CN103326687A - 压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备以及电波钟表 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种能够抑制制造工时数和成本的增加，而且能够抑制接合部件的扩散的压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备以及电波钟表。其特征在于，装配电极（15、16）在基部（10）的一个主面（25）上以离开激励电极的状态形成，引出电极（19、20）包括：基部电极（27），在压电板（11）的另一个主面（26）上形成，并且与激励电极连接；以及导通部（28），使装配电极（15）和基部电极（27）在压电板（11）的厚度方向导通。
Description
技术领域
本发明涉及压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备以及电波钟表。
背景技术
近年来，在便携电话、便携信息终端设备中，作为时间源、控制信号的定时源、参考信号源等，使用利用石英（水晶）等的压电振动器。提供了各式各样的这种压电振动器，但作为其中之一，已知具有所谓的音叉形的压电振动片的压电振动器。
压电振动器例如包括：上述的音叉形的压电振动片、插塞（plug）、与插塞一起将压电振动片气密密封的壳体。插塞包括安装有压电振动片的一对内部引线、保持内部引线的插塞主体。另外，如图18(a)所示，压电振动片200包括：在宽度方向并排配置的一对振动臂部211；将一对振动臂部211的长度方向的基端侧一体固定的基部212；在振动臂部211上形成且在施加了预定的驱动电压时使振动臂部211振动的一对激励电极213；在基部212上形成与一对激励电极213分别电连接的装配电极214；以及将这些激励电极213与装配电极214连接的引出电极215。
此外，一对激励电极213、装配电极214和引出电极215是通过层叠由铬等构成的基础金属层210a(参照图19)和由金等构成的精加工金属层210b而形成的电极层210。
而且，例如在专利文献1中记载了在装配上述的压电振动片200时，将内部引线与装配电极214经由焊料等接合部件E’进行接合的结构。
专利文献
专利文献1：日本特开平09-326668号公报。
另外，通常为了将压电振动片200与接合部件E’牢固固定，将相对于装配电极214(精加工金属层210b)扩散性高的材料选定为接合部件E’。因此，如图18(b)所示，接合部件E’会随着时间在电极层210上扩散开。该现象在热风装配等给接合部件E’带来热量的情况下变得显著。
而且，扩散的接合部件E’越靠近振动臂部211，则对振动状态(压电振动片200的变形量)的影响越大，频率会漂移。另一方面，在将相对于装配电极214扩散性低的材料使用作接合部件E’的情况下，在压电振动片200与接合部件E’之间无法得到充分的固定强度，有压电振动片200从接合部件E’脱落等之忧。
因此，例如如图19(a)所示，考虑去除压电振动片200的电极层210中的、装配电极214以外的部分(引出电极215、激励电极213)的精加工金属层210b，使基础金属层210a露出的结构。根据该结构，如图19(b)所示，由于能够使在装配电极214以外的部分的接合部件E’的扩散性下降，因此将能够将压电振动片200与接合部件E’牢固固定，而且能够防止接合部件E’向装配电极214以外的部分的扩散。
然而，在上述的构成中，在将精加工金属层210b和基础金属层210a一并进行构图后，需要仅将精加工金属层210b进行构图并使基础金属层210a露出。因此，存在制造工时数增加，制造成本增加的问题。
发明内容
因此，本发明的目的在于提供一种能够抑制制造工时数和成本的增加，而且能够抑制接合部件的扩散的压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备以及电波钟表。
为解决上述问题，本发明的压电振动片包括：压电板，具有一对振动臂部以及将所述一对振动臂部的沿着长度方向的基端侧一体固定的基部；激励电极，在所述振动臂部形成并使所述振动臂部振动；装配电极，在所述基部形成，并且经由接合部件将所述压电板安装在外部；以及引出电极，将所述激励电极与所述装配电极连接，其特征在于，所述装配电极在所述基部的一个主面上以离开所述激励电极的状态形成，所述引出电极包括：基部电极，在所述压电板的另一个主面上形成，并且与所述激励电极连接；以及导通部，使所述装配电极与所述基部电极在所述压电板的厚度方向导通。
根据该结构，由于在一个主面上形成的装配电极经由导通部和基部电极在另一个面上与激励电极连接，因此与在同一面上将装配电极与激励电极连接的情况相比，能够延长引出电极的距离。由此，即使在接合部件使用了在装配电极上扩散性高的材料的情况下，也能够抑制接合部件扩散至振动臂部侧。
在该情况下，由于不需要以往那样的去除装配电极以外的部分的电极层等对电极层进行多次构图，因此能够抑制制造工时数和成本的增加，而且能够抑制接合部件的扩散。其结果是，由于能够抑制频率的变动，而且能够将压电振动片牢固固定，因此能够提供振动特性好、且可靠性高的压电振动片。
另外，本发明的压电振动片的特征在于，所述导通部包括：贯通孔，在所述基部中的、所述装配电极与所述基部电极在所述厚度方向重叠的位置，贯通所述基部；以及内表面电极，在所述贯通孔的内表面形成。
根据该结构，由于导通部成为在贯通孔的内表面形成有内表面电极的通孔，因此在装配电极上扩散的接合部件难以进入贯通孔内。
因此，在接合部件绕进基部的另一个主面后，能够可靠地抑制其顺着基部电极扩散至振动臂部侧。
另外，在为了使压电振动片小型化而缩短基部的长度的情况下，基部中与振动臂部的连接部分、同装配电极与接合部件的接合部分的距离接近。这样，被振动臂部激发的振动在基部不会充分衰减而会通过接合部分例如向封装侧泄漏，结果，谐振频率会漂移。这样的现象被称为振动泄漏，若产生该振动泄漏，则由于除了谐振频率会漂移的问题，从电信号向机械振动转换时的损耗还会增大，因此会产生等效串联电阻值(Crystal Impedance(晶体阻抗)：CI值)上升，品质下降的问题。
因此，本发明的压电振动片的特征在于，所述导通部的所述贯通孔与所述装配电极中的接合有所述接合部件的接合部分相比，在沿着所述长度方向的所述振动臂部侧形成。
根据该结构，由于与基部的装配电极与接合部件的接合部分相比，在振动臂部侧形成有导通部，因此与在基部形成有导通部的部分的长度方向垂直的横截面的面积比其他部分的横截面的面积小。由此，能够使被振动臂部激发的振动传导至接合部分侧的路径变窄。因此，能够将振动关入振动臂部侧，能够抑制振动泄漏至基部的接合部分侧。由此，能够有效抑制振动泄漏，能够抑制CI值上升，抑制输出信号的品质下降。
另外，本发明的压电振动片的特征在于，所述基部电极在所述导通部与所述激励电极之间折回多次。
根据该结构，与在激励电极与导通部之间直线地形成基部电极的情况相比，能够延长基部电极的距离。由此，能够可靠地抑制接合部件顺着基部电极扩散至振动臂部侧。
另外，本发明所涉及的压电振动器包括上述本发明的压电振动片，其特征在于，所述压电振动片的所述装配电极经由所述接合部件安装在封装。
根据该结构，由于能够抑制制造工时数和成本的增加，而且抑制接合部件的扩散，将压电振动片牢固固定，因此能够提供振动特性较好，且可靠性高的压电振动器。
另外，本发明所涉及的振荡器的特征在于，上述本发明的压电振动器作为振子与集成电路电连接。
另外，本发明所涉及的电子设备的特征在于，上述本发明的压电振动器与计时部电连接。
另外，本发明所涉及的电波钟表的特征在于，上述本发明的压电振动器与滤波部电连接。
由于在本发明所涉及的振荡器、电子设备以及电波钟表中，包括上述本发明的压电振动器，因此能够提供特性和可靠性好的制品。
根据本发明的压电振动片和压电振动器，能够抑制制造工时数和成本的增加，而且抑制接合部件的扩散。其结果是，由于能够抑制频率的变动，而且能够将压电振动片牢固固定，因此能够提供振动特性好、且可靠性高的压电振动片以及压电振动器。
由于在本发明所涉及的振荡器、电子设备以及电波钟表中，包括上述本发明的压电振动器，因此能够提供特性和可靠性好的制品。
附图说明
图1是本发明的实施方式的压电振动器的外观立体图；
图2是从一个主面侧观察压电振动片的平面图(俯视图)；
图3是从另一个主面侧观察压电振动片的平面图(仰视图)；
图4是压电振动片的侧视图；
图5是沿着图1的A-A线的剖视图；
图6是沿着图1的B-B线的剖视图；
图7是示出压电振动器的制造方法的流程图；
图8是示出压电振动器的制造方法的流程图；
图9是示出压电振动器的制造方法的工序图，是与图1的B-B线相当的剖视图；
图10是示出压电振动器的制造方法的工序图，是从一个主面侧观察压电振动片的基端部的平面图；
图11是从另一个主面侧观察第1变形例所涉及的压电振动片的平面图；
图12是从一个主面侧观察第2变形例所涉及的压电振动片的平面图(俯视图)；
图13是从另一个主面侧观察第2变形例所涉及的压电振动片的平面图(仰视图)；
图14是第2变形例所涉及的压电振动片的侧视图；
图15是示出本发明的一个实施方式的图，是振荡器的结构图；
图16是示出本发明的一个实施方式的图，是电子设备的结构图；
图17是示出本发明的一个实施方式的图，是电波钟表的结构图；
图18是示出以往的压电振动片的平面图；
图19是示出以往的压电振动片的平面图。
附图标记说明
1…压电振动器；2…压电振动片；3…壳体(封装)；4…插塞(封装)；5…压电振动片；8、9…振动臂部；10…基部；11…压电板；14…激励电极；15、16…装配电极；19、20…引出电极；25一个主面；26…另一个主面；27…基部电极；28…导通部；28a…贯通孔；28b…内表面电极；100…振荡器；101…振荡器的集成电路；110…便携信息设备(电子设备)；113…电子设备的计时部；130…电波钟表；131…电波钟表的滤波部；E…接合部件。
具体实施方式
接下来，基于附图说明本发明的实施方式。
(压电振动器)
图1是本实施方式所涉及的压电振动器的立体图。
如图1所示，压电振动器1是圆柱封装型的压电振动器，包括音叉形的压电振动片2、装配有压电振动片2的插塞(封装)4、将插塞4与压电振动片2气密密封的壳体(封装)3。
(压电振动片)
图2是从一个主面侧观察压电振动片的平面图(俯视图)，图3是从另一个主面侧观察的平面图(仰视图)。另外，图4是压电振动片的侧视图。
如图2～4所示，压电振动片2是由石英、钽酸锂、铌酸锂等压电材料形成的音叉形的振动片，在施加预定的电压时进行振动。
压电振动片2具有：压电板11，具有在宽度方向并排而互相平行配置的一对振动臂部8、9，和将这些一对振动臂部8、9的基端侧一体固定的基部10；以及电极层18，形成在压电板11上。此外，在以下的说明中，在压电板11的主面25、26的面方向中，将振动臂部8、9的延伸方向简称为长度方向，沿着长度方向的振动臂部8、9侧简称为前端侧，将基部10侧简称为基端侧，并且将振动臂部8、9的排列方向简称为宽度方向，将压电板11的厚度方向简称为厚度方向。
图5是沿着图1的A-A线的剖视图，图6是沿着图1的B-B线的剖视图。
如图5、6所示，电极层18在施加预定的电压时使一对振动臂部8、9振动，依次层叠由铬(Cr)等构成的基础金属层18a和由金(Au)等构成的精加工金属层18b构成。
基础金属层18a是为了提高与精加工金属层18b和压电板11的紧贴性，夹在压电板11与精加工金属层18b之间而形成。精加工金属层18b利用与基础金属层18a相同的图案覆盖基础金属层18a而形成。
具体而言，如图2～4所示，电极层18具有：激励电极14，在一对振动臂部8、9的外表面上形成，由使一对振动臂部8、9振动的第1激励电极12和第2激励电极13构成；装配电极15、16，在基部10形成，并且经由后述的接合部件E(参照图1)安装压电振动片2；以及引出电极19、20，分别将这些第1激励电极12及第2激励电极13和装配电极15、16连接。
激励电极14是使一对振动臂部8、9向互相接近或者离开的方向以预定的谐振频率振动的电极，在一对振动臂部8、9的外表面分别以电切断的状态进行构图而形成。第1激励电极12主要形成于一个振动臂部8的两个主面25、26上的基端部，以及另一个振动臂部9的两个主面25、26上的前端部和另一个振动臂部9的两个侧面上。另一方面，第2激励电极13主要形成于一个振动臂部8的两个主面25、26上的前端部和一个振动臂部8的两个侧面，以及另一个振动臂部9的两个主面25、26上的基端部。
此处，进一步详细说明上述的激励电极12、13。
本实施方式的激励电极12、13分别由主面电极部21、侧面电极部22和连接电极部23构成。此外，由于各激励电极12、13绕通过压电板11的宽度方向的中心、沿着长度方向延伸的对称轴形成为点对称，所以在以下的说明中，说明各激励电极12、13中的第1激励电极12，而省略第2激励电极13的说明。
主面电极部21在压电板11的主面25、26上，遍及基部10的前端部和一个振动臂部8的基端部连续地形成，俯视下相对于振动臂部8形成为狭窄的长方形。
侧面电极部22在压电板11的侧面中避开基部10的基端部的位置，具体而言在另一个振动臂部9的两个侧面遍及整个长度方向形成，并且形成于基部10的振动臂部9侧的侧面的前端部。这样，在本实施方式中，在基部10的两个侧面的基端部不形成电极层18，在基部10的两个主面25、26间电切断的状态下，电极层18被构图。
连接电极部23在另一个振动臂部9的前端部，将侧面电极部22的前端部彼此连接，另一方面，在基部10的主面25、26上，将侧面电极部22与主面电极部21的基端部彼此连接。具体而言，连接电极部23在另一个振动臂部9的前端部，将在位于宽度方向的内侧的侧面形成的侧面电极部22与在位于宽度方向的外侧的侧面形成的侧面电极部22连接。
另外，连接电极部23在基部10的一个主面25上，将主面电极部21的基端部与在位于另一个振动臂部9的宽度方向的外侧的侧面形成的侧面电极部22连接，并且在另一个主面26上，将主面电极部21的基端部与在位于一个振动臂部8的宽度方向的内侧的侧面形成的侧面电极部22连接。
如图2、5、6所示，装配电极15、16在基部10中，在一个主面25上的基端部在宽度方向并排形成。在该情况下，装配电极15、16在基部10的一个主面25上，在与上述的激励电极12、13电切断的状态下构图。即，装配电极15、16在基部10的一个主面25上形成为浮岛状。
此处，引出电极19、20包括：基部电极27，形成于基部10中的另一个主面26上；以及导通部28，使装配电极15、16与基部电极27在厚度方向导通。
首先，导通部28是通孔，包括在装配电极15、16的中央部沿厚度方向贯通基部10的贯通孔28a；以及形成于贯通孔28a的内表面的内表面电极28b。内表面电极28b与上述的装配电极15、16等同样，是层叠有基础金属层18a和精加工金属层18b而成的电极层18，在贯通孔28a的内表面，至少沿着厚度方向连续地形成。而且，内表面电极28b的一个主面25侧的端部分别与装配电极15、16的内周缘电连接。
基部电极27在基部10的另一个主面26上，包括：凸台部36，在厚度方向与所述的装配电极15、16重叠的位置形成；以及迂回电极37，将凸台部36与各激励电极12、13连接。
凸台部36在基部10的另一个主面26上围住导通部28而形成，其内周缘与内表面电极28b的另一个主面26侧的端部电连接。
迂回电极37中的一个迂回电极37与一个凸台部36在第1激励电极12的侧面电极部23连接，另一个迂回电极37与另一个凸台部36在第2激励电极13的连接电极部23连接。
壳体3如图1所示，形成为有底圆筒状，在将压电振动片2收纳在内部的状态下，相对于插塞4的后述的芯柱（stem）30的外周压入而嵌合固定。此外，该壳体3的压入在真空气氛下进行，壳体3内的包围压电振动片2的空间为保持真空的状态。
插塞4具有：使壳体3封闭的芯柱30；贯通该芯柱30而平行配置的2条导线端子31；以及填充在芯柱30的内侧并使芯柱30与导线端子31固定的绝缘性的填充料32。芯柱30由金属材料形成为环状。另外，作为填充料32的材料，例如是硼硅酸玻璃。
2条导线端子31的向壳体3内突出的部分为内部引线31a，向壳体3外突出的部分为外部引线31b。导线端子31的直径例如约为0.12mm，作为导线端子31的母材的材质，常用科瓦铁镍钴合金(FeNiCo合金)。
如图5所示，在导线端子31的表面和芯柱30的外周覆盖有镀覆层35。作为用于包覆的镀覆的材质，基础膜35a使用铜(Cu)镀覆等，精加工膜35b使用熔点例如为300度左右的高熔点焊料镀覆(锡和铅的合金，其重量比为1：9)。
而且，内部引线31a与装配电极15、16是使精加工膜(高熔点焊料镀覆)35b熔解而形成，经由接合部件E装配在装配电极15、16的精加工金属层18b上的。具体而言，接合部件E在压电板11的一个主面25上，在装配电极15、16上覆盖上述的导通部28而形成。即，在内部引线31a与装配电极15、16经由接合部件E机械地接合的同时被电连接。其结果是，压电振动片2处于装配在2条导线端子31的状态。
此外，接合部件E经由装配电极15、16和引出电极19、20与激励电极12、13电连接。在该情况下，由于装配电极15、16与引出电极19、20的凸台部36如上所述由导通部28电连接，因此不需要将接合部件E填充在导通部28的内侧。但是，在后述的装配工序时，接合部件E即使由于毛细管现象等流入导通部28内而附着在导通部28的内表面也没关系。
此外，所述2条导线端子31的一端侧(外部引线31b侧)与外部电连接，另一端侧(内部引线31a侧)作为相对于压电振动片2装配的外部连接端子起作用。
另外，通过隔着包覆在芯柱30的外周的镀覆层35并且与壳体3的内周在真空中冷压接，可以在真空状态下将壳体3的内部气密密封。
在使这样构成的压电振动器1工作的情况下，对2条导线端子31的外部引线31b施加预定的驱动电压。由此，经由内部引线31a、接合部件E、装配电极15、16和引出电极19、20，能够在由第1激励电极12和第2激励电极13构成的激励电极14流过电流，能够使一对振动臂部8、9以预定的频率向接近、离开的方向进行振动。
而且，利用该一对振动臂部8、9的振动，能够用作时间源、控制信号的定时源、参考信号源等。
(压电振动器的制造方法)
接下来，说明上述的压电振动器的制造方法。图7、8是示出压电振动器的制造方法的流程图。
首先，如图7所示，以预定的角度对石英的朗伯原矿石进行切片，得到一定的厚度的晶片S。接下来，对该晶片S(参照图9)进行研磨并粗加工后，用蚀刻去除加工变质层，之后进行磨光等镜面抛光加工，得到预定厚度的晶片S(S10)。
接下来，进行将抛光后的晶片S形成为多个压电板11的外形形状的外形形成工序(S20)。具体而言，通过将构图为压电板11的外形形状的蚀刻保护膜(未图示)作为掩模进行蚀刻加工，能够选择性去除不被蚀刻保护膜掩模的区域，形成压电板11的外形形状。在与该压电板11的外形形成的同时，在装配电极15、16与凸台部36的形成区域在厚度方向重叠的位置形成成为导通部28的贯通孔28a。此外，压电板11为经由未图示的连结部与晶片S连结的状态，直至进行之后进行的切断工序(S40)。
此处，在多个压电板11的外表面上层叠基础金属层18a和精加工金属层18b，进行形成电极层18(激励电极14、引出电极19、20和装配电极15、16)的电极层形成工序(S30)。
图9是示出压电振动器的制造方法的工序图，是与图1的B-B线相当的剖视图。
首先，如图9(a)所示，在压电板11上通过沉积或溅射等依次对基础金属层18a和精加工金属层18b进行成膜(S31)。此时，除了在压电板11的两个主面25、26上以及侧面全周，在贯通孔28a的内表面也层叠电极层18。
接下来，如图9(b)所示，利用喷涂等对光致抗蚀剂膜41进行成膜后，用光刻技术进行构图(S32)。此时，电极层18的形成区域被构图，以由光致抗蚀剂膜41包覆。然后，将留下的光致抗蚀剂膜41作为掩模，如图9(c)所示，进行对电极层18进行蚀刻加工的蚀刻工序(S33)。由此，形成层叠有基础金属层18a和精加工金属层18b的电极层18(激励电极14、装配电极15、16、和引出电极19、20)。此时，在基部10的一个主面25上，装配电极15、16与激励电极12、13在电切断的状态下被构图；并且在基部10的另一个主面26上，迂回电极19、20与激励电极12、13在电连接的状态下被构图。此外，基部10的侧面的基端部在两个主面25、26间在电切断的状态下被构图而形成。
之后通过去除光致抗蚀剂膜41，电极层形成工序(S30)结束。
接下来，进行切断工序(S40)，将连结晶片S与压电振动片2的连结部切断，将多个压电振动片2从晶片S割断，分为单片。由此，能够从晶片S一次制造多个形成有电极层18(激励电极14、装配电极15、16、和引出电极19、20)的压电振动片2。
接下来，如图8所示，进行制作插塞4的气密端子制作工序(S60)。
接下来，进行在插塞4的导线端子31的外表面和芯柱30的外周，用湿式镀覆法包覆同一材料的镀覆层的镀覆工序(S71)。
这样，通过将由基础膜35a和精加工膜35b(参照图5)构成的镀覆层35包覆在导线端子31，能够将内部引线31a与压电振动片2连接。另外，由于不仅压电振动片2的连接，而且包覆在芯柱30的外周的镀覆层35具有柔软地弹性变形的特性，因此能够将芯柱30与壳体3冷压接，能够进行气密接合。
图10是示出压电振动器的制造方法的工序图，是从一个主面侧观察压电振动片的基端部的平面图。
而且，如图10(a)所示，进行将压电振动片2中的、在一个主面25(安装面)侧形成的装配电极15、16接合至内部引线31a的装配工序(S74)。具体而言，边在超过300度的温度下对内部引线31a加热，边以预定的压力使内部引线31a与压电振动片2叠加。由此，内部引线31a的精加工膜35b即高熔点焊料镀覆会熔解，浸润扩展在装配电极15、16(精加工金属层18b)上。由此，能够将内部引线31a与装配电极15、16连接。其结果是，能够装配压电振动片2。即，压电振动片2处于被导线端子31机械地支持，并且电连接的状态。
此外，在将内部引线31a与装配电极15、16连接时，进行的是加热、加压装配，但也可以利用热风、超声波等来进行连接。
此处，如图10(b)所示，若将装配电极15、16与内部引线31a接合，则接合部件E在装配电极15、16上扩散。此时，在本实施方式中，由于在基部10的一个主面25上，装配电极15、16与激励电极12、13电切断，因此能够抑制接合部件E顺着电极层18扩散至振动臂部8、9侧。
另外，由于装配电极15、16与基部电极27经由导通部28连接，因此接合部件E难以进入贯通孔28a内。因此，在接合部件E绕进基部10的另一个主面26后，能够抑制其顺着基部电极27扩散至振动臂部8、9侧。
并且，由于装配电极15、16和引出电极19、20在基部10的两个主面25、26间电切断，因此能够抑制接合部件E顺着基部10的侧面从一个主面25绕进至另一个主面26。
接下来，在进行密封工序之前，为了消除上述的装配所引起的形变，在预定的温度下进行烘烤(S75)。
最后，进行壳体压入工序(S76)，将壳体3压入芯柱30，使得装配的压电振动片2收纳在内部，将压电振动片2气密密封。具体而言，边在真空中施加预定的负荷，边将壳体3压入插塞4的芯柱30的外周。这样，由于在芯柱30的外周形成的金属膜会弹性变形，因此能够利用冷压接进行气密密封。由此，能够在壳体3内封闭压电振动片2来进行真空密封。
此外，在进行该工序之前，优选的是充分加热压电振动片2、壳体3和插塞4，使表面吸附水分等脱离。
然后，在壳体3的固定结束后，进行筛选(S77)。该筛选是为了实现频率、谐振电阻值的稳定化，并且抑制在压入了壳体3的嵌合部产生压缩应力引起的金属晶须而进行的。
筛选结束后，进行内部的电特性检查(S78)。然后，最后进行压电振动器1的外观检查，最终检查尺寸或品质等。其结果是，能够制造图1所示的压电振动器1。
这样，在本实施方式中的结构为，装配电极15、16在基部10的一个主面25上以离开激励电极12、13的状态形成，引出电极19、20包括使装配电极15、16与基部电极27在厚度方向导通的导通部28。
根据该结构，由于在一个主面25上形成的装配电极15、16经由导通部28和基部电极27，在另一个主面26上与激励电极12、13连接，因此与在同一面上将装配电极15、16与激励电极12、13连接的情况相比，能够延长引出电极19、20的距离。因此，即使在接合部件E使用了在装配电极15、16上扩散性高的材料的情况下，也能够抑制接合部件E顺着电极层18扩散至振动臂部8、9侧。
在该情况下，由于不需要以往那样的去除装配电极15、16以外的部分的精加工金属层18b等对电极层18进行多次构图，因此能够抑制制造工时数和成本的增加，而且能够抑制接合部件的扩散。其结果是，由于能够抑制频率的变动，而且能够将压电振动片2牢固固定，因此能够提供振动特性好、且可靠性高的压电振动片2。
特别是，由于本实施方式的导通部28为在贯通孔28a的内表面形成有内表面电极28b的通孔，因此在装配电极15、16上扩散的接合部件E难以进入贯通孔28a内。因此，在接合部件E绕进基部10的另一个主面26后，能够可靠地抑制其顺着基部电极27扩散至振动臂部8、9侧。
另外，由于本实施方式的精加工金属层18b由金构成，接合部件E由焊料(高熔点焊料镀覆)构成，因此接合部件E在装配电极15、16(精加工金属层18b)上良好地扩散。因此，能够将压电振动片2与接合部件E牢固固定。
而且，在本实施方式的压电振动器1中，由于上述的压电振动片2经由接合部件E装配在插塞4，因此能够提供振动特性好、且可靠性高的压电振动器1。
(第1变形例)
接下来，说明本实施方式的第1变形例。图11是从另一个主面侧观察第1变形例所涉及的压电振动片的平面图。此外，在以下的说明中，与上述的第1实施方式同样的结构标注同一附图标记，省略说明。
如图11所示，本变形例的压电振动片2的迂回电极37形成为围住凸台部36的矩形的螺旋状。而且，该迂回电极37的内侧端部与凸台部36连接，外侧端部与迂回电极37连接。
根据该结构，取得与上述的第1实施方式同样的作用效果，并且与在激励电极12、13与凸台部36之间直线地形成迂回电极37的情况相比，能够延长迂回电极37的距离。由此，能够可靠地抑制接合部件E顺着迂回电极37扩散至振动臂部8、9侧。
另外，上述的迂回电极37不限于螺旋状，通过在激励电极12、13与凸台部36之间折回多次的蜿蜒等，能够延长迂回电极37的距离。此外，迂回电极37的折回部分是指其弯曲角度为90°以上的部分。
(第2变形例)
接下来，说明本实施方式的第2变形例。图12是从一个主面侧观察第2变形例所涉及的压电振动片的平面图，图13是从另一个主面侧观察的平面图。
另外，图14是第2变形例所涉及的压电振动片的侧视图。
如图12～14所示，本变形例的压电振动片2的导通部28配设在装配电极15、16的前端部，即装配电极15、16中与接合有接合部件E的接合部分相比的前端侧。本变形例的导通部28的贯通孔28a具有在装配电极15、16的前端部边缘沿着宽度方向延伸的俯视下长方形的开口，在其内表面形成有内表面电极28b。
另外，基部电极27通过从凸台部36的基端部边缘进一步向基端侧延伸后，向前端侧折回，与激励电极12、13连接。
另外，在为了使压电振动片2小型化而缩短基部10的长度的情况下，基部10中与振动臂部8、9的连接部分同装配电极15、16与接合部件E的接合部分的距离接近。这样，被振动臂部8、9激发的振动在基部10不会充分衰减而会通过接合部分，例如向插塞4侧泄漏，结果，谐振频率会漂移。这样的现象被称为振动泄漏，若产生该振动泄漏，则由于除了谐振频率会漂移的问题，从电信号向机械振动转换时的损耗还会增大，因此会产生等效串联电阻值(Crystal Impedance：CI值)上升，质量下降的问题。
对此，在本实施方式的压电振动片2中，由于与基部10的装配电极15、16与接合部件E的接合部分相比，在前端侧形成有导通部28的贯通孔28a，因此在基部10与形成有贯通孔28a的部分的长度方向垂直的横截面的面积比其他部分的横截面的面积小。由此，能够使被振动臂部8、9激发的振动传导至接合部分侧的路径变窄。因此，能够将振动关入振动臂部8、9侧，能够抑制振动泄漏至基部10的接合部分侧。由此，能够有效抑制振动泄漏，能够抑制CI值上升，抑制输出信号的品质下降。
此外，在上述的本变形例中，说明了贯通孔28a在压电板11的两个主面25、26开口的结构，但不限于此，也可以是在基部10的朝向宽度方向的外侧的侧面开口的结构。即，基部10的形成有导通部28的部分也可以形成为与其他部分相比宽度窄的狭窄部的中间缩窄形。
(振荡器)
接下来，参照图15说明本发明所涉及的振荡器的一个实施方式。
本实施方式的振荡器100如图15所示，将压电振动器1作为与集成电路101电连接的振子而构成。该振荡器100包括安装有电容器等电子元器件102的基板103。在基板103安装有振荡器用的上述的集成电路101，在该集成电路101的附近安装有压电振动器1。这些电子元器件102、集成电路101及压电振动器1分别由未图示的布线图案电连接。另外，各构成器件由未图示的树脂模制。
在这样构成的振荡器100中，若对压电振动器1施加电压，则该压电振动器1内的压电振动片2会振动。该振动利用压电振动片2所具有的压电特性而转换为电信号，作为电信号输入到集成电路101。输入的电信号被集成电路101进行各种处理，作为频率信号输出。
据此，压电振动器1作为振子起作用。
另外，通过将集成电路101的结构，例如根据要求选择性地设定RTC(实时时钟)模块等，除钟表用单功能振荡器等之外，可以附加控制该设备或外部设备的动作日或时刻，提供时刻或日历等功能。
如上所述，根据本实施方式的振荡器100，由于包括振动特性好且可靠性高的压电振动器1，因此能够提供特性和可靠性好、高品质、且能够长期得到稳定的高精度的频率信号的振荡器100。
(电子设备)
接下来，参照图16说明本发明所涉及的电子设备的一个实施方式。另外，作为电子设备，以具有所述的压电振动器1的便携信息设备110为例进行说明。首先，本实施方式的便携信息设备110例如以便携电话为代表，将现有技术的手表进行了发展、改良。外观类似于手表，在相当于表盘的部分配置液晶显示器，可以使当前的时刻等显示在该画面上。另外，在用作通信机时，从手腕取下，利用在表带的内侧部分内置的扬声器及麦克风，可以进行与现有技术的便携电话同样的通信。然而，与现有的便携电话比较，格外小型化及轻量化。
接下来，说明本实施方式的便携信息设备110的结构。该便携信息设备110如图16所示，包括压电振动器1、以及用于提供电力的电源部111。电源部111例如由锂充电电池制成。在该电源部111并联连接有：进行各种控制的控制部112、进行时刻等计数的计时部113、与外部进行通信的通信部114、显示各种信息的显示部115、以及检测各功能部的电压的电压检测部116。而且，利用电源部111向各功能部提供电力。
控制部112控制各功能部并进行声音数据的发送及接收、当前时刻的计测或显示等系统整体的动作控制。另外，控制部112包括：预先写入有程序的ROM、读出写入在该ROM的程序并执行的CPU、以及作为该CPU的工件区域使用的RAM等。
计时部113包括内置有振荡电路、寄存器电路、计数器电路及接口电路等的集成电路；以及压电振动器1。若对压电振动器1施加电压则压电振动片2会振动，该振动利用石英所具有的压电特性而被转换为电信号，作为电信号输入到振荡电路。振荡电路的输出被二值化，由寄存器电路与计数器电路计数。然后，通过接口电路，与控制部112进行信号的收发，在显示部115显示当前时刻或当前日期或者日历信息等。
通信部114具有与现有的便携电话相同的功能，包括无线部117、声音处理部118、切换部119、放大部1、声音输入输出部121、电话号码输入部122、来电音产生部123及呼叫控制存储器部124。
无线部117通过天线125与基站进行声音数据等各种数据的收发的交换。声音处理部118对从无线部117或者放大部120输入的声音信号进行编码及解码。放大部120将从声音处理部118或者声音输入输出部121输入的信号放大到预定的水平。声音输入输出部121由扬声器或麦克风等构成，将来电音或接收声音扩声，或收集声音。
另外，来电音产生部123根据来自基站的呼出而生成来电音。切换部119通过仅在来电时，将与声音处理部118连接的放大部120切换至来电音产生部123，在来电音产生部123生成的来电音经由放大部120输出至声音输入输出部121。
另外，呼叫控制存储器部124存储通信的发出到达呼叫控制所涉及的程序。另外，电话号码输入部122例如包括0至9的号码键及其他键，通过按下这些号码键等，输入通话对方的电话号码等。
电压检测部116在利用电源部111对控制部112等各功能部施加的电压低于预定的值时，检测其电压下降并通知给控制部112。此时的预定的电压值是作为用于使通信部114稳定动作所需的最低限的电压而预先设定的值，例如为3V左右。从电压检测部116接收电压下降的通知的控制部112，禁止无线部117、声音处理部118、切换部119及来电音产生部123的动作。特别是必须要停止耗电较大的无线部117的动作。再有，在显示部115显示通信部114由于电池余量不足而不能使用这一内容。
即，利用电压检测部116与控制部112禁止通信部114的动作，可以将其内容显示在显示部115。该显示可以是字符消息，作为更直观的显示，也可以在显示于显示部115的显示面的上部的电话图标加上×(叉)标记。
另外，通过包括可以将通信部114的功能所涉及的部分的电源选择性地截断的电源截断部126，可以更可靠地停止通信部114的功能。
如上所述，根据本实施方式的便携信息设备110，由于包括振动特性好且可靠性高的压电振动器1，因此能够提供特性和可靠性好、高品质、且能够长期显示稳定的高精度的钟表信息的便携信息设备110。
(电波钟表)
接下来，参照图17说明本发明所涉及的电波钟表的一个实施方式。
本实施方式的电波钟表130如图17所示，包括与滤波部131电连接的压电振动器1，具有接收含有钟表信息的标准电波，自动修正至准确的时刻并显示的功能。
在日本国内，在福岛县(40kHz)与佐贺县(60kHz)有发送标准电波的发送站(发送局)，分别发送标准电波。40kHz或者60kHz这样的长波由于一并具有在地表传播的性质、以及在电离层和地表边反射边传播的性质，因此传播范围较宽，由上述的2个发送站网罗了日本国内全境。
下面，详细说明电波钟表130的功能结构。
天线132接收40kHz或者60kHz的长波的标准电波。长波的标准电波是将称为时间代码的时刻信息，在40kHz或者60kHz的载波进行AM调制。接收的长波的标准电波被放大器133放大，被具有多个压电振动器1的滤波部131滤波、调谐。
本实施方式的压电振动器1分别包括具有与上述的传输频率相同的40kHz和60kHz的谐振频率的石英振子部138、139。
并且，被滤波的预定频率的信号被检波整流电路134检波解调。通过波形整形电路135取出时间代码，由CPU136进行计数。在CPU136中读取当前的年、累积日、星期几、时刻等信息。读取的信息由RTC137反映，显示准确的时刻信息。
由于载波是40kHz或者60kHz，因此石英振子部138、139优选的是具有所述音叉形的构造的振子。
另外，上述说明以日本国内为例进行表示，但长波的标准电波的频率在海外不同。例如，在德国使用77.5KHz的标准电波。因此，在将能对应海外的电波钟表130装入便携式设备时，还需要与日本的情况不同频率的压电振动器1。
如上所述，根据本实施方式的电波钟表130，由于包括振动特性好且可靠性高的压电振动器1，因此能够提供特性和可靠性好、高品质、且能够长期稳定地高精度对时刻进行计数的电波钟表130。
以上，参照附图详细说明了本发明的实施方式，但具体的构成不限于本实施方式的构成，还包含不脱离本发明的要点的范围的设计等。
例如，在上述的实施方式中，作为压电振动器的一个例子，以圆柱封装型、表面安装型的压电振动器1为例进行了说明，但不限于该压电振动器1。例如，也可以将陶瓷封装型的压电振动器、圆柱封装型的压电振动器1进一步用模制树脂部固定，作为表面安装型振子。
另外，在上述的实施方式中，说明了使在内部引线31a的外周面形成的高熔点焊料镀覆熔解，将内部引线31a与装配电极15、16接合的情况，但也可以存在用于在内部引线31a与装配电极15、16之间将两者接合的焊料等所构成的凸点(接合部件)，将两者接合。在该情况下，凸点的浸润性良好，能够可靠地将内部引线31a与装配电极15、16接合。此外，接合部件E不限于焊料，可以适用金等各种材质。
另外，在上述的实施方式中，说明了将导通部28作为通孔的结构，但不限于此。例如，也可以在贯通孔28a内填充导电性材料，或者在贯通孔28a内埋设导电性的芯材等，装配电极15、16与基部电极27在厚度方向导通。另外，作为导通部28，也可以是在基部10的位于基端侧的端面形成电极层18，经由该电极层18将装配电极15、16与基部电极27连接的结构。
此外，在不脱离本发明内容的范围内，可以适当将上述实施方式的构成要素替换为已知的构成要素，另外也可以将上述的变形例适当组合。
Claims (8)
1. 一种压电振动片，包括：
压电板，具有一对振动臂部以及将所述一对振动臂部的沿着长度方向的基端侧一体固定的基部；
激励电极，在所述振动臂部形成并使所述振动臂部振动；
装配电极，在所述基部形成，并且经由接合部件将所述压电板安装在外部；以及
引出电极，将所述激励电极与所述装配电极连接，
压电振动片特征在于，
所述装配电极在所述基部的一个主面上以离开所述激励电极的状态形成，
所述引出电极包括：
基部电极，在所述压电板的另一个主面上形成，并且与所述激励电极连接；以及
导通部，使所述装配电极与所述基部电极在所述压电板的厚度方向导通。
2. 如权利要求1所述的压电振动片，其特征在于，
所述导通部包括：
贯通孔，在所述基部中的、所述装配电极与所述基部电极在所述厚度方向重叠的位置，贯通所述基部；以及
内表面电极，在所述贯通孔的内表面形成。
3. 如权利要求2所述的压电振动片，其特征在于，
所述导通部的所述贯通孔与所述装配电极中的接合有所述接合部件的接合部分相比，在沿着所述长度方向的所述振动臂部侧形成。
4. 如权利要求1至3的任意1项所述的压电振动片，其特征在于，所述基部电极在所述导通部与所述激励电极之间折回多次。
5. 一种压电振动器， 包括权利要求1至4的任意1项所述的压电振动片，其特征在于，
所述压电振动片的所述装配电极经由所述接合部件安装于封装。
6. 一种振荡器，其特征在于，
权利要求5所述的所述压电振动器作为振子与集成电路电连接。
7. 一种电子设备，其特征在于，
权利要求5所述的所述压电振动器与计时部电连接。
8. 一种电波钟表，其特征在于，
权利要求5所述的所述压电振动器与滤波部电连接。
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