CN108092545A - 多自由度压电粘滑微纳定位平台及其驱动方法 - Google Patents
多自由度压电粘滑微纳定位平台及其驱动方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN108092545A CN108092545A CN201810030489.5A CN201810030489A CN108092545A CN 108092545 A CN108092545 A CN 108092545A CN 201810030489 A CN201810030489 A CN 201810030489A CN 108092545 A CN108092545 A CN 108092545A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- screw
- straight
- straight round
- hinge
- round hinge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 61
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 115
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 101
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 45
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 27
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 19
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 16
- 241000209094 Oryza Species 0.000 claims description 15
- 235000007164 Oryza sativa Nutrition 0.000 claims description 15
- 235000009566 rice Nutrition 0.000 claims description 15
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 10
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 5
- 230000036316 preload Effects 0.000 claims description 5
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 4
- 239000002783 friction material Substances 0.000 claims description 4
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 2
- 230000008719 thickening Effects 0.000 claims description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims 1
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 claims 1
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 abstract description 16
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 26
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 9
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 8
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 6
- 206010049214 Monopodia Diseases 0.000 description 5
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 2
- 235000003283 Pachira macrocarpa Nutrition 0.000 description 1
- 206010037660 Pyrexia Diseases 0.000 description 1
- 240000001085 Trapa natans Species 0.000 description 1
- 235000014364 Trapa natans Nutrition 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000035800 maturation Effects 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000009711 regulatory function Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 235000009165 saligot Nutrition 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/005—Mechanical details, e.g. housings
Abstract
Description
Claims (10)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810030489.5A CN108092545B (zh) | 2018-01-12 | 2018-01-12 | 多自由度压电粘滑微纳定位平台及其驱动方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810030489.5A CN108092545B (zh) | 2018-01-12 | 2018-01-12 | 多自由度压电粘滑微纳定位平台及其驱动方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN108092545A true CN108092545A (zh) | 2018-05-29 |
CN108092545B CN108092545B (zh) | 2020-01-10 |
Family
ID=62182175
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201810030489.5A Active CN108092545B (zh) | 2018-01-12 | 2018-01-12 | 多自由度压电粘滑微纳定位平台及其驱动方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN108092545B (zh) |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108696182A (zh) * | 2018-05-30 | 2018-10-23 | 东北大学 | 一种面向多工位精密操作的旋转载物台与控制方法 |
CN110545051A (zh) * | 2019-09-27 | 2019-12-06 | 长春工业大学 | 一种采用非对称转化铰链的大承载式压电粘滑旋转台 |
CN110611453A (zh) * | 2019-09-30 | 2019-12-24 | 长春工业大学 | 高负载容量精密压电旋转平台及其驱动定位方法 |
CN110855181A (zh) * | 2019-04-08 | 2020-02-28 | 浙江师范大学 | 一种基于非对称三角形铰链机构的旋转式压电驱动装置 |
CN110980579A (zh) * | 2019-12-26 | 2020-04-10 | 长春工业大学 | 采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台 |
CN111130382A (zh) * | 2020-01-08 | 2020-05-08 | 浙江师范大学 | 一种具有弹簧机构的驱动装置 |
CN111162693A (zh) * | 2020-01-08 | 2020-05-15 | 浙江师范大学 | 一种压电驱动平台 |
CN111162691A (zh) * | 2020-01-08 | 2020-05-15 | 浙江师范大学 | 一种旋转运动驱动装置 |
CN111181437A (zh) * | 2020-01-08 | 2020-05-19 | 浙江师范大学 | 一种可变摩擦驱动装置 |
CN111193436A (zh) * | 2020-01-08 | 2020-05-22 | 浙江师范大学 | 一种步进式驱动装置 |
CN111193435A (zh) * | 2020-01-08 | 2020-05-22 | 浙江师范大学 | 一种旋转作动器 |
CN111245289A (zh) * | 2020-01-08 | 2020-06-05 | 浙江师范大学 | 一种压电驱动的旋转运动装置及其控制方法 |
CN114257125A (zh) * | 2022-01-04 | 2022-03-29 | 长春工业大学 | 正交菱形双模式精密压电粘滑旋转平台及其驱动方法 |
WO2023184316A1 (zh) * | 2022-03-31 | 2023-10-05 | 深圳华大智造科技股份有限公司 | 运动平台及相关设备 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101570040A (zh) * | 2009-04-30 | 2009-11-04 | 苏州德龙激光有限公司 | 应用于LED激光切割设备的X-Y-θ运动平台 |
CN103104793A (zh) * | 2013-01-25 | 2013-05-15 | 重庆大学 | 一体式六自由度精密定位平台 |
CN103252761A (zh) * | 2013-04-28 | 2013-08-21 | 合肥工业大学 | 具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统 |
CN104320016A (zh) * | 2014-10-13 | 2015-01-28 | 吉林大学 | 基于粘滑惯性的串联式三自由度压电精密驱动平台 |
CN105666162A (zh) * | 2016-03-15 | 2016-06-15 | 南京航空航天大学 | 宏微双重驱动精密楔形进给工作台及运动产生方法 |
CN105720859A (zh) * | 2016-05-03 | 2016-06-29 | 吉林大学 | 基于仿生触角和热膨胀的宏微驱动旋转平台 |
CN105827140A (zh) * | 2016-06-06 | 2016-08-03 | 长春工业大学 | 斜槽式精密压电粘滑直线马达及其驱动方法 |
CN105827142A (zh) * | 2016-06-06 | 2016-08-03 | 长春工业大学 | 非对称结构精密压电粘滑直线马达及其驱动方法 |
CN105827141A (zh) * | 2016-06-06 | 2016-08-03 | 长春工业大学 | 斜梯形运动转换式精密压电粘滑直线马达及其驱动方法 |
-
2018
- 2018-01-12 CN CN201810030489.5A patent/CN108092545B/zh active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101570040A (zh) * | 2009-04-30 | 2009-11-04 | 苏州德龙激光有限公司 | 应用于LED激光切割设备的X-Y-θ运动平台 |
CN103104793A (zh) * | 2013-01-25 | 2013-05-15 | 重庆大学 | 一体式六自由度精密定位平台 |
CN103252761A (zh) * | 2013-04-28 | 2013-08-21 | 合肥工业大学 | 具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统 |
CN104320016A (zh) * | 2014-10-13 | 2015-01-28 | 吉林大学 | 基于粘滑惯性的串联式三自由度压电精密驱动平台 |
CN105666162A (zh) * | 2016-03-15 | 2016-06-15 | 南京航空航天大学 | 宏微双重驱动精密楔形进给工作台及运动产生方法 |
CN105720859A (zh) * | 2016-05-03 | 2016-06-29 | 吉林大学 | 基于仿生触角和热膨胀的宏微驱动旋转平台 |
CN105827140A (zh) * | 2016-06-06 | 2016-08-03 | 长春工业大学 | 斜槽式精密压电粘滑直线马达及其驱动方法 |
CN105827142A (zh) * | 2016-06-06 | 2016-08-03 | 长春工业大学 | 非对称结构精密压电粘滑直线马达及其驱动方法 |
CN105827141A (zh) * | 2016-06-06 | 2016-08-03 | 长春工业大学 | 斜梯形运动转换式精密压电粘滑直线马达及其驱动方法 |
Cited By (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108696182A (zh) * | 2018-05-30 | 2018-10-23 | 东北大学 | 一种面向多工位精密操作的旋转载物台与控制方法 |
CN108696182B (zh) * | 2018-05-30 | 2019-06-07 | 东北大学 | 一种面向多工位精密操作的旋转载物台与控制方法 |
CN110855181A (zh) * | 2019-04-08 | 2020-02-28 | 浙江师范大学 | 一种基于非对称三角形铰链机构的旋转式压电驱动装置 |
CN110855181B (zh) * | 2019-04-08 | 2023-09-12 | 浙江师范大学 | 一种基于非对称三角形铰链机构的旋转式压电驱动装置 |
