CN101733257B - 自动清洁装置及自动清洁方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种集尘装置、自动清洁装置及自动清洁方法。该集尘装置包括抽气装置、吸尘主体、刷毛及移动装置。吸尘主体与抽气装置相通且具有吸入口。刷毛沿着吸入口的轮廓设置于吸尘主体上。移动装置用以移动设置于移动装置上的吸尘主体。

Description

自动清洁装置及自动清洁方法

技术领域

本发明是有关于一种清洁装置及清洁方法，且特别是有关于一种自动清洁装置及自动清洁方法。

背景技术

集成电路的制造需要极高的洁净度，方能使制造出的集成电路达到所预期的功能与目的。在目前半导体的技术发展之下，集成电路要求的集成度也更加地提高。因此，对制造半导体元件的机台等的微尘的清除是非常重要的工作。

脚位/正印扫描机台(Lead/Mark Scanner)为业界使用于检测芯片外观的检测仪器，其使用的玻璃基座(含载台)于检测时如有异物残留，如微粒或胶渣等异物，则在检测过程中会让脚位/正印扫描机台将正常的产品误判为故障的产品，而导致产品良率下降及制造成本上升等问题。

虽然原厂的脚位/正印扫描机台具有吹气装置，但因异物与玻璃基座之间的粘着性或静电值的影响，会使得这些异物出现难以吹除的情况。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种自动清洁装置，可自动地且有效率地清洁半导体机台的透光基座。

本发明的另一目的是提供一种自动清洁方法，以提升产品良率及降低制造成本。

本发明提出一种自动清洁装置，用于清洁半导体机台中的一透光基座，自动清洁装置包括集尘装置及开关。集尘装置包括抽气装置、吸尘主体、刷毛及移动装置。吸尘主体与抽气装置相通且具有吸入口。刷毛沿着吸入口的轮廓设置于吸尘主体上。移动装置用以移动设置于移动装置上的吸尘主体。开关电性连接集尘装置与半导体机台，用以接收半导体机台所发出的启动信号，使集尘装置在作动时间内清洁透光基座；其中，该半导体机台包括一脚位/正印扫描机台，该脚位/正印扫描机台包括：该透光基座；一载台，设置于该透光基座上；以及一芯片拾取装置，设置于该透光基座的一侧，用以拾取位于一进料位置上的一芯片盘中的一芯片，且将该芯片置放于该载台上。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，更包括可编程逻辑控制器，电性连接集尘装置与开关，以编写程控作动时间。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，开关包括电磁阀。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，移动装置包括芯片拾取装置，且吸尘主体位于芯片拾取装置靠近透光基座的一侧。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，移动装置更包括升降装置，设置于芯片拾取装置靠近透光基座的一侧的侧壁上，以垂直移动吸尘主体。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，启动信号包括芯片盘离开进料位置时所送出的信号。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，脚位/正印扫描机台更包括推进器，用以将芯片盘推入或推出进料位置。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，启动信号包括推进器要将芯片盘推出进料位置时用以驱动推进器的信号。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，刷毛的长度例如是大于该载台的高度。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，抽气装置包括真空泵。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，吸尘管路，连通抽气装置与吸尘主体。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，更包括过滤器，设置于抽气装置与吸尘主体之间。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，刷毛的材料包括抗静电材料。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，刷毛包括环状刷毛。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，移动装置包括升降装置，以垂直移动吸尘主体。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，透光基座包括基座部。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，基座部的材料包括可透光材料。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，可透光材料包括玻璃。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，透光基座更包括涂布层，设置于该基座部上。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，涂布层的材料包括白色乳胶。

本发明提出一种自动清洁方法，使用如上所述的自动清洁装置清洁半导体机台中的透光基座。自动清洁方法包括下列步骤。首先，当位于进料位置上的芯片盘中的所有芯片检测完毕前，脚位/正印扫描机台会送出用以驱动推进器的一信号，同时作为自动清洁装置的启动信号。接着，将启动信号传送到开关。然后，开关启动集尘装置，使集尘装置清洁透光基座。接下来，开关关闭集尘装置。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁方法中，移动装置包括芯片拾取装置及升降装置。吸尘主体位于芯片拾取装置靠近透光基座的一侧，以水平移动吸尘主体。升降装置设置于芯片拾取装置靠近透光基座的一侧的侧壁上，以垂直移动吸尘主体。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁方法中，启动集尘装置的步骤包括下列步骤。首先，开启抽气装置。接着，通过升降装置的垂直移动定义吸尘主体的高度，使刷毛与透光基座接触。然后，通过芯片拾取装置的水平移动使异物刷入吸入口中。接下来，通过抽气装置的吸力将异物从透光基座移除。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁方法中，自动清洁装置更包括可编程逻辑控制器，电性连接集尘装置与开关，以编写程控作动时间。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁方法中，在将启动信号传送到开关之前，更包括进行下列步骤。首先，由可编程逻辑控制器接收启动信号，且经由所编写的程序计算出包括开启的时间点以及作动时间长度的启动信号。接着，将包括开启的时间点以及作动时间长度的启动信号传送到开关。

基于上述，在本发明所提出的集尘装置中，吸尘主体是设置在移动装置上，因此可依照需求设定清洁的路线及吸尘主体的高度，而能够有效地收集异物。

此外，在本发明所提出的自动清洁装置中，开关接收半导体机台所发出的启动信号，能使集尘装置在作动时间内自动地且有效地清洁透光基座。

另外，由于本发明所提出的自动清洁方法能自动清洁半导体机台的透光基座，因此可以提升产品良率及降低制造成本。

进而大幅地降低人力的使用，并增加机台产出效能

为让本发明的上述和其它目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。

附图说明

图1所绘示为本发明一实施例的集尘装置的示意图。

图2所绘示为本发明一实施例的自动清洁装置的示意图。

图3所绘示为本发明自动清洁装置与脚位/正印扫描机台的电性连接的示意图。

【主要元件符号说明】

100、202：集尘装置

102：抽气装置

104：吸尘主体

106：刷毛

108、108’：移动装置

110：吸入口

112：吸尘管路

114：升降装置

116：水平移动装置

118：过滤器

200：自动清洁装置

204：开关

206：可编程逻辑控制器

300：脚位/正印扫描机台

302：透光基座

304：载台

306：芯片拾取装置

308：芯片拾取头

310：进料位置

312：芯片盘

314：芯片

316：推进器

318：基座部

320：涂布层

具体实施方式

图1所绘示为本发明一实施例的集尘装置的示意图。

请参照图1，集尘装置100包括抽气装置102、吸尘主体104、刷毛106及移动装置108。抽气装置102例如是真空泵。

吸尘主体104设置于移动装置108上并与抽气装置102相通，且具有吸入口110。此外，集尘装置100更包括吸尘管路112，用以连通抽气装置102与吸尘主体104。

刷毛106沿着吸入口110的轮廓设置于吸尘主体104上，可将异物刷入吸入口110中。刷毛106的材料例如是抗静电材料，能避免异物通过静电力吸附于刷毛106上。在本实施例中，刷毛106例如是沿着吸入口110的轮廓设置而形成环状刷毛，但并不用以限制本发明。

移动装置108用以移动设置于移动装置108上的吸尘主体104。移动装置108包括升降装置114，吸尘主体104固设于升降装置114上，可通过升降装置114垂直移动吸尘主体104，因此升降装置114能将刷毛106设定在最适合进行清洁的高度，并且能避免因吸尘主体104的高度过低而对待清洁对象造成伤害的情况出现。升降装置114例如是由气压缸所驱动。

此外，移动装置108更可包括水平移动装置116。水平移动装置116与升降装置114相连结，可用以水平移动吸尘主体104。水平移动装置116例如是机械手臂。

另一方面，集尘装置100更包括过滤器118，设置于抽气装置102与吸尘主体104之间的吸尘管路112中，可用以过滤由吸入口110所吸入的异物。

由上述实施例可知，通过集尘装置100中的移动装置108可依照需求设定预定清洁的路线及吸尘主体104的高度，使得集尘装置100能够有效地收集异物。

图2所绘示为本发明一实施例的自动清洁装置的示意图。图3所绘示为本发明自动清洁装置与脚位/正印扫描机台的电性连接的示意图。

请参照图2，自动清洁装置200适用于具有透光基座的半导体机台，以对半导体机台中的透光基座进行清洁。在本实施例中，半导体机台是以脚位/正印扫描机台300为例进行说明。以下，先介绍脚位/正印扫描机台300。

脚位/正印扫描机台300包括透光基座302、载台304及芯片拾取装置306。透光基座302包括基座部318。基座部318的材料例如是可透光材料，如玻璃。此外，透光基座302更可选择性地包括涂布层320，设置于基座部318上。涂布层320的材料例如是白色乳胶。在透光基座302包括涂布层320的情况下，整个透光基座302为半透明。

载台304设置于透光基座302上，可用以承载芯片。载台304的材料例如是金属材料。当芯片放置在载台304上时，芯片的脚影会显示在透光基座302上，由下方的摄影机(未绘示)读取判定是否异常。

芯片拾取装置306包括芯片拾取头308。芯片拾取装置306设置于透光基座302的一侧，利用芯片拾取头308拾取位于进料位置310上的芯片盘312中的芯片314，且将芯片314置放于载台304上。芯片拾取装置306在拾取芯片314之后，例如是通过芯片拾取装置306中的线型滑轮(未绘示)移动到载台304上方。

此外，脚位/正印扫描机台300更可包括推进器316，用以将芯片盘312推入或推出进料位置310。

自动清洁装置200包括集尘装置202及开关204。本实施例中的集尘装置202与上述实施例中的集尘装置100的差别在于：在集尘装置202中，移动装置108’中的水平移动装置为脚位/正印扫描机台300中的芯片拾取装置306。移动装置108’中的升降装置114设置于芯片拾取装置306靠近透光基座302的一侧的侧壁上，而使得吸尘主体104也位于芯片拾取装置306靠近透光基座302的一侧，而可通过升降装置114垂直移动固设于升降装置114上的吸尘主体104。此外，在对透光基座302进行清洁时，为了避免吸尘主体104碰撞到载台304，因此吸尘主体104与透光基座302的距离必须大于载台304的高度。如此一来，为了确保刷毛106能够接触到透光基座302，刷毛106的长度例如是大于载台304的高度。除此之外，集尘装置202与集尘装置100在其它构件的材料、设置方式及功能大致相同，故于此不再赘述。

请同时参照图2及图3，开关204电性连接集尘装置202与半导体机台300，用以接收半导体机台300所发出的启动信号，使集尘装置202在作动时间内清洁透光基座302。开关204例如是电磁阀。作动时间例如是设定为开关204从开启到开关闭的一固定时间。启动信号例如是芯片盘312离开进料位置310时所送出的信号，如推进器316要将芯片盘312推出进料位置310时用以驱动推进器316的信号。

此外，自动清洁装置200更可包括可编程逻辑控制器206，电性连接集尘装置202与开关204，以编写程控作动时间。自动清洁装置200在接受到启动信号之后，可控制开关204开启的时间点以及开关204从开启到开关闭的作动时间长度。

以下，举例说明自动清洁装置200清洁脚位/正印扫描机台300中的透光基座302的清洁流程。

首先，当位于进料位置310上的芯片盘312中的所有芯片314检测完毕前，脚位/正印扫描机台300会送出用以驱动推进器316的信号，同时作为自动清洁装置200的启动信号。

接着，可编程逻辑控制器206会接收启动信号，且经由所编写的程序计算出包括开启的时间点以及作动时间长度的启动信号。

然后，将此包括开启的时间点以及作动时间长度的启动信号传送到开关204。

接下来，在开启的时间点，启动集尘装置202，使集尘装置202在作动时间内清洁透光基座302。启动集尘装置202包括开启抽气装置102、通过移动装置108’中的升降装置114的垂直移动定义吸尘主体106的高度，使刷毛106与透光基座302接触、以及通过芯片拾取装置306(水平移动装置)的水平移动使异物刷入吸入口110中，再通过抽气装置102的吸力将异物从透光基座302移除。

之后，待集尘装置202的作动时间结束，开关204关闭集尘装置。

基于上述，开关204会接收半导体机台所发出的启动信号，能使集尘装置202在作动时间内清洁透光基座302，以达到自动清洁的效果，而可大幅地降低人力的使用。

此外，自动清洁装置200可有效地移除透光基座302上的异物，而能提升产品良率及降低制造成本。

综上所述，上述实施例至少具有下列优点的其中之一：

1.上述实施例中的集尘装置能够有效地收集异物。

2.通过上述实施例中的自动清洁装置可达到自动清洁的效果，进而大幅地降低人力的使用。

3.上述实施例中的自动清洁方法能提升产品良率及降低制造成本。

虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明，任何熟习此技艺者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视权利要求所界定的范围为准。

Claims (24)

1.一种自动清洁装置，用于清洁一半导体机台中的一透光基座，其特征在于，包括：

一集尘装置，包括：

一抽气装置；

一吸尘主体，与该抽气装置相通且具有一吸入口；

一刷毛，沿着该吸入口的轮廓设置于该吸尘主体上；以及

一移动装置，用以移动设置于该移动装置上的该吸尘主体；其中，

该移动装置包括一升降装置，以垂直移动该吸尘主体；以及

一开关，电性连接该集尘装置与该半导体机台，用以接收该半导体机台所发出的一启动信号，使该集尘装置在一作动时间内清洁该透光基座；

其中，该半导体机台包括一脚位/正印扫描机台，该脚位/正印扫描机台包括：该透光基座；一载台，设置于该透光基座上；以及一芯片拾取装置，设置于该透光基座的一侧，用以拾取位于一进料位置上的一芯片盘中的一芯片，且将该芯片置放于该载台上。

2.根据权利要求1所述的自动清洁装置，其特征在于，更包括一可编程逻辑控制器，电性连接该集尘装置与该开关，以编写程控该作动时间。

3.根据权利要求1所述的自动清洁装置，其特征在于，该开关包括一电磁阀。

4.根据权利要求1所述的自动清洁装置，其特征在于，该移动装置更包括该芯片拾取装置，且该吸尘主体位于该芯片拾取装置靠近该透光基座的一侧。

5.根据权利要求4所述的自动清洁装置，其特征在于，该升降装置设置于该芯片拾取装置靠近该透光基座的一侧的侧壁上。

6.根据权利要求1所述的自动清洁装置，其特征在于，该启动信号包括该芯片盘离开该进料位置时所送出的信号。

7.根据权利要求1所述的自动清洁装置，其特征在于，该脚位/正印扫描机台更包括一推进器，用以将该芯片盘推入或推出该进料位置。

8.根据权利要求7所述的自动清洁装置，其特征在于，该启动信号包括该推进器要将该芯片盘推出该进料位置时用以驱动该推进器的一信号。

9.根据权利要求1所述的自动清洁装置，其特征在于，该刷毛的长度大于该载台的高度。

10.根据权利要求1所述的自动清洁装置，其特征在于，该抽气装置包括一真空泵。

11.根据权利要求1所述的自动清洁装置，其特征在于，更包括一吸尘管路，连通该抽气装置与该吸尘主体。

12.根据权利要求1所述的自动清洁装置，其特征在于，更包括一过滤器，设置于该抽气装置与该吸尘主体之间。

13.根据权利要求1所述的自动清洁装置，其特征在于，该刷毛的材料包括抗静电材料。

14.根据权利要求1所述的自动清洁装置，其特征在于，该刷毛包括一环状刷毛。

15.根据权利要求1所述的自动清洁装置，其特征在于，该透光基座包括一基座部。

16.根据权利要求15所述的自动清洁装置，其特征在于，该基座部的材料包括一可透光材料。

17.根据权利要求16所述的自动清洁装置，其特征在于，该可透光材料包括玻璃。

18.根据权利要求15所述的自动清洁装置，其特征在于，该透光基座更包括一涂布层，设置于该基座部上。

19.根据权利要求18所述的自动清洁装置，其特征在于，该涂布层的材料包括白色乳胶。

20.一种自动清洁方法，使用根据权利要求1所述的自动清洁装置清洁该半导体机台中的该透光基座，其特征在于，该方法包括：

当位于该进料位置上的该芯片盘中的所有该些芯片检测完毕前，该脚位/正印扫描机台会送出用以驱动一推进器的一信号，同时作为该自动清洁装置的该启动信号；

将该启动信号传送到该开关；

该开关启动该集尘装置，使该集尘装置清洁该透光基座；以及

该开关关闭该集尘装置。

21.根据权利要求20所述的自动清洁方法，其特征在于，该移动装置包括：

该芯片拾取装置，且该吸尘主体位于该芯片拾取装置靠近该透光基座的一侧，以水平移动该吸尘主体；以及

一升降装置，设置于该芯片拾取装置靠近该透光基座的一侧的侧壁上，以垂直移动该吸尘主体。

22.根据权利要求21所述的自动清洁方法，其特征在于，启动集尘装置的步骤包括：

开启该抽气装置；

通过该升降装置的垂直移动定义该吸尘主体的高度，使该刷毛与该透光基座接触；

通过该芯片拾取装置的水平移动使异物刷入该吸入口中；以及

通过该抽气装置的吸力将异物从该透光基座移除。

23.根据权利要求20所述的自动清洁方法，其特征在于，该自动清洁装置更包括一可编程逻辑控制器，电性连接该集尘装置与该开关，以编写程控该作动时间。

24.根据权利要求23所述的自动清洁方法，其特征在于，在将该启动信号传送到该开关之前，更包括：

由该可编程逻辑控制器接收该启动信号，且经由所编写的程序计算出包括开启的时间点以及作动时间长度的该启动信号；以及

将包括开启的时间点以及作动时间长度的该启动信号传送到该开关。

Images