CN101599414A

CN101599414A - 准分子灯

Info

Publication number: CN101599414A
Application number: CNA2009101460266A
Authority: CN
Inventors: 庭彰; 森本幸裕; 松泽聪司
Original assignee: Ushio Denki KK
Current assignee: Ushio Denki KK
Priority date: 2008-06-06
Filing date: 2009-06-05
Publication date: 2009-12-09
Anticipated expiration: 2029-06-05
Also published as: KR101246431B1; DE102009022823A1; TWI435369B; JP5528683B2; KR20090127217A; TW200952031A; JP2009295468A; CN101599414B

Abstract

提供一种准分子灯，具备由含有二氧化硅的微小粒子构成的紫外线反射层，即使长时间点灯，也可抑制照度下降的程度，有效地射出真空紫外光。一种准分子灯(10)，包括具有放电空间(S)的、由二氧化硅玻璃构成的放电容器(20)，以夹着形成该放电容器(20)的二氧化硅玻璃的状态设有一对电极(11、12)，并且在放电空间(S)内封入有放电用气体，在放电容器(20)的内表面形成有紫外线反射层(30)，所述准分子灯(10)的特征在于，紫外线反射层(30)由含有OH基的二氧化硅粒子和融点比二氧化硅高的微小粒子构成，构成紫外线反射层(30)的二氧化硅粒子中的OH基浓度是10wt ppm以上。

Description

准分子灯

技术领域

本发明涉及一种准分子灯，用于对被处理体实施通过照射紫外线来进行的清洁处理、灰化处理、成膜处理等表面处理。

背景技术

近年来如下技术得到开发和实用：在液晶显示装置的玻璃基板、半导体晶片等被处理体上照射波长200nm以下的紫外线即真空紫外光，通过真空紫外光及由此生成的臭氧的作用处理被处理体，该技术例如包括除去附着于被处理体表面的有机污染物质的清洁处理技术或在被处理体表面上形成氧化膜的氧化膜形成处理技术。

作为照射真空紫外光的装置，例如使用具备如下准分子灯的装置：在电介质构成的放电容器内封入放电用气体，经由放电容器施加交流高电压来产生准分子放电，放射真空紫外光即准分子光。在这种准分子灯中，为了有效地放射更高强度的紫外线，进行了很多尝试。

具体地说，开发了如下的技术：在准分子灯的放电容器内表面形成紫外线反射层，紫外线反射层通过层叠透射紫外线的微小粒子而形成，例如仅层叠二氧化硅，或层叠二氧化硅与其它的微小粒子例如氧化铝、氟化镁、氟化钙、氟化锂、氧化镁等(参照专利文献1)。

在这种构成的准分子灯中，在放电容器内所产生的紫外线中不朝光射出部直接放射的紫外线射入至紫外线反射层，在构成紫外线反射层的多个微小粒子的表面反复进行折射、反射而扩散反射，从而从光射出部放射。由此，可有效地放射紫外线。

在放射紫外线的灯中，作为构成放电容器的材料，例如广泛地使用二氧化硅玻璃。因此，作为构成紫外线反射层的微小粒子，为了使与构成放电容器的二氧化硅玻璃的热胀系数之差减小或很小而提高紫外线反射层在二氧化硅玻璃上的附着性，优选含有与放电容器相同材质的二氧化硅粒子。

表面处理的被处理物多为例如液晶面板的玻璃基板的平坦形状。所以，在光射出部由与被处理物相同的平坦形状的放电容器构成的准分子灯中，通过减少光射出部与被处理物的间隙，可抑制氧吸收紫外线，因而可有效地进行表面处理。作为由这种形状的放电容器构成的准分子灯，例如在专利文献2中公开了由方型的放电容器构成的准分子灯。

作为光出射出部由平坦的放电容器构成的准分子灯，有如图7所示的构造。准分子灯10通过由二氧化硅玻璃构成的扁平方型放电容器20构成，该放电容器20由上壁板21、下壁板22、侧壁板23及端壁板24连接而成，在内部封入有放电用气体。此外，在上壁板21外表面具备高电压供应电极11，在下壁板22的外表面具备接地电极12，这些电极11、12彼此相对地配置，在放电空间S产生的准分子光通过兼作光射出部的下壁板22射出至外部。

