CN107953120A - 压电粘滑微纳角位移台及其驱动方法 - Google Patents
压电粘滑微纳角位移台及其驱动方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN107953120A CN107953120A CN201810029945.4A CN201810029945A CN107953120A CN 107953120 A CN107953120 A CN 107953120A CN 201810029945 A CN201810029945 A CN 201810029945A CN 107953120 A CN107953120 A CN 107953120A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- lever
- amplifying mechanism
- driving
- angular displacement
- baffle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims abstract description 97
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 88
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 36
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 22
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 33
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 31
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 31
- 241000209094 Oryza Species 0.000 claims description 15
- 235000007164 Oryza sativa Nutrition 0.000 claims description 15
- 235000009566 rice Nutrition 0.000 claims description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 12
- 239000002783 friction material Substances 0.000 claims description 9
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 claims description 9
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 9
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 8
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 claims description 8
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 6
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 claims description 5
- YBJHBAHKTGYVGT-ZKWXMUAHSA-N (+)-Biotin Chemical compound N1C(=O)N[C@@H]2[C@H](CCCCC(=O)O)SC[C@@H]21 YBJHBAHKTGYVGT-ZKWXMUAHSA-N 0.000 claims description 3
- 229910001094 6061 aluminium alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910001008 7075 aluminium alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 102000051759 human factor J Human genes 0.000 claims description 3
- 108700008420 human factor J Proteins 0.000 claims description 3
- FEPMHVLSLDOMQC-UHFFFAOYSA-N virginiamycin-S1 Natural products CC1OC(=O)C(C=2C=CC=CC=2)NC(=O)C2CC(=O)CCN2C(=O)C(CC=2C=CC=CC=2)N(C)C(=O)C2CCCN2C(=O)C(CC)NC(=O)C1NC(=O)C1=NC=CC=C1O FEPMHVLSLDOMQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 claims description 2
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 claims description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 2
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 abstract description 16
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 8
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 2
- 230000004807 localization Effects 0.000 description 2
- 230000009347 mechanical transmission Effects 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009411 base construction Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/34—Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
一种压电粘滑微纳角位移台及其驱动方法，以解决当前角位移定位平台存在的定位精度低、结构尺寸大以及成本高等问题。本发明涉及的角位移平台由滑动台、侧向驱动装置、挡板和基座组成。由于杠杆放大机构的杠杆等效转动而促使驱动足产生大于压电陶瓷堆栈原始变形量的侧向位移；采用弧形燕尾槽实现运动转换，使得侧向驱动装置输出的直线运动转换为所需的曲线运动；所设计的杠杆放大机构装配简单，易于调节，且具有可更换性。与当前已有技术相比，本发明具有定位精度高、结构简单、微型化、轻量化和低成本等特点，在光学精密仪器和半导体加工等精密加工与定位技术领域中具有很好的应用前景。
Description
技术领域
本发明涉及一种压电粘滑微纳角位移台及其驱动方法，属于精密加工与定位技术领域。
背景技术
纳米定位技术是纳米操作技术的基础，随着纳米技术的快速发展，越来越多的应用领域，如精密加工、微机电系统、光学工程等迫切需要体积小且具有纳米级定位精度的定位装置。由于压电陶瓷堆栈体积小、频响高、发热少、输出力大、无噪声、性能稳定，柔性铰链无机械摩擦、无间隙、运动灵敏度高等优点，精密加工与定位技术中广泛采用压电陶瓷堆栈作为驱动源，柔性铰链作为传动、导向机构的高精度定位平台作为驱动核心。
角位移定位平台在天文望远镜、图像稳定、复合轴精密跟踪、瞄准光学等系统中有着日益重要而广泛的应用。传统领域的角位移定位平台一般采用传统机械传动或伺服电机系统，传统机械传动机构如蜗轮蜗杆机构，利用蜗轮蜗杆的传动可完成转台的角位移定位；伺服电机系统，通过对伺服电机的角位移闭环控制完成转台的角位移定位；也可通过步进电机的开环控制完成转台的角位移定位。上述角位移定位平台也可用于精密角位移定位，但实际中，应用于精密定位时，存在定位精度低，结构尺寸大，生产成本高等问题，其位移精度及运动能力均难以满足复杂的加工和操作要求，很大程度上限制了角位移定位平台的应用与发展。
针对上述不足，需探索一种定位精度高、结构简单、微型化的角位移定位平台，以满足微观领域的特殊需求。
发明内容
为解决已有角位移定位平台存在的定位精度低，结构尺寸大，生产成本高等技术问题，本发明公开了一种压电粘滑微纳角位移台及其驱动方法。
本发明所采用的技术方案：
本发明提供了一种压电粘滑微纳角位移台及其驱动方法，该角位移平台由滑动台、侧向驱动装置、挡板和基座组成；所述滑动台通过弧形燕尾滑块与弧形燕尾槽的间隙配合安装于基座的上端，所述侧向驱动装置通过固定螺栓Ⅰ与安装螺纹孔Ⅱ的螺纹连接固定安装于基座内，两个所述挡板通过固定螺栓Ⅱ与安装螺纹孔Ⅲ的螺纹连接分别固定安装于基座两侧。
所述滑动台由滑动台面和摩擦片组成，所述滑动台面可采用不锈钢材料，其中所述滑动台面包括摩擦片安装槽、载物台、滑动台下足和弧形燕尾滑块，所述摩擦片胶粘于摩擦片安装槽内，所述摩擦片的径向宽度为b，其中，b的取值范围为6~10mm，所述载物台用于外置物件的装载，所述滑动台下足设置于载物台下端部，所述滑动台下足的宽度为a，其中，a的取值范围为2~4mm，所述弧形燕尾滑块设置于滑动台下足外向侧边，所述弧形燕尾滑块与基座的弧形燕尾槽间隙配合。
所述侧向驱动装置由杠杆放大机构、压电陶瓷堆栈、垫片、基米螺钉和固定螺栓Ⅰ组成，所述压电陶瓷堆栈通过垫片和基米螺钉的挤压固定于杠杆放大机构内，所述固定螺栓Ⅰ通过与安装螺纹孔Ⅱ的螺纹连接将侧向驱动装置固定安装于基座内；所述杠杆放大机构采用5025铝合金、6061铝合金、7075铝合金、Ti-35A钛合金或Ti-13钛合金材料，所述杠杆放大机构利用斜角杠杆进行位移放大，所述杠杆放大机构一侧设置有半圆形柔性铰链和连接杆Ⅰ，所述连接杆Ⅰ两端部各连接一个半圆形柔性铰链，所述杠杆放大机构另一侧设置有半圆形柔性铰链和连接杆Ⅱ，所述连接杆Ⅱ前端部连接一个半圆形柔性铰链，所述半圆形柔性铰链的铰链厚度为h，其中，h的取值范围为0.2~0.8mm，所述杠杆放大机构后端设置有螺栓固定孔，所述杠杆放大机构尾部设置有安装螺纹孔Ⅰ，所述基米螺钉安装于安装螺纹孔Ⅰ内，所述杠杆放大机构前端设置有驱动足和斜角杠杆，所述驱动足与摩擦片滑动接触，所述驱动足和摩擦片的接触端面涂有陶瓷类或玻璃纤维类摩擦材料，所述斜角杠杆的受力杆长度为L，所述斜角杠杆的作用杆长度为K，斜角角度为θ，所述作用杆和受力杆的比值Q=K/L为杠杆放大机构平行于驱动方向的位移放大倍数，其位移放大倍数Q取值范围为1.5~5，θ的取值范围为30°~70°。
所述挡板可采用不锈钢材料，所述挡板由方形挡板和固定螺栓Ⅱ组成，所述方形挡板包括挡板固定孔、挡板内侧面和凹形槽，所述方形挡板通过挡板固定孔安装固定于基座上，所述挡板内侧面与基座接触，所述凹形槽对称分布于方形挡板上沿两侧，所述凹形槽的宽度为d，其中，d=（a+1）mm；所述基座可采用不锈钢材料，所述基座包括弧形燕尾槽、挡板安装面、安装螺纹孔Ⅱ、安装螺纹孔Ⅲ、电路通孔和驱动装置安装面，所述弧形燕尾槽与滑动台的弧形燕尾滑块间隙配合，所述滑动台沿弧形燕尾槽的导引方向做角位移运动，所述挡板安装面与挡板的挡板内侧面接触，所述安装螺纹孔Ⅱ设置于驱动装置安装面上，所述侧向驱动装置通过固定螺栓Ⅰ与安装螺纹孔Ⅱ的螺纹连接固定安装在驱动装置安装面上，所述安装螺纹孔Ⅲ设置于挡板安装面上，所述挡板通过固定螺栓Ⅱ与安装螺纹孔Ⅲ的螺纹连接固定安装在挡板安装面上，所述电路通孔设置于基座侧边。
或为一种阶梯形杠杆放大式压电粘滑微纳角位移台，所述其杠杆放大机构利用阶梯形杠杆进行位移放大，所述杠杆放大机构一侧设置有半圆形柔性铰链和连接杆Ⅰ，所述连接杆Ⅰ两端部各连接一个半圆形柔性铰链，所述杠杆放大机构另一侧设置有圆形柔性铰链和连接杆Ⅱ，所述连接杆Ⅱ前端部连接一个圆形柔性铰链，所述半圆形柔性铰链和圆形柔性铰链具有圆角半径分别为r和R，其圆角半径比值P=R/r取值为0.6~1，所述杠杆放大机构后端设置有螺栓固定孔，所述杠杆放大机构尾部设置有安装螺纹孔Ⅰ，所述基米螺钉安装于安装螺纹孔Ⅰ内，所述杠杆放大机构前端设置有驱动足和阶梯形杠杆，所述驱动足与摩擦片滑动接触，所述驱动足和摩擦片的接触端面涂有陶瓷类或玻璃纤维类摩擦材料，所述阶梯形杠杆前端长度为A，所述阶梯形杠杆后端长度为B，前端与后端的比值S=A/B为杠杆放大机构平行于驱动方向的微位移放大倍数，其微位移放大倍数S取值为1~5。
或为一种平行杠杆放大式压电粘滑微纳角位移台，所述其杠杆放大机构利用平行杠杆进行位移放大，所述杠杆放大机构一侧设置有半圆形柔性铰链和连接杆Ⅰ，所述连接杆Ⅰ两端部各连接一个半圆形柔性铰链，所述杠杆放大机构另一侧设置有半圆形柔性铰链和连接杆Ⅱ，所述连接杆Ⅱ前端部连接一个半圆形柔性铰链，所述杠杆放大机构后端设置有螺栓固定孔，所述杠杆放大机构尾部设置有安装螺纹孔Ⅰ，所述基米螺钉安装于安装螺纹孔Ⅰ内，所述杠杆放大机构前端设置有扇形驱动足和平行杠杆，所述扇形驱动足与摩擦片滑动接触，所述扇形驱动足的扇形半径为x，扇形圆心角为y，x的取值范围为10~15mm，y的取值范围为20°~90°，所述扇形驱动足和摩擦片的接触端面涂有陶瓷类或玻璃纤维类摩擦材料，所述平行杠杆前端长度为M，所述平行杠杆后端长度为N，前端与后端的比值J=M/N为杠杆放大机构平行于驱动方向的微位移放大倍数，其微位移放大倍数J取值为1~5。
所述驱动方法中采用的复合激励电信号实现，复合激励电信号包括摩擦调控波和驱动波，通过将摩擦调控波复合叠加于驱动波的快速通电阶段，激发侧向驱动装置在快速变形阶段处于微副高频共振状态，基于超声减摩效应降低快速变形阶段侧向驱动装置与滑动台间的摩擦阻力；所述驱动波为锯齿波，所述摩擦调控波为正弦波；其中锯齿波的周期为T1，激励电压幅值为V1，对称性为S，正弦波周期为T2，激励电压幅值为V2，锯齿波与正弦波的周期比为T1/T2=100~20000，激励电压幅值比为V1/V2=2~6。
本发明的有益效果：
综合上述内容，本发明由于采用杠杆放大机构，因杠杆等效转动而使驱动足产生大于压电陶瓷堆栈原始变形量的侧向位移；采用弧形燕尾滑块与弧形燕尾槽的摩擦滑动实现运动转换，使得侧向驱动装置输出的直线运动转换为所需的曲线运动；所设计的杠杆放大机构，装配简单，体积小，且具有可更换性。与当前已有技术相比，本发明具有定位精度高、结构简单、微型化、轻量化和低成本等特点。
附图说明
图1所示为本发明提出的一种斜角杠杆放大式压电粘滑微纳角位移台的结构示意图；
图2所示为本发明提出的一种压电粘滑微纳角位移台的滑动台结构示意图；
图3所示为本发明提出的一种压电粘滑微纳角位移台的滑动台面结构示意图；
图4所示为本发明提出的一种压电粘滑微纳角位移台的摩擦片示意图；
图5所示为本发明提出的一种压电粘滑微纳角位移台的侧向驱动装置结构示意图；
图6所示为本发明提出的一种斜角杠杆放大式压电粘滑微纳角位移台的杠杆放大机构结构示意图；
图7所示为本发明提出的一种斜角杠杆放大式压电粘滑微纳角位移台的杠杆放大机构俯视图；
图8所示为本发明提出的一种压电粘滑微纳角位移台的挡板结构示意图；
图9所示为本发明提出的一种压电粘滑微纳角位移台的方形挡板结构示意图；
图10所示为本发明提出的一种压电粘滑微纳角位移台的基座结构示意图；
图11所示为本发明提出的一种阶梯形杠杆放大式压电粘滑微纳角位移台的结构示意图；
图12所示为本发明提出的一种阶梯形杠杆放大式压电粘滑微纳角位移台的杠杆放大机构结构示意图；
图13所示为本发明提出的一种平行杠杆放大式压电粘滑微纳角位移台的结构示意图；
图14所示为本发明提出的一种平行杠杆放大式压电粘滑微纳角位移台的杠杆放大机构结构示意图；
图15所示为本发明提出的一种压电粘滑微纳角位移台的耦合激励信号波形示意图。
具体实施方式
具体实施方式一：结合图1~图10说明本实施方式，本实施方式提供了一种斜角杠杆放大式压电粘滑微纳角位移台的具体实施方式，所述一种斜角杠杆放大式压电粘滑微纳角位移台的具体实施方式表述如下：
所述一种斜角杠杆放大式压电粘滑微纳角位移台由滑动台1、侧向驱动装置2、挡板3和基座4组成；所述滑动台1通过弧形燕尾滑块1-1-4与弧形燕尾槽4-1的间隙配合安装于基座4的上端，所述侧向驱动装置2通过固定螺栓Ⅰ2-5与安装螺纹孔Ⅱ4-3的螺纹连接固定安装于基座4内，两个所述挡板3通过固定螺栓Ⅱ3-2与安装螺纹孔Ⅲ4-4的螺纹连接分别固定安装于基座4两侧。
所述滑动台1由滑动台面1-1和摩擦片1-2组成，所述滑动台面1-1可采用不锈钢材料，其中所述滑动台面1-1包括摩擦片安装槽1-1-1、载物台1-1-2、滑动台下足1-1-3和弧形燕尾滑块1-1-4，所述摩擦片1-2采用环氧树脂胶粘于摩擦片安装槽1-1-1内，所述环氧树脂胶可选用瑞士ergo公司产品，所述摩擦片1-2的径向宽度为b，其中，b的取值范围为6~10mm，本具体实施方式中，b=10mm，所述载物台1-1-2用于外置物件的装载，所述滑动台下足1-1-3设置于载物台1-1-2下端部，所述滑动台下足1-1-3的宽度为a，其中，a的取值范围为2~4mm，本具体实施方式中，a=3mm，所述弧形燕尾滑块1-1-4设置于滑动台下足1-1-3外向侧边，所述弧形燕尾滑块1-1-4与基座4的弧形燕尾槽4-1间隙配合。
所述侧向驱动装置2由杠杆放大机构2-1、压电陶瓷堆栈2-2、垫片2-3、基米螺钉2-4和固定螺栓Ⅰ2-5组成，所述杠杆放大机构2-1利用斜角杠杆2-1-7进行位移放大，所述杠杆放大机构2-1采用5025铝合金、6061铝合金、7075铝合金、Ti-35A钛合金或Ti-13钛合金材料，所述杠杆放大机构2-1一侧设置有半圆形柔性铰链2-1-1和连接杆Ⅰ2-1-2，所述连接杆Ⅰ2-1-2两端部各连接一个半圆形柔性铰链2-1-1，所述杠杆放大机构2-1另一侧设置有半圆形柔性铰链2-1-1和连接杆Ⅱ2-1-5，所述连接杆Ⅱ2-1-5前端部连接一个半圆形柔性铰链2-1-1，所述半圆形柔性铰链2-1-1的铰链厚度为h，其中，h的取值范围为0.2~0.8mm，本具体实施方式中，h=0.2mm，所述杠杆放大机构2-1后端设置有螺栓固定孔2-1-3，所述固定螺栓Ⅰ2-5通过螺栓固定孔2-1-3将侧向驱动装置2固定在基座4内，所述杠杆放大机构2-1尾部设置有安装螺纹孔Ⅰ2-1-4，所述基米螺钉2-4安装于杠杆放大机构2-1的安装螺纹孔Ⅰ2-1-4内，通过改变基米螺钉2-4的旋合圈数来实现对压电陶瓷堆栈2-2的轴向预紧力的调节，所述杠杆放大机构2-1前端设置有驱动足2-1-6和斜角杠杆2-1-7，所述驱动足2-1-6与摩擦片1-2滑动接触，所述驱动足2-1-6接触端面涂有陶瓷类或玻璃纤维类摩擦材料，所述驱动足2-1-6的竖直高度为c，其中，c=（b-4）mm，c<b可以保证有效接触面积，提高传动效率，本具体实施方式中，c=6mm，所述斜角杠杆2-1-7的受力杆2-1-7-1长度为L，所述斜角杠杆2-1-7的作用杆2-1-7-2长度为K，斜角角度为θ，所述作用杆2-1-7-2和受力杆2-1-7-1的比值Q=K/L为杠杆放大机构2-1平行于驱动方向的位移放大倍数，其位移放大倍数Q取值范围为1.5~5，调整作用杆和受力杆的比值Q，可改变杠杆放大机构2-1的位移放大倍数，斜角角度为θ，θ的取值范围为30°~70°，本具体实施方式中， Q=2，θ=35°，所述压电陶瓷堆栈2-2置于杠杆放大机构2-1内，所述垫片2-3安装于压电陶瓷堆栈2-2与基米螺钉2-4之间，其中，所述压电陶瓷堆栈2-2可采用PI或NEC公司的产品，所述垫片2-3采用钨钢材料，其用于保护压电陶瓷堆栈2-2，防止其产生切应变或局部受力不均。
所述挡板3可采用不锈钢材料，所述挡板3由方形挡板3-1和固定螺栓Ⅱ3-2组成，所述方形挡板3-1包括挡板固定孔3-1-1、挡板内侧面3-1-2和凹形槽3-1-3，所述方形挡板3-1通过挡板固定孔3-1-1安装固定于基座4上，其用于滑动台1在基座4内的滑动限位，防止滑动台1的弧形燕尾滑块1-1-4滑出基座4的弧形燕尾槽4-1，所述挡板内侧面3-1-2与基座4接触，所述凹形槽3-1-3对称分布于方形挡板3-1上沿两侧，其在运动过程中用于通过滑动台1的滑动台下足1-1-3，所述凹形槽3-1-3的宽度为d，其中，d=（a+1）mm，本具体实施方式中，d=4mm。
所述基座4可采用不锈钢材料，所述基座4包括弧形燕尾槽4-1、挡板安装面4-2、安装螺纹孔Ⅱ4-3、安装螺纹孔Ⅲ4-4、电路通孔4-5和驱动装置安装面4-6，所述弧形燕尾槽4-1与滑动台1的弧形燕尾滑块1-1-4间隙配合，使滑动台1沿弧形燕尾槽4-1的导引方向做角位移运动，所述挡板安装面4-2与挡板3的挡板内侧面3-1-2接触，所述安装螺纹孔Ⅱ4-3设置于驱动装置安装面4-6上，使侧向驱动装置2通过固定螺栓Ⅰ2-5与安装螺纹孔Ⅱ4-3的螺纹连接固定安装在驱动装置安装面4-6上，所述安装螺纹孔Ⅲ4-4设置于挡板安装面4-2上，使挡板3通过固定螺栓Ⅱ3-2与安装螺纹孔Ⅲ4-4的螺纹连接固定安装在挡板安装面4-2上，所述电路通孔4-5设置于基座4侧边，用于侧向驱动装置2的电路系统的通入。
具体实施方式二：结合图11~12说明本实施方式，本实施方式提供了一种阶梯形杠杆放大式压电粘滑微纳角位移台的具体实施方式，其结构组成、连接方式、定位方法与具体实施方式一相同，区别在于其杠杆放大机构2-1的具体结构组成不同。
所述杠杆放大机构2-1利用阶梯形杠杆2-1-9进行位移放大，所述杠杆放大机构2-1一侧设置有半圆形柔性铰链2-1-1和连接杆Ⅰ2-1-2，所述连接杆Ⅰ2-1-2两端部各连接一个半圆形柔性铰链2-1-1，所述杠杆放大机构2-1另一侧设置有圆形柔性铰链2-1-8和连接杆Ⅱ2-1-5，所述连接杆Ⅱ2-1-5前端部连接一个圆形柔性铰链2-1-8，所述半圆形柔性铰链2-1-1和圆形柔性铰链2-1-8具有圆角半径分别为r和R，其圆角半径比值P=R/r取值为0.6~1，本具体实施方式中， P=1，所述杠杆放大机构2-1后端设置有螺栓固定孔2-1-3，所述固定螺栓Ⅰ2-5通过螺栓固定孔2-1-3将侧向驱动装置2固定在基座4内，所述杠杆放大机构2-1尾部设置有安装螺纹孔Ⅰ2-1-4，所述基米螺钉2-4安装于杠杆放大机构2-1的安装螺纹孔Ⅰ2-1-4内，实现对压电陶瓷堆栈2-2的轴向预紧，所述杠杆放大机构2-1前端设置有驱动足2-1-6和阶梯形杠杆2-1-9，所述驱动足2-1-6与摩擦片1-2滑动接触，所述驱动足2-1-6接触端面涂有陶瓷类或玻璃纤维类摩擦材料，所述阶梯形杠杆2-1-9前端长度为A，所述阶梯形杠杆2-1-9后端长度为B，前端与后端的比值S=A/B为杠杆放大机构2-1平行于驱动方向的微位移放大倍数，其微位移放大倍数S取值为1~5，本具体实施方式中， S=2。
具体实施方式三：结合图13~14说明本实施方式，本实施方式提供了一种平行杠杆放大式压电粘滑微纳角位移台的具体实施方式，其结构组成、连接方式、定位方法与具体实施方式一、二相同，区别在于其杠杆放大机构2-1的具体结构组成不同。
所述杠杆放大机构2-1利用平行杠杆2-1-11进行位移放大，所述杠杆放大机构2-1一侧设置有半圆形柔性铰链2-1-1和连接杆Ⅰ2-1-2，所述连接杆Ⅰ2-1-2两端部各连接一个半圆形柔性铰链2-1-1，所述杠杆放大机构2-1另一侧设置有半圆形柔性铰链2-1-1和连接杆Ⅱ2-1-5，所述连接杆Ⅱ2-1-5前端部连接一个半圆形柔性铰链2-1-1，所述杠杆放大机构2-1后端设置有螺栓固定孔2-1-3，所述固定螺栓Ⅰ2-5通过螺栓固定孔2-1-3将侧向驱动装置2固定在基座4内，所述杠杆放大机构2-1尾部设置有安装螺纹孔Ⅰ2-1-4，所述基米螺钉2-4安装于杠杆放大机构2-1的安装螺纹孔Ⅰ2-1-4内，实现对压电陶瓷堆栈2-2的轴向预紧，所述杠杆放大机构2-1前端设置有扇形驱动足2-1-10和平行杠杆2-1-11，所述扇形驱动足2-1-10与摩擦片1-2滑动接触，所述扇形驱动足2-1-10的扇形半径为x，扇形圆心角为y，x的取值范围为10~15mm，y的取值范围为20°~90°，本具体实施方式中， x=12mm，y=28°，所述扇形驱动足2-1-10接触端面涂有陶瓷类或玻璃纤维类摩擦材料,所述平行杠杆2-1-11前端长度为M，所述平行杠杆2-1-11后端长度为N，前端与后端的比值J=M/N为杠杆放大机构2-1平行于驱动方向的微位移放大倍数，其微位移放大倍数J取值为1~5，本具体实施方式中，J=2。
具体实施方式四：结合图15说明本实施方式，本实施方式提供了一种压电粘滑微纳角位移台驱动方法的具体实施方式，所述一种压电粘滑微纳角位移台的驱动方法如下所示。
所述驱动方法中采用的复合激励电信号实现，复合激励电信号包括摩擦调控波和驱动波，通过将摩擦调控波复合叠加于驱动波的快速通电阶段，激发侧向驱动装置在快速变形阶段处于微副高频共振状态，基于超声减摩效应降低快速变形阶段侧向驱动装置与滑动台间的摩擦阻力；所述驱动波为锯齿波，所述摩擦调控波为正弦波，其中锯齿波的周期为T1，激励电压幅值为V1，对称性为S，正弦波周期为T2，激励电压幅值为V2，锯齿波与正弦波的周期比为T1/T2=100~20000，激励电压幅值比为V1/V2=2~6。
工作原理：所述的一种压电粘滑微纳角位移台的侧向驱动装置采用杠杆放大机构，压电陶瓷堆栈通入锯齿电信号使其发生形变，杠杆放大机构在受压电陶瓷堆栈挤压变形后，因斜角杠杆的杠杆等效转动而使驱动足产生大于压电陶瓷堆栈原始变形量的侧向位移，并利用惯性粘滑原理带动滑动台在弧形燕尾槽内移动，其中，在压电陶瓷堆栈带动杠杆放大机构缓慢变形阶段，杠杆放大机构和滑动台在静摩擦力作用下产生缓慢的“粘”运动，此时杠杆放大机构和滑动台一起向前运动一大步；在压电陶瓷堆栈带动杠杆放大机构快速恢复变形阶段，杠杆放大机构和滑动台在动摩擦力作用下产生快速的“滑”运动，此时杠杆放大机构恢复原始形态，而滑动台仅向后回退一小步，重复上述步骤达到侧向驱动装置驱动滑动台连续步进运动的目的。弧形燕尾槽与弧形燕尾滑块配合滑动，使侧向驱动装置原有输出的直线运动转换为滑动台所需的曲线运动，从而实现平台的精密角位移定位。
综合上述内容，本发明提供一种压电粘滑微纳角位移台及其驱动方法，用于解决当前角位移定位平台存在的定位精度低，结构尺寸大，生产成本高等技术问题，所述基于杠杆放大机构的压电粘滑式微型角位移定位平台的侧向驱动装置采用了杠杆放大机构，因杠杆等效转动而使驱动足产生大于压电陶瓷堆栈原始变形量的侧向位移，进而提升平台的定位精度及运动行程；采用弧形燕尾滑块与弧形燕尾槽的摩擦滑动实现运动转换，使得侧向驱动装置输出的直线运动转换为所需的曲线运动，从而使平台尺寸得到精简优化；所设计的杠杆放大机构，装配简单，易于调节，且具有可更换性，降低了生产成本。本发明具有定位精度高、结构简单、微型化、轻量化和低成本等特点，在光学精密仪器和半导体加工等精密加工与定位技术领域中具有很好的应用前景。
Claims (9)
1.一种压电粘滑微纳角位移台及其驱动方法，其特征在于：为一种斜角杠杆放大式压电粘滑微纳角位移台，该角位移平台由滑动台（1）、侧向驱动装置（2）、挡板（3）和基座（4）组成；所述滑动台（1）通过弧形燕尾滑块（1-1-4）与弧形燕尾槽（4-1）的间隙配合安装于基座（4）的上端，所述侧向驱动装置（2）通过固定螺栓Ⅰ（2-5）与安装螺纹孔Ⅱ（4-3）的螺纹连接固定安装于基座（4）内，两个所述挡板（3）通过固定螺栓Ⅱ（3-2）与安装螺纹孔Ⅲ（4-4）的螺纹连接分别固定安装于基座（4）两侧。
2.根据权利要求1所述的一种压电粘滑微纳角位移台及其驱动方法，其特征在于：所述滑动台（1）由滑动台面（1-1）和摩擦片（1-2）组成，所述滑动台面（1-1）可采用不锈钢材料，其中所述滑动台面（1-1）包括摩擦片安装槽（1-1-1）、载物台（1-1-2）、滑动台下足（1-1-3）和弧形燕尾滑块（1-1-4），所述摩擦片（1-2）胶粘于摩擦片安装槽（1-1-1）内，所述摩擦片（1-2）的径向宽度为b，其中，b的取值范围为6~10mm，所述载物台（1-1-2）用于外置物件的装载，所述滑动台下足（1-1-3）设置于载物台（1-1-2）下端部，所述滑动台下足（1-1-3）的宽度为a，其中，a的取值范围为2~4mm，所述弧形燕尾滑块（1-1-4）设置于滑动台下足（1-1-3）外向侧边，所述弧形燕尾滑块（1-1-4）与基座（4）的弧形燕尾槽（4-1）间隙配合。
3.根据权利要求1所述的一种压电粘滑微纳角位移台及其驱动方法，其特征在于：所述侧向驱动装置（2）由杠杆放大机构（2-1）、压电陶瓷堆栈（2-2）、垫片（2-3）、基米螺钉（2-4）和固定螺栓Ⅰ（2-5）组成，所述压电陶瓷堆栈（2-2）通过垫片（2-3）和基米螺钉（2-4）的挤压固定于杠杆放大机构（2-1）内，所述固定螺栓Ⅰ（2-5）通过与安装螺纹孔Ⅱ（4-3）的螺纹连接将侧向驱动装置（2）固定安装于基座（4）内。