CN110545051A (zh) * | 2019-09-27 | 2019-12-06 | 长春工业大学 | 一种采用非对称转化铰链的大承载式压电粘滑旋转台 |
CN110611453A (zh) * | 2019-09-30 | 2019-12-24 | 长春工业大学 | 高负载容量精密压电旋转平台及其驱动定位方法 |
CN110980579A (zh) * | 2019-12-26 | 2020-04-10 | 长春工业大学 | 采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台 |
CN110980579B (zh) * | 2019-12-26 | 2021-01-19 | 长春工业大学 | 采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台 |
CN111193436A (zh) * | 2020-01-08 | 2020-05-22 | 浙江师范大学 | 一种步进式驱动装置 |
CN111181437A (zh) * | 2020-01-08 | 2020-05-19 | 浙江师范大学 | 一种可变摩擦驱动装置 |
CN111162691A (zh) * | 2020-01-08 | 2020-05-15 | 浙江师范大学 | 一种旋转运动驱动装置 |
CN111193435A (zh) * | 2020-01-08 | 2020-05-22 | 浙江师范大学 | 一种旋转作动器 |
CN111245289A (zh) * | 2020-01-08 | 2020-06-05 | 浙江师范大学 | 一种压电驱动的旋转运动装置及其控制方法 |
CN111162693A (zh) * | 2020-01-08 | 2020-05-15 | 浙江师范大学 | 一种压电驱动平台 |
CN111162691B (zh) * | 2020-01-08 | 2023-08-25 | 浙江师范大学 | 一种旋转运动驱动装置 |
CN111130382A (zh) * | 2020-01-08 | 2020-05-08 | 浙江师范大学 | 一种具有弹簧机构的驱动装置 |
CN111181437B (zh) * | 2020-01-08 | 2023-09-29 | 浙江师范大学 | 一种可变摩擦驱动装置 |
CN111245289B (zh) * | 2020-01-08 | 2023-12-08 | 浙江师范大学 | 一种压电驱动的旋转运动装置及其控制方法 |
CN111193436B (zh) * | 2020-01-08 | 2024-04-23 | 浙江师范大学 | 一种步进式驱动装置 |
CN114257125A (zh) * | 2022-01-04 | 2022-03-29 | 长春工业大学 | 正交菱形双模式精密压电粘滑旋转平台及其驱动方法 |
WO2023184316A1 (zh) * | 2022-03-31 | 2023-10-05 | 深圳华大智造科技股份有限公司 | 运动平台及相关设备 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN108092545B (zh) | 2020-01-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN108092545A (zh) | 多自由度压电粘滑微纳定位平台及其驱动方法 | |
CN1027667C (zh) | 向物体施加力的装置 | |
CN105827142B (zh) | 非对称结构精密压电粘滑直线马达及其驱动方法 | |
CN105897044B (zh) | 斜楔式菱形放大机构压电粘滑直线电机及其激励方法 | |
CN108306546B (zh) | 紧凑型双致动组件压电粘滑驱动装置及其驱动方法 | |
CN105827140B (zh) | 斜槽式精密压电粘滑直线马达及其驱动方法 | |
CN108233764A (zh) | 采用异形铰链传动机构的压电驱动型精密旋转驱动装置 | |
CN104582910B (zh) | 液压致动器系统 | |
CN111181436B (zh) | 二次激励摩擦压电旋转驱动器 | |
CN107953120A (zh) | 压电粘滑微纳角位移台及其驱动方法 | |
CN105827144B (zh) | 斜梯形正交驱动型压电粘滑直线马达及其复合激励方法 | |
CN108023500B (zh) | 可输出正反向双向运动的压电型精密直线驱动装置 | |
CN207677649U (zh) | 可输出正反向双向运动的压电型精密直线驱动装置 | |
CN107947629A (zh) | 双压电叠堆驱动型精密旋转驱动装置 | |
CN110601594A (zh) | 一种多足耦合致动式微纳直线驱动器及其激励方法 | |
CN105897043B (zh) | 菱形铰链斜拉式正交驱动型压电粘滑直线马达及其复合激励方法 | |
CN108712104B (zh) | 一种寄生式压电粘滑驱动器 | |
CN205754055U (zh) | 具有菱形铰链拨片式运动转换器的压电粘滑直线驱动装置 | |
CN108062968A (zh) | 长行程高精度压电位移台及其驱动方法 | |
CN105932901B (zh) | 斜槽式菱形放大机构压电粘滑直线电机及其激励方法 | |
CN106026766B (zh) | 菱形铰链拨片式正交驱动型压电粘滑直线马达及其复合激励方法 | |
CN110912448A (zh) | 一种基于非对称三角形圆弧式柔性铰链机构的新型高效压电旋转精密驱动平台 | |
CN109768733A (zh) | 一种两次转动型压电旋转驱动器 | |
CN208548841U (zh) | 一种寄生式压电粘滑驱动器 | |
CN207720042U (zh) | 采用铰链传动机构的压电驱动型精密旋转驱动装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
CB03 | Change of inventor or designer information |
Inventor after: Cheng Tinghai Inventor after: Yu Yang Inventor after: Gao Qi Inventor after: Lu Xiaohui Inventor after: Wang Yingting Inventor after: Li Yikang Inventor after: Zhang Xiaosong Inventor before: Cheng Tinghai Inventor before: Gao Qi Inventor before: Lu Xiaohui Inventor before: Wang Yingting Inventor before: Li Yikang Inventor before: Zhang Xiaosong |
|
CB03 | Change of inventor or designer information | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |