CN101570040A - 应用于LED激光切割设备的X-Y-θ运动平台 - Google Patents
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Abstract
Description
附图标记 | 含义 | 附图标记 | 含义 | 附图标记 | 含义 |
1 | 真空吸附模块 | 2 | θ轴 | 3 | X-Y轴 |
4 | Y光栅尺组 | 5 | 直线马达 | 6 | X轴板 |
7 | Y轴板 | 8 | Y直线滑轨 | 9 | 直线马达 |
10 | X光栅尺组 | 11 | 底板 | 12 | X直线滑轨 |
13 | 旋转电机 | 14 | 光栅尺组 |
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