聚合的朝向自由。由此，能够获得平板状乃至块状的复合元件进而薄膜电容器的制作作业变得容易的优点。而且，也可以使至少一个图1所示的叠层薄膜10和至少一个图3所示的叠层薄膜19相互叠层，从而形成平板状乃至片状的复合元件。此外，在对多个图3所示的叠层薄膜19进行叠层、或在对图3所示的叠层薄膜19和图1所示的叠层薄膜10进行叠层从而形成复合元件的情况下，与上述的卷绕型元件18的形成时相同地，希望相互重合的第一蒸镀聚合膜16a和第二蒸镀聚合膜16b的厚度形成为通过多个叠层薄膜10形成复合元件时的第一蒸镀聚合膜16a的厚度的大致一半左右。
下面，图5中，对提供构成依据本发明的薄膜电容器的基本元件的叠层薄膜的其他例，以其纵剖面形态进行表示。在该图5中，附图标记21是片状的叠层薄膜(第一基本元件)，作为基部具有树脂薄膜22。该树脂薄膜22由聚丙烯制成的延伸薄膜形成，具有1～10μm左右适度较薄的厚度。此外，该树脂薄膜22的形成材料不限于聚丙烯，可以使用图1所示的叠层薄膜10中的树脂薄膜12的形成材料等与之前例示的材料一样的材料。
而且，在这样的树脂薄膜22的一个面(图5中的树脂薄膜22的上面)上，通过蒸镀聚合方式叠层形成有第一蒸镀聚合膜24a，另外，在另一个面(图5中的树脂薄膜22的下面)上，同样地，叠层形成有第二蒸镀聚合膜24b。由此，复合电介质26构成为树脂薄膜22与第一及第二蒸镀聚合膜24a、24b的叠层构造体。
在此，与在图1所示的叠层薄膜10中、在第一金属蒸镀膜14a上叠层形成第一蒸镀聚合膜16a的情况相同地，第一及第二蒸镀聚合膜24a、24b形成在树脂薄膜22的两侧的面上。即，这些第一及第二蒸镀聚合膜24a、24b通过能够进行毫微级的膜厚控制的真空中的蒸镀聚合形成。由此，不仅第一及第二蒸镀聚合膜24a、24b各自的膜厚极薄，而且尽可能地减少了各蒸镀聚合膜24a、24b中的杂质量。这样，能够充分提高第一及第二蒸镀聚合膜24a、24b各自的电容率和耐压。
另外，在通过真空蒸镀聚合形成的第一及第二蒸镀聚合膜24a、24b中，其膜厚被均匀地控制。因此，这些各蒸镀聚合膜24a、24b的表面平滑性有效地提高。而且，由于树脂薄膜22的表面由这样的第一蒸镀聚合膜24a和第二蒸镀聚合膜24b构成，所以，树脂薄膜22的表面平滑性也有利地提高。因此，树脂薄膜22的膜厚不必局限于1～10μm左右的比较薄的厚度，在树脂薄膜22中能够有效地确保高耐压。
这样，在由薄壁的树脂薄膜22和第一及第二蒸镀聚合膜24a、24b的叠层体构成的复合电介质26中，能够极有利地同时实现高电容率和高耐压。
此外，在本实施方式中，第一及第二蒸镀聚合膜24a、24b分别由聚脲树脂膜构成。但是，这些第一及第二蒸镀聚合膜24a、24b并非限定为聚脲树脂膜，还可以由作为能够构成所述第一蒸镀聚合膜16a的树脂膜之前例示过的几种树脂膜构成。而且，在这样的几种树脂膜中，作为构成第一及第二蒸镀聚合膜24a、24b的树脂膜，基于前述的理由等，尤其优先使用聚脲树脂膜。
另外，第一及第二蒸镀聚合膜24a、24b各自的膜厚优选为0.001～10μm左右。其原因在于，以不足0.001μm的膜厚来形成第一及第二蒸镀聚合膜24a、24b不容易。因此，各蒸镀聚合膜24a、24b的膜厚在现实中为0.001μm以上。另外，若使第一及第二蒸镀聚合膜24a、24b形成为超过10μm的厚度即超过树脂薄膜22的厚度的优选范围的上限值的厚度，则不能进一步提高基于第一及第二蒸镀聚合膜24a、24b的叠层形成而产生的树脂薄膜22的表面平滑性的提高效果，反而可能导致第一及第二蒸镀聚合膜24a、24b的形成作业中的作业性的降低以及高成本化的结果。
此外，对第一及第二蒸镀聚合膜24a、24b各自的表面实施等离子处理。由此，对第一及第二蒸镀聚合膜24a、24b导入三维交联构造。这样，更有效地提高第一及第二蒸镀聚合膜24a、24b的耐压以及耐热性。作为对该第一及第二蒸镀聚合膜24a、24b的表面进行等离子处理的具体手法，可以采用任何公知的手法。另外，作为向第一及第二蒸镀聚合膜24a、24b导入三维交联构造的方法，除等离子处理外，例如还可以适宜地采用基于对各蒸镀聚合膜24a、24b的UV处理或热处理等的方法。
而且，在这样的第一蒸镀聚合膜24a的与树脂薄膜22侧相反侧的面上，作为电极膜叠层形成有第一金属蒸镀膜28a。该第一金属蒸镀膜28a，与图1所示的叠层薄膜10中的第一及第二金属蒸镀膜14a、14b同样地，使用形成薄膜电容器的电极膜的公知的金属材料(例如，铝或锌等)作为蒸镀材料，通过实施真空中的蒸镀法而在第一蒸镀聚合膜24a上成膜。该第一金属蒸镀膜28a形成为与该第一及第二金属蒸镀膜14a、14b相同的膜厚电阻值，其膜厚可以根据膜厚电阻值等适宜决定。
这样，对于在树脂薄膜22的两面叠层第一及第二蒸镀聚合膜24a、24b而成的复合电介质26，在第一蒸镀聚合膜24a上进一步叠层形成有第一金属蒸镀膜28a，由此，形成具有图5所示的构造的叠层薄膜21。
而且，在使用由这样的叠层薄膜21构成的基本元件来制作薄膜电容器时，首先，将多个叠层薄膜21相互叠层，从而形成平板状乃至片状的叠层构造体。此时，相互叠层的叠层薄膜21中的一方的第一金属蒸镀膜28a和其中另一方的第二蒸镀聚合膜24b相互重合。此外，该相互叠层的叠层薄膜21的个数没有特别限定。
接下来，如图6所示，将多个叠层薄膜21的叠层构造体例如以第二蒸镀聚合膜24b为内侧卷绕数圈。或者，以第二蒸镀聚合膜24b为内侧，在规定的卷芯(未图示)上卷绕一圈或数圈。由此，形成卷绕型元件30。在这样的卷绕型元件30中，复合电介质26和第一金属蒸镀膜28a以交替取位的方式相互重合。此外，虽未图示，还可以使用将仅在树脂薄膜22的一个面上叠层形成有第一金属蒸镀膜28a而成的叠层薄膜和图5所示的叠层薄膜21以前者的第一金属蒸镀膜28a和后者的第二蒸镀聚合膜24b重合的方式叠层而成的叠层构造体，并对其进行卷绕，来形成卷绕型元件30。
然后，虽未图示，对该卷绕型元件30的外周面卷绕与现有相同的保护薄膜等，并安装一对金属喷镀电极等的外部电极或规定的端子等。由此，来制作卷绕型的薄膜电容器。
这样，本实施方式的薄膜电容器中，对树脂薄膜22进行了薄壁化，由此，能够有利地实现整个薄膜电容器的小型化。另外，在树脂薄膜22的两面上，叠层形成有第一及第二蒸镀聚合膜24a、24b，由此，在复合电介质26中，能够同时有利地实现高电容率和高耐压。因此，本实施方式的薄膜电容器，能够确保充分的耐压，并极有效地实现小型化、大容量化(高性能化)。
在使用具有图5所示的构造的叠层薄膜21的情况下，例如，如图7所示，将多个该叠层薄膜21(这里为四个)以使复合电介质26和第一金属蒸镀膜28a交替取位的方式叠层，由此能够得到叠层型的复合元件32。同样在该叠层型的复合元件32中，具有在薄壁的树脂薄膜22的两面上适度地叠层形成有第一及第二蒸镀聚合膜24a、24b的复合电介质26。因此，对于这样的复合元件32，即使是在安装有保护薄膜以及一对金属喷镀电极等外部电极、规定的端子等而形成的叠层型的薄膜电容器中，也能够有效地享有与上述的实施方式中的卷绕型的薄膜电容器中所发挥的作用、效果实质上相同的作用、效果。此外，对于图7及后述的图8至图15、图17至图20所示的几个实施方式，对形成为与上述的实施方式相同的构造的部件及部位标注与图5及图6相同的附图标记，由此省略其详细说明。
此外，在上述例示的卷绕型和叠层型的薄膜电容器中，都在树脂薄膜22的两面上叠层形成有第一蒸镀聚合膜24a和第二蒸镀聚合膜24b，由此构成复合电介质26。但是，还可以构成为仅在树脂薄膜22的任一面上形成蒸镀聚合膜(第一蒸镀聚合膜24a或第二蒸镀聚合膜24b)，由此构成复合电介质26。而且，在使用这样仅在树脂薄膜22的单面上形成有蒸镀聚合膜的复合电介质26来构成作为基本元件的叠层薄膜21的情况下，对树脂薄膜22中的蒸镀聚合膜的非形成面上和蒸镀聚合膜上这两方、或对其中的任一方(优选蒸镀聚合膜上)，形成金属蒸镀膜(第一金属蒸镀膜28a和第二金属蒸镀膜28b这两方，或其中任一方)。其中，金属蒸镀膜优选形成在蒸镀聚合膜上。由此，能够有利地谋求金属蒸镀膜相对于复合电介质的接合性的提高。
下面，图8中，对提供了构成具有本发明构造的薄膜电容器的基本元件的叠层薄膜的另一例以其纵剖面形态进行表示。根据该图8能够明确，叠层薄膜(第二的基本元件)34具有在树脂薄膜22的两面上叠层形成有第一及第二蒸镀聚合膜24a、24b而成的复合电介质26。另外，在该复合电介质26中的第一蒸镀聚合膜24a的树脂薄膜22侧的相反侧，叠层形成有第一金属蒸镀膜28a。在第二蒸镀聚合膜24b的树脂薄膜22侧的相反侧，叠层形成有第二金属蒸镀膜28b。这些树脂薄膜22、第一及第二蒸镀聚合膜24a、24b和第一及第二金属蒸镀膜28a、28b都是所述第一及第二的实施方式的卷绕型以及叠层型的薄膜电容器所具有的部分，具有使用了相同材料的相同构造，各自的厚度也相同。
而且，在本实施方式中，在第一金属蒸镀膜28a的第一蒸镀聚合膜24a侧的相反侧的面上，叠层形成有第三蒸镀聚合膜24c。这样，叠层薄膜34构成为具有如图8所示的叠层构造。
形成在第一金属蒸镀膜28a上的第三蒸镀聚合膜24c，具有与第一及第二蒸镀聚合膜24a、24b相同的构造。即，第三蒸镀聚合膜24c由在真空中根据公知的手法实施蒸镀聚合而形成的聚脲树脂膜构成。而且，对该第三蒸镀聚合膜24c的表面实施等离子处理。由此，对第三蒸镀聚合膜24c导入三维交联构造，更有效地提高其耐压以及耐热性。另外，第三蒸镀聚合膜24c的厚度与所述的叠层薄膜10的第一蒸镀聚合膜16a同样，优选形成为0.01～30μm左右。
此外，第三蒸镀聚合膜24c不必限定由聚脲树脂膜构成，还可以由聚酰胺树脂膜、聚酰亚胺树脂膜、聚酰胺-酰亚胺树脂膜、聚酯树脂膜、聚偶氮甲碱树脂膜、聚亚安酯树脂膜、亚克力树脂膜等通过公知的蒸镀聚合法能够成膜的树脂膜构成。其中，根据上述理由，优选采用聚脲树脂膜。为了提高耐压及耐热性而实施的第三蒸镀聚合膜24c的表面处理，除等离子处理以外，还能够适当采用UV处理或热处理等方法。
而且，如图9所示，，例如，通过将这样的叠层薄膜34以第三蒸镀聚合膜24c作为内侧卷绕数圈，或通过将叠层薄膜34以第三蒸镀聚合膜24c为内侧卷绕在规定的卷芯(未图示)一圈或数圈，由此形成卷绕型元件36。
在这样的卷绕型元件36中，以复合电介质26和第三蒸镀聚合膜24c中的任一方必然被夹在第一及第二金属蒸镀膜28a、28b之的状态相互重合。而且，虽未图示，对该卷绕型元件36，在其外周面卷绕与现有相同的保护薄膜等，并安装一对金属喷镀电极等外部电极或规定的端子等，由此，形成为卷绕型的薄膜电容器。
此外，在制作本实施方式的卷绕型的薄膜电容器时，如上所述，存在卷绕一个叠层薄膜34的情况、和将两个以上的多个叠层薄膜34在使第三蒸镀聚合膜24c和第二金属蒸镀膜28b以相互重合的方式叠层的状态下进行卷绕的情况。在后者的情况下，以复合电介质26和第三蒸镀聚合膜24c中的任一方必然被夹在金属蒸镀膜28a、28b之间的状态相互重合。另外，还可以将图8所示的叠层薄膜34和图1所示的叠层薄膜10以使前者的第二金属蒸镀膜28b和后者的第一蒸镀聚合膜16a重合的方式叠层并卷绕，由此形成卷绕型元件36。
在这样形成的本实施方式的薄膜电容器中，与图6所示的薄膜电容器相同，具有在适度地进行了薄壁化的树脂薄膜22的两面上叠层形成有第一及第二蒸镀聚合膜24a、24b而成的复合电介质26。因此，能够极有效地享有与在图6所示的薄膜电容器中所发挥的如所述那样的作用、效果相同的作用、效果。
而且，在本实施方式的薄膜电容器中，根据图9能够明确，在由叠层薄膜34的卷绕物构成的卷绕型元件36中，能够实现如下的构造(A)和构造(B)，其中，构造(A)中，将在树脂薄膜22上叠层有第一及第二蒸镀聚合膜24a、24b的复合电介质26夹在中间，并在其内侧和外侧分别配置第一金属蒸镀膜28a和第二金属蒸镀膜28b；构造(B)中，将第三蒸镀聚合膜24c夹在中间，并在其内侧和外侧分别配置第二金属蒸镀膜28b和第一金属蒸镀膜28a。
这样，在本实施方式的薄膜电容器中，不仅具有将由树脂薄膜22和第一及第二蒸镀聚合膜24a、24b的叠层体构成的复合电介质26夹在第一金属蒸镀膜28a与第二金属蒸镀膜28b之间而成的A构造，还具有将具有极薄且均匀的膜厚且膜中的杂质量极少的第三蒸镀聚合膜24c夹在第一金属蒸镀膜28a与第二金属蒸镀膜28b之间而成的B构造。
因此，在本实施方式的薄膜电容器中，与仅具有将复合电介质26夹在第一金属蒸镀膜28a与第二金属蒸镀膜28b之间而成的A构造的卷绕型的薄膜电容器不同，由于B构造的存在，无需使树脂薄膜22极端地薄壁化，或使树脂薄膜22的材料中的杂质降低，便能够有效地实现整个电容器的小型化和静电容量的增大。
而且，在该薄膜电容器中，不必对树脂薄膜22极端地进行薄壁化。因此，能够避免因树脂薄膜22中不可避免地存在的杂质的影响而使树脂薄膜22进而作为整个电容器的耐压降低的情况。另外，除此以外，通过第一及第二蒸镀聚合膜24a、24b，提高了树脂薄膜22的表面的平滑性，由此，能够更有效地确保充分的耐压。而且，当在复合电介质26的两面上连续地形成第一及第二金属蒸镀膜28a、28b时，能够有效防止因树脂薄膜22过薄而通过高速收卷在树脂薄膜22上产生褶皱，或树脂薄膜22因与高温的金属原子接触而发生变形等引起品质降低的情况。
因此，在本实施方式的薄膜电容器中，虽然不必一定谋求基于薄壁化以及杂质的残存量的降低等的树脂薄膜22的高功能化，另外，不会发生因树脂薄膜22的薄壁化引发的问题，能够确保充分的耐压，并能够极有利地实现基于小型、大容量化的高性能化。
在使用具有图8所示的构造的叠层薄膜34的情况下，例如，如图10所示，通过对多个该叠层薄膜34(这里为四个)进行叠层，能够得到叠层型的复合元件38。在该叠层型的复合元件38中，对相互叠层的两个叠层薄膜34、34中的一方中的第三蒸镀聚合膜24c，重合有两个叠层薄膜34、34中的另一方中的第二金属蒸镀膜28b。由此，以复合电介质26和第三蒸镀聚合膜24c中的任一方必然被夹持在金属蒸镀膜28a、28b之间的状态相互叠层。
同样在这样的叠层型的复合元件38中，具有在被适度薄壁化的树脂薄膜22的两面上叠层形成有第一及第二蒸镀聚合膜24a、24b的复合电介质26。因此，对于在这样的复合元件38上安装并形成有保护薄膜以及一对金属喷镀电极等外部电极、规定的端子等的叠层型的薄膜电容器来说，能够有效地享有与在所述几个实施方式的薄膜电容器中发挥的作用、效果实质上相同的作用、效果。
另外，在该叠层型的复合元件38中，不仅具有将复合电介质26夹持在第一金属蒸镀膜28a与第二金属蒸镀膜28b之间而成的A构造，还具有将具有极薄且均匀的膜厚且膜中的杂质量极少的第三蒸镀聚合膜24c夹持在第一金属蒸镀膜28a与第二金属蒸镀膜28b之间而成的B构造。因此，在该叠层型的复合元件38中，虽然不必一定谋求基于薄壁化以及杂质的残存量的减少等的树脂薄膜22的高功能化，另外，不会发生因树脂薄膜22的薄壁化导致的问题，并能够极有效地实现基于小型、大容量化的高性能化。
另外，在具有叠层薄膜34的上述的本实施方式的卷绕型和叠层型的薄膜电容器中，任何一个都在树脂薄膜22的两面上叠层形成有第一蒸镀聚合膜24a和第二蒸镀聚合膜24b，由此构成复合电介质26。不过，还可以构成为仅在树脂薄膜22的任一方的面上形成蒸镀聚合膜(第一蒸镀聚合膜24a或第二蒸镀聚合膜24b)，从而构成复合电介质26。
另外，还可以分别使用至少一个图5所示的叠层薄膜21和至少一个图8所示的叠层薄膜34，将这两种叠层薄膜21、34相互叠层，来形成叠层型的薄膜电容器。而且，还可以在使至少一个叠层薄膜21和至少一个叠层薄膜34相互重合的状态下，通过卷绕来形成卷绕型的薄膜电容器。此外，在这样的叠层型或卷绕型的薄膜电容器中，以复合电介质26和第三蒸镀聚合膜24c中的任一方必然夹持在第一及第二金属蒸镀膜28a、28b之间的方式使其相互叠层。
还可以如图11所示，在图8所示的叠层薄膜34中的第二金属蒸镀膜28b的与复合电介质26侧相反侧的面上通过蒸镀聚合法叠层形成第四蒸镀聚合膜24d，从而构成叠层薄膜(第四基本元件)44。在该叠层薄膜44中，无需使第三及第四蒸镀聚合膜24c、24d的形成材料以及厚度等与第一及第二蒸镀聚合膜24a、24b的形成材料以及厚度等必须相同。
在使用图11所示的叠层薄膜44的情况下，如图12所示，在复合电介质26的一个面上叠层形成有第一金属蒸镀膜28a，而在另一个面上叠层形成有第二金属蒸镀膜28b，将由此构成的至少一个叠层薄膜(第三基本元件)50和图11所示的叠层薄膜44相互叠层，或在相互重合的状态下进行卷绕，从而形成复合元件或卷绕型元件，进而形成叠层型或卷绕型的薄膜电容器。另外，还可以将图11所示的叠层薄膜44和图3所示的叠层薄膜19相互叠层，或在相互重合的状态下进行卷绕，由此形成复合元件或卷绕型元件，进一步形成叠层型或卷绕型的薄膜电容器。该情况下，优选使相互重合的、叠层薄膜19的第一及第二蒸镀聚合膜16a、16b和叠层薄膜44的第三及第四蒸镀聚合膜24c、24d都形成为通常的大致一半左右的厚度。即使在这样的薄膜电容器中，以叠层薄膜19的第一及第二蒸镀聚合膜16a、16b和叠层薄膜44的第三及第四蒸镀聚合膜24a、24d中的至少一个、树脂薄膜22和复合电介质26中的任一方必定被夹在第一金属蒸镀膜14a、28a和第二金属蒸镀膜14b、28b之间的方式相互叠层地形成。
另外，虽未图示，还可以使复合电介质26和图12所示的叠层薄膜50相互叠层，或在相互重合的状态下进行卷绕，从而形成复合元件或卷绕型元件，进而形成叠层型或卷绕型的薄膜电容器。
此外，在图12所示的叠层薄膜50中，第一金属蒸镀膜28a和第二金属蒸镀膜28b可以不必一定由相同的金属材料构成，其形成材料可以根据对于薄膜电容器的要求性能等决定。另外，第一金属蒸镀膜28a和第二金属蒸镀膜28b各自的厚度以及膜电阻值也可以根据对于薄膜电容器的要求性能等，被设定成相互相同的值或相互不同的值。
如图13所示，还可以以如下方式构成叠层薄膜52：使用在复合电介质26的第二蒸镀聚合膜24b上叠层形成有第一金属蒸镀膜28a的第一叠层薄膜52a、和在树脂薄膜22的一个面上叠层形成有第二金属蒸镀膜28b的第二叠层薄膜52b，而且，以使第一叠层薄膜52a的第一蒸镀聚合膜24a重合在第二叠层薄膜52b的第二金属蒸镀膜28b上的方式，对这些第一叠层薄膜52a和第二的叠层薄膜52b进行相互叠层。即，只要以第一及第二金属蒸镀膜28a、28b存在于复合电介质26的厚度方向两侧的方式进行叠层配置，也可以相对于复合电介质26不必一体地叠层形成。
同样在使用这样的叠层薄膜52的情况下，多个叠层薄膜52相互叠层，从而形成复合元件，进而形成叠层型的薄膜电容器。另外，还可以卷绕一个该叠层薄膜52，或将多个该叠层薄膜52在相互重合的状态下进行卷绕，由此形成卷绕型元件，进而形成卷绕型的薄膜电容器。
在使用上述例示的几种叠层薄膜44、50、52而形成的薄膜电容器中，都具有对树脂薄膜22叠层第一蒸镀聚合膜24a和第二蒸镀聚合膜24b中的至少任一方的复合电介质26。由此，能够有效地享有与在所述几个实施方式中发挥的作用、效果相同的作用、效果。
另外，如图14所示，通过使具有图1所示的构造的几个叠层薄膜10(这里为两个)和具有图5所示的构造的几个叠层薄膜21(这里为一个)相互叠层，能够得到叠层型的复合元件54。该叠层型的复合元件54，在相互相邻的叠层薄膜10、21中的第一金属蒸镀膜14a、28a之间具有仅存在第一蒸镀聚合膜16a的部分。另外，在夹在两个叠层薄膜10、10之间的叠层薄膜21中，具有在树脂薄膜22的两面上分别叠层形成有第一蒸镀聚合膜24a和第二蒸镀聚合膜24b的复合电介质26，由此构成复合元件54。
因此，在使用这样的复合元件54而成的叠层型的薄膜电容器中，以及在使用对与该复合元件54相同构造的叠层构造体进行卷绕而成的卷绕型元件的卷绕型的薄膜电容器中，能够有效地享有在使用叠层薄膜10而得到的薄膜电容器中发挥的效果和在使用叠层薄膜21而得到的薄膜电容器中发挥的效果两者。
此外，在卷绕型的薄膜电容器中，叠层薄膜的卷绕数没有特别限定。在叠层型的薄膜电容器中，叠层薄膜的叠层数也没有特别限定。
下面，图15中，对提供了构成具有本发明构造的薄膜电容器的基本元件的叠层薄膜的另一例，以其纵剖面形态进行表示。图15所示的叠层薄膜56，作为基部具有一个树脂薄膜22，在该树脂薄膜22的一个面上叠层形成有第一金属蒸镀膜28a。另外，在这样的第一金属蒸镀膜28a的与树脂薄膜22侧相反侧的面上，第一蒸镀聚合膜24a和第一金属蒸镀膜28a以该顺序且以交替地各一个的方式分别叠层形成多层。该叠层薄膜56所具有的树脂薄膜22、第一蒸镀聚合膜24a和第一金属蒸镀膜28a都与所述的第一及第二实施方式中的叠层薄膜10、21所具有的薄膜具有使用相同的材料的相同的构造，其各自的厚度也相同。
另外，在树脂薄膜22的一个端部上形成有边缘部57a，该边缘部57a作为第一金属蒸镀膜28a的非形成部分。而且，在被叠层于树脂薄膜22上的多个第一蒸镀聚合膜24a中，从树脂薄膜22侧开始数，在第一层、第三层和第五层的第一蒸镀聚合膜24a上，在与树脂薄膜22的边缘部57a形成侧相反侧的端部上分别形成有边缘部57b、57d、57f。另外，在第二层和第四层的第一蒸镀聚合膜24a上，在树脂薄膜22的边缘部57a形成侧的端部上分别形成有边缘部57c、57e。此外，虽未图示，在之前详述的几个叠层型的复合元件上，在树脂薄膜12、22的端部上以及第一蒸镀聚合膜16a、24a和第二蒸镀聚合膜16b、24b的各端部上，同样分别形成有边缘部，该边缘部作为第一金属蒸镀膜14a、28a以及第二金属蒸镀膜14b、28b的非形成部分。
而且，通过以原本状态使用一个叠层薄膜56，或通过相互重合地使用多个叠层薄膜56，由此构成复合元件。另外，通过一个该叠层薄膜56卷绕一圈或多圈，或者通过多个叠层薄膜56以相互重合的状态卷绕一圈或多圈，由此构成卷绕型元件。而且，通过对这些复合元件以及卷绕型元件安装保护薄膜以及一对金属喷镀电极等外部电极、规定的端子等，由此形成叠层型或卷绕型的薄膜电容器。此外，在仅使用一个叠层薄膜56而成的薄膜电容器中，树脂薄膜22不具有作为电介质的功能，仅具有作为基部的功能。
如上所述，在使用一个或多个叠层薄膜56而形成的本实施方式的薄膜电容器中，任一薄膜电容器中，薄壁的第一蒸镀聚合膜24a都一个个地分别位于相邻的第一金属蒸镀膜28a、28a之间。另外，一个叠层薄膜56仅具有一个树脂薄膜22作为基部，通过多个薄壁的第一蒸镀聚合膜24a来构成电介质。因此，在本实施方式的薄膜电容器中，能够进一步有效地实现整个电容器的小型化和静电容量的增大。
另外，叠层薄膜56例如是使用具有图16所示的构造的叠层薄膜制造装置58来制造的，该叠层薄膜56提供本实施方式的薄膜电容器。
根据图16能够明确，叠层薄膜制造装置58具有真空槽60。通过未图示的真空泵的动作，该真空槽60的内部被减压至规定的压力，成为真空状态。在真空槽60内，配置有旋转卷筒62。该旋转卷筒62通过电动马达等旋转驱动装置(未图示)向一个方向(这里为顺时针的方向，图16中的空心箭头的方向)连续地旋转驱动，另外，对该旋转卷筒62的外周面卷绕树脂薄膜22。在真空槽60内的旋转卷筒62的周围，边缘部形成装置64、金属蒸镀膜形成装置66、油薄膜去除装置68、蒸镀聚合膜形成装置70、以及等离子处理装置72以该顺序在顺时针方向上排列，且在旋转卷筒62的周方向上相互隔开间隔地配置。
边缘部形成装置64是如下装置：通过蒸镀等，对卷绕在旋转卷筒62上的树脂薄膜22的外周面及叠层形成在树脂薄膜22上的第一蒸镀聚合膜24a局部地形成油薄膜，在这些油薄膜的形成部位上，该边缘部形成装置64在树脂薄膜22及第一蒸镀聚合膜24a上分别形成边缘部57a～57f。该边缘部形成装置64，在旋转卷筒62旋转时，隔开一定的时间间隔，间歇地进行动作。
金属蒸镀膜形成装置66是如下装置：对由规定的金属材料构成的蒸镀材料进行加热并使其蒸发，实施真空蒸镀，由此，在卷绕在旋转卷筒62上的树脂薄膜22的外周面上形成第一金属蒸镀膜28a。此外，在通过上述的边缘部形成装置64而形成在树脂薄膜22以及第一蒸镀聚合膜24a上的边缘部57a～57f上，不会附着通过金属蒸镀膜形成装置66加热并蒸发的金属原子。因此，在这样的边缘部57a～57f上不形成第一金属蒸镀膜28a。
油薄膜去除装置68是去除油薄膜的装置，该油薄膜通过边缘部形成装置64形成在树脂薄膜22及第一蒸镀聚合膜24a上，构成边缘部57a～57f。该油薄膜去除装置68具有以往公知的构造。
蒸镀聚合膜形成装置70具有对多种原料单体进行加热、使其蒸发的机构。而且，在被卷绕在旋转卷筒62上的树脂薄膜22的外周面上及叠层形成在树脂薄膜22上的第一金属蒸镀膜28a上，引起已蒸发的多种原料单体的聚合反应，由此，在树脂薄膜22的外周面上及第一蒸镀聚合膜24a上，形成第一蒸镀聚合膜24a。
等离子处理装置72具有发生等离子的公知的构造。而且，对形成在树脂薄膜22上及第一金属蒸镀膜28a上的第一蒸镀聚合膜24a的表面照射已发生的等离子，对该第一蒸镀聚合膜24a的表面进行等离子处理。该等离子处理装置72还对形成第一金属蒸镀膜28a及第一蒸镀聚合膜24a之前的树脂薄膜22的外周面照射等离子，进行针对树脂薄膜22的外周面的等离子处理。通过这样的等离子处理装置72所进行的第一蒸镀聚合膜24a表面的等离子处理，能够谋求第一蒸镀聚合膜24a的耐压以及耐热性的提高。另外，第一蒸镀聚合膜24a表面被活性化，该第一蒸镀聚合膜24a相对于油薄膜及第一金属蒸镀膜28a的紧密帖合性也得到提高。而且，通过等离子处理装置72所进行的树脂薄膜22外周面的等离子处理，还能够谋求树脂薄膜22相对于油薄膜以及第一金属蒸镀膜28a的紧密帖合性的提高。
在使用具有这样的构造的叠层薄膜制造装置58而得到叠层薄膜56时，例如，首先，在旋转卷筒62上卷绕树脂薄膜22后，使真空槽60内成为真空状态。另一方面，对旋转卷筒62向图16的空心箭头的方向进行旋转驱动。
真空槽60内成为规定的真空状态后，对旋转卷筒62进行旋转驱动，并使等离子处理装置72动作。由此，伴随旋转卷筒62的旋转，对被卷绕在旋转卷筒62上的树脂薄膜22的外周面相继进行等离子处理。而且，当树脂薄膜22的进行了等离子处理的外周面部分的始端部因旋转卷筒62的旋转而到达与边缘部形成装置64的配设位置相对应的位置后，使边缘部形成装置64仅动作规定的时间。由此，在树脂薄膜22的外周面上的一部分上，以规定的周方向长度形成油薄膜(未图示)。这样，在树脂薄膜22的外周面中的油薄膜的形成部位上形成边缘部57a。
然后，当因旋转卷筒62的旋转，树脂薄膜22的边缘部57a到达与金属蒸镀膜形成装置66的配设位置相对应的位置后，使金属蒸镀膜形成装置66的动作开始。由此，在树脂薄膜22的外周面上，形成第一金属蒸镀膜28a。此时，在设在树脂薄膜22的外周面上的边缘部57a上，不形成第一金属蒸镀膜28a。即，通过金属蒸镀膜形成装置66，在除边缘部57的形成部位以外的树脂薄膜22的外周面部分上，形成第一金属蒸镀膜28a。
而且，当伴随旋转卷筒62的进一步的旋转、树脂薄膜22的边缘部57a到达与油薄膜去除装置68的配设位置相对应的位置后，通过油薄膜去除装置68去除设在边缘部57a上的油薄膜。
然后，通过旋转卷筒62的进一步的旋转，当被去除了油薄膜的、树脂薄膜22的边缘部57a到达与蒸镀聚合膜形成装置70的配设位置相对应的位置后，使蒸镀聚合膜形成装置70的动作开始。由此，在树脂薄膜22的边缘部57a上和第一金属蒸镀膜28a上形成第一蒸镀聚合膜24a。
这样，在使旋转卷筒62旋转一圈期间，在树脂薄膜22的外周面(树脂薄膜22的厚度方向的一侧的面)中的除边缘部57a的部位上形成第一金属蒸镀膜28a，并且，在树脂薄膜22的边缘部57a上和第一金属蒸镀膜28a上叠层形成第一蒸镀聚合膜24a(参照图15)。
而且，使金属蒸镀膜形成装置66、蒸镀聚合膜形成装置70和等离子处理装置72继续连续地动作直至作为目标的叠层薄膜56的制造结束。另一方面，从树脂薄膜22的边缘部57a到达边缘部形成装置64的配设位置且旋转卷筒62的旋转进入第二圈后，在旋转卷筒62的第2、4、6圈结束之前和第3、5圈开始以后，分别仅使边缘部形成装置64动作规定的时间。由此，如图15所示，在叠层在树脂薄膜22的外周面上的各第一蒸镀聚合膜24a的一侧或另一侧的端部上形成边缘部57b～57f。另外，每当这些各边缘部57b～57f通过油薄膜去除装置68前方则使油薄膜去除装置68动作，从而将形成在各边缘部57b～57f上的油薄膜去除。这样，制造具有如图15所示的构造的叠层薄膜56。
此外，在使用叠层薄膜制造装置58制造叠层薄膜56时，也可以在旋转卷筒62旋转一圈期间，在被卷绕在旋转卷筒62上的树脂薄膜22的外周面的周上的多个位置上形成边缘部57a，并进行上述那样的第一金属蒸镀膜28a以及第一蒸镀聚合膜24a的形成操作等。由此，能够在旋转卷筒62的周方向上连续地形成具有图15所示的构造的多个叠层薄膜56。在此情况下，这些多个叠层薄膜56被相互切分，分别作为复合元件进行利用。
而且，如图17所示，对叠层薄膜56的形成有边缘部57a、57c、57e的一侧的侧面形成外部电极(金属喷镀电极)74a，另外，对形成有边缘部57b、57d、57f的另一侧的侧面形成外部电极(金属喷镀电极)74b。由此，在被叠层在树脂薄膜22上的多层(这里为6层)第一金属蒸镀膜28a中，使第一层、第三层、第五层的第一金属蒸镀膜28a，在与边缘部57a、57c、57e的邻接侧相反侧的端面中，位于与外部电极74b的内侧面接触的位置，从而仅相对于外部电极74b成为导通状态。另一方面，使第二层、第四层、第六层的第一金属蒸镀膜28a，在与边缘部57b、57d、57f的邻接侧相反侧的端面中，位于与外部电极74a的内侧面接触的位置，从而仅相对于外部电极74a成为导通状态。而且，将这两个外部电极74a、74b中的任一方作为正极，而将其中的任意另一方成为负极。另外，根据需要，在叠层薄膜56的外部电极74a、74b的形成面以外的面上安装保护薄膜等。这样，能够得到叠层型的薄膜电容器76。
此外，外部电极74a、74b优选通过实施喷镀而形成，该喷镀使用与例如第一金属蒸镀膜28a的形成材料相同的金属材料。因此，能够提高外部电极74a、74b与第一金属蒸镀膜28a之间的紧密帖合性。另外，在此，叠层薄膜56所具有的电介质由具有官能团(例如，-OH基或C＝O基)的第一蒸镀聚合膜24a和第二蒸镀聚合膜24b构成。因此，这些第一以及第二蒸镀聚合膜24a、24b与通过喷镀形成的外部电极74a、74b之间的附着性基于氢键或范德瓦耳斯力被有效提高。其结果是，能够有利地防止外部电极74a、74b从叠层薄膜56剥离。
下面，图18以及图20中，分别对提供构成根据本发明的薄膜电容器的基本元件的叠层薄膜的另外几个例子以其纵剖视形态进行表示。图18所示的叠层薄膜78具有一个树脂薄膜22作为基部，在该树脂薄膜22的一个面上叠层形成有第一蒸镀聚合膜24a。另外，在这样的第一蒸镀聚合膜24a的与树脂薄膜22侧相反侧的面上，第一金属蒸镀膜28a和第一蒸镀聚合膜24a以该顺序并以逐个交替取位的方式叠层形成。
这样的叠层薄膜78也能够使用图16所示的叠层薄膜制造装置58来制造。此时，例如，在旋转卷筒62旋转第一圈时，通过蒸镀聚合膜形成装置70在树脂薄膜22的外周面上形成第一蒸镀聚合膜24a。之后，在旋转卷筒62的第二圈旋转以后，实施与在所述叠层薄膜78的树脂薄膜22上交替叠层形成第一金属蒸镀膜28a和第一蒸镀聚合膜24a时相同的方法。由此，制造出具有图18所示的构造的叠层薄膜78。此外，虽未图示，在该叠层薄膜78中，与图15所示的叠层薄膜56相同，在各第一蒸镀聚合膜24的一侧或另一侧的端部上，分别形成有边缘部。另外，叠层薄膜78所具有的树脂薄膜22、第一蒸镀聚合膜24a和第一金属蒸镀膜28a都与所述的第一及第二实施方式中的叠层薄膜10、21所具有的薄膜具有使用相同的材料的相同的构造，其各自的厚度也相同。
而且，通过以原本状态使用一个叠层薄膜78，或通过相互重合多个叠层薄膜78，来构成复合元件。另外，通过将一个叠层薄膜78卷绕一圈或数圈，或通过将由多个叠层薄膜78相互重合而成的叠层构造体卷绕一圈或数圈，来构成卷绕型元件。而且，通过在这些复合元件以及卷绕型元件上安装保护薄膜或一对金属喷镀电极等外部电极、规定的端子等，形成叠层型或卷绕型的薄膜电容器。此外，在仅使用一个叠层薄膜78而成的薄膜电容器中，树脂薄膜22不具有作为电介质的功能，仅具有作为基部的功能。
如上所述，在使用一个或多个叠层薄膜78形成的本实施方式的薄膜电容器中，任何一个薄膜电容器都是使薄壁的第一蒸镀聚合膜24a一个个位于相邻的第一金属蒸镀膜28a、28a之间。另外，一个叠层薄膜78仅具有一个树脂薄膜22作为基部，通过多个薄壁的第一蒸镀聚合膜24a来构成电介质。因此，在本实施方式的薄膜电容器中，能够进一步有效地实现整个电容器的小型化和静电容量的增大。
而且，以相对于一个叠层薄膜78的树脂薄膜22，使另一个叠层薄膜78中的与树脂薄膜22侧相反侧的位于最上层的第一金属蒸镀膜28a重合的方式，对多个叠层薄膜78进行重合而形成复合元件，在使用该复合元件而形成的薄膜电容器中，在一个面上叠层有第一蒸镀聚合膜24a的树脂薄膜22被夹持配置在相邻的第一金属蒸镀膜28a、28a之间。另外，与该复合元件同样地，对重合多个叠层薄膜78而成的叠层构造体进行卷绕从而构成卷绕型元件，在使用该卷绕型元件而形成的薄膜电容器中，在一个面上叠层有第一蒸镀聚合膜24a的树脂薄膜22被夹持配置在相邻的第一金属蒸镀膜28a、28a之间。因此，在具有这样的构造的叠层型以及卷绕型的薄膜电容器中，不仅能够实现整个电容器的小型、大容量化，还能够有利地确保充分耐压。
图19所示的叠层薄膜80，具有一个树脂薄膜22作为基部，在该树脂薄膜22的一个面和另一个面上，分别叠层形成有第一金属蒸镀膜28a和第二金属蒸镀膜28b。另外，在第一金属蒸镀膜28a的与树脂薄膜22侧相反侧的面上，第一蒸镀聚合膜24a和第一金属蒸镀膜28a以该顺序且以逐个交替取位的方式叠层形成。
这样的叠层薄膜80能够使用与图16所示的叠层薄膜制造装置58构造稍有不同的装置制造。即，例如将具有以下构造的装置用作制造装置：在真空槽60内设置不同于旋转卷筒62另外的旋转卷筒，另外，在这样的另外的旋转卷筒的周围，配设不同于金属蒸镀膜形成装置66的另外的金属蒸镀膜形成装置。而且，将树脂薄膜22卷绕在另外的旋转卷筒上，在树脂薄膜22的一个面上，通过另外的金属蒸镀膜形成装置形成第二金属蒸镀膜28b。然后，将形成有第二金属蒸镀膜28b的树脂薄膜22以使第二金属蒸镀膜28b的形成面成为内侧的方式卷绕在旋转卷筒62上，然后实施与上述的叠层薄膜56的制造工序相同的工序。由此，制造具有图19所示的构造的叠层薄膜80。此外，虽未图示，在该叠层薄膜80中，与图15所示的叠层薄膜56相同地，在树脂薄膜22的一个端部上和各第一蒸镀聚合膜24a的一侧或另一侧的端部上分别形成有边缘部。另外，叠层薄膜80所具有的树脂薄膜22、第一蒸镀聚合膜24a和第一及第二金属蒸镀膜28a、28b都与所述实施方式中的叠层薄膜10、21、34所具有的薄膜具有使用相同的材料的相同的构造，其各自的厚度也相同。
而且，通过以原本状态使用一个该叠层薄膜80，或通过将多个叠层薄膜80相互重合，由此构成复合元件。另外，通过将一个叠层薄膜80卷绕一圈或数圈，或通过将由多个叠层薄膜80相互重合而成的叠层构造体卷绕一圈或数圈，由此构成卷绕型元件。而且，通过在这些复合元件或卷绕型元件上安装保护薄膜或一对金属喷镀电极等外部电极、规定的端子等，由此形成叠层型或卷绕型的薄膜电容器。
在使用这样的叠层薄膜80而形成的本实施方式的薄膜电容器中，薄壁的第一蒸镀聚合膜24a分别一个个地位于相邻的第一金属蒸镀膜28a、28a之间。另外，一个叠层薄膜80所具有的树脂薄膜22仅为一个。因此，在本实施方式的薄膜电容器中，能够进一步有效地实现整个电容器的静电容量的增大和更小型化。此外，在本实施方式中，树脂薄膜22配置在相邻的第一金属蒸镀膜28a、28a之间。因此，树脂薄膜22作为电介质有效地发挥作用。
图20所示的叠层薄膜82，具有一个树脂薄膜22作为基部，在该树脂薄膜22的一个和另一个面上，分别叠层形成有第一蒸镀聚合膜24a和第二蒸镀聚合膜24b。另外，在第一蒸镀聚合膜24a和第二蒸镀聚合膜24b的与树脂薄膜22侧相反侧的面上，分别叠层形成有第一金属蒸镀膜28a和第二金属蒸镀膜28b。而且，在第一金属蒸镀膜28a的与树脂薄膜22侧相反侧的面上，第一蒸镀聚合膜24a和第一金属蒸镀膜28a以该顺序且以逐个交替取位的方式叠层形成。
这样的叠层薄膜82也能够使用与图16所示的叠层薄膜制造装置58构造稍有不同的装置制造。即，将例如具有以下构造的装置作为制造装置使用：在真空槽60内设置不同于旋转卷筒62的另外的旋转卷筒，另外，在这样的另外的旋转卷筒的周围配设不同于金属蒸镀膜形成装置66和蒸镀聚合膜形成装置70的另外的金属蒸镀膜形成装置和蒸镀聚合膜形成装置。而且，将树脂薄膜22卷绕在另外的旋转卷筒上，在树脂薄膜22的一个面上，通过另外的蒸镀聚合膜形成装置和另外的金属蒸镀膜形成装置形成第二蒸镀聚合膜24b和第二金属蒸镀膜28b。然后，将树脂薄膜22以使第二蒸镀聚合膜24b和第二金属蒸镀膜28b的形成面成为内侧的方式卷绕在旋转卷筒62上，然后实施与上述的叠层薄膜78的制造工序相同的工序。由此，制造具有图20所示的构造的叠层薄膜82。此外，虽未图示，在该叠层薄膜82中，与图15所示的叠层薄膜56相同地，各第一蒸镀聚合膜24a的一侧或另一侧的端部上分别形成有边缘部。另外，叠层薄膜82所具有的树脂薄膜22、第一以及第二蒸镀聚合膜24a、24b和第一及第二金属蒸镀膜28a、28b都与所述实施方式中的叠层薄膜10、21、34所具有的薄膜具有使用相同的材料的相同的构造，其各自的厚度也相同。
而且，与使用上述的叠层薄膜80得到薄膜电容器的情况相同，使用一个或多个叠层薄膜82，能够形成叠层型或卷绕型的薄膜电容器。
在使用这样的叠层薄膜82而形成的本实施方式的薄膜电容器中，薄壁的第一蒸镀聚合膜24a分别一个个地位于相邻的第一金属蒸镀膜28a、28a之间。另外，一个叠层薄膜82所具有的树脂薄膜22仅为一个。因此，在本实施方式的薄膜电容器中，能够进一步有效地实现整个电容器的静电容量的增大和更小型化。
另外，在本实施方式的薄膜电容器中，在第一金属蒸镀膜28a与第二金属蒸镀膜28b之间，配置有复合电介质26，该复合电介质26是在树脂薄膜22的两面上叠层第一蒸镀聚合膜24a和第二蒸镀聚合膜24b而成的。因此，在这样的本实施方式的薄膜电容器中，不仅能够实现整个电容器的小型、大容量化，还能够有利地确保充分的耐压和高电容率。
以上，对本发明的具体的构成进行了详述，但这些不过是示例。其他内容虽不能一一列举，但本发明也能够在基于本领域技术人员的知识而进行了各种变更、修正、改良等的状态下实施。另外，这样的实施方式，只要不脱离本发明的主旨，当然都包含在本发明的范围内。

Claims (15)

1.一种薄膜电容器，是使用具有将多个电介质层和至少一个金属蒸镀膜层叠层而成的构造的基本元件而得到的，其特征在于，
所述多个电介质层由一个树脂薄膜层和至少一个蒸镀聚合膜层构成，且该至少一个蒸镀聚合膜层叠层形成在该树脂薄膜层上及/或所述金属蒸镀膜层上。
2.如权利要求1所述的薄膜电容器，其特征在于，所述基本元件构成为：在所述树脂薄膜层的两面上分别形成所述金属蒸镀膜层，并且，使所述蒸镀聚合膜层进一步叠层形成在这些金属蒸镀膜层中的至少任一方上。
3.如权利要求2所述的薄膜电容器，其特征在于，该薄膜电容器是使用卷绕所述基本元件而成的卷绕型元件而构成的。
4.如权利要求1或2所述的薄膜电容器，其特征在于，该薄膜电容器是使用复合元件构成的，所述复合元件是多个所述基本元件以如下方式重合而成的：该多个所述基本元件形成仅所述树脂薄膜层位于所述金属蒸镀膜层之间的部分和仅所述蒸镀聚合膜层位于该金属蒸镀膜层之间的部分。
5.如权利要求2至4的任一项所述的薄膜电容器，其特征在于，所述蒸镀聚合膜层具有0.01～30μm的范围内的厚度。
6.如权利要求1所述的薄膜电容器，其特征在于，所述基本元件通过如下方式构成：在所述树脂薄膜层的单面或两面上分别形成所述蒸镀聚合膜层，并且，使所述金属蒸镀膜层进一步叠层形成在这些蒸镀聚合膜层中的至少任一方上。
7.如权利要求6所述的薄膜电容器，其特征在于，所述蒸镀聚合膜层具有0.001～10μm的范围内的厚度。
8.如权利要求6或7所述的薄膜电容器，其特征在于，所述基本元件通过如下方式构成：在所述树脂薄膜层的两面上分别形成所述蒸镀聚合膜层，并且，在这些蒸镀聚合膜层上分别形成所述金属蒸镀膜层，而且，使另外的蒸镀聚合膜层或另外的树脂薄膜层作为电介质层叠层形成在这些金属蒸镀膜层中的至少任一方上。
9.如权利要求8所述的薄膜电容器，其特征在于，该薄膜电容器使用卷绕所述基本元件而成的卷绕型元件构成。
10.如权利要求6至8的任一项所述的薄膜电容器，其特征在于，所述多个基本元件使用复合元件而构成，该复合元件以使所述电介质层的至少一个位于相邻的基本元件的所述金属蒸镀膜层之间的方式重合多个所述基本元件而成。
11.如权利要求1至10的任一项所述的薄膜电容器，其特征在于，所述蒸镀聚合膜层由聚脲树脂膜形成。
12.如权利要求1至11的任一项所述的薄膜电容器，其特征在于，所述蒸镀聚合膜层具有三维交联构造。
13.如权利要求1至12的任一项所述的薄膜电容器，其特征在于，所述蒸镀聚合膜层具有比所述树脂薄膜层高的电容率。
14.如权利要求1所述的薄膜电容器，其特征在于，所述基本元件具有将所述蒸镀聚合膜层和所述金属蒸镀膜层交替地多层叠层形成在所述树脂薄膜层上而成的构造。
15.一种薄膜电容器的制造方法，其特征在于，包括：
准备权利要求1至14的任一项所述的基本元件的工序；
使用重合多个该基本元件而得到的复合元件、或使用卷绕该基本元件而得到的卷绕型元件，得到作为目标的薄膜电容器的工序。
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