CN110980579B - 采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台 - Google Patents
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Abstract
一种采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台，旨在解决当前压电驱动升降平台负载能力弱、定位精度低等技术问题。本发明由上封壳、升降台、传动组件、底座、四连杆铰链定子组件和封装螺栓组成，其中，升降台与传动组件螺纹连接，传动组件与底座过渡配合，并与固定安装在底座内的四连杆铰链定子组件接触，封装螺栓与底座螺纹连接从而将上封壳和传动组件紧固安装在底座上。本发明采用四连杆铰链定子的面接触驱动，其通过四连杆运动特性，以增大其径向驱动力；同时采用螺纹连接传动的方式以实现输出模式转换，可降低升降台垂直输出步距。本发明具有负载能力强、定位精度高、运动稳定性好等特点，在精密驱动与定位领域中具有广泛的应用前景。
Description
技术领域
本发明涉及一种采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台，属于微纳精密制造与控制技术领域。
背景技术
微纳米技术得到了快速发展，在超精密加工、航空航天科技、现代医疗等技术领域对精密驱动技术的需求日益增长，压电驱动技术也受到越来越多领域的关注及应用。
压电粘滑驱动主要是将锯齿激励电信号施加于压电元件，激发定子产生快慢交替的运动变形，控制定子与动子在“粘”和“滑”两种运动状态之间的相互转换，利用摩擦力驱动动子实现机械运动输出。当前的压电粘滑驱动工作过程可分为缓慢变形与快速恢复阶段，在这两个过程中定子和动子间的摩擦力具有不同作用，缓慢变形阶段表现为摩擦驱动力，快速恢复阶段表现为摩擦阻力，将压电粘滑驱动应用于精密压电升降平台，可大幅度提升精密升降平台驱动性能，但由于摩擦阻力对运动的影响，使得位移回退明显，定位精度显著降低，并且受制于压电元件输出力小，压电升降平台难以实现大驱动力的持续输出，如何较好地解决位移回退问题，实现大负载、高精度的压电升降平台已成为一个亟待解决的问题。
鉴于上述缺陷，创设一种负载能力强、定位精度高的压电驱动升降平台是至关重要的。
发明内容
为解决当前压电驱动升降平台负载能力弱、定位精度低等技术问题，本发明公开了一种采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台。
本发明所采用的技术方案：
为达到上述目的，本发明提供一种采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台，该精密压电驱动升降平台由上封壳、升降台、传动组件、底座、四连杆铰链定子组件和封装螺栓，其中，所述升降台置于上封壳内，并与传动组件螺纹连接，所述传动组件置于上封壳与底座之间，并与底座过渡配合，所述四连杆铰链定子组件固定安装在底座内，所述封装螺栓与底座螺纹连接从而将上封壳和传动组件紧固安装在底座上。
所述上封壳设有上封壳安装沉头孔、升降台通孔和上封壳下表面，所述上封壳安装沉头孔内安装封装螺栓，所述升降台通孔内穿过升降台，所述上封壳下表面与传动组件相接触。
所述升降台设有外设安装螺纹孔、升降台安装螺纹轴和升降台下表面，所述外设安装螺纹孔用于安装外部设备，所述升降台安装螺纹轴与传动组件螺纹连接，所述升降台下表面与传动组件相接触。
所述传动组件包括运动转换机构、传动轴、限位板、轴承和传动轴承，所述运动转换机构与传动轴螺纹连接，并通过限位板轴向限位，所述轴承和传动轴承均安装在传动轴上。
所述运动转换机构设有运动转换机构上表面、运动转换机构上螺纹孔、运动转换机构下螺纹孔和运动转换机构限位孔，所述运动转换机构上表面与升降台下表面相接触，所述运动转换机构上螺纹孔与升降台安装螺纹轴螺纹连接，所述运动转换机构下螺纹孔与传动轴螺纹连接，所述运动转换机构限位孔穿过限位板的限位轴。
所述传动轴设有传动螺纹轴、传动轴承限位凸台、轴承安装轴、轴承上限位面、传动轴承限位面和传动轴承安装轴，所述传动螺纹轴与运动转换机构下螺纹孔螺纹连接，所述传动轴承限位凸台、传动轴承限位面和传动轴承安装轴与传动轴承连接，所述轴承安装轴和轴承上限位面与轴承连接，安装限位轴承。
所述限位板设有限位轴、限位板安装通孔、传动轴通孔、限位板上表面和限位板下表面，所述限位轴穿过运动转换机构限位孔，所述限位板安装通孔内穿过封装螺栓，安装限位板，所述传动轴通孔内穿过传动轴，所述限位板上表面与上封壳下表面相接触，所述限位板下表面与底座相接触。
所述轴承设有轴承内圈上表面、轴承内圈、轴承外圈和轴承外圈下表面，所述轴承内圈上表面与轴承上限位面相接触，所述轴承内圈与轴承安装轴过渡配合，所述轴承外圈和轴承外圈下表面与底座连接。
所述传动轴承设有传动轴承内圈、传动轴承外圈、传动轴承内圈下表面和传动轴承限位槽，所述传动轴承内圈与传动轴承安装轴过渡配合，所述传动轴承外圈与四连杆铰链定子组件相接触，所述传动轴承内圈下表面与传动轴承限位面相接触，所述传动轴承限位槽与传动轴承限位凸台连接。
所述底座设有定子安装螺纹孔、封装螺纹孔、底座上表面、轴承安装孔和轴承下限位面，所述定子安装螺纹孔与四连杆铰链定子组件螺纹连接，所述封装螺纹孔与封装螺栓螺纹连接，所述底座上表面与限位板下表面相接触，所述轴承安装孔与轴承外圈过渡配合，所述轴承下限位面与轴承外圈下表面相接触。
所述四连杆铰链定子组件包括四连杆铰链定子、压电叠堆、方形垫片、定子安装螺栓和预紧调节螺栓，所述压电叠堆置于四连杆铰链定子内，与方形垫片相接触，所述预紧调节螺栓与四连杆铰链定子螺纹连接，并锁紧方形垫片和压电叠堆，所述定子安装螺栓穿过四连杆铰链定子，并与定子安装螺纹孔螺纹连接，安装固定四连杆铰链定子。
所述四连杆铰链定子可采用5025铝合金、6061铝合金、7075铝合金、Ti-35A钛合金或Ti-13钛合金材料，所述四连杆铰链定子设有圆弧形铰链Ⅰ、连杆Ⅰ、圆弧形铰链Ⅱ、连杆Ⅱ、圆弧形铰链Ⅲ、连杆Ⅲ、圆弧形铰链Ⅳ、连杆Ⅳ、圆弧形铰链Ⅴ、四连杆铰链定子安装孔、预紧调节螺纹孔和连杆基座，所述圆弧形铰链Ⅰ连接连杆Ⅰ和连杆基座，所述圆弧形铰链Ⅱ连接连杆Ⅰ和连杆Ⅱ，所述圆弧形铰链Ⅲ连接连杆Ⅱ和连杆Ⅲ，所述圆弧形铰链Ⅳ连接连杆Ⅲ和连杆Ⅳ，所述圆弧形铰链Ⅴ连接连杆Ⅳ和连杆基座，所述连杆基座上设有四连杆铰链定子安装孔和预紧调节螺纹孔，所述连杆Ⅱ与传动轴承外圈相接触，所述四连杆铰链定子安装孔内穿过定子安装螺栓，安装固定四连杆铰链定子，所述预紧调节螺纹孔与预紧调节螺栓螺纹连接。
本发明的有益效果：
本发明所述的精密压电驱动升降平台采用四连杆铰链定子，其通过四连杆运动特性，利用连杆Ⅱ作为驱动杆，以增大四连杆铰链定子与传动轴承间的接触面积，进而增大其径向驱动力，提升升降平台的负载能力和运动稳定性；同时采用螺纹连接传动的方式以实现输出模式由传动组件的旋转运动转换为升降台的直线升降运动，可降低升降台垂直输出步距，有效提升精密压电驱动升降平台的定位精度。在精密仪器加工制造及微纳精密驱动与定位领域中具有良好的应用前景。
附图说明
图1是采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台的整体结构爆炸示意图；
图2是采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台的整体结构装配示意图；
