CN101783308B

CN101783308B - 组合式晶片储存盒的储存机台

Info

Publication number: CN101783308B
Application number: CN2009100025597A
Authority: CN
Inventors: 王惟正; 李凤宁
Original assignee: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Current assignee: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Priority date: 2009-01-16
Filing date: 2009-01-16
Publication date: 2011-11-09
Anticipated expiration: 2029-01-16
Also published as: CN101783308A

Abstract

一种组合式晶片储存盒的储存机台，其中晶片放置在晶片储存盒内，而储存机台设于一晶片制造室中，基本上由两行晶片储存模块、一滑动空间以及一机械手臂所组成，滑动空间设于晶片储存模块之间，机械手臂于滑动空间中移动以抓取晶片储存盒。因而，机械手臂可快速地于滑动空间中移动，并且快速地存取设于两侧的晶片储存模块，故机械手臂在移动晶片时，不会发生搬运堵塞的问题，提高存取效率。

Description

组合式晶片储存盒的储存机台

技术领域

本发明涉及一种组合式晶片储存机台，特别涉及一种以可活动地方式设于晶片制造室中的组合式晶片储存机台。

背景技术

一般的晶片制造室通常包括晶片制造系统、搬运系统以及晶片储存系统，以上三个系统可根据需求以及环境作配置。因此，现有晶片储存机台的尺寸也会依照晶片制造室的空间来订做。

一般来说，目前常见的现有晶片储存机台的长度在4-7米，宽度约1.5米，而高度为6米，并且为一体成形制作。由于现有晶片储存机台的尺寸较为大型的关系，当晶片储存机台根据配置安装完成后便不会再被移动。虽然晶片制造室的配置可根据需求事先设计，但仍可能在晶片制造室中有部分畸零地没有被利用到，或者是晶片制造系统中的某机台临时需要较多的储存空间，在这些情况下，现有固定式的大型晶片储存机台被安装于较小的畸零地上，也无法随意的被移动或是临时增加储存空间，故不能提供较佳的空间运用，也不具备较高的机动性。

另外，由于现有晶片储存机台必须依照晶片制造室的空间而订做，因此，每一个设于晶片制造室中的晶片储存机台的尺寸不一定全部相同，必须依照每一设计图的规格而订作，故无法一次大量生产，制造成本相对提高。而现有晶片储存机台在设计时，都以提高晶片存放数量为考虑，因此现有晶片储存机台通常会具有超过两行以上的两行晶片储存模块，在存取晶片时，需要配合较复杂的存取程序来决定存取路径，并且利用晶片储存机台的机械手臂移动晶片时，较容易出现搬运堵塞的问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种组合式晶片储存机台，使得机械手臂在移动晶片时，不会发生搬运堵塞的问题，提高存取效率。

本发明提供一种组合式晶片储存机台，其设于一晶片制造室中，基本上由两行晶片储存模块、一滑动空间以及一机械手臂所组成，滑动空间设于两行晶片储存模块之间，机械手臂于滑动空间中移动以抓取晶片。

应注意的是，组合式晶片储存机台还包括一外壳，外壳容纳晶片储存模块、滑动空间以及机械手臂。

应注意的是，组合式晶片储存机台还包括一滚轮，滚轮设于组合式晶片储存机台的一底面，使组合式晶片储存机台可被移动。

应注意的是，组合式晶片储存机台还包括一止挡部，而该晶片制造室包括一定位部，该定位部设于该晶片制造室的地面上，而该止挡部与该定位部嵌合，使该组合式晶片储存机台可重复定位于该晶片制造室的该地面上。

应注意的是，晶片储存模块包括一暂存输出端口，可用以暂存一待输出晶片。

应注意的是，组合式晶片储存机台的长度为1.3米，宽度为80厘米。

应注意的是，晶片储存模块包括晶片储存格。

本发明还提供一种组合式晶片储存机台，设于一晶片制造室中，包括两行晶片储存模块、一滑动空间、一机械手臂以及一止挡部，滑动空间设于所述晶片储存模块之间，机械手臂于滑动空间中移动晶片，而该晶片制造室包括一定位部，该定位部设于该晶片制造室的地面上，而该止挡部与该定位部嵌合，配合上固定角可使该组合式晶片储存机台重复固定于该晶片制造室的该地面上的同一位置上，不需重新做与高架运输系统的对准(teaching oralignment)。

本发明的有益技术效果在于，组合式晶片储存机台仅设有两行晶片储存模块，并且于两行晶片储存模块之间设有滑动空间，使机械手臂可快速地于滑动空间中移动，并且快速地存取设于两侧的晶片储存模块，故机械手臂在移动晶片时，不会发生搬运堵塞的问题，提高存取效率。

为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例并配合附图做详细说明。

附图说明

图1为本发明的组合式晶片储存机台的前视图；

图2为本发明的组合式晶片储存机台的侧视图；

图3为本发明的组合式晶片储存机台的止挡部以及设于晶片制造室地面的定位部的组合示意图；以及

图4为本发明的组合式晶片储存机台的上视图。

其中，附图标记说明如下：

10组合式晶片储存机台 11、12晶片储存模块

121晶片储存格 13滑动空间

14输出及输入端口 15外壳

16滚轮 17止挡部

18暂存输出端口 19底面

20定位部 21凹槽

22机械手臂 L长度

W宽度 H高度

A箭头

具体实施方式

图1为本发明的组合式晶片储存机台的前视图，图2为本发明的组合式晶片储存机台的侧视图，图4为本发明的组合式晶片储存机台的上视图。

请同时参阅图1、2及图4，本发明的组合式晶片储存机台10包括两行晶片储存模块11、12、滑动空间13、输出及输入端口14、外壳15、滚轮16以及止挡部17。输出及输入端口14对应于高架运输系统(OverheadTransporter)，晶片储存模块11、12分别由多个晶片储存格121堆栈组成，而晶片储存模块11、12之间具有滑动空间13，机械手臂22于滑动空间13中移动以抓取晶片(未图示)，而外壳15用以容纳晶片储存模块11、12、滑动空间13以及输出及输入端口14，滚轮16设于组合式晶片储存机台10的底面19，当晶片制造室中的某些产线需要较多的晶片储存空间时，组合式晶片储存机台10可轻易地被移动。止挡部17位于组合式晶片储存机台10的底面19，于本实施例中，止挡部17为T形结构。

应注意的是，于本实施例中，晶片储存模块12包括暂存输出端口18，当机械手臂22正在移动晶片进入组合式晶片储存机台10时，可将待输出晶片先暂时存于暂存输出端口18中，待搬运车到达时，机械手臂可直接移动至暂存输出端口18抓取待输出晶片放置于输出及输入端口14。另外，于本实施例中，图3为本发明的组合式晶片储存机台的止挡部以及设于晶片制造室地面的定位部的组合示意图。请参阅图1、3，止挡部17设于组合式晶片储存机台10的底面19上且用以与晶片制造室地面上的一定位部20结合，当止挡部17与定位部20嵌合定位时，组合式晶片储存机台10即定位于晶片制造室的地面上。

应注意的是，定位部20必须对应止挡部17的形状设置，使止挡部17可固定于定位部20上。以本实施例来说，定位部20包括侧面为T形结构的凹槽21，当欲固定组合式晶片储存机台10时，先将组合式晶片储存机台10抬离地面，在与T形结构的凹槽21对应的高度上由侧向滑入(如箭头A的方向)，使止挡部17与定位部20结合固定，此时，组合式晶片储存机台10即可固定于晶片制造室的地面上。

由上可知，本发明的组合式晶片储存机台10被制作时为相同尺寸，且本发明的组合式晶片储存机台10的尺寸较现有须订作的晶片储存机台皆为小(常见的现有晶片储存机台的长度在4-7米，宽度约1.5米，而高度为6米，本发明的组合式晶片储存机台的长度L为1.3米，宽度W为80厘米，而高度H为3米)，因此可大量生产制造，不需依照需求重新设计制作，故晶片储存机台在同一工厂内尺寸相同，可降低成本。

另外，若晶片制造室中需要较大型的晶片储存机台以储存大量晶片，可在规划晶片制造室时，先在地面增设多个定位部，则本发明的组合式晶片储存机台10即可连接排列成大型的晶片储存机台，以提供更多的晶片储存空间。

由于本发明的组合式晶片储存机台10的尺寸较小的关系，组合式晶片储存机台10可以很容易的被安装于晶片制造室中的畸零地上，以充分利用空间，提高存放效率。

再者，本发明的组合式晶片储存机台10仅设有两行晶片储存模块11、12，并且于两行晶片储存模块11、12之间设有滑动空间13，使机械手臂14可快速地于滑动空间13中移动，并且快速地存取设于两侧的晶片储存模块11、12，故机械手臂14在移动晶片时，不会发生搬运堵塞的问题，提高存取效率。

最后，当晶片制造系统中的某机台临时需要较多的储存空间时，本发明的组合式晶片储存机台10可随意地被移动，因此，可依照晶片制造过程当中的需求来增加储存空间，充分增加晶片制造室的使用效率。

虽然本发明已以较佳实施例披露于上，然而其并非用以限定本发明，任何熟悉此技术的人员，在不脱离本发明的精神和范围内，可作些许的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视所附的权利要求书所界定的范围为准。

Claims

1.一种组合式晶片储存机台，设于一晶片制造室中，由两行晶片储存模块、一滑动空间以及一机械手臂所组成；

其中，该滑动空间设于所述晶片储存模块之间；以及

该机械手臂于该滑动空间中移动以抓取该晶片；

所述晶片储存模块包括一暂存输出端口，用以暂存一待输出晶片，该机械手臂还用于直接移动至暂存输出端口抓取待输出晶片放置于输出及输入端口。

2.如权利要求1所述的组合式晶片储存机台，其中，该组合式晶片储存机台还包括一外壳，该外壳容纳所述晶片储存模块、该滑动空间以及该机械手臂。

3.如权利要求1所述的组合式晶片储存机台，其中，该组合式晶片储存机台还包括一滚轮，该滚轮设于该组合式晶片储存机台的一底面，使该组合式晶片储存机台可被移动。

4.如权利要求1所述的组合式晶片储存机台，其中，该组合式晶片储存机台还包括一止挡部，该止挡部位于该组合式晶片储存机台的一底面，而该晶片制造室包括一定位部，该定位部设于该晶片制造室的地面上，而该止挡部与该定位部嵌合，使该组合式晶片储存机台固定于该晶片制造室的该地面上。

5.如权利要求4所述的组合式晶片储存机台，其中，该止挡部为T形结构。

6.如权利要求1所述的组合式晶片储存机台，其中，该组合式晶片储存机台的长度为1.3米，宽度为80厘米。

7.如权利要求1所述的组合式晶片储存机台，其中，所述晶片储存模块包括晶片储存格。

8.一种组合式晶片储存机台，设于一晶片制造室中，包括：

两行晶片储存模块；

一滑动空间，设于所述晶片储存模块之间；

一机械手臂，于该滑动空间中移动该晶片；以及

一止挡部，而该晶片制造室包括一定位部，该定位部设于该晶片制造室的地面上，而该止挡部与该定位部嵌合，使该组合式晶片储存机台固定于该晶片制造室的该地面上；

其中，所述晶片储存模块包括一暂存输出端口，用以暂存一待输出晶片，该机械手臂还用于直接移动至暂存输出端口抓取待输出晶片放置于输出及输入端口。

9.如权利要求8所述的组合式晶片储存机台，其中，该止挡部为T形结构。

10.如权利要求8所述的组合式晶片储存机台，其中，该组合式晶片储存机台还包括一外壳，该外壳容纳所述晶片储存模块、该滑动空间以及该机械手臂。

11.如权利要求8所述的组合式晶片储存机台，其中，该组合式晶片储存机台还包括一滚轮，该滚轮设于该组合式晶片储存机台的一底面，使该组合式晶片储存机台可被移动。

12.如权利要求8所述的组合式晶片储存机台，其中，该组合式晶片储存机台的长度约为1.3米，宽度为80厘米。

13.如权利要求8所述的组合式晶片储存机台，所述晶片储存模块包括晶片储存格。