4.根据权利要求1所述的一种压电粘滑微纳角位移台及其驱动方法，其特征在于：所述杠杆放大机构（2-1）采用5025铝合金、6061铝合金、7075铝合金、Ti-35A钛合金或Ti-13钛合金材料，所述杠杆放大机构（2-1）利用斜角杠杆（2-1-7）进行位移放大，所述杠杆放大机构（2-1）一侧设置有半圆形柔性铰链（2-1-1）和连接杆Ⅰ（2-1-2），所述连接杆Ⅰ（2-1-2）两端部各连接一个半圆形柔性铰链（2-1-1），所述杠杆放大机构（2-1）另一侧设置有半圆形柔性铰链（2-1-1）和连接杆Ⅱ（2-1-5），所述连接杆Ⅱ（2-1-5）前端部连接一个半圆形柔性铰链（2-1-1），所述半圆形柔性铰链（2-1-1）的铰链厚度为h，其中，h的取值范围为0.2~0.8mm，所述杠杆放大机构（2-1）后端设置有螺栓固定孔（2-1-3），所述杠杆放大机构（2-1）尾部设置有安装螺纹孔Ⅰ（2-1-4），所述基米螺钉（2-4）安装于安装螺纹孔Ⅰ（2-1-4）内，所述杠杆放大机构（2-1）前端设置有驱动足（2-1-6）和斜角杠杆（2-1-7），所述驱动足（2-1-6）与摩擦片（1-2）滑动接触，所述驱动足（2-1-6）和摩擦片（1-2）的接触端面涂有陶瓷类或玻璃纤维类摩擦材料，所述斜角杠杆（2-1-7）的受力杆（2-1-7-1）长度为L，所述斜角杠杆（2-1-7）的作用杆（2-1-7-2）长度为K，斜角角度为θ，所述作用杆（2-1-7-2）和受力杆（2-1-7-1）的比值Q=K/L为杠杆放大机构（2-1）平行于驱动方向的位移放大倍数，其位移放大倍数Q取值范围为1.5~5，θ的取值范围为30°~70°。
5.根据权利要求1所述的一种压电粘滑微纳角位移台及其驱动方法，其特征在于：所述挡板（3）可采用不锈钢材料，所述挡板（3）由方形挡板（3-1）和固定螺栓Ⅱ（3-2）组成，所述方形挡板（3-1）包括挡板固定孔（3-1-1）、挡板内侧面（3-1-2）和凹形槽（3-1-3），所述方形挡板（3-1）通过挡板固定孔（3-1-1）安装固定于基座（4）上，所述挡板内侧面（3-1-2）与基座（4）接触，所述凹形槽（3-1-3）对称分布于方形挡板（3-1）上沿两侧，所述凹形槽（3-1-3）的宽度为d，其中，d=（a+1）mm。
6.根据权利要求1所述的一种压电粘滑微纳角位移台及其驱动方法，其特征在于：所述基座（4）可采用不锈钢材料，所述基座（4）包括弧形燕尾槽（4-1）、挡板安装面（4-2）、安装螺纹孔Ⅱ（4-3）、安装螺纹孔Ⅲ（4-4）、电路通孔（4-5）和驱动装置安装面（4-6），所述弧形燕尾槽（4-1）与滑动台（1）的弧形燕尾滑块（1-1-4）间隙配合，所述滑动台（1）沿弧形燕尾槽（4-1）的导引方向做角位移运动，所述挡板安装面（4-2）与挡板（3）的挡板内侧面（3-1-2）接触，所述安装螺纹孔Ⅱ（4-3）设置于驱动装置安装面（4-6）上，所述侧向驱动装置（2）通过固定螺栓Ⅰ（2-5）与安装螺纹孔Ⅱ（4-3）的螺纹连接固定安装在驱动装置安装面（4-6）上，所述安装螺纹孔Ⅲ（4-4）设置于挡板安装面（4-2）上，所述挡板（3）通过固定螺栓Ⅱ（3-2）与安装螺纹孔Ⅲ（4-4）的螺纹连接固定安装在挡板安装面（4-2）上，所述电路通孔（4-5）设置于基座（4）侧边。
7.根据权利要求1所述一种压电粘滑微纳角位移台及其驱动方法，其特征在于：为一种阶梯形杠杆放大式压电粘滑微纳角位移台及其驱动方法；所述其杠杆放大机构（2-1）利用阶梯形杠杆（2-1-9）进行位移放大，所述杠杆放大机构（2-1）一侧设置有半圆形柔性铰链（2-1-1）和连接杆Ⅰ（2-1-2），所述连接杆Ⅰ（2-1-2）两端部各连接一个半圆形柔性铰链（2-1-1），所述杠杆放大机构（2-1）另一侧设置有圆形柔性铰链（2-1-8）和连接杆Ⅱ（2-1-5），所述连接杆Ⅱ（2-1-5）前端部连接一个圆形柔性铰链（2-1-8），所述半圆形柔性铰链（2-1-1）和圆形柔性铰链（2-1-8）具有圆角半径分别为r和R，其圆角半径比值P=R/r取值为0.6~1，所述杠杆放大机构（2-1）后端设置有螺栓固定孔（2-1-3），所述杠杆放大机构（2-1）尾部设置有安装螺纹孔Ⅰ（2-1-4），所述基米螺钉（2-4）安装于安装螺纹孔Ⅰ（2-1-4）内，所述杠杆放大机构（2-1）前端设置有驱动足（2-1-6）和阶梯形杠杆（2-1-9），所述驱动足（2-1-6）与摩擦片（1-2）滑动接触，所述驱动足（2-1-6）和摩擦片（1-2）的接触端面涂有陶瓷类或玻璃纤维类摩擦材料，所述阶梯形杠杆（2-1-9）前端长度为A，所述阶梯形杠杆（2-1-9）后端长度为B，前端与后端的比值S=A/B为杠杆放大机构（2-1）平行于驱动方向的微位移放大倍数，其微位移放大倍数S取值为1~5。
8.根据权利要求1所述一种压电粘滑微纳角位移台及其驱动方法，其特征在于：为一种平行杠杆放大式压电粘滑微纳角位移台及其驱动方法；所述其杠杆放大机构（2-1）利用平行杠杆（2-1-11）进行位移放大，所述杠杆放大机构（2-1）一侧设置有半圆形柔性铰链（2-1-1）和连接杆Ⅰ（2-1-2），所述连接杆Ⅰ（2-1-2）两端部各连接一个半圆形柔性铰链（2-1-1），所述杠杆放大机构（2-1）另一侧设置有半圆形柔性铰链（2-1-1）和连接杆Ⅱ（2-1-5），所述连接杆Ⅱ（2-1-5）前端部连接一个半圆形柔性铰链（2-1-1），所述杠杆放大机构（2-1）后端设置有螺栓固定孔（2-1-3），所述杠杆放大机构（2-1）尾部设置有安装螺纹孔Ⅰ（2-1-4），所述基米螺钉（2-4）安装于安装螺纹孔Ⅰ（2-1-4）内，所述杠杆放大机构（2-1）前端设置有扇形驱动足（2-1-10）和平行杠杆（2-1-11），所述扇形驱动足（2-1-10）与摩擦片（1-2）滑动接触，所述扇形驱动足（2-1-10）的扇形半径为x，扇形圆心角为y，x的取值范围为10~15mm，y的取值范围为20°~90°，所述扇形驱动足（2-1-10）和摩擦片（1-2）的接触端面涂有陶瓷类或玻璃纤维类摩擦材料，所述平行杠杆（2-1-11）前端长度为M，所述平行杠杆（2-1-11）后端长度为N，前端与后端的比值J=M/N为杠杆放大机构（2-1）平行于驱动方向的微位移放大倍数，其微位移放大倍数J取值为1~5。