专利文献1：日本特开2007-335350号公报

专利文献2：日本特开2004-113984号公报

然而，在具备紫外线反射层的准分子灯中，若长时间点灯，则照度维持率随时间的经过而逐渐降低。所以，例如在进行清洁处理等表面处理时，希望以恒定照度进行处理时，产生准分子灯的处理能力随着点灯时间而变化的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而作出，其目的在于提供一种准分子灯，具备紫外线反射层，即使长时间点灯，也能够抑制照度下降的程度，能够有效地射出真空紫外光。

本申请第1项的发明的准分子灯，包括具有放电空间的且由二氧化硅玻璃构成的放电容器，以夹着形成该放电容器的二氧化硅玻璃的状态设有一对电极，并且在放电空间内封入有放电用气体，在上述放电容器的内表面形成有紫外线反射层，所述准分子灯的特征在于，上述紫外线反射层由含有OH基的二氧化硅粒子和融点比二氧化硅高的微小粒子构成，构成上述紫外线反射层的二氧化硅粒子中的OH基浓度是10wt ppm以上。

此外，本申请第2项发明的特征在于，在本申请第1项发明中，构成上述紫外线反射层的二氧化硅粒子中的OH基浓度是502wt ppm以下。

通过在紫外线反射层中混入融点比二氧化硅高的微小粒子，防止彼此邻接的微小粒子彼此间结合而引起晶界消失，可抑制紫外线反射层的反射率下降。

此外，通过在构成紫外线反射层的二氧化硅粒子中含有OH基，能够抑制在紫外线反射层所含的二氧化硅粒子中生成内部缺陷，防止紫外线反射层吸收紫外区域波长的光而维持紫外线反射层的反射率，抑制准分子灯的照度下降程度，有效地射出真空紫外光。

此外，通过使构成紫外线反射层的二氧化硅粒子中的OH基浓度为10wt ppm以上，能够使反射维持率及照度维持率均保持较高的值，具有长时间点灯时维持照度的优异效果。

通过使构成紫外线反射层的二氧化硅粒子中的OH基浓度是502wt ppm以下，能够抑制从OH基产生的氧原子过多地存在于放电空间，防止由于氧原子与稀有气体原子反应而阻碍准分子的形成，能够使准分子灯的照度维持率保持较高的值，有效地射出真空紫外光。

附图说明

图1是表示本发明的准分子灯的一例的大致构成的说明用剖视图，图1(a)是表示沿着放电容器的长度方向的断面的剖视图，图1(b)是图1(a)中的A-A’线剖视图。

图2是用于说明实验例中的准分子灯的照度测定方法的剖视图。

图3是表示实验例的测定结果的图表。

图4是表示实验例的测定结果的图表。

图5是表示本发明的准分子灯的一例的大致构成的说明用剖视图。

图6是表示本发明的准分子灯的一例的大致构成的说明用剖视图。

图7是表示现有的准分子灯的大致构成的说明用剖视图。

具体实施方式

图1是表示本发明的准分子灯10的一例的构成概略的说明用剖视图。图1(a)是表示沿着放电容器20的长度方向的断面的剖视图，图1(b)是表示图1(a)的A-A’线的剖视图。

该准分子灯10具备两端被气密地密封而在内部形成有放电空间S的、断面矩形状的中空长尺状的放电容器20。该放电容器20包括：上壁板21及相对于上壁板21的下壁板22；连结于上壁板21与下壁板22的一对侧壁板23；及将由这些上壁板21、下壁板22及一对侧壁板23构成的四方筒状体的两端予以密封的一对端壁板24。放电容器20由良好地透射真空紫外光的二氧化硅玻璃例如合成石英玻璃形成。

在放电容器20的内部，以如10～80kPa的压力封入有放电用气体。作为放电用气体，即使选择任何气体，对放射强度的继时性变化也不会有影响，但根据放电用气体的种类，所放射的准分子光的中心波长不相同。例如，封入有氙(Xe)的准分子灯产生以172nm作为中心波长的准分子光，而封入有氩(Ar)与氯(Cl)的混合气体的准分子灯产生以175nm作为中心波长的准分子光，封入有氪(Kr)与碘(I)的混合气体的准分子灯产生以191nm作为中心波长的准分子光，在封入有氩(Ar)与氟(F)的混合气体的准分子灯产生以波长193nm作为中心波长的准分子光，封入有氪(Kr)与溴(Br)的混合气体的准分子灯产生以207nm作为中心波长的准分子光，封入有氪(Kr)与氯(Cl)的混合气体的准分子灯产生以222nm作为中心波长的准分子光。

在放电容器20的上壁板21的外表面具备高电压供应电极11，在下壁板22的外表面具备接地电极12，这些电极11、12配置成彼此相对。这种电极11、12成为网状构造，从网孔之间能透射光。作为材质，例如使用铝、镍、金等，例如通过网印或真空蒸镀的方法形成。此外，各电极11、12被连接于适当的高频电源(未图示)。

在上述准分子灯10中，为了有效率地利用通过准分子放电所产生的真空紫外光，在与放电容器20的放电空间S相对的内表面设有由粒子堆积体构成的紫外线反射层30。具体而言，在上壁板21的内表面的与高电压供应电极11对应的区域、从与电极11、12对应的区域偏离的上壁板21及下壁板22的内表面以及侧壁板23及端壁板24的内表面的区域，形成有紫外线反射层30。

另一方面，在放电容器20的下壁板22与接地电极12对应的内表面没有形成紫外线反射层30，由此构成光射出部。

紫外线反射层30的厚度为例如5～1000μm，由二氧化硅粒子及融点比二氧化硅高且透射紫外线的微小粒子构成。融点比二氧化硅高且透射紫外线的微小粒子有例如氧化铝、氟化锂、氟化镁、氟化钙、氟化钡等。此外，吸收紫外线的材质例如钛、锆及其化合物不被采用为微小粒子。但是，作为紫外线反射层30的杂质，也有混入有钛或锆的情况。

真空紫外光射入至由这种透射紫外线的微小粒子构成的紫外线反射层30，则一部分在微小粒子的表面反射，另一部分是折射而在粒子内部透射，而再次在其它表面反射或折射。在多个微小粒子中反复进行这种反射、折射，从而真空紫外光被扩散反射。

然而，二氧化硅粒子因准分子灯10中所产生的等离子体的热而熔融，晶界消失，无法扩散反射真空紫外光，降低反射率。另一方面，融点比二氧化硅高的微小粒子即使暴露在等离子体的热中也不会熔融。因此，在紫外线反射层30中混入融点比二氧化硅高的微小粒子，彼此邻接的微小粒子彼此间结合，从而可防止晶界消失，可抑制紫外线反射层30的反射率下降。

包含于紫外线反射层30的微小粒子是如下定义的粒子径在例如0.01～20μm的范围内的粒子，中心粒径(个数基准的粒度分布的最大值)在紫外线反射层30中例如优选0.1～10μm，更优选0.1～3μm。

在此所谓“粒子径”是指，将对于紫外线反射层30的表面朝垂直方向切剖时的切剖面上的厚度方向的大约中间位置作为观察范围，通过扫描电子显微镜(SEM)取得放大投影图像，而以一定方向的两条平行线夹着该放大投影图像中的任意粒子时的该平行线的间隔即弗雷特(Feret)直径。

此外，“中心粒径”是指，将如上述所得到的各粒子的粒子径的最大值与最小值的粒子径的范围例如以0.1μm的范围分成多个区域，例如区分成15个区域左右时，属于各区域的粒子个数(度数)为最大的区域的中心值。

在该准分子灯10中，点灯电力供应于高电压供应电极12时，经由放电容器20而在两电极11、12间的放电空间S会产生准分子放电。由此，形成准分子，并且从该准分子放射真空紫外光。在放电空间S所产生的真空紫外光的一部分直接经具有光射出部的下壁板22而射出至外部。此外，另一部分真空紫外光朝上壁板21的方向放射，在紫外线反射层30扩散放射，经光射出部朝外部射出。

构成紫外线反射层30的二氧化硅粒子及其他微小粒子具有与真空紫外光的波长相同程度的粒子径，从而能够有效地扩散反射真空紫外光。

然而，长时间点灯具备上述紫外线反射层30的准分子灯10时，无法维持初始照度，随着点灯时间经过照度逐渐下降。发明人从所有方面来分析照度降低的原因，考虑到是否会是其主要因素之一的紫外线反射层30的反射率下降。

因此，测定点灯初始的准分子灯10的紫外线反射层30的反射强度光谱及长时间点灯后的准分子灯10的紫外线反射层30的反射强度光谱，比较解析两者。由该结果得知，在长时间点灯后的准分子灯10的紫外线反射层30，在紫外区域产生吸收带，紫外线的一部分被紫外线反射层30吸收，从而产生照度降低。

紫外线反射层30的紫外区域吸收带的产生原因在于，构成紫外线反射层30的二氧化硅粒子在放电中曝露在紫外线或等离子体中，受到放射损伤，产生吸收紫外区域波长的光的内部缺陷，紫外线被内部缺陷吸收，使得扩散反射被抑制。内部缺陷是指，二氧化硅粒子的Si-O-Si键曝露在紫外线或等离子体中而产生的、在波长163nm附近具有吸收端的Si-Si缺陷或在波长215nm附近具有吸收带的E’心(E’center)(Si·)。

由于上述的原因，产生吸收紫外区域波长的光的内部缺陷的是二氧化硅粒子，成为照度降低的原因的紫外区域波长的光吸收取决于二氧化硅粒子的内部缺陷。此外，在氧化铝、氟化锂、氟化镁、氟化钙、氟化钡等所构成的、除了二氧化硅粒子以外的透射紫外线的微小粒子即使曝露于紫外线或等离子体中也不会产生放射损伤。因此，通过防止在构成紫外线反射层30的二氧化硅粒子中产生内部缺陷，可抑制照度降低，即使长时间点灯也可保持高照度维持率。

在防止在二氧化硅粒子中产生内部缺陷方面，有效的方法是使二氧化硅粒子含有OH基。通过含有OH基，可抑制在紫外线反射层30所含的二氧化硅粒子中生成内部缺陷，可防止降低紫外线反射层30的反射率。

以下，对含有包含OH基的二氧化硅粒子的微小粒子所构成的紫外线反射层30的形成方法加以说明。紫外线反射层30是通过例如称为“流下法(flow down)”的方法，在放电容器形成材料的内表面的预定区域，形成含有二氧化硅粒子的粒子堆积层。例如，在具有组合了水与PEO树脂(polyethylene oxide：聚氧化乙烯)的黏性溶剂中混合微小粒子来调整分散液，将该分散液流进放电容器形成材料内。此外，将分散液附着于放电容器形成材料内表面的预定区域之后，经干燥、煅烧使水与PEO树脂蒸发，由此可形成粒子堆积层。在此，煅烧温度是例如500℃～1100℃。

作为使二氧化硅粒子含有OH基的方法的一例，通过供应水蒸气并用电炉对未含OH基的二氧化硅粒子进行加热(例如1000℃)，制作含有大量OH基的二氧化硅粒子。通过使用经这种处理的二氧化硅粒子，可形成含有包含OH基的二氧化硅粒子的微小粒子所构成的紫外线反射层30。

此外，作为其它方法，也可以在使未含OH基的二氧化硅粒子附着于放电容器形成材料内表面的预定区域之后，通过供应水蒸气并进行煅烧，使二氧化硅粒子含有OH基。此外，也可以在使未含OH基的二氧化硅粒子经煅烧而形成紫外线反射层30之后，通过再供应水蒸气并用电炉进行加热，使二氧化硅粒子含有OH基。

此外，通过购入可得到的二氧化硅粒子根据其制法也会含有OH基，但有些产品的OH基浓度较低，因而优选通过上述方法含有高浓度的OH基。

关于二氧化硅粒子所含的OH基的浓度，可通过改变加热排气条件来调整。经由通过再加热后缓慢地冷却来消除放电容器20的变形的退火、用于除去放电空间S中所含的杂质气体的加热排气工序，制作准分子灯10。通过选择各种加热排气条件，可将构成紫外线反射层30的二氧化硅粒子所含的OH浓度调整成任意值。在此，加热排气是指，将具有支管以能进行真空排气的放电容器材料连接于排气台，从支管将内部空间排气成真空，并通过电炉保持高温。例如将保持温度设为800℃，将保持时间设为1小时，或5小时，或10小时，或20小时，随着保持时间的延长，可除去更多的OH基。考虑到预先含在二氧化硅粒子中的OH基的量，通过加热排气来调整除去OH基的量，可形成由含有任意OH基浓度的二氧化硅粒子的微小粒子构成的紫外线反射层30。

表示与本发明的准分子灯相关的实施例。

<实验例1>

根据图1(a)、(b)所示的构成，制作具备紫外线反射层的准分子灯。

[准分子灯的基本构成]

放电容器的材质为二氧化硅玻璃，尺寸为15mm×43mm×350mm、厚度为2.5mm。

高电压供应电极及接地电极的尺寸是30mm×300mm。

紫外线反射层由将中心粒径1.5μm的二氧化硅粒子按成分比90重量％、将中心粒径1.5μm的氧化铝粒子按成分比10重量％混合的混合物构成，通过流下法分别形成，煅烧温度为1000℃。

作为放电用气体，将氙以40kPa封入放电容器内。

准备加热排气条件不相同的灯1-10这10种具有上述构成的准分子灯。各条件的准分子灯各制作两支。打破一支而测定初始的紫外线反射层的反射率及二氧化硅粒子中的OH基浓度。将另一支的管壁负荷设为0.8W/cm²而连续点灯500小时，测定其照度，之后测定紫外线反射层的反射率。

在测定紫外线反射层的反射率时，选择放电容器的碎片中任意3片内表面形成有紫外线反射层的部分作为试验片。使用真空紫外光分光装置，将波长172±5nm的真空紫外光照射在3个试验片，根据反射光的强度与照射光的强度的比例求出反射率。将3个试验片的反射率的平均值作为紫外线反射层的反射率。

在测定二氧化硅粒子中的OH基浓度时，对测定过反射率的准分子灯，从放电容器将紫外线反射层全部削除，将从1支准分子灯所削掉的紫外线反射层分成3个。通过升温脱离气体分析法分别测定所削掉的3个紫外线反射层。将3个测定结果的平均值作为二氧化硅粒子中的OH基浓度。

在此简单地说明通过升温脱离气体分析法的定OH基浓度的原理。在高真空中加热含有OH基的二氧化硅粒子，则产生如下所示化学式的反应。

[化1]

2≡SiOH→H₂O(g)+2SiO₂

在升温脱离气体分析中，固定该H₂O的量，可求得二氧化硅粒子(测定的重量)所含的OH基的重量，可求出含在二氧化硅粒子中的OH基浓度。

此外，由于产生内部缺陷的原因是含在紫外线反射层中的二氧化硅粒子，因而二氧化硅粒子中的OH基浓度是指紫外线反射层所含的二氧化硅粒子中的OH基浓度。求出含于被削掉的紫外线反射层中的二氧化硅粒子的成分比，根据成分比算出OH基的重量相对于二氧化硅粒子的重量，从而计算出二氧化硅粒子中的OH基浓度。

列举一例来说明二氧化硅粒子中的OH基浓度的算出方法。被削掉的紫外线反射层的重量为0.20g，求得的二氧化硅粒子的成分比为90重量％时，二氧化硅粒子的重量为0.18g。在升温脱离气体分析法中，发生化1所示化学式的反应，因而由两个OH基生成一个H₂O分子。因此，作为测定结果而得到的H₂O放出量为1.6×10¹⁸molecules时，OH基个数是3.2×10¹⁸molecules。OH的分子量为17，因而OH基3.2×10¹⁸molecules的重量是9.04×10^-5g。二氧化硅粒子0.18g中含有OH基9.04×10^-5g，因而二氧化硅粒子中的OH基浓度被算出为502wt ppm。

照度测定如下进行：如图2所示，在铝制容器40的内部配置的陶瓷制的支撑台41上固定准分子灯10，而且在距准分子灯10的表面1mm的位置，将紫外线照度测定器42固定成与准分子灯10相对，在以氮气置换铝制容器40的内部氛围气体的状态下，通过在准分子灯10的电极11、12间施加5.0kV的交流高电压，在放电容器内部产生放电，测定经由接地电极12的网孔而放射的波长150nm-200nm波长区域的氙准分子光的照度。

以连续点灯15分钟后的照度作为初始照度，将连续点灯500小时时的照度表示为初始照度的相对值，将该值作为照度维持率。即，算出[(500小时点灯后的照度)/(刚点灯后的照度)](％)作为“照度维持率”。

破碎点灯500小时后的准分子灯，与上述方法同样地测定紫外线反射层的反射率。将点灯500小时后的反射率与初始的反射率之比作为反射维持率。算出[(500小时点灯后的反射率)/(初始的反射率)](％)作为“反射维持率”。

灯1-10的测定结果表示于表1。

[表1]

	二氧化硅粒子中OH基浓度(wt ppm)	反射维持率(％)	照度维持率(％)
	二氧化硅粒子中OH基浓度(wt ppm)	反射维持率(％)	照度维持率(％)	灯1	5	78	72
灯2	7	82	79	灯1	5	78	72
灯2	7	82	79	灯3	10	98	96
灯4	42	96	92	灯3	10	98	96
灯4	42	96	92	灯5	132	96	94
灯6	214	95	94	灯5	132	96	94
灯6	214	95	94	灯7	341	94	93
灯8	406	95	95	灯7	341	94	93
灯8	406	95	95	灯9	502	97	94
灯10	658	95	81	灯9	502	97	94

图3是将表1所示的测定结果中二氧化硅粒子中的OH基浓度(wtppm)作为横轴、反射维持率(％)作为纵轴而描绘灯1～10的值的图表。

此外，图4是将表1所示的测定结果中二氧化硅粒子中的OH基浓度(wt ppm)作为横轴、照度维持率(％)作为纵轴而描绘灯1～10的值的图表。

此外，表示于图3及图4的图表是横轴为对数刻度的单对数图表。

由以上结果可读取到：二氧化硅粒子中的OH基浓度小于10wtppm时，具体而言为5wt ppm、7wt ppm时，反射维持率及照度维持率都在80％左右或其以下，而长时间点灯准分子灯时，处理能力下降。另一方面，二氧化硅粒子中的OH基浓度为10wt ppm以上时，反射维持率及照度维持率都成为90％以上，即使长时间点灯准分子灯，也可维持处理能力。如图3及图4所示可知，OH基浓度由小于10wt ppm成为10wt ppm以上时，反射维持率及照度维持率都会急剧地变高，因此使二氧化硅粒子中的OH基浓度达到10wt ppm以上时会有显著差异，在长时间点灯时维持照度方面发挥优异的效果。

另一方面，灯10即二氧化硅粒子中的OH基浓度为658wt ppm时，反射维持率仍维持为较高，但照度维持率与灯9的二氧化硅粒子中的OH基浓度502wt ppm时相比大幅降低。灯10的二氧化硅粒子中的OH基浓度为658wt ppm时的照度维持率维持在81％，与灯2的二氧化硅粒子中的OH基浓度为7wt ppm时的照度维持率79％为相同的程度。即，在OH基浓度为658wtppm时，没有得到通过使二氧化硅粒子中的OH基浓度在10wt ppm以上而得到的维持照度的优异效果。

这是因为，在二氧化硅粒子中的OH基浓度过高时，由OH基所产生的氧原子与稀有气体原子反应，妨碍准分子分子的形成而降低照度维持率。若二氧化硅粒子中的OH基浓度过高，则被曝露于放电等离子体进行加热及光激励，从而二氧化硅粒子中的OH基作为水(H₂O)而放出至放电空间。放出的水(H₂O)在放电等离子体中被分解，在封入有氙(Xe)作为放电用气体的准分子灯中，产生氙原子与氧原子结合的分子(XeO)，由该分子放射以550nm附近作为中心波长的绿色光。这样，氧原子与稀有气体原子反应，阻碍准分子的形成，降低以172nm作为中心波长的准分子光的照度维持率。

由于上述现象，即使可维持紫外线反射层的反射维持率较高，也会产生照度维持率降低的情况。因此，为了抑制由OH基产生的氧原子过多地存在于放电空间，防止氧原子与稀有气体原子反应而阻碍准分子的形成，抑制准分子灯的照度维持率降低，并得到通过使二氧化硅粒子中的OH基浓度在10wt ppm以上而得到的维持照度的效果，需要紫外线反射层中所含的二氧化硅粒子的OH基浓度在502wt ppm以下。

<实验例2>

对变更了紫外线反射层的构成材料即二氧化硅粒子与氧化铝粒子的中心粒径及成分比的准分子灯，进行与实验例1同样的测定。

[准分子灯的基本构成]

实验例1的规格中除了对紫外线反射层的构成材料即二氧化硅粒子与氧化铝粒子的中心粒径及成分比进行各种变更之外，以同一条件制作准分子灯。

灯11

氧化铝粒子：中心粒径1.5μm、成分比20重量％

二氧化硅粒子：中心粒径1.5μm、成分比80重量％

灯12

氧化铝粒子：中心粒径1.5μm、成分比30重量％

二氧化硅粒子：中心粒径1.5μm、成分比70重量％

灯13

氧化铝粒子：中心粒径0.3μm、成分比10重量％

二氧化硅粒子：中心粒径0.3μm、成分比90重量％

灯14

氧化铝粒子：中心粒径3.5μm、成分比40重量％

二氧化硅粒子：中心粒径0.3μm、成分比60重量％

灯15

氧化铝粒子：中心粒径4.0μm、成分比10重量％

二氧化硅粒子：中心粒径0.5μm、成分比90重量％

对于具有上述构成的准分子灯(灯11-15)，与实验例1同样地测定二氧化硅粒子中的OH基浓度、反射维持率、照度维持率。将灯11-15的测定结果表示于表2。

[表2]

灯11-15的紫外线反射

层的二氧化硅粒子中的OH基浓度在10wt ppm以上502wt ppm以下的范围。此外，这些紫外线反射层的反射维持率及照度维持率被确认为90％以上。由这些结果可知，即使对紫外线反射层的构成材料即二氧化硅粒子与氧化铝粒子的中心粒径及成分比进行各种变更，构成紫外线反射层的二氧化硅粒子中的OH基浓度为10wt ppm以上、502wt ppm以下的范围时，也可保持足够高的反射维持率及照度维持率。

以上，对本发明的实施方式进行了说明，但并不限定于上述准分子灯，也可适用于如图5所示的双重管型的准分子灯50。在图5所示的准分子灯50的放电容器51的外侧管52的内表面与内侧管53的外表面形成有紫外线反射层54。外侧管52的内径是24mm，内侧管53的外径是16mm，全长为350mm，厚度为1mm，均由二氧化硅玻璃构成。在外侧管52的外表面设置有由网状金属构成的外侧电极55，在内侧管53的外表面设置有板状金属的内侧电极56。

此外，也可适用于如第6图的方型准分子灯60。图6所示的准分子灯60例如具备由二氧化硅玻璃构成的剖面为长方形的放电容器61，在该放电容器61彼此相对的外表面配置有由金属构成的一对外侧电极62、63，外侧电极62、63朝放电容器61的管轴方向延伸。在放电容器61内封入有作为放电用气体的氙气。在放电容器61的内表面设有紫外线反射层64。此外，在放电容器61的在外表面没有形成外侧电极62、63的任一面，形成有因没有形成紫外线反射层64而形成的光射出窗65。放电容器61的尺寸是14×34×150mm，厚度为2.5mm。

Claims

1.一种准分子灯，包括具有放电空间的且由二氧化硅玻璃构成的放电容器，以夹着形成该放电容器的二氧化硅玻璃的状态设有一对电极，并且在放电空间内封入有放电用气体，在上述放电容器的内表面形成有紫外线反射层，所述准分子灯的特征在于，

上述紫外线反射层由含有OH基的二氧化硅粒子和融点比二氧化硅高的微小粒子构成，构成上述紫外线反射层的二氧化硅粒子中的OH基浓度是10wt ppm以上。

2.如权利要求1所述的准分子灯，其特征在于，

构成上述紫外线反射层的二氧化硅粒子中的OH基浓度是502wtppm以下。