CN101837682A - 液滴排出头的检查方法、检查装置及液滴排出装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供能够缩短点图形的检查时间的液滴排出头的检查方法、检查装置及液滴排出装置。执行点图形列形成处理、点图形检查处理和点图形检查列转换处理，其中点图形列形成处理对检查用卷筒纸从喷嘴列至少2次将功能液滴排出于互不相同的位置来形成多列点图形列；点图形检查处理选择上述所形成的多列点图形列之中的特定一列，并按照包括于该点图形列的每个上述点图形，采用图像处理依次取得基于该点图形的形状的预定的检查值而进行检查；点图形检查列转换处理在上述依次取得的上述预定的检查值超过相应于该预定的检查值所预先确定的预定阈值的情况下，中止上述选中的点图形列的检查，并转换为除了该中止的点图形列之外所形成的第2点图形列的检查。

Description

液滴排出头的检查方法、检查装置及液滴排出装置

技术领域

本发明涉及液滴排出头的检查方法、液滴排出头的检查装置及液滴排出装置。

背景技术

近年来，采用喷墨方式的液滴排出装置，制造电光装置。作为该电光装置，可例示液晶显示装置、有机EL(Electro Luminescence，电致发光)装置等的具有滤色器的装置。当采用液滴排出装置制造这些电光装置时，必须使液滴从液滴排出头按照预定量、非常正确地排出(滴落)于被排出对象的预定位置。

在下述专利文献1，公开了对从液滴排出头的喷嘴列排出的多个液滴的点图形(dot pattern)进行检查的方法及装置的发明。专利文献1的发明为：对检查用工件的预定的形成点图形的区域以相机进行观测，并且如果在该部分存在灰尘等妨碍检查的不良状况，则通过避开该区域而形成检查用的点图形，而可以适当地进行点图形的检查。

【专利文献1】特开2007-144344号公报

可是，在检查用工件的预定的形成点图形的区域存在微细的擦伤和/或裂纹等的不良状况的情况下，通过相机进行的图像识别变得困难，存在无法避开该不良状况的问题。即，这些不良状况具有液滴排出于此处后才开始明显化的特性。

若液滴从液滴排出头滴落于微细的擦伤和/或裂纹等所存在的区域，则液滴沿该擦伤和/或裂纹流出，检查用的点图形的形状发生变化，进而相邻的点图形彼此之间相连。如此的情况下，因为无法对点图形正确地进行检查，所以必须再次在检查用工件形成点图形而重新(重做)检查。因此，点图形的检查时间变长，对后续的产品制造步骤造成影响。

发明内容

本发明鉴于上述问题点所作出，目的在于提供能够缩短点图形的检查时间的液滴排出头的检查方法、液滴排出头的检查装置及液滴排出装置。

为了解决上述的问题，本发明作为对从液滴排出头的喷嘴列排出的多个液滴的点图形进行检查的液滴排出头的检查方法，采用下述方法，该方法包括点图形列形成步骤、点图形检查步骤、和点图形检查列转换步骤，其中，点图形列形成步骤中，对检查用工件，从上述喷嘴列至少2次将上述液滴排出于互不相同的位置，形成多列上述点图形；点图形检查步骤中，选择上述形成的多列点图形列之中的特定一列，并按照包括于该点图形列的上述点图形的每个，采用图像处理依次取得基于该点图形的形状的预定的检查值而进行检查；点图形检查列转换步骤中，在上述依次取得的上述预定的检查值超过相应于该预定的检查值所预先确定的预定阈值的情况下，中止上述选中的点图形列的检查，并转换为除了该中止的点图形列之外所形成的第2点图形列的检查。

通过采用如此的方法，在本发明中，可以从同一喷嘴列至少2次将液滴排出于检查用工件，预先形成多列检查用的点图形列，对于存在不良状况的点图形列，利用形成于与其不同的位置的点图形列而开展检查。因此，不必再次在检查用工件形成点图形而重新检查，能够缩短点图形的检查时间。

并且，在本发明中，采用如下的方法：在上述点图形检查列转换步骤中，转换为相邻于上述中止的点图形列的上述第2点图形列的检查。

通过采用如此的方法，在本发明中，能够缩短转换点图形列时产生的检查列转换时间。

并且，在本发明中，采用如下的方法：上述预定的检查值包括上述点图形的面积值。

通过采用如此的方法，在本发明中，因为当液滴沿擦伤等流动时，该点图形沿擦伤等延伸、面积变大，所以基于该面积的值而能对不良状况的存在进行判断。

并且，在本发明中，采用如下的方法：上述预定的检查值包括上述点图形的重心位置的值。

通过采用如此的方法，在本发明中，因为当液滴沿擦伤等流动时，该点图形沿擦伤等延伸、重心位置偏离，所以基于该重心位置的值而能对不良状况的存在进行判断。

并且，在本发明中，采用如下的方法：在上述点图形检查列转换步骤中，在检测到上述依次取得的上述重心位置在与上述选中的点图形列的列方向正交的方向的任一方侧超过上述预定的阈值的情况下，中止上述选中的点图形列的检查，并转换为除了该中止的点图形列及在检测为超过上述预定的阈值的一侧相邻所形成的点图形列之外所形成的第2点图形列的检查。

通过采用如此的方法，在本发明中，在点图形的重心位置偏离到与点图形列正交的方向的任一方侧的情况下，能够判断为，该点图形、和在其一方侧与该点图形列相邻的点图形列中所包括的点图形相连。即，该一方侧的点图形列即使进行检查，其呈现异常值的可能性也高。因此，通过对避开该点图形列的其他点图形列进行检查，能够省去无用的检查，能够有助于检查时间的缩短。

并且，在本发明中，作为对从液滴排出头的喷嘴列排出的多个液滴的点图形进行检查的液滴排出头的检查装置，采用下述构成，该构成具有执行点图形列形成处理、点图形检查处理、和点图形检查列转换处理的控制装置，其中，点图形列形成处理中，对于检查用工件，从上述喷嘴列至少2次将上述液滴排出于互不相同的位置，形成多列上述点图形；点图形检查处理中，选择上述形成的多列点图形列之中的特定一列，按照包括于该点图形列的上述点图形的每个，采用图像处理依次取得基于该点图形的形状的预定的检查值而进行检查；点图形检查列转换处理中，在上述依次取得的上述预定的检查值超过相应于该预定的检查值所预先确定的预定阈值的情况下，中止上述选中的点图形列的检查，并转换为除了该中止的点图形列之外所形成的第2点图形列的检查。

通过采用如此的构成，在本发明中，可以从同一喷嘴列至少2次将液滴排出于检查用工件，预先形成多列检查用的点图形列，并对于存在不良状况的点图形列，利用形成于与其不同的位置的点图形列而展开检查。因此，不必再次在检查用工件形成点图形而重新检查，能够缩短点图形的检查时间。

并且，在本发明中，采用具有先前所述的液滴排出头的检查装置的液滴排出装置。

附图说明

图1是本发明的实施方式中的液滴排出装置的俯视模式图。

图2是本发明的实施方式中的从喷嘴面侧看功能液滴排出头的模式图。

图3是本发明的实施方式中的表示液滴排出装置的控制系统的框图。

图4是本发明的实施方式中的表示检查用相机的检查区域的俯视模式图。

图5是本发明的实施方式中的功能液滴排出头检查处理的流程图。

图6是本发明的实施方式中的功能液滴排出头检查处理的流程图。

图7是表示本发明的实施方式中的形成于检查用卷筒纸的多列点图形列的图。

图8是表示本发明的实施方式中的形成于检查用卷筒纸的多列点图形列的图。

符号的说明

1...液滴排出装置，4...排出检查单元(检查装置)，17...功能液滴排出头(液滴排出头)，105...控制部(控制装置)，L...点图形列，P...点图形，S...检查用卷筒纸(检查用工件)

具体实施方式

以下，参照附图，关于本发明中的液滴排出头的检查方法及检查装置、进而具有其的液滴排出装置的一个实施方式进行说明。本实施方式的液滴排出装置设置于组装到液晶显示装置的FPD(Flat Panel Display，平板显示器)生产线的描绘系统，将特殊的墨和/或发光性的树脂液等的功能液导入于液滴排出头，在滤色器等的基板上形成由功能液产生的成膜部。

图1是本发明的实施方式中的液滴排出装置的俯视模式图。图2是从喷嘴面侧看功能液滴排出头的模式图。图3是表示液滴排出装置的控制系统的框图。图4是表示检查用相机的检查区域的俯视模式图。

如示于图1地，液滴排出装置1具有描绘装置2、维护装置3、排出检查单元(检查装置)4，所述描绘装置2具有多个功能液滴排出头(液滴排出头)17，所述维护装置3附设于描绘装置2，所述排出检查单元4用于进行功能液滴排出头17的排出检查。并且，如示于图3地，液滴排出装置1具有对各种数据进行输入的操作面板5、统一对各部分进行控制的控制部(控制装置)105等。还有，在图1中，为了简便，将功能液滴排出头17表示为单个。

该液滴排出装置1构成为，在控制部105的控制之下进行维护处理、功能液滴排出头检查处理、和实际描绘处理，其中，维护处理通过维护装置3维持或者恢复功能液滴排出头17的排出功能，功能液滴排出头检查处理通过排出检查单元4进行功能液滴排出头17的点图形的检查，实际描绘处理通过描绘装置2而使功能液滴排出、到达于基板W(实际描绘用工件)上。

描绘装置2具有由X轴工作台12及Y轴工作台13构成的XY移动机构11，所述X轴工作台12使基板W移动于X轴方向，所述Y轴工作台13使搭载有功能液滴排出头17的滑架14移动于与X轴方向正交的Y轴方向。

由X轴工作台12得到的基板W的移动轨迹、与由Y轴工作台13得到的滑架14的移动轨迹相交的区域成为进行实际描绘处理的描绘区域。并且，由Y轴工作台13得到的喷头单元15的移动轨迹上的从X轴工作台12偏向外侧(图示右侧)的区域成为维护区域。在该维护区域设置维护装置3的一部分。还有，X轴工作台12的跟前侧的区域成为进行基板W相对于液滴排出装置1的移入移出的基板移入移出区域。

X轴工作台12具有设置基板W的设置工作台21、和对设置工作台21进行支持并使之滑动于X轴方向的描绘用X轴滑块22。

在设置工作台21，搭载对基板W进行吸附载置的吸附工作台、对基板W的θ位置进行微调整的基板θ轴工作台等。描绘用X轴滑块22通过构成X轴方向的驱动系统的X轴电动机驱动器113(参照图3)所驱动。

Y轴工作台13跨X轴工作台12地，由竖立设置于地面上的左右支柱(图示省略)所支持，具有搭载了功能液滴排出头17的滑架14、和对滑架14进行支持并使之滑动于Y轴方向的描绘用Y轴滑块23。

滑架14对多个功能液滴排出头17进行保持，并具有对其进行θ校正的排出头θ轴工作台26。还有，虽然在本实施方式中，具有单个滑架14，但是其个数为任意。描绘用Y轴滑块23通过构成Y轴方向的驱动系统的Y轴电动机驱动器114(参照图3)所驱动。

如示于图2地，功能液滴排出头17由未图示的功能液包等供给功能液，以喷墨方式(例如压电元件驱动)排出功能液滴。该功能液滴排出头17具有互相平行地形成于喷嘴面41的2列喷嘴列42(喷嘴列42a、42b)。

喷嘴列42的长度例如为1英寸(约25.4mm)，喷嘴列42以等间距(约140μm)并排形成180个喷嘴43所构成。并且，2列喷嘴列42之间的距离例如约为2.2mm。

还有，排出头内流路的结构方面，因为来自位于两端部的喷嘴43的排出量比来自位于中央部的喷嘴43的排出量多，所以使两端部的各10个喷嘴43为不排出喷嘴，使中央部的160个喷嘴43为排出喷嘴，仅能从排出喷嘴排出功能液、从不排出喷嘴无法排出功能液。

如示于图1地，液滴排出装置1具有对准装置16。对准装置16具有基板识别相机51(参照图3)、和排出头识别相机52(参照图1及图3)，所述基板识别相机51对基板W用的对准标识(图示省略)进行图像识别，所述排出头识别相机52对功能液滴排出头17用的对准标识(图示省略)进行图像识别。

维护装置3在维护区域具有从功能液滴排出头17的喷嘴43吸引功能液的吸引单元56、对功能液滴排出头17的喷嘴面41进行清理擦拭的擦拭单元(图示省略)、和对功能液滴的行进状态进行观测的行进观测单元(图示省略)等。

排出检查单元4具有被描绘单元61、和检查用拍摄单元62，所述被描绘单元61使通过功能液滴排出头17描绘检查用的点图形列L(参照图4)的检查用卷筒纸(检查用工件)S铺设于Y轴方向，所述检查用拍摄单元62对点图形列L进行拍摄。

该排出检查单元4对通过各功能液滴排出头17所形成的点图形列L的描绘结果进行图像识别，对功能液滴是否正常地从各喷嘴43排出进行检查。

被描绘单元61具有使检查用卷筒纸S移动于X轴方向的检查用X轴滑块63、和卷绕检查用卷筒纸S的卷绕机构(图示省略)。

检查用X轴滑块63独立于描绘用X轴滑块22所设置，通过构成X轴方向的驱动系统的检查用X轴电动机驱动器113A(参照图3)所驱动。还有，虽然在本实施方式中，使被描绘单元61及设置工作台21载置于分别不同的X轴滑块，但是也可以使二者载置于共用的X轴滑块。

卷绕机构构成为，通过将预定长度(例如50m)的检查用卷筒纸S沿Y轴方向卷绕，使未描绘区域对向于功能液滴排出头17的喷嘴面41。该卷绕例如在每次进行功能液滴排出头的检查处理时进行。

检查用卷筒纸S为将具有基材层和叠层(涂敷)于该基材层的表面、功能液滴所要浸透的受液层的检查纸卷绕为卷筒状的纸。

检查用卷筒纸S具有对应于多次检查描绘的宽度(例如100mm)。并且，检查用卷筒纸S为了使更换频度低，具有预定长度(例如50m)。

还有，作为接受功能液滴排出头17的排出的检查用工件，并不限于检查用卷筒纸S，例如也可以为长方形的检查纸。特别是通过采用卷筒状的检查纸，能够减少换纸频度。而且，虽然必须进行清洗处理，但是也可以采用玻璃基板。

检查用拍摄单元62具有对描绘于检查用卷筒纸S的点图形列L(描绘结果)进行拍摄的检查用相机66(拍摄相机)、和使检查用相机66移动于Y轴方向的检查用Y轴滑块67。

检查用相机66如示于图4地，具有预定的检查区域R(拍摄区域)。该检查用相机66为高倍率(窄视场角)的CCD(Charge Coupled Device，电荷耦合器件)相机，为可以进行包括多列的点图形列L的拍摄的构成。

检查用Y轴滑块67独立于描绘用X轴滑块23所设置，通过构成Y轴方向的驱动系统的检查用Y轴电动机驱动器114A(参照图3)所驱动。

本实施方式的排出检查单元4构成为，使检查用相机66的检查区域R移动于点图形列L的列方向(在图4中为Y轴方向)而取得多幅图像，边连接它们边进行点图形列L的检查。

具体地，若使功能液滴从功能液滴排出头17的喷嘴列42排出一次而在检查用卷筒纸S上形成点图形列L，则每一列点图形列L包括160个点图形P(P1～P160)。在此，每次21个地将点图形P拍摄为一幅图像，并使它们连接为，使其中的第21个(最后)的点图形P21成为下一幅图像的第1个点图形P。即，20(点)×8(幅)＝160(点)，能够以共计8幅图像进行一列点图形列L的检查。还有，在该检查中，采用图像处理，依次取得基于点图形P的形状的预定的检查值而进行检查。在该检查值中，包括点图形P的面积、重心位置(坐标位置)等的值。

接下来，参照图3，关于液滴排出装置1整体的控制系统进行说明。液滴排出装置1的控制系统基本上具有输入部101、图像识别部102、驱动部104、和控制部105，所述输入部101具有对各种数据进行输入的操作面板5，所述图像识别部102具有对准装置16及排出检查单元4所具备的各种相机，所述驱动部104具有对功能液滴排出头17、XY移动机构11等进行驱动的各种驱动器，控制部105对包括这些各部分的液滴排出装置1进行综合控制。

驱动部104具有对功能液滴排出头17进行排出驱动控制的排出头驱动器111、和分别对XY移动机构11等的各种电动机进行驱动控制的电动机驱动器112。排出头驱动器111按照控制部105的指示而生成、施加预定的驱动波形，对功能液滴排出头17进行排出驱动控制。并且，电动机驱动器112具有X轴电动机驱动器113、Y轴电动机驱动器114、基板θ轴电动机驱动器115、排出头θ轴电动机驱动器116、检查用X轴电动机驱动器113A及检查用Y轴电动机驱动器114A，它们按照控制部105的指示，对X轴工作台12、Y轴工作台13、基板θ轴工作台、排出头θ轴工作台26、检查用X轴滑块63及检查用Y轴滑块67的各驱动电动机进行驱动控制。

控制部105具有CPU121、ROM122、RAM123、和P-CON124，它们互相通过总线125连接。ROM122具有控制程序区和控制数据区，所述控制程序区对以CPU121进行处理的控制程序等进行存储，所述控制数据区对用于进行实际描绘处理和/或图像识别的控制数据等进行存储。

RAM123除了各种寄存器组之外，还具有用于进行实际描绘处理的描绘数据区、用于进行功能液滴排出头检查处理的排出检查数据区、暂时对图像数据进行存储的图像数据区等，用作用于控制处理的各种工作区。

在P-CON124，组装有逻辑电路，所述逻辑电路构成为，补充CPU121的功能，并用于处理与外部电路之间的接口信号。因此，P-CON124将图像数据和/或来自输入部101的各种指令等原封不动或者对其进行加工而取入总线125，并与CPU121协同工作，将从CPU121等输入于总线125的数据和/或控制信号原封不动或者对其进行加工而输出于驱动部104。

而且，CPU121按照ROM122内的控制程序，通过P-CON124对各种检测信号、各种指令、各种数据等进行输入，并通过在对RAM123内的各种数据等进行了处理之后、通过P-CON124而对驱动部104等输出各种控制信号，对液滴排出装置1整体进行控制。

例如，CPU121对功能液滴排出头17、X轴工作台12及Y轴工作台13进行控制，以预定的液滴排出条件及预定的移动条件在基板W进行描绘。

在此，关于通过液滴排出装置1进行的向基板W的一系列的实际描绘处理简单地进行说明。首先，在移动到基板移入移出区域的设置工作台21设置基板W，并作为排出功能液滴之前的准备，基于通过基板识别相机51得到的基板对准标识的图像识别结果，进行基板对准工作。

然后，相对于基板W，边使功能液滴排出头17相对地移动边使功能液滴排出。即，反复进行主扫描和副扫描，在基板W的整个区域进行功能液滴的排出(描绘)，所述主扫描中，边通过X轴工作台12使基板W移动于X轴方向，边相对于基板W从多个功能液滴排出头17分别排出功能液滴、使之到达；所述副扫描中，通过Y轴工作台13使排出头单元15移动于Y轴方向。

接下来，参照图5～图7，关于排出检查单元4的功能液滴排出头检查处理(功能液滴排出头的检查方法)详细地进行说明。

图5是功能液滴排出头检查处理的流程图。图6是功能液滴排出头检查处理的流程图。图7是表示形成于检查用卷筒纸的多列点图形列的图。

功能液滴排出头检查处理在上述的实际描绘处理的前后所进行，对功能液滴排出头17的各喷嘴43的排出状态进行检查。通过该功能液滴排出头检查处理，在确认为在各喷嘴43不存在异常的情况下，进行后续的实际描绘处理，在确认为存在异常的情况下，在进行接下来的实际描绘处理之前，进行功能液滴排出头17的维护处理。

在本处理中首先，在检查用卷筒纸S，从喷嘴列42至少2次将功能液滴排出于互相不同的位置，形成多列点图形列L(点图形列形成处理(步骤))。

具体地在本实施方式中，控制部105首先使功能液滴排出头17与检查用卷筒纸S相对向。接下来，控制部105使功能液滴分别从各喷嘴列42(42a、42b)分别共计2次排出于沿X轴方向错开的位置，形成共计4列点图形列L(La1、Lb1、La2、Lb2)(步骤S1)。

还有，如示于图7地，通过喷嘴列42a所形成的点图形列为点图形列La1及点图形列La2。并且，通过喷嘴列42b所形成的点图形列为点图形列Lb1及点图形列Lb2。

这些点图形列在X轴方向上形成为，按符号La1、Lb1、La2、Lb2的顺序排列并互相隔开预定距离(例如，喷嘴列之间的距离)。

接下来，在本处理中，选择多列点图形列L之中的特定一列，按包括于该点图形列的每个点图形P，采用图像处理依次取得基于该点图形P的形状的预定的检查值而进行检查(点图形检查处理(步骤))。

具体地在本实施方式中，控制部105首先选择点图形列La1，并开始检查(步骤S2)。接下来，控制部105使检查用相机66移动，取得包括点图形列La1的最左端的点图形P的检查区域R的图像(步骤S3)。然后，排出检查单元4在控制部105的控制之下，采用图像处理从位于点图形列La1之一端(最左端)的点图形P依次取得点图形P的面积、重心位置(坐标位置)等的检查值(步骤S4)。还有，图7中的十字标记表示点图形P的重心位置。

可是，存在如下情况：图像识别困难的微细的擦伤和/或裂纹等的不良状况存在于该检查用卷筒纸S。即，因为这些不良状况具有液滴排出于此处后才开始明显化的特性，所以难以预先避开该区域而形成点图形列L。

若功能液滴从功能液滴排出头17滴落于微细的擦伤和/或裂纹等所存在的区域，则功能液滴沿该擦伤和/或裂纹流出，导致检查用的点图形P的形状发生变化。例如，如示于图7地，产生相邻的点图形P彼此之间相连的异常的形状的点图形NG。因为该点图形NG被图像识别为一个点图形P，所以该检查值超过正常的点图形P的通常预想的检查值而呈现异常的值。

接下来，在本处理中，在依次取得的点图形P的检查值超过相应于该检查值所预先确定的预定的阈值的情况下，中止选中的点图形列L的检查，并转换为除了该中止的点图形列之外所形成的第2点图形列L的检查(点图形检查列转换处理(步骤))。

具体地在本实施方式中，控制部105对包括于点图形列La1的点图形P的面积是否比通常预想的点图形的面积的1.5倍的值(预定的阈值)大进行判断(步骤S5)。还有，该阈值是基于实验数据和/或经验规律的值，可适当变更该值。

在点图形P的面积为通常预想的点图形的面积的1.5倍的值以下的情况下，控制部105继续进行检查，对直至点图形列La1的最右端(另一端)为止的点图形P的检查是否结束进行判断(步骤S6)。在该判断为否的情况下，控制部105使检查用相机66移动而取得下一检查区域R的图像，并基于图像连接用的点图形P(例如点图形P21)的坐标而使图像连接(步骤S7)。此后，返回到步骤S4，进行直至点图形列La1的最右端为止的点图形P的检查(步骤S4～S7)。

另一方面，在点图形P的面积比通常预想的点图形的面积的1.5倍的值大的情况下，控制部105判断为，正在检查的点图形列La1包括点图形NG而无法进行正常的检查，且以后的点图形P的检查也将归于无效，而使点图形列La1的检查中止(步骤S11)。

然后，控制部105使排出检查单元4的检查对象列从中止了的点图形列La1转换为与其相邻的未检查的点图形列Lb1的检查(步骤S12)。

还有，虽然在此进行转换的第2点图形列L也可以是由相同的喷嘴列42a所形成的点图形列La2，但是与点图形列Lb1相比，使得检查用相机66等的移动距离变长而耗费检查列转换时间。因此，控制部105使之转换为最靠近的点图形列Lb1的检查，谋求检查列转换时间的缩短。

接下来，在本处理中，在步骤S12之后，返回到步骤S3，按照包括于点图形列Lb1的每个点图形P，采用图像处理依次取得基于该点图形P的形状的预定的检查值而检查。在该检查中，在点图形P的面积并未呈现比通常预想的点图形的面积的1.5倍大的值的情况下，控制部105使排出检查单元4进行点图形列Lb1的检查直至最右端为止(步骤S4～S7)。

如果点图形列Lb1的检查结束，则接下来，控制部105对点图形列La1或La2、进而点图形列Lb1或Lb2的检查是否结束进行判断(步骤S8)。即，在此，判断：对于对应于喷嘴列42a的点图形列L之中的一列的检查是否结束、进而对于对应于喷嘴列42b的点图形列L之中的一列的检查是否结束。

在该判断为否的情况下，控制部105使检查向未检查的点图形列L转换(步骤S12)。在此，转换为与点图形列Lb1相邻的点图形列La2的检查。在该检查中，在点图形P的面积并未呈现比通常预想的点图形的面积的1.5倍大的值的情况下，控制部105使排出检查单元4进行点图形列La2的检查直至最右端(步骤S3～S7)。

在步骤S8中，如果对应于各喷嘴列42的点图形列L的检查结束，则控制部105使功能液滴排出头检查处理结束(步骤S9)。

还有，因为点图形列Lb2的检查通过由同一喷嘴列42b所形成的点图形列Lb1的检查所覆盖(cover)，所以为了检查时间的缩短也不进行该检查。

然后，通过控制部105，基于功能液滴排出头检查处理的检查结果，对功能液滴的到达位置偏离(行进弯曲)和/或不排出(堵塞)的有无进行判定，并在认定为异常的情况下，在进行接下来的实际描绘处理之前，进行维护处理。

从而，如果依照于上述的本实施方式，则作为对从功能液滴排出头17的喷嘴列42排出的多个功能液滴的点图形P进行检查的排出检查单元4，采用具有执行点图形列形成处理、点图形检查处理和点图形检查列转换处理的控制部105的构成，其中，点图形列形成处理中，在检查用卷筒纸S，从喷嘴列42至少2次将功能液滴排出于互不相同的位置，形成多列点图形列L；点图形检查处理中，选择上述形成的多列点图形列L之中的特定一列，并按照包括于该点图形列L的每个上述点图形P，采用图像处理依次取得基于该点图形P的形状的预定的检查值而进行检查；点图形检查列转换处理中，在上述依次取得的上述预定的检查值超过相应于该预定的检查值所预先确定的预定阈值的情况下，中止上述选中的点图形列L的检查，并转换为除了该中止的点图形列之外所形成的第2点图形列L的检查。

通过采用如此的构成，在本实施方式中，可以从同一喷嘴列42至少2次将液滴排出于检查用卷筒纸，预先形成多列检查用的点图形列L，并对于存在不良状况的点图形列L，采用形成于与其不同的位置的第2点图形列L而展开检查。因此，不必再次在检查用卷筒纸S重新形成点图形P，能够缩短点图形P的检查时间。

还有，在如示于图8的情况下，为了缩短点图形P的检查时间，优选：控制部105为执行以下的处理的构成。

图8表示点图形NG为点图形列La1及点图形列Lb1的互相相邻的点图形P彼此之间相连所形成的状况。

在如此的情况下，即使中止点图形列La1的检查并转换为点图形列Lb1，也因为二者通过点图形NG相连，所以点图形列Lb1的检查也必须中止。在此，检查时间变长。

于是，控制部105在上述点图形检查列转换处理中，在检测到依次取得的点图形P的重心位置朝向与选中的点图形列L的列方向正交的方向之任一方侧超过预定的阈值的情况下，中止选中的点图形列L的检查，并转换为除了该中止的点图形列L及相邻于检测为超过上述预定的阈值的一侧所形成的点图形列L之外所形成的第2点图形列L的检查。

具体地，控制部105判断：是否检测到在点图形列La1取得的点图形P的重心位置在与其列方向正交的方向(X轴方向)偏离、在点图形列Lb1侧超过比点图形列之间的距离的一半稍小的值(例如点图形列之间距离的0.3倍的值：预定的阈值，在图8中以虚线K表示)。还有，该阈值是基于实验数据和/或凭经验所得的规律的值，可适当变更该值。

即，点图形NG被检测为，在使列间相连的情况下，点图形P的重心位置在X轴方向偏离。控制部105在点图形P的重心位置并未超过上述阈值的情况下，判断为点图形NG为“同一列的结合”，另一方面，在点图形P的重心位置超过上述阈值的情况下，判断为点图形NG为“与相邻列的结合”。

控制部105在判断为“与相邻列的结合”的情况下，避开通过点图形NG相结合的点图形列La1及点图形列Lb1(即，跳过点图形列Lb1)，转换为其他点图形列La2或者Lb2的检查。

通过执行如以上的处理，在点图形P的重心位置向与点图形列L正交的方向之任一方侧偏离的情况下，能够判断为，该点图形P和在其一方侧与该点图形列L相邻的点图形列L中所包括的点图形P相连。即，该一方侧的点图形列L即使进行检查、其呈现异常值的可能性也高。因此，通过对避开该点图形列L的其他点图形列L进行检查，能够省去无用的检查，能够有助于检查时间的缩短。

以上，虽然参照附图，关于本发明的合适的实施方式进行了说明，但是本发明并非限定于上述实施方式。在上述的实施方式中示出的各构成构件的各种形状和/或组合等为一例，可以在不脱离本发明的主旨的范围内基于设计要求等进行各种改变。

例如，虽然在上述实施方式中，说明液滴排出头具有2列喷嘴列，但是本发明也能够应用于仅具有1列喷嘴列的液滴排出头的检查。该情况下，也可以采用从喷嘴列排出3次液滴、形成3列点图形列的方法。

并且，例如，虽然在上述实施方式中，对点图形列与下一检查区域通过检查用相机进行拍摄，但是也可以使检查用拍摄单元具备高倍率窄视场角的描绘观测相机和低倍率宽视场角的区域用相机，通过描绘观测相机对点图形列进行拍摄、通过区域用相机对检查区域进行拍摄。

并且，例如，本发明也可以应用于喷射如下液滴(液状体)的液滴排出装置，上述液滴为：使用于液晶显示器、EL(电致发光)显示器及面发光显示器(FED)的制造等的电极材料、颜色材料等的材料分散(溶解)于预定的分散介质(溶剂)所得的液滴。

并且，作为液滴排出装置，也可以是喷射用于生物芯片制造的生物体有机物的液滴排出装置、用作精密吸管而喷射作为试样的液滴的液滴排出装置。

而且，也可以是对钟表和/或相机等的精密机械精确地(pinpoint)喷射润滑油的液滴排出装置、为了形成用于光通信元件等的微小半球透镜(光学透镜)等而将紫外线固化树脂等的透明树脂液喷射于基板上的液滴排出装置、用于对基板等进行蚀刻而喷射酸或碱等的蚀刻液的液滴排出装置、喷射胶体的流体喷射装置、喷射例如调色剂等的粉状体的固体的调色剂喷射式记录装置。而且，能够在它们之中任何一种液滴排出装置应用本发明。

Claims (11)

1.一种液滴排出头的检查方法，其对从液滴排出头的喷嘴列所排出的多个液滴的点图形进行检查，其特征在于，包括：

点图形列形成步骤，其中，对于检查用工件，从前述喷嘴列至少2次将前述液滴排出于互不相同的位置来形成多列前述点图形；

点图形检查步骤，其中，选择前述所形成的多列点图形列之中的特定一列，按该点图形列中所包括的前述点图形的每个，采用图像处理依次取得基于该点图形的形状的预定的检查值来进行检查；和

点图形检查列转换步骤，其中，在前述依次取得的前述预定的检查值超过相应于该预定的检查值所预先确定的预定阈值时，中止前述被选择的点图形列的检查，并转换为除了该中止的点图形列之外所形成的第2点图形列的检查。

2.根据权利要求1所述的液滴排出头的检查方法，其特征在于：

在前述点图形检查列转换步骤中，转换为与前述中止的点图形列相邻的前述第2点图形列的检查。

3.根据权利要求1或2所述的液滴排出头的检查方法，其特征在于：

前述预定的检查值包括前述点图形的面积值。

4.根据权利要求1～3中的任何一项所述的液滴排出头的检查方法，其特征在于：

前述预定的检查值包括前述点图形的重心位置值。

5.根据权利要求4所述的液滴排出头的检查方法，其特征在于：

在前述点图形检查列转换步骤中，在检测到前述依次取得的前述重心位置向与前述被选择的点图形列的列方向正交的方向的任一方侧超过前述预定的阈值时，中止前述被选择的点图形列的检查，并转换为除了该中止的点图形列及在被检测为超过前述预定的阈值的一侧相邻所形成的点图形列之外所形成的第2点图形列的检查。

6.一种液滴排出头的检查装置，其对从液滴排出头的喷嘴列所排出的多个液滴的点图形进行检查；其特征在于，具有执行以下处理的控制装置，该处理包括：

点图形列形成处理，其中，对于检查用工件，从前述喷嘴列至少2次将前述液滴排出于互不相同的位置来形成多列前述点图形；

点图形检查处理，其中，选择前述所形成的多列点图形列之中的特定一列，按该点图形列中所包括的前述点图形的每个，采用图像处理依次取得基于该点图形的形状的预定的检查值来进行检查；和

点图形检查列转换处理，其中，在前述依次取得的前述预定的检查值超过相应于该预定的检查值所预先确定的预定阈值时，中止前述被选择的点图形列的检查，并转换为除了该中止的点图形列之外所形成的第2点图形列的检查。

7.根据权利要求6所述的液滴排出头的检查装置，其特征在于：

在前述点图形检查列转换处理中，转换为与前述中止的点图形列相邻的前述第2点图形列的检查。

8.根据权利要求6或7所述的液滴排出头的检查装置，其特征在于：

前述预定的检查值包括前述点图形的面积值。

9.根据权利要求6～8中的任何一项所述的液滴排出头的检查装置，其特征在于：

前述预定的检查值包括前述点图形的重心位置值。

10.根据权利要求9所述的液滴排出头的检查装置，其特征在于：

在前述点图形检查列转换处理中，在检测到前述依次取得的前述重心位置向与前述被选择的点图形列的列方向正交的方向的任一方侧超过前述预定的阈值时，中止前述被选择的点图形列的检查，并转换为除了该中止的点图形列及在被检测为超过前述预定的阈值的一侧相邻所形成的点图形列之外所形成的第2点图形列的检查。

11.一种液滴排出装置，其特征在于：

具有权利要求6～10中的任何一项所述的液滴排出头的检查装置。

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