图3是采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台的上封壳结构示意图；
图4是采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台的升降台结构示意图Ⅰ；
图5是采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台的升降台结构示意图Ⅱ；
图6是采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台的传动组件装配示意图；
图7是采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台的运动转换机构结构示意图；
图8是采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台的传动轴结构示意图；
图9是采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台的限位板结构示意图；
图10是采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台的轴承结构示意图Ⅰ；
图11是采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台的轴承结构示意图Ⅱ；
图12是采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台的传动轴承结构示意图Ⅰ；
图13是采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台的传动轴承结构示意图Ⅱ；
图14是采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台的底座结构示意图；
图15是采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台的四连杆铰链定子组件装配示意图；
图16是采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台的四连杆铰链定子结构示意图；
图17是采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台的传动过程示意图。
具体实施方式
具体实施方式一：结合图1~图17说明本实施方式，本实施方式提供了一种采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台的具体实施方式，其具体实施方式表述如下：
所述一种采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台由上封壳1、升降台2、传动组件3、底座4、四连杆铰链定子组件5和封装螺栓6，其中，所述升降台2置于上封壳1内，并与传动组件3螺纹连接，所述传动组件3置于上封壳1与底座4之间，并与底座4过渡配合，所述四连杆铰链定子组件5固定安装在底座4内，所述封装螺栓6与底座4螺纹连接从而将上封壳1和传动组件3紧固安装在底座4上。
所述上封壳1设有上封壳安装沉头孔1-1、升降台通孔1-2和上封壳下表面1-3，所述上封壳安装沉头孔1-1内安装封装螺栓6，所述升降台通孔1-2内穿过升降台2，所述上封壳下表面1-3与传动组件3相接触。
所述升降台2设有外设安装螺纹孔2-1、升降台安装螺纹轴2-2和升降台下表面2-3，所述外设安装螺纹孔2-1用于安装外部设备，所述升降台安装螺纹轴2-2与传动组件3螺纹连接，所述升降台下表面2-3与传动组件3相接触。
所述传动组件3包括运动转换机构3-1、传动轴3-2、限位板3-3、轴承3-4和传动轴承3-5，所述运动转换机构3-1与传动轴3-2螺纹连接，并通过限位板3-3轴向限位，所述轴承3-4和传动轴承3-5均安装在传动轴3-2上。
所述运动转换机构3-1设有运动转换机构上表面3-1-1、运动转换机构上螺纹孔3-1-2、运动转换机构下螺纹孔3-1-3和运动转换机构限位孔3-1-4，所述运动转换机构上表面3-1-1与升降台下表面2-3相接触，所述运动转换机构上螺纹孔3-1-2与升降台安装螺纹轴2-2螺纹连接，所述运动转换机构下螺纹孔3-1-3与传动轴3-2螺纹连接，通过螺纹传动将传动轴3-2的旋转运动转换为运动转换机构3-1的轴向直线运动，所述运动转换机构限位孔3-1-4穿过限位板3-3的限位轴3-3-1，用于运动转换机构3-1轴向运动限位。
所述传动轴3-2设有传动螺纹轴3-2-1、传动轴承限位凸台3-2-2、轴承安装轴3-2-3、轴承上限位面3-2-4、传动轴承限位面3-2-5和传动轴承安装轴3-2-6，所述传动螺纹轴3-2-1与运动转换机构下螺纹孔3-1-3螺纹连接，所述传动轴承限位凸台3-2-2、传动轴承限位面3-2-5和传动轴承安装轴3-2-6与传动轴承3-5连接，用于传动轴承3-5的安装限位，所述轴承安装轴3-2-3和轴承上限位面3-2-4与轴承3-4连接，用于安装限位轴承3-4。
所述限位板3-3设有限位轴3-3-1、限位板安装通孔3-3-2、传动轴通孔3-3-3、限位板上表面3-3-4和限位板下表面3-3-5，所述限位轴3-3-1穿过运动转换机构限位孔3-1-4，用于运动转换机构3-1的轴向运动限位，所述限位板安装通孔3-3-2内穿过封装螺栓6，用于安装限位板3-3，所述传动轴通孔3-3-3内穿过传动轴3-2，所述限位板上表面3-3-4与上封壳下表面1-3相接触，所述限位板下表面3-3-5与底座4相接触。
所述轴承3-4设有轴承内圈上表面3-4-1、轴承内圈3-4-2、轴承外圈3-4-3和轴承外圈下表面3-4-4，所述轴承内圈上表面3-4-1与轴承上限位面3-2-4相接触，用于轴承3-4轴向上限位，所述轴承内圈3-4-2与轴承安装轴3-2-3过渡配合，所述轴承外圈3-4-3和轴承外圈下表面3-4-4与底座4连接。
所述传动轴承3-5设有传动轴承内圈3-5-1、传动轴承外圈3-5-2、传动轴承内圈下表面3-5-3和传动轴承限位槽3-5-4，所述传动轴承内圈3-5-1与传动轴承安装轴3-2-6过渡配合，所述传动轴承外圈3-5-2与四连杆铰链定子组件5相接触，用于传递定子输出力，所述传动轴承内圈下表面3-5-3与传动轴承限位面3-2-5相接触，用于传动轴承3-5的轴向下限位，所述传动轴承限位槽3-5-4与传动轴承限位凸台3-2-2连接，用于传递驱动力矩。
所述底座4设有定子安装螺纹孔4-1、封装螺纹孔4-2、底座上表面4-3、轴承安装孔4-4和轴承下限位面4-5，所述定子安装螺纹孔4-1与四连杆铰链定子组件5螺纹连接，所述封装螺纹孔4-2与封装螺栓6螺纹连接，所述底座上表面4-3与限位板下表面3-3-5相接触，所述轴承安装孔4-4与轴承外圈3-4-3过渡配合，所述轴承下限位面4-5与轴承外圈下表面3-4-4相接触，用于轴承3-4的轴向下限位。
所述四连杆铰链定子组件5包括四连杆铰链定子5-1、压电叠堆5-2、方形垫片5-3、定子安装螺栓5-4和预紧调节螺栓5-5，所述压电叠堆5-2置于四连杆铰链定子5-1内，与方形垫片5-3相接触，所述压电叠堆5-2可采用PI或NEC公司的产品，所述方形垫片5-3采用钨钢材料，目的是保护压电叠堆5-2，防止其产生切应变或局部受力不均，所述预紧调节螺栓5-5与四连杆铰链定子5-1螺纹连接，并锁紧方形垫片5-3和压电叠堆5-2，所述定子安装螺栓5-4穿过四连杆铰链定子5-1，并与定子安装螺纹孔4-1螺纹连接，用于安装固定四连杆铰链定子5-1。
所述四连杆铰链定子5-1可采用5025铝合金、6061铝合金、7075铝合金、Ti-35A钛合金或Ti-13钛合金材料，本实施方式中所述四连杆铰链定子5-1采用7075铝合金材料，所述四连杆铰链定子5-1设有圆弧形铰链Ⅰ5-1-1、连杆Ⅰ5-1-2、圆弧形铰链Ⅱ5-1-3、连杆Ⅱ5-1-4、圆弧形铰链Ⅲ5-1-5、连杆Ⅲ5-1-6、圆弧形铰链Ⅳ5-1-7、连杆Ⅳ5-1-8、圆弧形铰链Ⅴ5-1-9、四连杆铰链定子安装孔5-1-10、预紧调节螺纹孔5-1-11和连杆基座5-1-12，所述圆弧形铰链Ⅰ5-1-1连接连杆Ⅰ5-1-2和连杆基座5-1-12，所述圆弧形铰链Ⅱ5-1-3连接连杆Ⅰ5-1-2和连杆Ⅱ5-1-4，所述圆弧形铰链Ⅲ5-1-5连接连杆Ⅱ5-1-4和连杆Ⅲ5-1-6，所述圆弧形铰链Ⅳ5-1-7连接连杆Ⅲ5-1-6和连杆Ⅳ5-1-8，所述圆弧形铰链Ⅴ5-1-9连接连杆Ⅳ5-1-8和连杆基座5-1-12，其中，所述连杆Ⅰ5-1-2、连杆Ⅱ5-1-4、连杆Ⅲ5-1-6和连杆Ⅳ5-1-8的长度分别为a、b、c和d，作为驱动杆的连杆Ⅱ5-1-4的圆弧运动轨迹取决于四连杆各连杆长度，其取值范围为a=20~25 mm，b=6~9 mm，c=10~12 mm和d=20~25 mm，本具体实施方式中a=24mm，b=7 mm，c=10 mm和d=22 mm，所述连杆基座5-1-12上设有四连杆铰链定子安装孔5-1-10和预紧调节螺纹孔5-1-11，所述连杆Ⅱ5-1-4与传动轴承外圈3-5-2相接触，所述四连杆铰链定子安装孔5-1-10内穿过定子安装螺栓5-4，用于安装固定四连杆铰链定子5-1，所述预紧调节螺纹孔5-1-11与预紧调节螺栓5-5螺纹连接，用于调节定子预紧力。
工作原理：
本发明所述的精密压电驱动升降平台采用四连杆铰链定子，其中，采用d33模式的压电叠堆通入非对称激励电信号后产生轴向伸缩变形，在预紧力作用下，使四连杆铰链定子产生形变位移，带动连杆Ⅱ产生圆弧轨迹运动，此时连杆Ⅱ与传动轴承处于面接触状态，利用非对称激励电信号产生的惯性粘滑原理带动传动轴旋转，而通过传动轴与运动转换机构螺纹连接，进而使传动轴的旋转运动转换为升降台所需的直线升降运动以实现垂直驱动。
其中，在压电叠堆带动传动轴承缓慢向前旋转阶段，四连杆铰链定子和传动轴承在静摩擦力作用下产生缓慢的“粘”运动，此时四连杆铰链定子的连杆Ⅱ将带动传动轴承和传动轴一起向前旋转一大步；在压电叠堆带动四连杆铰链定子快速恢复阶段，四连杆铰链定子和传动轴承在动摩擦力作用下产生快速的“滑”运动，此时四连杆铰链定子恢复原始位置状态，而传动轴仅仅回退一小步，重复上述步骤达到四连杆铰链定子驱动传动轴连续旋转步进运动的目的。
综上所述，本发明采用四连杆铰链定子，利用连杆Ⅱ作为驱动杆，以增大四连杆铰链定子与传动轴承间的接触面积，进而增大其径向驱动力；同时采用螺纹连接传动的方式以实现输出模式由传动组件的旋转运动转换为升降台的直线升降运动，可降低升降台垂直输出步距，提升精密压电驱动升降平台的定位精度。
Claims (9)
1.一种采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台，其特征在于，该精密压电驱动升降平台由上封壳（1）、升降台（2）、传动组件（3）、底座（4）、四连杆铰链定子组件（5）和封装螺栓（6），其中，所述升降台（2）置于上封壳（1）内，并与传动组件（3）螺纹连接，所述传动组件（3）置于上封壳（1）与底座（4）之间，并与底座（4）过渡配合，所述四连杆铰链定子组件（5）固定安装在底座（4）内，所述封装螺栓（6）与底座（4）螺纹连接从而将上封壳（1）和传动组件（3）紧固安装在底座（4）上。
2.根据权利要求1所述一种采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台，其特征在于，所述上封壳（1）设有上封壳安装沉头孔（1-1）、升降台通孔（1-2）和上封壳下表面（1-3），所述上封壳安装沉头孔（1-1）内安装封装螺栓（6），所述升降台通孔（1-2）内穿过升降台（2），所述上封壳下表面（1-3）与传动组件（3）相接触。
3.根据权利要求1所述一种采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台，其特征在于，所述升降台（2）设有外设安装螺纹孔（2-1）、升降台安装螺纹轴（2-2）和升降台下表面（2-3），所述外设安装螺纹孔（2-1）用于安装外部设备，所述升降台安装螺纹轴（2-2）与传动组件（3）螺纹连接，所述升降台下表面（2-3）与传动组件（3）相接触。
4.根据权利要求1所述一种采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台，其特征在于，所述传动组件（3）包括运动转换机构（3-1）、传动轴（3-2）、限位板（3-3）、轴承（3-4）和传动轴承（3-5），所述运动转换机构（3-1）与传动轴（3-2）螺纹连接，并通过限位板（3-3）轴向限位，所述轴承（3-4）和传动轴承（3-5）均安装在传动轴（3-2）上。
5.根据权利要求4所述一种采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台，其特征在于，所述运动转换机构（3-1）设有运动转换机构上表面（3-1-1）、运动转换机构上螺纹孔（3-1-2）、运动转换机构下螺纹孔（3-1-3）和运动转换机构限位孔（3-1-4），所述运动转换机构上表面（3-1-1）与升降台下表面（2-3）相接触，所述运动转换机构上螺纹孔（3-1-2）与升降台安装螺纹轴（2-2）螺纹连接，所述运动转换机构下螺纹孔（3-1-3）与传动轴（3-2）螺纹连接，所述运动转换机构限位孔（3-1-4）穿过限位板（3-3）的限位轴（3-3-1）；所述传动轴（3-2）设有传动螺纹轴（3-2-1）、传动轴承限位凸台（3-2-2）、轴承安装轴（3-2-3）、轴承上限位面（3-2-4）、传动轴承限位面（3-2-5）和传动轴承安装轴（3-2-6），所述传动螺纹轴（3-2-1）与运动转换机构下螺纹孔（3-1-3）螺纹连接，所述传动轴承限位凸台（3-2-2）、传动轴承限位面（3-2-5）和传动轴承安装轴（3-2-6）与传动轴承（3-5）连接，所述轴承安装轴（3-2-3）和轴承上限位面（3-2-4）与轴承（3-4）连接，安装限位轴承（3-4）；所述限位板（3-3）设有限位轴（3-3-1）、限位板安装通孔（3-3-2）、传动轴通孔（3-3-3）、限位板上表面（3-3-4）和限位板下表面（3-3-5），所述限位轴（3-3-1）穿过运动转换机构限位孔（3-1-4），所述限位板安装通孔（3-3-2）内穿过封装螺栓（6），安装限位板（3-3），所述传动轴通孔（3-3-3）内穿过传动轴（3-2），所述限位板上表面（3-3-4）与上封壳下表面（1-3）相接触，所述限位板下表面（3-3-5）与底座（4）相接触。
6.根据权利要求4所述一种采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台，其特征在于，所述轴承（3-4）设有轴承内圈上表面（3-4-1）、轴承内圈（3-4-2）、轴承外圈（3-4-3）和轴承外圈下表面（3-4-4），所述轴承内圈上表面（3-4-1）与轴承上限位面（3-2-4）相接触，所述轴承内圈（3-4-2）与轴承安装轴（3-2-3）过渡配合，所述轴承外圈（3-4-3）和轴承外圈下表面（3-4-4）与底座（4）连接；所述传动轴承（3-5）设有传动轴承内圈（3-5-1）、传动轴承外圈（3-5-2）、传动轴承内圈下表面（3-5-3）和传动轴承限位槽（3-5-4），所述传动轴承内圈（3-5-1）与传动轴承安装轴（3-2-6）过渡配合，所述传动轴承外圈（3-5-2）与四连杆铰链定子组件（5）相接触，所述传动轴承内圈下表面（3-5-3）与传动轴承限位面（3-2-5）相接触，所述传动轴承限位槽（3-5-4）与传动轴承限位凸台（3-2-2）连接。
7.根据权利要求1所述一种采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台，其特征在于，所述底座（4）设有定子安装螺纹孔（4-1）、封装螺纹孔（4-2）、底座上表面（4-3）、轴承安装孔（4-4）和轴承下限位面（4-5），所述定子安装螺纹孔（4-1）与四连杆铰链定子组件（5）螺纹连接，所述封装螺纹孔（4-2）与封装螺栓（6）螺纹连接，所述底座上表面（4-3）与限位板下表面（3-3-5）相接触，所述轴承安装孔（4-4）与轴承外圈（3-4-3）过渡配合，所述轴承下限位面（4-5）与轴承外圈下表面（3-4-4）相接触。
8.根据权利要求1所述一种采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台，其特征在于，所述四连杆铰链定子组件（5）包括四连杆铰链定子（5-1）、压电叠堆（5-2）、方形垫片（5-3）、定子安装螺栓（5-4）和预紧调节螺栓（5-5），所述压电叠堆（5-2）置于四连杆铰链定子（5-1）内，与方形垫片（5-3）相接触，所述预紧调节螺栓（5-5）与四连杆铰链定子（5-1）螺纹连接，并锁紧方形垫片（5-3）和压电叠堆（5-2），所述定子安装螺栓（5-4）穿过四连杆铰链定子（5-1），并与定子安装螺纹孔（4-1）螺纹连接，安装固定四连杆铰链定子（5-1）。
9.根据权利要求1所述一种采用四连杆铰链定子的精密压电驱动升降平台，其特征在于，所述四连杆铰链定子（5-1）可采用5025铝合金、6061铝合金、7075铝合金、Ti-35A钛合金或Ti-13钛合金材料，所述四连杆铰链定子（5-1）设有圆弧形铰链Ⅰ（5-1-1）、连杆Ⅰ（5-1-2）、圆弧形铰链Ⅱ（5-1-3）、连杆Ⅱ（5-1-4）、圆弧形铰链Ⅲ（5-1-5）、连杆Ⅲ（5-1-6）、圆弧形铰链Ⅳ（5-1-7）、连杆Ⅳ（5-1-8）、圆弧形铰链Ⅴ（5-1-9）、四连杆铰链定子安装孔（5-1-10）、预紧调节螺纹孔（5-1-11）和连杆基座（5-1-12），所述圆弧形铰链Ⅰ（5-1-1）连接连杆Ⅰ（5-1-2）和连杆基座（5-1-12），所述圆弧形铰链Ⅱ（5-1-3）连接连杆Ⅰ（5-1-2）和连杆Ⅱ（5-1-4），所述圆弧形铰链Ⅲ（5-1-5）连接连杆Ⅱ（5-1-4）和连杆Ⅲ（5-1-6），所述圆弧形铰链Ⅳ（5-1-7）连接连杆Ⅲ（5-1-6）和连杆Ⅳ（5-1-8），所述圆弧形铰链Ⅴ（5-1-9）连接连杆Ⅳ（5-1-8）和连杆基座（5-1-12），所述连杆基座（5-1-12）上设有四连杆铰链定子安装孔（5-1-10）和预紧调节螺纹孔（5-1-11），所述连杆Ⅱ（5-1-4）与传动轴承外圈（3-5-2）相接触，所述四连杆铰链定子安装孔（5-1-10）内穿过定子安装螺栓（5-4），安装固定四连杆铰链定子（5-1），所述预紧调节螺纹孔（5-1-11）与预紧调节螺栓（5-5）螺纹连接。
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