9.一种压电粘滑微纳角位移台的驱动方法，该驱动方法是基于权利要求1所述的压电粘滑微纳角位移台实现；所述驱动方法中采用的复合激励电信号实现，复合激励电信号包括摩擦调控波和驱动波，通过将摩擦调控波复合叠加于驱动波的快速通电阶段，激发侧向驱动装置在快速变形阶段处于微副高频共振状态，基于超声减摩效应降低快速变形阶段侧向驱动装置与滑动台间的摩擦阻力；所述驱动波为锯齿波，所述摩擦调控波为正弦波；其中锯齿波的周期为T1，激励电压幅值为V1，对称性为S，正弦波周期为T2，激励电压幅值为V2，锯齿波与正弦波的周期比为T1/T2=100~20000，激励电压幅值比为V1/V2=2~6。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810029945.4A CN107953120B (zh) | 2018-01-12 | 2018-01-12 | 压电粘滑微纳角位移台及其驱动方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810029945.4A CN107953120B (zh) | 2018-01-12 | 2018-01-12 | 压电粘滑微纳角位移台及其驱动方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN107953120A true CN107953120A (zh) | 2018-04-24 |
| CN107953120B CN107953120B (zh) | 2019-08-27 |
Family
ID=61957345
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201810029945.4A Active CN107953120B (zh) | 2018-01-12 | 2018-01-12 | 压电粘滑微纳角位移台及其驱动方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN107953120B (zh) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109571053A (zh) * | 2018-12-29 | 2019-04-05 | 广东长盈精密技术有限公司 | 五轴加工设备及其工作台 |
| CN110002176A (zh) * | 2018-12-17 | 2019-07-12 | 浙江大学台州研究院 | 一种石英晶片的散播式送料装置 |
| CN110508996A (zh) * | 2019-09-24 | 2019-11-29 | 吉林大学 | 时序控制表面微结构阵列加工装置与方法 |
| CN111092565A (zh) * | 2020-01-09 | 2020-05-01 | 长春工业大学 | 基于螺旋铰链模式转换原理的压电驱动旋转台 |
| CN111451791A (zh) * | 2020-03-24 | 2020-07-28 | 天津大学 | 一种基于粘滑原理的两自由度摆动平台 |
| CN115955141A (zh) * | 2023-03-14 | 2023-04-11 | 吉林大学 | 基于压电驱动的集成式两自由度步进执行器 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0065784A2 (en) * | 1981-05-26 | 1982-12-01 | Nec Corporation | Lever actuator comprising a longitudinal-effect electroexpansive transducer and designed to prevent actuation from degrading the actuator |
| US4855633A (en) * | 1985-12-25 | 1989-08-08 | Tokyo Juki Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric actuator |
| JPH04357353A (ja) * | 1990-06-21 | 1992-12-10 | Fuji Electric Co Ltd | 圧電アクチュエータの変位拡大機構 |
| CN105827141A (zh) * | 2016-06-06 | 2016-08-03 | 长春工业大学 | 斜梯形运动转换式精密压电粘滑直线马达及其驱动方法 |
| CN205450402U (zh) * | 2016-03-21 | 2016-08-10 | 长春工业大学 | 一种带有压电超声促动器的精密角度调节装置 |
| CN105932902A (zh) * | 2016-06-06 | 2016-09-07 | 长春工业大学 | J型结构精密压电粘滑直线马达及其驱动方法 |
| WO2017204455A1 (ko) * | 2016-05-25 | 2017-11-30 | 한국기계연구원 | 힌지 레버 타입 변위 확대를 이용한 젯 디스펜서 |
| CN206863335U (zh) * | 2017-06-06 | 2018-01-09 | 广州简成光电有限公司 | 一种电动角位移台 |
-
2018
- 2018-01-12 CN CN201810029945.4A patent/CN107953120B/zh active Active
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0065784A2 (en) * | 1981-05-26 | 1982-12-01 | Nec Corporation | Lever actuator comprising a longitudinal-effect electroexpansive transducer and designed to prevent actuation from degrading the actuator |
| US4855633A (en) * | 1985-12-25 | 1989-08-08 | Tokyo Juki Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric actuator |
