CN101623849A - 一种用于对抛光垫进行修整的修整装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及抛光设备技术领域，尤其是一种在化学机械抛光过程中用于对抛光垫抛光表面进行修整的修整装置。最终执行件由自转电机通过同步带驱动旋转，摆动电机驱动可摆动悬臂带动最终执行件在抛光表面径向往复摆动；万向节置于可旋转部件和最终执行件之间，传递扭矩和下压力的同时实现修整盘的自适应，保证修整盘平行于抛光垫；通过调节气缸压力实现修整器上下微动以适应抛光垫旋转时的跳动并保持一定范围内的下压力，不修整时抬起修整盘离开抛光垫。本发明所述抛光垫修整器结构紧凑、平稳度高且可靠性强，可广泛应用于精密抛光设备。
Description
技术领域
本专利涉及抛光设备技术领域，尤其是一种在化学机械抛光过程中用于对抛光垫抛光表面进行修整的修整装置。
背景技术
半导体器件制造业往往包含一个或多个紧随材料沉积于基体器件面后的抛光或平坦化步骤。抛光垫的抛光表面必须经常被修整或“粗糙化”以保持抛光或从基体表面去除沉积物质的效率。为此，一些装置已被开发以用来通过粗粒修整材料研磨抛光垫的抛光表面。
修整头可能适于为最终执行件产生或者传递扭矩以用来在抛光垫修整过程中旋转最终执行件和修整盘。此外，可能会产生一定的下压力，例如：在修整头处通过气动驱动，或通过一个悬臂，以保证一定程度的修整头和抛光垫之间相互的摩擦作用。
半导体制造工艺要求在抛光垫修整过程中更快的进行修整，更高的运行平稳度和长时间工作下的可靠性。因此，有必要研制在保证高精度的同时能提供良好的可控性和可靠性方法和装置。
有许多种修整器专利被公开。根据一些专利显示，让修整盘自转和在抛光垫表面往复移动(如可摆动悬臂转动)的原动件多采用电机加减速器并将外壳固定在机架上，两个减速电机输出轴共线，而修整头抬起或调节压力的原动件，如液压装置，往往跟随可摆动悬臂转动。根据另一些专利，在修整头处装自转电机，直接产生扭矩。这样的布置都容易产生许多的不确定因素，如液压装置在调压时不仅使下压力变化，其本身会影响摆动电机的运行平稳度；又如，直接在修整头处装电机产生扭矩，电机本身的振动对执行件运行平稳性的影响明显，并且在悬臂支点另一端安装电机势必使悬臂的负担很重。
发明内容
本发明提供了一种用于对抛光垫抛光表面进行修整的修整装置，其特征在于，自转电机8输出端与第二同步带轮6连接，并通过同步带7带动第一同步带轮5转动，第一同步带轮5中心处依次安装可旋转部件3、万向节2以及最终执行件1，最终执行件1由自转电机8通过同步带7驱动旋转，万向节2传递扭矩和下压力的同时实现修整盘14的自适应，保证修整盘14平行于抛光垫；在自转电机8下方设置摆动电机9，将自转电机8外壳与可摆动悬臂4在摆动支点处固连，摆动电机9驱动可摆动悬臂4带动最终执行件1在抛光垫表面径向做往复摆动；调节气缸11通过滚动导轨10与修整装置连接，调节气缸11调节压力实现修整时修整盘14上下微动以适应抛光垫旋转时的跳动并保持一定范围内的下压力，不修整时抬起修整盘14离开抛光垫。
所述滚动导轨10和气缸11的组合，在功能上提供最终执行件1的升降和对抛光垫的施压，并通过测气压得到下压力值；在结构上作为承载件，气缸11承受轴向的力，滚动导轨10承受其余的力、弯矩和扭矩，保证了运动的平稳性以及压力测量的精度。
所述可旋转悬臂4通过第一轴承12和第二轴承13将轴向力、径向力和弯矩传到滚动导轨10上，摆动电机9只输出扭矩，不承受轴向力、径向力和弯矩。
所述自转电机8与可旋转悬臂4固定连接。
本发明的有益效果为：力矩电机直接驱动同步带轮，通过同步带传动，一方面，省去了减速机，传动简单，不确定因素降低，传动平稳，可靠性强，且体积、重量大大减轻，从而使该原动部件结构上移至另外两个原动部件的上方变为可能；另一方面，使得旋转的力矩在上方传递，而不需要经过升降加压机构，同步带7的压轴力在整个过程中基本不变，从而使传动过程简单，不确定因素降低，传动平稳，可靠性强。本专利所述抛光垫修整器结构紧凑、平稳度高且可靠性强，可广泛应用于精密抛光设备。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图中标号：
1-最终执行件；2-万向节；3-可旋转部件；4-可摆动悬臂；5-第一同步带轮；6-第二同步带轮；7-同步带；8-自转电机；9-摆动电机；10-滚动导轨；11-调节气缸；12-第一轴承；13-第二轴承；14-修整盘。
具体实施方式
本发明提供了一种用于对抛光垫抛光表面进行修整的修整装置，下面通过附图说明和具体实施方式对本发明做进一步说明。
图1为本发明的结构示意图。自转电机8输出端与第二同步带轮6连接，并通过同步带7带动第一同步带轮5转动，第一同步带轮5中心处依次安装可旋转部件3、万向节2以及最终执行件1，最终执行件1由自转电机8通过同步带7驱动旋转，万向节2传递扭矩和下压力的同时实现修整盘14的自适应，保证修整盘14平行于抛光垫。自转电机8直接驱动同步带轮5，通过第二同步带7传动，使修整头处重量减轻，减小了对悬臂支点的弯矩。
在自转电机8下方设置摆动电机9，在自转电机8和第二同步带轮6之间设置可摆动悬臂4，自转电机8的壳体在可摆动悬臂4旋转支点处与可摆动悬臂4固结，不要求可摆动悬臂4的旋转支点与自转电机8)的输出轴同心，在达到同样运行平稳度的基础上，降低了加工配合精度的问题，使结构简单，可靠性强；自转电机8采用力矩电机，摆动电机9使用舵机；摆动电机9驱动可摆动悬臂4带动最终执行件1在抛光垫表面径向做往复摆动，可旋转悬臂4通过第一轴承12和第二轴承13将轴向力、径向力和弯矩传到滚动导轨10上，摆动电机9只输出扭矩，不承受轴向力、径向力和弯矩。其中，第一轴承12和第二轴承13为一对深沟球轴承或一对角接触球轴承，也可为双列角接触球轴承或双列圆锥滚子轴承。
调节气缸11通过滚动导轨10与修整装置连接，调节气缸11调节压力实现修整时修整盘14上下微动以适应抛光垫旋转时的跳动并保持一定范围内的下压力，不修整时抬起修整盘14离开抛光垫，滚动导轨10和气缸11的组合，在功能上提供最终执行件1的升降和对抛光垫的施压，并通过测气压得到下压力值；在结构上作为承载件，气缸11承受轴向的力，滚动导轨10承受其余的力、弯矩和扭矩，不影响最终执行件1自身旋转和可摆动悬臂4摆动的传动，线性运动位于传动链的起始端，简化了传动过程，大大提高了电机运行的平稳性，减少了不确定因素，使可靠性增强。
最终执行件1的运动方式有四种：自身旋转；在可摆动悬臂4带动下在抛光表面径向移动；通过万向节2在传递扭矩和下压力的同时实现偏离可旋转部件3转轴来适应抛光垫不规则的抛光表面；在调节气缸压力作用下，修整时上下微动以适应抛光垫旋转时的跳动并保持一定范围内的下压力，不修整时抬起从而使修整盘14的修整面离开抛光垫的抛光面。
Claims (4)
1.一种用于对抛光垫进行修整的修整装置，其特征在于，自转电机(8)输出端与第二同步带轮(6)连接，并通过同步带(7)带动第一同步带轮(5)转动，第一同步带轮(5)中心处依次安装可旋转部件(3)、万向节(2)以及最终执行件(1)，最终执行件(1)由自转电机(8)通过同步带(7)驱动旋转，万向节(2)传递扭矩和下压力的同时实现修整盘(14)的自适应，保证修整盘(14)平行于抛光垫；在自转电机(8)下方设置摆动电机(9)，将自转电机(8)外壳与可摆动悬臂(4)在摆动支点处固连，摆动电机(9)驱动可摆动悬臂(4)带动最终执行件(1)在抛光垫表面径向做往复摆动；调节气缸(11)通过滚动导轨(10)与修整装置连接，调节气缸(11)调节压力实现修整时修整盘(14)上下微动以适应抛光垫旋转时的跳动并保持一定范围内的下压力，不修整时抬起修整盘(14)离开抛光垫。
2.根据权利要求1所述的一种用于对抛光垫进行修整的修整装置，其特征在于，所述滚动导轨(10)和气缸(11)的组合，在功能上提供最终执行件(1)的升降和对抛光垫的施压，并通过测气压得到下压力值；在结构上作为承载件，气缸(11)承受轴向的力，滚动导轨(10)承受其余的力、弯矩和扭矩，保证了运动的平稳性以及压力测量的精度。
3.根据权利要求1所述的一种用于对抛光垫进行修整的修整装置，其特征在于，所述可旋转悬臂(4)通过第一轴承(12)和第二轴承(13)将轴向力、径向力和弯矩传到滚动导轨(10)上，摆动电机(9)只输出扭矩，不承受轴向力、径向力和弯矩。
4.根据权利要求1所述的一种用于对抛光垫进行修整的修整装置，其特征在于，所述自转电机(8)外壳与可旋转悬臂(4)固定连接。
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| GR01 | Patent grant | ||
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Owner name: TIANJIN HWATSING TECHNOLOGY COMPANY LIMITED Free format text: FORMER OWNER: TSINGHUA UNIVERSITY Effective date: 20150213 |
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| C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
| COR | Change of bibliographic data |
Free format text: CORRECT: ADDRESS; FROM: 100084 HAIDIAN, BEIJING TO: 300350 JINNAN, TIANJIN |
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| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20150213 Address after: 300350, No. 8, building 9, ha Hing Road, Haihe science and Technology Park, Jinnan District, Tianjin Patentee after: TIANJIN HWATSING TECHNOLOGY COMPANY LIMITED (HWATSING CO., LTD.) Address before: 100084 Beijing 100084-82 mailbox Patentee before: Tsinghua University |
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| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of invention: Trimmer for trimming polishing pad Effective date of registration: 20180206 Granted publication date: 20110511 Pledgee: Tsinghua Holdings Co., Ltd. Pledgor: TIANJIN HWATSING TECHNOLOGY COMPANY LIMITED (HWATSING CO., LTD.) Registration number: 2018120000003 |
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| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
| PC01 | Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right |
Date of cancellation: 20191022 Granted publication date: 20110511 Pledgee: Tsinghua Holdings Co., Ltd. Pledgor: TIANJIN HWATSING TECHNOLOGY COMPANY LIMITED (HWATSING CO., LTD.) Registration number: 2018120000003 |
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| PC01 | Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 300350, Tianjin City, Jinnan District Science and Technology Park, Hai Hing Road, No. 9, building No. 8 Patentee after: Huahaiqingke Co.,Ltd. Address before: 300350, Tianjin City, Jinnan District Science and Technology Park, Hai Hing Road, No. 9, building No. 8 Patentee before: TSINGHUA University |
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| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |