CN101510765B - 压电振动片及其制造方法、晶圆、包括压电振动片的装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及压电振动片及其制造方法、晶圆、包括压电振动片的装置。为了容易、精确和高效地执行频率调节且在不受压电振动片尺寸影响的情况下实现低成本构型及维护性能的提升，提供了一种制造压电振动片的方法，其是一种通过利用晶圆来制造具有压电板、一对激励电极及一对安装电极的方法，该方法包括：外形形成步骤，其在晶圆上形成构架部并形成经由连接部而连接到构架部的多个压电板；电极形成步骤，其将成对的激励电极和成对的安装电极形成至多个压电板上，以及形成经由连接部而分别电连接到成对的安装电极上的多对延伸电极；频率调节步骤，其在成对延伸电极之间施加驱动电压的同时调节压电板频率；以及切割步骤，其使多个压电板分成片段。

Description

压电振动片及其制造方法、晶圆、包括压电振动片的装置

技术领域

本发明涉及制造压电振动片的方法、通过该制造方法所制造的压电振动片、用于制造压电振动片的晶圆、具有压电振动片的压电振动器、振荡器、电子装置以及具有压电振动片的无线电波时计。

背景技术

近年来，移动电话或移动信息终端装置使用压电振动器，该压电振动器利用石英等作为时源、控制信号等的定时源或参考信号源等。作为此类压电振动器，已知各种振动器，例如已知具有音叉型压电振动片的压电振动器、具有执行厚度滑移振动的压电振动片的压电振动器等。

通过采用音叉型压电振动片的示例进行解释，如图22和图23所示，压电振动片201包括压电板212、一对激励电极213以及安装电极214，其中，该压电板212具有平行设置的一对振动臂部210和一体地固定该对振动臂部210的基部端侧的基部部分211，该对激励电极213形成于该对振动臂部210的外表面上以振动该对振动臂部210，该安装电极214分别电连接到该对激励电极213上。当通过该对安装电极214将预定的驱动电压施加到该对激励电极213上时，压电振动片201在使该对振动臂部210彼此接近或远离的方向上振动。此外，在这种情形下，预先调节(频率调节)覆盖到振动臂部210前端上的重力金属膜215的重量，使得该对振动臂部210以预定的频率被振动。

通常，利用由石英、钽酸锂、铌酸锂等各种压电材料制成的晶圆来一次制造多个这类压电振动片201(例如，专利引用1)。具体而言，如图24所示，在通过切割压电材料的荒料(raw stone)来构成晶圆S之后，将该晶圆S抛光至预定厚度。此外，相应的电极和重力金属膜215通过下列方式形成：清洁和干燥抛光的晶圆S，通过以光刻技术进行刻蚀来加工晶圆S、并且通过图案化预定的金属膜来形成压电板212的外形。此后，可以通过将来自晶圆S的相应的压电板212切割成片段而从单个晶圆S一次制造多个压电振动201。

同时，在制造过程中，通常在分段之前执行压电板212的频率调节(粗调)。具体而言，首先，通过使频率调节器(例如振荡电路、网络分析器等)的终端分别接触到该对安装电极214上而施加驱动电压来振荡该对振动臂部210。此外，通过修整装置(例如激光等)来调节重力金属膜215的重量，同时通过频率调节器测量在此情形下的频率。从而可进行频率调节。

专利参考1：JP-A-7-212161

然而，在上述制造压电振动片的方法中，存在下列问题。

首先，为了进行压电板的频率调节，必须使频率调节器的终端接触到该对安装电极二者。也就是说，必须使两个终端接触到一个压电板。然而，该对安装电极形成为在具有大约数百μm宽度大小的压电板的外表面上处于平行对齐的状态。因此，为了精确地进行接触，必须使两个终端彼此尽可能接近，此后，该两个终端定位至该对安装电极。因此，终端的控制很困难，该定位必须小心地进行。因此，调节频率耗费了时间而不能进行高效的运行。

此外，近年来，压电振动片的尺寸小型化，而且成对安装电极的间距变窄。因此，上述问题就变得显著。此外，与该缩小化一致，安装电极本身也在规模缩小。因此，在调节频率中使终端接触的面积变小，并且难以接触到该终端。因此，同样关于这点，对终端的控制变得困难，这会对运行效率产生影响。

此外，为了尽可能高效地进行频率调节，在背景技术中还执行了这样的方法：即，通过不逐一地调节压电板而是使两个终端同时接触到多个压电板上来在多个压电板上进行频率测量。例如，提供了一种方法，其以行为单位对连接到晶圆上的多个压电板进行划分，并对于相应的所划分的行来测量频率。因此，可以提高运行效率，但与此相反，必须将频率调节器的终端数量增加到同时被振动的压电板数量的两倍。因此，必须预先准备若干终端，且难以实现成本的降低。此外，即使如上所述使两个终端接触地接触到一个压电板，终端的控制也很困难。与此相比，当同时进行频率调节，必须使许多终端同时并精确地接触到该多个压电板的安装电极，因此，构成了另外的困难操作。

除此之外，当针对以上所述而缩小压电振动片的尺寸时，邻近的压电板之间的间距进一步变窄。因此，造成了使相应的两个终端接触到多个压电板本身变得严格的情形。

此外，当增加频率调节器的终端时，需要在终端的维护方面使用许多步骤。因此，尽管可通过同时对多个压电板进行频率测量来高效地进行频率调节操作，但与此相反，造成了维护性能方面的退化。

发明内容

鉴于上述情况执行本发明，且本发明的一个目的是提供一种制造能够容易地、精确地且高效地执行频率调节而不受压电振动片尺寸影响并且能够实现低成本构型以及维护性能的提升的压电振动片的方法，由该制造方法制造的压电振动片，以及用于制造该压电振动片的晶圆。

此外，本发明的一个目的是提供压电振动片、振荡器、具有压电振动器的无线电波时计和电子装置。

本发明提供了以下措施，以解决该问题：

一种根据本发明的制造压电振动片的方法是制造多个压电振动片的方法，该多个压电振动片均包括：压电板；形成在该压电板的外表面上以便当预定的驱动电压施加到其上时使该压电板振动的一对激励电极；以及通过沿着压电板的宽度方向构成预定的间距而形成为处于平行对齐的状态、并且使用由压电材料制成的晶圆而同时分别电连接到该对激励电极上的一对安装电极；该方法包括：外形形成步骤，其通过利用光刻技术来刻蚀晶圆而形成构架部，以及形成为使多个压电板经由连接部以悬臂形状、以将该多个压电板的基部端侧引导至构架部的状态连接到构架部上；电极形成步骤，其通过使电极膜图案化到晶圆上而分别使成对的激励电极和成对的安装电极形成到该多个压电板上，并且经由构架部上的连接部将多对延伸电极分别电连接到成对的安装电极上；频率调节步骤，其调节压电板的频率，同时通过在该对延伸电极之间施加驱动电压来振动该压电板；以及切割步骤，其通过切割连接部而对该多个压电板分段。

此外，根据本发明的压电振动片是从以悬臂形状经由连接部连接到晶圆上的状态下通过切割该连接部而制造的压电振动片，该压电振动片包括：压电板，其基部端侧连接到连接部上；一对激励电极，其形成在压电板的外表面上，以便当预定的驱动电压施加到其上时振动该压电板；以及一对安装电极，其形成于该压电板的基部端侧处、通过沿着压电板的宽度方向构成预定的间距而处于平行对齐状态并且分别电连接到该对激励电极上，其中，该对安装电极分别形成为与压电板的基部端侧上的边缘端相接触，并且在被切割前的某一时间点延伸到连接部。

根据制造压电振动片的方法以及根据本发明的压电振动片，首先，执行外形形成步骤，其通过用光刻技术刻蚀由石英等压电材料制成的晶圆来形成构架部，以及形成连接到该构架部上的多个压电板。在这种情况下，进行刻蚀使得该多个压电板经由连接部以悬臂形状、以将基部端侧引导至构架部的状态连接到其上。接下来，执行电极形成步骤，其通过使电极膜图案化到晶圆上而分别将成对的激励电极和成对的安装电极形成到该多个压电板上，并且在构架部上形成多对延伸电极。在这种情况下，成对的延伸电极形成为经由连接部而分别电连接到成对的安装电极。

接着，执行频率调节步骤，其通过在成对的延伸电极之间施加驱动电压来使该压电板振动，同时调节压电板的频率。接着，执行切割步骤，其通过切割连接部来进行切割、以便将来自构架部的该多个压电板分离成片段。由此，形成为在压电板的外表面上带有成对的激励电极和成对的安装电极的该多个压电振动片可以由单个晶圆一次性制成。此外，连接部由切割步骤来切割，并且还同时切割经由连接部而分别连接到该对延伸电极上的该对安装电极，以便分离。因此，该对安装电极构成为分别与压电板的基部端侧的边缘端形成接触的形状。

特别地，当执行频率调节步骤时，与背景技术不同，可以通过使频率调节器的接触终端分别在形成于构架部上方的该对延伸电极之间施加驱动电压来振动压电板。在背景技术的情况下，必须使终端接触到压电板上的该对安装电极二者。也就是说，必须使这两个终端接触到这一个压电板。因此，为了精确地进行接触，必须使这两个终端精确地定位到该对安装电极上，处于使该两个终端尽可能邻近于其上的状态。

与此相比，在本方面的情况下，终端可以接触到构架部上的该对延伸电极二者。形成有该对延伸电极的构架部的尺寸不限于在形成有该对安装电极的压电板中。因此，可确保该对延伸电极的电极之间的间距大于该对安装电极的电极之间的间距。因此，当使该终端接触到该对延伸电极时，不必使这两个终端如背景技术中那样彼此接近。因此，可容易地进行终端的控制，并且还可更快速和精确地执行频率调节。此外，可以进行高效的运行。

此外，根据进一步小型化的构型，即使当假定该对安装电极自身减小到使得终端难以接触到其上时，该终端也可接触到延伸电极，并且因此，该终端不受压电振动片的尺寸的影响。由此，频率调节可稳固地进行而不受压电振动片尺寸的影响。

此外，在根据本发明的制造压电振动片的方法中，在电极形成步骤中，该对延伸电极通过沿着宽度方向构成间距而形成为处于平行对齐的状态，并且形成为使其沿着宽度方向的总长度大于该对安装电极沿此方向的总长度。

在根据本发明的制造压电振动片的方法中，在电极形成步骤中，该对延伸电极通过沿着压电板的宽度方向构成与该对安装电极之间的间距相等的间距而形成为处于平行对齐的状态，并且形成为使得沿着该宽度方向的总长度大于该对安装电极沿相同方向的总长度。因此，当在频率调节步骤中终端接触到该对延伸电极时，可通过使该终端之间的、沿着与对齐该对安装电极的方向相同的方向的间距变宽来进行接触。因此，可容易地进行用于使终端之间的间距变宽的控制。由此，还可更快速和精确地进行频率调节。

此外，在根据本发明的制造压电振动片的方法中，在电极形成步骤中，通过在一侧上分别电连接延伸电极中的多个而形成公共延伸电极。

在根据本发明的制造压电振动片的方法中，在电极形成步骤中，通过在一侧上分别与延伸电极中的多个相电连接而形成公共延伸电极。也就是说，公共延伸电极形成为处于在一侧上导通到所有安装电极的状态，这些安装电极分别形成于连接到构架部上的多个压电板上。因此，在执行频率调节步骤时，可以通过使频率调节器的终端分别接触到公共延伸电极以及在执行频率调节步骤中接触到位于构架部的另一侧上的延伸电极来施加驱动电压，来振动压电板。因此，不需要使这两个终端彼此接近。此外，接触到公共延伸电极的终端可接触到在公共延伸电极上预先设定的预定位置上而无须依赖于待振动的压电板。因此，可更容易地执行终端的控制，并且可更快速和精确地执行频率调节。

此外，在根据本发明的制造压电振动片的方法中，在频率调节步骤中，通过在公共延伸电极和位于另一侧上的多个延伸电极之间施加驱动电压来同时振动多个压电板的同时，调节压电板的频率。

在根据本发明的制造压电振动片的方法中，在频率调节步骤中，通过使终端接触到公共延伸电极和另一侧上的该多个延伸电极来施加驱动电压以同时振动该多个压电板而无须逐个振动压电板，从而调节压电板的频率。由此，可更高效地进行频率调节，并且可提供制造效率。

同时，在背景技术中，当该多个压电板同时振动时，必须使终端分别接触到相应压电板的成对的安装电极上，并且因此，终端的数量需要是压电板数量的两倍。

与此相比，使用公共延伸电极，并且因此，终端可接触到公共延伸电极和另一侧上的该多个延伸电极。因此，终端的数量不是待振动的压电板数量的两倍，而可以是待振动的压电板的数量和公共延伸电极的数量之和。因此，与背景技术相比，终端的数量可大幅减少，并且可以实现成本的降低。此外，终端的数量可大幅减少，此外，一个终端可接触到一个压电板，并且因此，终端的控制变得总是很容易。因此，即便当在该多个压电板中同时执行频率调节时，也可以容易地并精确地进行频率调节。

此外，即便当假定通过实现进一步小型化的构型而彼此相邻的压电板的间隔变窄时，也仅有一个终端可接触到该一个压电板，并且因此，可容易地执行该接触。因此，可稳固地执行频率调节，而不受压电振动片尺寸的影响。

除此之外，终端的数量可大幅减少，且因此，可以减少在终端的维护中所使用的步骤的数量。由此，可实现维护性能的提升。

此外，根据本发明的晶圆是多个压电振动片、一对激励电极以及一对安装电极连接到其上的晶圆。该多个压电振动片均包括压电板；该对激励电极形成于该压电板的外表面上，以便当对该对激励电极施加电压时振动该压电板；该对安装电极形成于该压电板的基部端侧处、通过沿着该压电板的宽度方向构成预定间距而处于平行对齐的状态，并且分别电连接到该对激励电极上；其中，该压电板包括构架部和多对延伸电极，该构架部经由连接部以悬臂形状、以引导基部端侧的状态进行连接，该多对延伸电极形成为经由该构架部上的连接部而分别电连接到成对的安装电极上。

在根据本发明的晶圆中，可以通过在该对延伸电极之间施加驱动电压来振动压电板的同时，调节压电板的频率。在这种情况下，通过利用该对延伸电极，可容易、精确和高效地进行频率调节，而不受压电振动片尺寸的影响。

此外，通过切割在其中通过上述方法调节压电板频率的晶圆的连接部而使得该多个压电板形成片段，可以一次制造该多个压电振动片。根据该压电振动片，可实现高质量的构型和低成本的构型。

此外，在根据本发明的晶圆中，该对延伸电极通过使沿着宽度方向的间距构成为大于该对安装电极沿着相同方向的总长度而形成为处于平行对齐的状态。

在根据本发明的晶圆中，通过在该对延伸电极之间施加驱动电压来振动压电板而调节该压电板的频率，可更容易地进行频率调节。

此外，根据本发明的晶圆还包括公共延伸电极，其通过在一侧上分别电连接该多个延伸电极而形成。

在根据本发明的晶圆中，通过在公共延伸电极和位于另一侧上的延伸电极之间施加驱动电压可振动该压电板，同时调节压电板的频率。在这种情况下，通过利用该公共延伸电极，可更容易且高效地进行频率调节。此外，当同时调节多个压电板的频率时，与背景技术相比，可实现低成本的构型以及维护性的提升。

此外，根据本发明的压电振动器包括根据本发明的压电振动片。

在根据本发明的压电振动器中，提供了上述压电振动片，并且因此，可以确保预定的频率，并且可实现该压电振动器的高质量的构型和低成本的构型。

此外，在根据本发明的振荡器中，本发明的压电振动器作为振荡件而电连接到集成电路上。

此外，在根据本发明的电子装置中，根据本发明的压电振动器电连接到计时部分上。

此外，在根据本发明的无线电波时计中，本发明的压电振动器电连接到滤波器部分上。

在振荡器中，提供了根据本发明的电子装置和无线电波时计以及上述压电振动器，并且因此，类似于压电振动器，可以可实现高质量的构型和低成本的构型。

根据制造本发明的压电振动片的方法，可容易、精确和高效地执行频率调节而不受压电振动片尺寸的影响，并且可实现低成本的构型和维护性能的提升。

此外，根据本发明，根据压电振动片，通过制造压电振动片的上述方法来制造压电振动片，频率调节容易、精确和高效地进行，且因此可实现高质量的构型和低成本的构型。

此外，根据本发明的晶圆，上述的压电振动片可高效地一次制成，并且可实现低成本的构型。

此外，根据本发明的压电振动器、振荡器、电子装置和无线电波时计，提供了上述压电振动片，并且因此，可实现高质量的构型和低成本的构型。

附图说明

图1是观察根据本发明的第一实施例的压电振动器外壳的内容物的视图，并且是平面地观察压电振动片的状态的视图；

图2是从上面观察图1所示的压电振动片的视图；

图3是从下面观察图1所示的压电振动片的视图；

图4制造图1所示的压电振动器的流程图；

图5是图4所示的流程图的延续；

图6是显示了制造图1所示的压电振动器的一个步骤的视图，并且是显示了晶圆在完成外形形成步骤之后的状态的视图；

图7是显示了制造图1所示的压电振动器的一个步骤的视图，并且是显示了在晶圆的两面上形成刻蚀保护膜的状态的视图；

图8是显示了从图7所示的状态将刻蚀保护膜图案化到压电振动片的压电板的外形上的状态的视图；

图9是沿图8所示的线A-A所截取的截面视图；

图10是显示了从图9所示的状态、通过刻蚀保护膜构成掩膜而以刻蚀来加工晶圆的状态的视图；

图11是显示了从图10所示的状态、在晶圆上形成电极膜和重力金属膜的状态的视图，并且是放大了该晶圆的上面的视图；

图12是用于解释制造根据本发明的第二实施例的压电振动片的方法的一个步骤视图，并且是放大了处于从图10中所示的状态、在晶圆上形成电极膜和重力金属膜的状态的晶圆上面的视图；

图13是构成根据本发明第二实施例的修改实例的视图，其放大了将一个延伸电极的形状形成为在压电板的宽度尺寸上变窄的状态的晶圆的上面；

图14是显示了根据本发明的压电振动片和压电振动器的其它实例的视图，并且是具有执行厚度滑移振动的压电振动片的压电振动器的分解透视图；

图15是显示了根据本发明的压电振动器的其它实例的视图，并且是陶瓷封装型压电振动器的顶视图；

图16是沿图15中所示的线B-B截取的截面视图；

图17是显示了具有根据本发明的压电振动器的表面安装型振动器的截面视图；

图18是显示图17所示的压电振动器和外部连接终端的关系的透视图；

图19是显示了根据本发明的振荡器的一个实施例的构造视图；

图20是显示了根据本发明的电子装置的一个实施例的构造视图；

图21是显示了根据本发明的无线电波时计的一个实施例的构造视图；

图22是用于解释根据本发明的修改实例的视图，并且是放大了处于在晶圆上形成电极膜和重力金属膜的状态下的晶圆上面的视图；

图23是从上面观察背景技术压电振动片的视图；

图24是从下面观察背景技术压电振动片的视图；以及

图25是显示制造了图23和图24中所示的压电振动片的一个步骤的视图。

具体实施方式

[第一实施例]

将参考如下的图1至图11解释根据本发明的第一实施例。此外，根据该实施例，对于压电振动器1，将采用圆柱体封装型压电振动器的示例进行解释。

如图1至图3所示，该实施例的压电振动器1包括压电振动片2、在其内侧容纳压电振动片2的外壳3，以及构成气密终端的塞子4，该气密终端密闭地将压电振动片2封闭在外壳3的内部。

如图2和图3所示，压电振动片2为由石英、钽酸锂、铌酸锂等压电材料所形成的音叉型振动件，并且当向其施加预定电压时进行振动。

该压电振动片2包括：压电板11，其具有平行布置的一对振动臂部8，9和一体地固定该对振动臂部8，9的基部端侧的底部10；一对激励电极14，其由形成在该对振动臂部8，9的外表面上的第一激励电极12和第二激励电极13所构成，用于振动该对振动臂部8，9；以及安装电极15，16，其电连接到第一激励电极12和第二激励电极13上。

由第一激励电极12和第二激励电极13所构成的该对激励电极14是使该对振动臂部8，9在相互邻近或远离的方向上以预定的谐振频率振动的电极，并且分别通过在该对振动臂部8，9的外表面上形成图案而形成，其处于被电切割以分离的状态。具体而言，第一激励电极12主要形成于一个振动臂部8上以及另一个振动臂部9的两侧上，并且第二激励电极13主要形成在一个振动臂部8的两侧上以及另一个振动臂部9上。

此外，第一激励电极12和第二激励电极13通过分别位于基部部分10的两个主面上的引出电极19，20而电连接到安装电极15，16上。安装电极15，16通过沿着压电板11的宽度方向W相互间隔开预定间距LI而处于平行对齐的状态。此外，该对安装电极15，16分别形成为接触到压电板11基部端侧上的边缘部分。此外，该对安装电极15，16沿着宽度方向W的总长度由符号L2表示。

此外，压电振动片2通过安装电极15，16而施加有电压。

此外，该对振动臂部8，9的前端覆盖有重力金属膜21，用于执行对其自身振动状态的调节，以便在预定频率范围内振动。此外，重力金属膜21分为用于粗糙地调节频率的粗调膜21a和用于精细地调节频率的微调膜21b。通过利用粗调膜21a和微调膜21b来执行频率调节，可将该对振动臂部8，9的频率限制在器件的标称频率的范围内。

如图1所示，外壳3形成为底部为圆柱体的形状，并且被压配到稍后提及的塞子4的芯柱30的外周边上，外壳3处于将压电振动片2容纳在其内部用以配合成固定的状态。此外，外壳3在真空气氛下压配，并且使外壳3内环绕压电振动片2的空间达到保持真空的状态。

塞子4包括芯柱30、两个引线终端31以及绝缘填充部件32。芯柱30密封地封闭外壳3；两个引线终端31平行地布置，以通过插入芯柱30而穿透该芯柱30，并且使得其一个端部侧构成安装(机械地结合以及电连接)压电振动片2的内引线31a，而使得其另一个端部侧构成电连接到外部的外引线31b；绝缘填充部件32填充在芯柱30的内侧，以固定芯柱30和引线终端31。

芯柱30由金属材料形成环状形状。此外，填充部件32的材料例如为硼硅酸盐玻璃。此外，引线终端31的表面和芯柱30的外周边覆有相同材料的镀层(未示出)。

突入外壳3内部的两个引线终端31的部分构成内引线31a，而其突出至外壳3外部的部分则构成外引线31b。此外，内引线31a和安装电极15，16通过传导性隆起E来安装。就是说，内引线31a和安装电极15，16通过隆起E而机械地结合并同时电连接。结果，压电振动片2达到安装到两个引线终端31上的状态。

此外，根据以上提及的两个引线终端31，一个端部侧(外引线31b一侧)电连接到外部，而另一端部侧(内引线31a一侧)用作安装到压电振动片2上的外部连接终端。

这里，将描述构成塞子4的主要部分的尺寸和材料的实例。

引线终端31的直径大约为0.12mm，且科瓦铁镍钴合金(kovar)(FeNiCo合金)通常用作引线终端31的基础部分的材料。此外，作为覆盖在引线终端31的外表面和芯柱30的外周边上的镀层材料，Cu被用作基质膜，而作为表面涂层膜(finish film)，使用了耐热焊接镀层(锡和铅的合金，其重量比是1∶9)，银(Ag)，锡铜合金(SnCu)，金锡合金(AuSn)等。

此外，通过使外壳3的内周边经受真空中的冷压焊接，同时插入覆盖在芯柱30的外周边上的金属膜(镀层)而可以在真空状态下气密地密封外壳3的内部。

当操作以这种方式构成的压电振动器1时，向两个引线终端31的外引线31b施加预定的驱动电压。因此，可以通过内引线31a、隆起E、安装电极15，16和引出电极19，20而使电流流向由第一激励电极12和第二激励电极13所构成的该对激励电极14，并且可以使成对的振动臂部8，9在彼此靠近或彼此远离的方向上以预定的频率振动。此外，通过利用该对振动臂部8，9的振动，该振动可用作定时源、时源的参考信号源等、控制信号。

接下来，将参考图4和图5中所示的流程图来解释一次制造多个压电振动器1的制造方法。

具体而言，首先，将石英Lambert荒料以预定的角度切片，以构成具有恒定厚度的晶圆S。接着，通过研磨对晶圆粗加工，之后，通过刻蚀除去加工变性层，其后，执行抛光中的镜面抛光等以构成具有预定厚度的晶圆S(S10)。

接下来，执行通过光刻技术来刻蚀经抛光的晶圆S的外形形成步骤，如图6所示，形成构架部S1并且形成待连接到该构架部S1上的多个压电板11(S20)。在此情况下，该多个压电板11刻蚀成经由处于将基部端侧引导到构架部S1的状态的连接部11a而以悬臂形状连接。接下来，将特别地解释从经抛光的晶圆S直至形成如图6所示的晶圆S的程序。

首先，在准备好利用抛光进行表面处理的晶圆S之后，如图7所示，分别在晶圆S的两个面上形成刻蚀保护膜40(S21)。作为刻蚀保护膜40，例如，形成若干μm的铬(Cr)。接下来，通过光刻技术将光致刻蚀膜(未示出)图案化在刻蚀保护膜40上。在这种情况下，围绕压电板11、连接部11a以及构架部S1的周围来进行图案化。此外，通过由光致刻蚀膜构成掩模来执行刻蚀，以便选择性地除去未被掩盖的刻蚀保护膜40。此外，在刻蚀之后除去光致刻蚀膜。由此，如图8和图9所示，刻蚀保护膜40可以以上述形状形成图案(S22)。也就是说，多个压电板11可以图案化为通过处于将基部端侧引导至构架部S1的状态的连接部以悬臂形状进行连接的形状。此外，在此情况下，通过该多个压电板11中的若干个来进行图案化。此外，图9和图10是示出了沿着图8中所示切割线A-A的截面的视图。

接下来，晶圆S的两面分别通过由形成图案的刻蚀保护膜40构成掩模来刻蚀(S23)。由此，如图6和图10所示，通过选择性地除去刻蚀保护膜40的未被掩盖的区域来形成构架部S1，并且构架部S1可形成为将多个压电板11连接到构架部S1上。此时，外形形成步骤结束。

接下来，执行电极形成步骤，其分别将成对的激励电极14、成对的安装电极15，16以及引出电极19，20形成到该多个压电板11上，并且通过使电极膜图案化到晶圆S上在构架部S1上形成该对延伸电极S2，S3(S30)。在此情况下，该对延伸电极S2，S3形成为通过连接部11a而分别电连接到该对安装电极15，16上。除此之外，该对延伸电极S2，S3通过使间距L1构成为与该对安装电极15，16之间沿着压电板11的宽度方向W的间距相等而形成为处于平行对齐的状态，并且形成为使得沿宽度方向W的总长L3大于该对安装电极15，16沿相同方向W的总长L2。

通过由外形形成步骤和电极形成步骤所进行的处理，所准备的、具有预定厚度的晶圆S可加工成与多个压电振动片2相连接的晶圆S，该压电振动片2具有多个压电板11、成对的激励电极14以及成对的安装电极15，16，并且晶圆S包括构架部S1，该构架部S1通过连接部11a以悬臂形状、以引导基部端侧的状态连接到压电板11、并且连接到形成为通过连接部11a而分别电连接到该对安装电极15，16上的多对延伸电极S2，S3上。除此之外，根据晶圆S，该对延伸电极S2，S3通过使间距L1构成为与该对安装电极15，16沿着压电板11的宽度方向W的间距相等而形成为而处于平行对齐的状态，并且形成为使得沿着宽度方向W的总长度L3大于该对安装电极15，16沿着相同方向W的总长度L2。

此外，在电极形成步骤同时或之前或之后，将重力金属膜21(如银、金等)覆盖到该对振动臂部8，9的前端上，该重力金属膜21包括用于调节频率的粗调膜21a和微调膜21b(S40)。

此外，执行粗调步骤(频率调节步骤)，其调节压电板11的频率，同时使压电板11的该对振动臂部8，9振动(S50)。具体而言，首先，将晶圆S设定为未示出的频率调节器(例如振动电路、网络分析器等)，该晶圆S形成有电极膜(成对的激励电极14、成对的安装电极15，16、引出电极19，20以及成对的延伸电极S2，S3)和重力金属膜21。此外，使频率调节器的终端(例如探针等)通过稍后提及的方法而接触到晶圆S上的电极膜，并且对该对激励电极14施加预定的驱动电压。从而该对振动臂部8，9被振荡。通过使激光光线照射到重力金属膜21的粗调膜21a上而减少施用到该对振动臂部8，9的前端上的重力来调节频率。此外，之后将执行更加高度精确地调节频率的微调。稍后将给出对微调的说明。

接下来，执行切割步骤，其通过将连接晶圆S和压电板11的连接部11a切割成相应的片段来进行切割，以使得该多个压电板11从构架部S1上分离(S50)。从而可以由单一的晶圆S一次制成多个压电振动片2，该压电振动片2在压电板11的外表面上形成有成对的激励电极14和成对的安装电极15，16。此外，连接部11a通过切割步骤而进行切割，且因此，还切割经由连接部11a而连接到该对延伸电极S2，S3上的该对安装电极15，16，以同时分开。因此，通过形成为分别与压电板11的基部端侧上的边缘端相接触的形式而构成了该对安装电极15，16，如图2和图3所示。

接下来，执行制造塞子4的气密终端制造步骤(S70)。具体而言，首先，通过芯柱制造步骤来制造芯柱(S71)。也就是说，通过将铁镍钴合金、铁镍合金等制成的具有传导性的板部件加工成管(lance)并多次执行深拉而形成有底圆柱体部件。此外，该圆柱体部件的底面形成有开口，通过执行外形冲压而切割该圆柱体部件以便与板部件分开，从而制成芯柱30。

接下来，执行安置步骤，以分别将引线终端31和填充部件32安置在芯柱30的内部(S72)。首先，将制成的芯柱30安置到未示出的专用夹具上，之后，将预先烧结成环形形状的填充部件32安置在芯柱30的内部，并且将引线终端31安置成穿透填充部件32。

在通过该安置步骤组合芯柱30，引线终端31和填充部件32后，将夹具放入加热炉，并且在1000℃左右的温度气氛中烧结填充部件32(S73)。因此，填充部件32和引线终端31之间的间距以及填充部件32和芯柱30之间的间距被完全密封地附接，以构成承受气密性的结构。此外，塞子4可通过将其从该夹具中取出而提供。此时，完成了气密终端制造步骤。

接下来，通过湿镀法执行在引线终端31的外表面和芯柱30的外周边上覆盖相同材料的金属膜的镀覆步骤(S80)。作为对此的预处理，对引线终端31的外表面和芯柱30的外周边进行清洁，用碱性溶液去脂，然后通过盐酸和硫酸的溶液用酸来清洁。在完成该预处理后，在引线终端31的外表面和芯柱30的外周边面上形成基质膜。例如，覆盖膜厚为大致2μm至5μm的铜镀层或镍镀层。接下来，在该基质膜上形成表面涂层膜。例如，除了单一的锡、银等材料之外，还可覆盖膜厚大致为8μm到15μm的耐热镀层、锡铜合金、锡铋膜合金、锡锑合金等。

通过以此方式覆盖包括基质膜和表面涂层膜的金属膜，可以使内引线31a和压电振动片2连接。此外，不仅是压电振动片2的连接，还有覆盖在芯柱30的外周边上的金属膜都具有柔软且弹性地变形的特性，并且因此，可以进行芯柱30和外壳3的冷压焊接，并且可以执行气密结合。

接下来，为了使该金属膜稳定，在真空气氛的炉中执行退火(S90)。进一步而言，以170℃的温度下进行一个小时的加热。由此，可以通过调节形成在基质膜材料和表面涂层膜材料的界面处的金属间化合物成分来限制形成金属须。在完成退火时，可以执行安装步骤。此外，尽管采用了当覆盖金属膜时通过湿镀法来执行的情形的实例，但本发明不限于此，而是该覆盖可通过气相淀积法、化学气相法等来进行。

此外，根据该实施例，在完成退火后，在内引线31a的前端处形成金或类似材料的传导隆起E，以用于随后执行的安装步骤(S100)。此外，执行将压电振动片2的安装电极15，16结合到内引线31a上的安装步骤(S110)。具体而言，在置入隆起E的状态下以预定的压力且同时加热隆起E而使得内引线31a和压电振动片2交迭。因此，可以通过隆起E使内引线31a和安装电极15，16连接。结果，可以安装压电振动片2。就是说，使压电振动片2进入由引线终端31机械地支承并电连接到该引线终端31上的状态。

此外，尽管在执行隆起连接中通过执行加热和加压来进行安装，但也可以通过利用超声波来执行隆起连接。

接下来，在执行密封步骤之前，为了消除上述安装所引起的应变，在预定的温度下进行烘烤(S120)。接下来，修整压电振动片2的频率(S130)。具体地解释该频率调节，通过在将整体置入真空室的状态下，在外引线31b之间施加电压而使压电振动片2振动。此外，通过用激光来蒸发重力金属膜21的微调膜21b来调节频率，同时测量该频率。此外，为了测量该频率，可通过将未示出的探头的前端压向外引线31b而精确地执行该测量。通过执行频率调节，可以将压电振动片2的频率调节在预先确定的频率范围内。

此外，尽管在之前执行的上述微调和粗调中，通过照射激光而蒸发重力金属膜21来执行频率调节，但也可利用氩离子而不是激光。在这种情况下，通过利用照射氩离子执行喷射而除去重力金属膜21来进行频率调节。

最后，通过将外壳3压配到在其内容纳了安装的压电振动片2的芯柱3上，执行气密地密封压电振动片2的外壳压配步骤。具体地解释，将外壳3压配到芯柱30的外周边上，同时在真空中施加预定的负荷。然后，使形成在芯柱30的外周边上的金属膜弹性地变形，并且因此可通过冷压焊接执行气密密封。因此，可通过将压电振动片2密封地封闭到外壳3内部来进行真空密封。

此外，在执行该步骤前，优选通过充分地加热压电振动片2、外壳3和塞子4来去除吸收到其表面上的湿气等。

此外，在完成固定外壳3后，执行屏蔽(screening)(S150)。执行屏蔽以稳定谐振频率和谐振电阻值，并且抑制由压配到外壳3上的配合部分处形成的压应力而引起的金属须。

在完成该屏蔽后，执行内部部分的电气特性检查(S160)。也就是说，测量并检查压电振动片2的谐振频率、谐振电阻值、驱动电平特性(谐振频率和谐振电阻值的激励功率相依性)等。此外，与之一起还检查绝缘阻抗特性等。此外，最后，通过执行压电振动器1的外观检查来最终检查尺寸、质量等。结果，可以制造图1中所示的压电振动器1。

特别地，在执行粗调步骤中，不同于背景技术，通过接触分别在形成于构架部S1上的该对延伸电极S2，S3之间的频率调节器的终端来施加驱动电压，可使得压电板11的该对振动臂部8，9振动。在背景技术的情况下，必须接触用于压电板11上的该对安装电极15，16二者的终端。也就是说，必须使两个终端接触到一个压电板11。因此，为了精确地执行该接触，必须使两个终端相对于该对安装电极15，16精确地定位在使得该两个终端尽可能靠近该对安装电极15，16的状态。

与此相比，在本发明的情形中，终端可接触到位于构架部S1上的该对延伸电极S2，S3二者。形成该对延伸电极S2，S3的构架部S1的大小不限于处于形成有该对安装电极15，16的压电板11中。因此，根据该对延伸电极S2，S3，可确保该电极之间的间距大于该对安装电极15，16的间距。因此，当终端接触到该对延伸电极S2，S3时，不必像背景技术中那样使两个终端与其相接近。因此，可以容易地进行终端的控制，并且可以更快速且精确地执行频率调节。此外，可以进行高效地运行。

除此之外，在电极形成步骤中，该对延伸电极S2，S3通过使间距L1构造成与安装电极15，16之间沿着压电板11的宽度方向W的间距相等而形成为处于平行对齐的状态，且形成为使得沿着宽度方向W的长度L3大于该对安装电极15，16沿着相同宽度方向W的总长度L2。因此，在粗调步骤中使终端接触到该对延伸电极S2，S3中，该接触可通过在与对齐该对安装电极15，16的方向相同的方向上使终端之间的间距变宽来执行。因此，用于使终端之间的间距变宽的控制可容易地执行。由此，频率调节可更加快速和精确地执行。

此外，假定根据更加小型化的构型，即使当该对安装电极15，16本身变小使得终端难以接触到其上，该终端也可接触该对延伸电极S2，S3，且因此，该接触不受压电振动片2尺寸的影响。由此，可稳固地执行频率调节，而不受压电振动片2尺寸的影响。

此外，根据该实施例的压电振动器1，提供了上述的压电振动片2，并且因此，可以确保预定的频率，并且可获得压电振动器1的高质量的构型和低成本的构型。

另外，当频率调节器的终端接触到电极膜时，未示出的接触标记通常形成于电极膜的接触部分。然而，该终端未接触到如上所述的该对安装电极15，16，且因此未形成接触标记。

[第二实施例]

接下来，将参考图12解释根据本发明的第二实施例。此外，在第二实施例中，与第一实施例的构成要素相同的部分附有相同的标记，并略去对其的说明。

第二实施例与第一实施例的不同之处在于在电极形成步骤中形成的电极。也就是说，尽管根据第一实施例，简单地形成了该对延伸电极S2，S3，但根据第二实施例，除了该对延伸电极S2，S3之外还形成了公共延伸电极S4。

详细地解释，根据该实施例，在电极形成步骤中，如图12所示，通过在一侧分别电连接多个延伸电极S2而形成公共延伸电极S4。也就是说，公共延伸电极S4形成为处于与所有的安装电极15导通的状态，这些安装电极15分别在一侧上形成于连接到构架部S1上的该多个压电板11处。

通过由电极形成步骤进行处理，晶圆S可加工成包括公共延伸电极S4的晶圆S，该公共延伸电极S4通过在一侧分别地电连接该多个延伸电极S2而形成。

根据该实施例的制造方法，实现了在第一实施例中所示的操作和效果，此外，当执行粗调步骤时，通过使频率调节器的终端分别接触到构架部S1上的公共延伸电极S4以及另一延伸电极S3来施加驱动电压，可以使得压电板11的该对振动臂部8，9振动。因此，不需要使两个终端彼此接近。此外，待接触到公共延伸电极S4上的终端可接触到公共延伸电极S4上预先设置的预定位置，而不依赖于待振动压电板11的位置。因此，终端的控制可更容易地执行，并且可更加快速和精确地执行频率调节。

此外，根据该实施例，在粗调步骤中，优选压电板11的成对的振动臂部8，9并非一组接一组地进行振动，而是通过使终端接触到公共延伸电极S4和另一侧上的多个延伸电极S3而施加驱动电压来调节压电板11的频率，且使得压电板11的多组成对振动臂部8，9同时振动。由此，频率调节可更高效地执行并且可提高制造效率。

其间，当在背景技术中多组压电板11的成对的振动臂部8，9同时被振动时，必须使终端分别接触到相应压电板11的该对安装电极15，16上，并且因此，终端数需要为压电板11的数量的两倍。

与此相比，采用公共延伸电极S4，且因此，终端可接触到公共延伸电极S4和另一侧上的多个延伸电极S3。因此，终端数量不是待振动的压电板11的数量的两倍，而是待振动的压电板11的数量和公共延伸电极S4的数量之和。因此，与背景技术的数量相比，终端数量可大幅减少，且可以实现成本的降低。此外，终端数量可大幅地减少，此外，一个终端可接触到一个压电板11上，并且因此，终端的控制变得总是容易。因此，即使当针对其多个同时执行频率调节时，也可以容易地和精确地执行该频率调节。

此外，即使当通过假定获得了更小尺寸的构型而使得相邻的压电板11的间距变窄时，仅一个终端可接触到一个压电板11，且因此可容易地进行该接触。因此，可稳固地进行频率调节而不受压电振动片2尺寸的影响。

除此之外，终端数可大幅减少，且因此，可减少为维护终端而使用的步骤数。因此可提高维护性能。

此外，尽管根据该实施例，在一侧上的延伸电极S2构成为与第一实施例的形状相似的形状，但该形状不限于此。例如，如图13所示，一侧上的延伸电极S2可构成为在压电板11的宽度方向W上变窄的形状。由此，该对延伸电极S2，S3在构架部S1上沿着宽度方向W的总长度可变窄。因此，彼此相邻的压电板11的间距可变窄，并且可以增加可由单个晶圆S所制成的压电板11的总数量。

此外，在这种情况下，优选使公共延伸电极S4形成为在一侧上形成大于安装电极15的接触部分S5。据此，当终端接触到公共延伸电极S4时，可通过接触到接触部分S5而使终端的控制变得容易。

此外，尽管根据该实施例，通过采用包括音叉型压电振动片2的压电振动器1的实例来说明，但该实施例不限于压电振动器1。

例如，如图14所示，将要说明包括厚度滑移振动片(压电振动片)71的厚度滑移振动器(压电振动器)70。厚度滑移振动片71包括由晶圆S以恒定的厚度形成为板状形状的压电板72、激励电极73、引出电极74以及安装电极75。压电板72在其外形方面形成为例如矩形形状，并且形成为使得激励电极73大致在两面的中心部分处彼此相对。压电板72的端部部分形成有通过引出电极74而电连接到激励电极73的安装电极75。此外，连接到一个激励电极73的安装电极75和连接到另一激励电极73上的安装电极75分别形成在压电板72的两面上。在这种情况下，通过形成在压电板72的侧面上的侧面电极76，形成于压电板72的一面上的安装电极75电连接到形成在另一面上的安装电极75。

即使以此种方式构成的厚度滑移振动器70本身也可类似地获得高质量和低成本的厚度滑移振动器70构型，这是因为厚度滑移振动片71是由上述制造压电振动片的方法制成的。

此外，尽管根据该实施例，作为压电振动器的实例，通过采取圆柱体封装型的压电振动器1的实例给出了解释，但本实施例并不限于该压电振动器1。例如，如图15和图16所示，将采用陶瓷封装型的压电振动器80。

压电振动器80包括：在其内部形成有凹陷部分81a的基部81，容纳在基部81的凹陷部分81a内的压电振动片2，以及在容纳压电振动片2的状态下固定在基部81上的盖子82。

基部81设有具有密封结构的引线83，且其前端设有隆起E。此外，隆起E和压电振动片2的安装电极15，16机械地且电气地连接。此外，引线83暴露于基部81的底面。也就是说，使引线83用作外部连接终端，其一个端侧电连接到外部，而另一个端侧电连接到安装电极15，16。

此外，通过使用真空电子束焊接、真空缝焊、或通过低熔点玻璃或低共溶合金来结合等各种方法，使基部81在真空中气密地密封。由此，将压电振动片2气密地密封在其内部。就是说，使基部81和盖子82用作用于气密地密封压电振动片2的密封部件84。

即使以此方式构成的压电振动器80本身也能类似地实现压电振动器80的高质量和低成本构型，这是因为压电振动片2是由上述制造压电振动片的方法所制成的。

此外，可通过进一步由模制树脂部分91固定圆柱体封装型压电振动器1来构成表面安装型振动器90。

如图17和图18所示，表面安装型振动器90包括压电振动器1，以预定形状固定压电振动器1的模制树脂部分91，以及外部连接终端92；该连接终端92的一个端部侧电连接到外引线31b上，而其另一个端部侧通过暴露在模制树脂部分91的底面处而电连接到外侧。外部连接终端92由铜等金属材料在其截面上形成为通道形状。通过用模制树脂部分91以这种方式来固定压电振动器1，可以将压电振动器1稳固地附接到电路板等上面，并且因此，压电振动器1更易于使用，且提高了易用性。特别而言，压电振动器1造成高质量构型和低成本的构型，并且因此，对于表面安装型振动器90本身也可实现高质量构型和低成本构型。

接下来，将参考图19对根据本发明的振荡器的一个实施例进行解释。

根据该实施例的振荡器100，如图19所示，压电振动器1构成为电连接到集成电路101的振荡件。振荡器100包括安装有电容器等电子部件102的电路板103。电路板103安装有用于振荡器的集成电路101，且压电振动器1安装到集成电路101的附近。电子部件102、集成电路101和压电振动器1分别通过未示出的布线图而电连接。此外，相应的构成部分由未示出的树脂模制而成。

在以此方式构成的振荡器100中，当向压电振动器1施加电压时，该压电振动器1内的压电振动片2振动。该振动通过提供给该压电振动片2的压电特性而转换成电信号，并且作为电信号输入集成电路101。输入的电信号由集成电路101以各种方式进行处理并作为频率信号输出。从而使压电振动器1起到振荡件的作用。

此外，通过根据RTC(实时时钟)模块等的需要而选择集成电路111的构成，除了用于时计的单一功能振荡器，还可以加入控制操作该装置或外部装置的日期或时间的功能或提供时间、日历等功能。

如上所述，根据该实施例的振荡器100，提供了实现高质量构型和低成本构型的压电振动器1，并且因此，振荡器100自身也可类似地实现高质量和低成本的构型。进一步而言，除此之外，还可提供历经长时间而稳定的高度精确的频率信号。

接下来，将参考图20对根据本发明的电子装置的一个实施例进行解释。此外，作为电子装置，将采用具有上述压电振动器1的移动信息装置110的实例给出解释。首先，该实施例的移动信息装置110由移动电话来代表，并根据背景技术来开发和改进手表。其外观类似手表，在其对应于表盘的部分处布置有液晶显示屏，并且当前时间等可显示在其屏幕上。此外，当用作通信机械时，可通过从手腕上取下该通信装置并且通过包括在皮带内侧部分的扬声器和麦克风来执行与背景技术移动电话的通信相似的通信。然而，与背景技术的移动电话相比，该通信机械尺寸非常小且重量轻。

接下来，将解释该实施例的移动信息装置110的构成。如图20所示，移动信息装置110包括压电振动器1和用来供给电力的电源部分111。电源部分111包括例如锂蓄电池。电源部分111与用于执行各种控制的控制部分112、计算时间等的计时部分113、用于执行与外界的通信的通信部分114、用于显示各种信息的显示部分115以及检测相应功能部分的电压的电压检测部分116并联。此外，由电源部分111向相应的功能部分提供电力。

控制部分112控制接收和传输声音数据、测量和显示当前时间等的整个系统的操作。此外，控制部分112包括预先写入程序的ROM、读取并执行写入ROM的程序的CPU以及用作CPU的工作区的RAM等。

计时部分113包括集成电路，该集成电路包括振荡电路、寄存器电路、计数器电路和接口电路等以及压电振动器1。当向压电振动器1施加电压时，压电振动片2振动，该振动通过提供给石英的压电特性而被转换成电信号，并且作为电信号输入至振荡电路。振荡电路的输出通过寄存器电路和计数器电路而被二进制化并进行计数。此外，通过接口电路而将信号传输到控制部分112以及从控制部分112接收信号，且显示部分115显示有当前时间或当前日期或日历信息等。

通信部分114提供有与背景技术移动电话的功能相似的功能，并且包括无线部分117、声音处理部分118、切换部分119、放大部分120、声音输入和输出部分121、电话号码输入部分122、来电语音生成部分123以及呼叫控制存储部分124。

无线部分117通过天线125进行转换，以向基站传输或从基站接收声音数据等各种数据。声音处理部分118对从无线部分117或放大部分120输入的声音信号进行编码和解码。放大部分120将从声音处理部分118或声音输入和输出部分121输入的信号放大至预定水平。声音输入和输出部分121包括扬声器、麦克风等，用于形成来电语音或接收的声音，或用于采集声音。

此外，来电语音生成部分123根据来自基站的呼叫产生来电语音。切换部分119只有在信号到达时才将连接到声音处理部分118的放大部分120切换到来电语音生成部分123，由此，在来电语音生成部分123处所产生的来电语音通过放大部分120而输出到声音输入和输出部分121。

此外，呼叫控制存储部分124储存涉及通信的传送及到达的呼叫的控制程序。此外，电话号码输入部分122包括例如0到9的数字键以及其它键，且通过按下数字键等输入通话目的地的电话号码等。

当由电源部分111向控制部分112等的相应功能部分所施加的电压变得低于预定值时，电压检测部分116检测压降，以通知控制部分112。在这种情况下预定的电压值是预先设定为稳固地操作通信部分114所必须的最小电压值，且例如为大约3V。收到电压检测部分116的压降通知的控制部分112阻止无线部分117、声音处理部分118、切换部分119和来电语音生成部分123的运行。特别地，不可或缺的是停止具有大功率消耗的无线部分117的运行。此外，在显示部分115上显示了一条记录，即通信部分114由于电池剩余电量不足而不能使用。

也就是说，通过电压检测部分116和控制部分112，可以阻止通信部分114的运行并且可以在显示部分115上显示该记录。尽管该显示可以是字符信息，但作为更直观的显示，可以将x(选定)标记附加到在显示部分115的显示面的上部处显示的电话图标上。

此外，通过提供电源切断部分126可以进一步稳固地停止通信部分114的功能，该部分126能够选择性地切断涉及通信部分114的功能的部分的电源。

如上所述，根据该实施例的移动信息装置110，提供了实现高质量构型和低成本构型的压电振动器1，并且因此，移动信息装置本身也可类似地实现高质量构型和低成本构型。进一步而言，除此之外，可以显示历经长时间而稳定的高度精确的时计信息。

接下来，将参考图21对根据本发明的无线电波时计的一个实施例进行解释。

如图21所示，该实施例的无线电波时计130包括电连接到滤波部分131上的压电振动器1，以及具有通过接收包括时间信息的标准无线电波来自动将时间校准到准确时间以便显示的功能的时计。

在日本，在福岛县(40kHz)和佐贺县(60kHz)有发射标准无线电波的发射处(发射站)，其分别发射标准无线电波。40kHz或60kHz的长波既具有在地面上传播的特性又具有通过电离层和地面而传播且反射的特性，并且因此，传播范围广，并且整个日本都由上述两个发射处所覆盖。

以下将详细解释无线电波时计130的功能构成。

天线132接收40kHz或60kHz的长波标准无线电波。该长波标准无线电波使称为时间码的时间信息经AM调制到40kHz或60kHz的载波上。接收到的长波标准无线电波由放大器133放大，由具有多个压电振动器1的滤波部分131所滤波和调谐。根据该实施例的压电振动器1分别包括石英振动器部分138，139，它们具有与载波频率相同的40kHz和60kHz的谐振频率。

此外，预定频率的经滤波信号由检测整流电路134检测并解码。接下来，通过波形成形电路135取出时间码，并由CPU 136计数。CPU136读取当前年，累积日期，星期几，时间等信息。所读取的信息反映至RTC 137，从而显示出精确的时间信息。

载波具有40kHz或60kHz，并且因此，具有上述音叉型结构的振动器优选地用于石英振动器部分138，139。

此外，尽管上述解释以日本作为实例，但长波标准无线电波的频率在国外是不同的。例如，在德国使用77.5kHz的标准无线电波。因此，当把能够处理国外电波的无线电波时计130集成到移动装置中时，还需要不同于日本的情况下的频率的压电振动器1。

如上所述，根据该实施例的无线电波时计130，提供了造成高质量构型和低成本构型的压电振动器1，并且因此，该无线电波时计本身也可类似地实现高质量构型和低成本构型。进一步而言，除此之外，可以经历长时间而高度精确且稳固地进行计时。

尽管已参考上述附图详细地描述了本发明的实施例，但具体的构成不限于该实施例，而是包括处于不偏离本发明要旨的范围内的设计变更等。例如，尽管在上文提及的振荡器、移动信息装置和无线电波时计中，使用了具有音叉型压电振动片2的圆柱体封装型压电振动器1，但该实施例不限于此。厚度滑移型振动器70、陶瓷封装型压电振动器80、表面安装型振动器90等可用作压电振动器。

此外，形成在构架部S1处的成对的延伸电极S2，S3的形状不限于在实施例中示出的模式，而是任何形状都将是可行的，只要成对的延伸电极S2，S3通过连接部11a而分别电连接到成对的安装电极15，16上。例如，如图22所示，成对的延伸电极S2，S3可形成为在构架部S1上沿大致正交于宽度方向W的方向对齐。

Claims (3)

1.一种制造多个压电振动片的方法，所述多个压电振动片均包括压电板、一对激励电极以及一对安装电极，所述一对激励电极形成于所述压电板的外表面上，用于当对所述一对激励电极施加预定的驱动电压时使得所述压电板振动，所述一对安装电极通过沿着所述压电板的宽度方向构成预定的间距而形成为处于平行对齐的状态，并且利用由压电材料制成的晶圆同时分别电连接到所述一对激励电极上，所述方法包括：

外形形成步骤，其通过利用光刻技术来刻蚀所述晶圆而形成构架部，以及形成为使多个压电板经由连接部以悬臂形状、以将所述多个压电板的基部端侧引导至所述构架部的状态连接到所述构架部上；

电极形成步骤，其通过将电极膜图案化到所述晶圆上而使多对激励电极和多对安装电极分别形成到所述多个压电板上，并且形成经由所述连接部而分别电连接到所述多对安装电极上的多对延伸电极；

频率调节步骤，其通过在成对的所述延伸电极之间施加驱动电压来使得所述压电板振动的同时，调节所述压电板的频率；以及

切割步骤，其通过切割所述连接部而使所述多个压电板成为片段，

其中，在所述电极形成步骤中，成对的所述延伸电极通过沿着所述压电板的宽度方向构成所述间距而形成为处于平行对齐的状态，通过在一侧分别电连接多个所述延伸电极而形成公共延伸电极，一侧上的多个所述延伸电极构成为在所述构架部上沿所述压电板的宽度方向变窄的形状，所述公共延伸电极在一侧上具有大于所述安装电极的接触部分。

2.根据权利要求1所述的制造多个压电振动片的方法，其特征在于，在所述频率调节步骤中，通过在所述公共延伸电极和另一侧上的多个所述延伸电极之间施加驱动电压来同时使多个所述压电板进行振动的同时，调节所述压电板的频率。

3.一种晶圆，其上连接了多个压电振动片，所述多个压电振动片均包括压电板，一对激励电极以及一对安装电极，所述一对激励电极形成于所述压电板的外表面上，用于当对所述一对激励电极施加预定的驱动电压时使得所述压电板振动，所述一对安装电极形成于所述压电板的基部端侧处，通过沿着所述压电板的宽度方向构成预定的间距而处于平行对齐的状态，并且分别电连接到所述一对激励电极上；

其中，所述晶圆包括：

构架部，其经由连接部以悬臂形状、以引导基部端侧的状态来连接；

多对延伸电极，其形成为经由所述连接部而分别电连接到多对安装电极上；以及

公共延伸电极，通过在一侧分别电连接多个所述延伸电极而形成，

其中，成对的所述延伸电极通过沿着所述压电板的宽度方向构成所述间距而形成为处于平行对齐的状态，一侧上的多个所述延伸电极构成为在所述压电板的宽度方向上变窄的形状，所述公共延伸电极在一侧上具有大于所述安装电极的接触部分。

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