| JPH04357353A (ja) * | 1990-06-21 | 1992-12-10 | Fuji Electric Co Ltd | 圧電アクチュエータの変位拡大機構 |
| CN205450402U (zh) * | 2016-03-21 | 2016-08-10 | 长春工业大学 | 一种带有压电超声促动器的精密角度调节装置 |
| WO2017204455A1 (ko) * | 2016-05-25 | 2017-11-30 | 한국기계연구원 | 힌지 레버 타입 변위 확대를 이용한 젯 디스펜서 |
| CN105827141A (zh) * | 2016-06-06 | 2016-08-03 | 长春工业大学 | 斜梯形运动转换式精密压电粘滑直线马达及其驱动方法 |
| CN105932902A (zh) * | 2016-06-06 | 2016-09-07 | 长春工业大学 | J型结构精密压电粘滑直线马达及其驱动方法 |
| CN206863335U (zh) * | 2017-06-06 | 2018-01-09 | 广州简成光电有限公司 | 一种电动角位移台 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 浦昭邦: "《测控仪器设计》", 31 May 2007 * |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110002176A (zh) * | 2018-12-17 | 2019-07-12 | 浙江大学台州研究院 | 一种石英晶片的散播式送料装置 |
| CN110002176B (zh) * | 2018-12-17 | 2023-12-22 | 浙江大学台州研究院 | 一种石英晶片的散播式送料装置 |
| CN109571053A (zh) * | 2018-12-29 | 2019-04-05 | 广东长盈精密技术有限公司 | 五轴加工设备及其工作台 |
| CN110508996A (zh) * | 2019-09-24 | 2019-11-29 | 吉林大学 | 时序控制表面微结构阵列加工装置与方法 |
| CN111092565A (zh) * | 2020-01-09 | 2020-05-01 | 长春工业大学 | 基于螺旋铰链模式转换原理的压电驱动旋转台 |
| CN111451791A (zh) * | 2020-03-24 | 2020-07-28 | 天津大学 | 一种基于粘滑原理的两自由度摆动平台 |
| CN115955141A (zh) * | 2023-03-14 | 2023-04-11 | 吉林大学 | 基于压电驱动的集成式两自由度步进执行器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN107953120B (zh) | 2019-08-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN107953120A (zh) | 压电粘滑微纳角位移台及其驱动方法 | |
| CN105827141B (zh) | 斜梯形运动转换式精密压电粘滑直线马达及其驱动方法 | |
| CN105897044B (zh) | 斜楔式菱形放大机构压电粘滑直线电机及其激励方法 | |
| CN105827142B (zh) | 非对称结构精密压电粘滑直线马达及其驱动方法 | |
| CN108306546B (zh) | 紧凑型双致动组件压电粘滑驱动装置及其驱动方法 | |
| CN108092545B (zh) | 多自由度压电粘滑微纳定位平台及其驱动方法 | |
| CN105827140B (zh) | 斜槽式精密压电粘滑直线马达及其驱动方法 | |
| CN105932902B (zh) | J型结构精密压电粘滑直线马达及其驱动方法 | |
| CN105897042A (zh) | 非对称菱形铰链正交驱动型压电粘滑直线马达及其复合激励方法 | |
| CN1072288A (zh) | 向物体施加力的装置 | |
| CN105827144B (zh) | 斜梯形正交驱动型压电粘滑直线马达及其复合激励方法 | |
| CN104467526B (zh) | 一种实现单向运动的惯性粘滑式跨尺度运动平台 | |
| CN105915109A (zh) | 斜拉式菱形放大机构压电粘滑直线电机及其激励方法 | |
| CN104362890B (zh) | 一种实现双向运动的惯性粘滑式跨尺度精密运动平台 | |
| CN105897043B (zh) | 菱形铰链斜拉式正交驱动型压电粘滑直线马达及其复合激励方法 | |
| CN108322089A (zh) | 双杆加载式大行程惯性压电驱动马达及其激励方法 | |
| CN205584047U (zh) | 一种摩擦力可调式非对称旋转惯性压电驱动器 | |
| CN106059381B (zh) | 斜梯型振幅放大机构压电粘滑直线电机及其激励方法 | |
| CN108322088B (zh) | 一种采用工字形结构的压电粘滑马达及其驱动方法 | |
| CN105932901A (zh) | 斜槽式菱形放大机构压电粘滑直线电机及其激励方法 | |
| CN205754055U (zh) | 具有菱形铰链拨片式运动转换器的压电粘滑直线驱动装置 | |
| CN106026765B (zh) | 非对称菱形放大机构压电粘滑直线电机及其激励方法 | |
| CN108712104A (zh) | 一种寄生式压电粘滑驱动器 | |
| CN106026766A (zh) | 菱形铰链拨片式正交驱动型压电粘滑直线马达及其复合激励方法 | |
| CN106849745A (zh) | 基于压电纤维的粘滑旋转驱动器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |