CN103094163A - 一种太阳能电池硅片传输系统布局结构 - Google Patents

Abstract

一种太阳能电池硅片传输系统布局结构，其特征在于，在这种布局结构下，装片机械手(8)能够一次传输多片太阳能电池硅片进入靶室腔体，在靶台(9)上实现多个硅片的同时注入，在传输硅片的过程中，装片流程和卸片流程可同时进行，互不影响，使硅片传输效率最大化。本发明通过合理的机构布局，结合了皮带装置和机械手实现多个硅片的同时传输与注入，提高了太阳能电池硅片的生产效率。

Description

一种太阳能电池硅片传输系统布局结构

技术领域

本发明是一种独特太阳能电池硅片传输系统布局结构，特别涉及太阳能电池硅片工艺生产线上的离子注入机，属于光伏制造领域。

背景技术

在光伏产业链中，太阳能电池制造是核心环节，其作用犹如微电子产业链的芯片制造一样，而传统的太阳能电池工艺制造方式生产的产品转换效率已经接近极限，在技术上已经没有提升的空间，在探索新工艺的过程中，人们发现用离子注入方式取代传统的扩散工艺能将产品的转换效率进一步提高，当生产效率足够高的情况下，还能进一步降低生产线的设备及运行成本。因此，开发一套运行效率高的太阳能电池硅片传输系统显得至关重要，本发明就是结合太阳能电池硅片及离子注入机的特点，提出了一套新的布局结构，能使太阳能电池片在离子注入机中的传输效率满足实际生产需求。

发明内容

本发明是针对离子注入机应用到太阳能电池片工艺所面临的硅片易碎，传输效率不高，稳定性难以保证的问题，提出了一种新的太阳能电池硅片传输系统布局结构，该结构针对太阳能电池硅片的特点，能满足一次传输多片进入靶室，充分结合了半导体硅片的传输稳定性，太阳能硅片传输的连续型特点，能实现太阳能硅片传输的高效传输。

本发明通过以下技术方案实现：

1.一种太阳能电池硅片传输系统布局结构，包括进片片盒(1)、进片横向皮带装置(2)、进片纵向滚轴(3)、进片纵向皮带装置(4)、进片缓存(5)、片库装片机械手(6)、进片片库(7)、装片机械手(8)、靶台(9)、卸片机械手(10)、卸片转换台(11)、卸片机械手(12)、出片片库(13)、片库卸片机械手(14)、卸片缓存(15)、卸片纵向皮带装置(16)、卸片纵向滚轴(17)、卸片横向皮带装置(18)、卸片片盒(19)，其特征在于所述的进片横向皮带装置(2)在多个片盒(1)同时取片，通过进片纵向滚轴(3)和进片纵向皮带装置(4)的纵向运动能一次传输多个硅片等待在进片片库(5)外边，片库装片机械手(6)一次性装载多个电池硅片进入进片片库(7)；

2.权利要求1的太阳能电池硅片传输系统布局结构，其中所述的片库装片机械手(6)、装片机械手(8)、卸片机械手(10)、卸片机械手(12)、片库卸片机械手(14)、都能够一次传输多个硅片，其特征在于，多个硅片在机械手上整齐排列，机械手能够平移及上下运动。

3.权利要求1的太阳能电池硅片传输系统布局结构，其中所述的靶台(9)能一次装载多片太阳能电池硅片，其特征在于靶台(9)水平放置时，通过装片机械手(8)一次从片库传输多个硅片放入靶台(9)，用静电吸附的方式将多片硅片同时吸附在靶台(9)表面，然后靶台(9)运动到垂直方向，通过上下扫描的方式使多个硅片同时注入。

4.权利要求1的太阳能电池硅片传输系统布局结构，其中所述片片盒(1)、进片横向皮带装置(2)、进片纵向滚轴(3)、进片纵向皮带装置(4)、进片缓存(5)、片库装片机械手(6)、进片片库门(20)、进片片库(7)、进片真空锁(21)、装片机械手(8)、靶台(9)配合运动完成装片过程；所述的靶台(9)、卸片机械手(10)、卸片转换台(11)、卸片机械手(12)、出片真空锁(23)、出片片库(13)、出片片库门(22)、片库卸片机械手(14)、卸片缓存(15)、卸片纵向皮带装置(16)、卸片纵向滚轴(17)、卸片横向皮带装置(18)、卸片片盒(19)配合完成卸片过程；其特征在于，在不影响靶台(9)注入的情况下，装片过程和卸片过程可同时进行，使靶台(9)的利用效率达到最大。

本发明具有如下显著优点：

1.使用横向皮带装置、纵向滚轴和纵向皮带装置同时传送多个片盒的硅片，使多个硅片有序排列，供机械手一次取走；

2.采用多片机械手，可一次将排列整齐的多个硅片送入靶台，能同时对靶台上所有的硅片进行注入工艺；

3.装载硅片和卸载硅片结构互不干扰，可同时进行，形成流水线生产方式，提高了硅片传输效率，使靶台的工作效率最大化。

附图说明

图1是本发明的太阳能电池硅片传输系统布局结构图

具体实施方式

下面结合附图的具体实施例对本发明作进一步介绍，这些描述都是说明性的，本发明不限于此。本发明的范围仅由所附权利要求的范围所限定。

图一为太阳能电池硅片传输系统的整体布局图，可通过图一来说明硅片整个传输过程。图一中(1)为两个片盒，片盒下面是向中间横向运动的横向皮带装置(2)，通过控制两个片盒同时下沉，横向皮带会带动硅片往中间运动，当两个硅片运动到中间区域时，横向皮带装置(2)下沉，此时硅片落在纵向滚轴(3)上，由纵向滚轴(3)运送硅片到纵向皮带装置(4)上方，此时纵向皮带装置(4)上升，使硅片落在纵向皮带装置(4)上，通过皮带运动将硅片往片库方向移动一个硅片的位置，此时纵向皮带装置(4)下降，等待滚轴将接下来两个硅片送到，以此类推，直到纵向皮带装置(4)整齐摆放好六片，通过片库装片机械手(6)一次将六个硅片取走。如果片盒里的碎片不够，没有一次放满六个硅片，将通过吸盘从进片缓存区5取陪片放入缺片的位置，保证机械手每次取走时都是六个硅片。

当硅片准备好时，进片片库门(20)将打开，片库装片机械手(6)将六个硅片送入片库(7)中，此时进片片库门(20)关闭，片库(7)内建立真空，当真空度达到系统要求时，进片真空锁(21)将打开，装片机械手(8)将硅片从片库(7)取走，送入到靶台(9)，硅片将在靶台(9)上完成所需要的工艺过程；卸片机械手(10)从靶台(9)取走完成工艺的硅片，由于排列方式的问题，硅片将送到卸片转换台(11)，然后通过卸片机械手(12)将六个硅片按所需要的排列方式送到出片片库(13)，关闭出片真空锁(23)，出片片库(13)充气到大气压后，打开出片片库门(22)，由片库卸片机械手(14)将六个硅片取出放在卸片纵向皮带装置(16)上方，通过进片相反的流程将做完工艺的硅片送到出片片盒(19)中。

在进片传输中一次传送六片为使用实例，不作为数量限定，也可以根据情况改变进片片盒和皮带运输装置，相应改变机械手的结构，从而改变一次传输硅片的数量，多片传输的布局结构不做改变。

本发明的特定实施例已对本发明的工作原理、应用范围作了详细的说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明的工作原理和应用前提下对它所做的任何显而易见的改动，都不会超出本申请说明书描述和所附权利要求规范的保护范围。

Claims (4)

1.一种太阳能电池硅片传输系统布局结构，包括进片片盒(1)、进片横向皮带装置(2)、进片纵向滚轴(3)、进片纵向皮带装置(40)、进片缓存(5)、片库装片机械手(6)、进片片库(7)、装片机械手(8)、靶台(9)、卸片机械手(10)、卸片转换台(11)、卸片机械手(12)、出片片库(13)、片库卸片机械手(14)、卸片缓存(15)、卸片纵向皮带装置(16)、卸片纵向滚轴(17)、卸片横向皮带装置(18)、卸片片盒(19)，其特征在于所述的进片横向皮带装置(2)在多个片盒(1)同时取片，通过进片纵向滚轴(3)和进片纵向皮带装置(4)的纵向运动能一次传输多个硅片等待在进片片库(5)外边，片库装片机械手(6)一次性装载多个电池硅片进入进片片库(7)。

2.权利要求(1)的太阳能电池硅片传输系统布局结构，其中所述的片库装片机械手(6)，装片机械手(8)，卸片机械手(10)，卸片机械手(12)，片库卸片机械手(14)，都能够一次传输多个硅片，其特征在于，多个硅片在机械手上整齐排列，机械手能够水平运动及上下运动。

3.权利要求1的太阳能电池硅片传输系统布局结构，其中所述的靶台(9)能一次装载多片太阳能电池硅片，其特征在于靶台(9)水平放置时，通过装片机械手(8)一次从片库传输多个硅片放入靶台(9)，用静电吸附的方式将多片硅片同时吸附在靶台(9)表面，然后靶台(9)运动到垂直方向，通过上下扫描的方式使多个硅片同时注入。

4.权利要求1的太阳能电池硅片传输系统布局结构，其中所述片片盒(1)、进片横向皮带装置(2)、进片纵向滚轴(3)、进片纵向皮带装置(4)、进片缓存(5)、片库装片机械手(6)、进片片库门(20)、进片片库(7)、进片真空锁(21)、装片机械手(8)、靶台(9)配合运动完成装片过程；所述的靶台(9)、卸片机械手(10)、卸片转换台(11)、卸片机械手(12)、出片真空锁(23)、出片片库(13)、出片片库门(22)、片库卸片机械手(14)、卸片缓存(15)、卸片纵向皮带装置(16)、卸片纵向滚轴(17)，卸片横向皮带装置(18)、卸片片盒(19)配合完成卸片过程；其特征在于，在不影响靶台(9)注入的情况下，装片过程和卸片过程可同时进行，使靶台(9)的利用效率达到最大。

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