CN101502984B - 硅片切割机用切割线的收放线结构 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及硅片切割机用切割线的收放线结构，其用于切割机切割硅片时，只要配以匹配的流体磨料，就可以方便、快速的对硅片进行切割，针对不同的加工件，不许要频繁更换部件，效率高。其包括卷绕电机和放线电机，所述卷绕电机和放线电机分别对应连接卷绕轮和放线轮，所述放线轮上的钢丝线依次绕过升降轮、轮组后绕过沿平行布置的两个导轮后再绕调整轮，接着沿另一轮组以及另一升降轮后绕于所述卷绕轮。

Description

硅片切割机用切割线的收放线结构
(一)技术领域
本发明涉及硅片切割机的部件技术领域，具体为硅片切割机用切割线的收放线结构。
(二)背景技术
传统的切割硅晶片设备通常采用磨床磨削切割，而磨削加工在工业上起着重要作用，它的主要特点是产生的切屑细小，加工精度高，砂轮具有自锐性，这使磨削具有一系列优点。现在业内对单晶硅脆性材料的超精密磨削加工作了大量的实验研究，研究结果表明，对于单晶硅等脆性材料，其表面粗糙度主要与砂轮的平均磨粒尺寸、进给量等因素有关。当采用超精密磨床并在Vs＝1200m/min、f＝0-500μm/rev、ap＝0.1-10μm的磨削条件下磨削时，只有当金刚石砂轮的平均磨粒尺寸低于20μm，才能在塑性磨削模式下加工出高质量的光滑表面，其磨削后的表面粗糙度为rms：5.14nm、Ra：3。这样对于磨床而言，磨削不同的工件，需要更换砂轮，而置换砂轮，一方面调整繁琐，另一方面，砂轮的修整占用时间，耗费时间。
(三)发明内容
针对问题，本发明提供了一种硅片切割机用切割线的收放线结构，将其用于切割机对硅片的切割，速度会效率高，且针对不同的加工件，不许要频繁更换部件。
其技术方案是这样的：其特征在于：其包括卷绕电机和放线电机，所述卷绕电机和放线电机分别对应连接卷绕轮和放线轮，所述放线轮上的钢丝线依次绕过升降轮、轮组后绕过沿平行布置的两个导轮后再绕调整轮，接着沿另一轮组以及另一升降轮后绕于所述卷绕轮。
其进一步特征在于：所述升降轮安装于转轴，所述转轴安装于摆杆的一端，所述摆杆的另一端安装于支架；所述调整轮、升降轮和所述轮组分别设置于所述导轮的下侧和上侧；所述轮组分别包括3个导向轮。
将上述结构用于切割机，切割硅片时，只要配以匹配的流体磨料，就可以方便、快速的对硅片进行切割，效率高。
(四)附图说明
图1为本发明主视的结构示意图。
(五)具体实施方式
见图1，本发明包括卷绕电机和放线电机1，卷绕电机和放线电机1分别对应连接卷绕轮11和放线轮2，放线轮2上的钢丝线依次绕过升降轮10、轮组(轮组包括导轮4、14、15)后绕过沿平行布置的两个导轮12、7后再绕调整轮13，接着沿另一轮组(轮组包括导轮19、17、18)以及另一升降轮(图2中被导轮17遮住)后绕于卷绕轮11。升降轮10以及另一升降轮分别安装于转轴16，转轴16分别安装于摆杆5的一端，摆杆5的另一端分别安装于支架6；调整轮13、升降轮10和导轮4、14、15分别设置于导轮12、7的下侧和上侧。3为钢丝线，8为主辊电机、9为机架。

Claims (1)

1.硅片切割机用切割线的收放线结构，其包括卷绕电机和放线电机，所述卷绕电机和放线电机分别对应连接卷绕轮和放线轮，其特征在于：所述放线轮上的钢丝线依次绕过第一升降轮、第一轮组后绕过沿平行布置的两个导轮后再绕调整轮，接着沿另一轮组以及另一升降轮后绕于所述卷绕轮；所述第一升降轮以及另一升降轮分别安装于转轴，所述转轴安装于摆杆的一端，所述摆杆的另一端安装于支架；所述调整轮、所述第一升降轮和所述第一轮组分别设置于所述平行布置的两个导轮的下侧和上侧；所述第一轮组和另一轮组分别包括3个导轮。
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