CN101497484A - 一种处理三氯化铁蚀刻废液的方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种处理三氯化铁蚀刻废液的方法，特别是一种处理含镍三氯化铁蚀刻废液的方法，主要采用二段萃取除铁，实现镍、铁的完全分离：一段萃取有机相组合为体积比15～40％萃取剂+10～20％协萃剂+40～75％稀释剂；二段萃取有机相组合为体积比20～50％萃取剂+5～10％协萃剂+40～75％稀释剂，两段所用的萃取剂、协萃剂均有多种选择；在严格控制工艺参数的条件下，通过两段萃取，使蚀刻废液所含的铁再生成液态三氯化铁产品，镍再生成氯化镍产品，克服了现有技术的种种不足，铁、镍分离效果好，效率高，成本低，在实现三氯化铁蚀刻废液无害化的同时，最大程度地实现了有价金属的资源化回收利用，技术应用前景广阔。

Description

一种处理三氯化铁蚀刻废液的方法

技术领域

本发明涉及一种处理三氯化铁蚀刻废液的方法，特别是一种处理含镍三氯化铁蚀刻废液的方法。

技术背景

在印制线路板生产过程中，通常采用高浓度液态FeCl₃来蚀刻铁族金属与难熔金属(如镍)组成的荫罩。用高浓度三氯化铁作为蚀刻液，可使整个蚀刻反应温和地进行而不会产生气泡，从而生产出表面致密、品质好的荫罩。但是，随着蚀刻工序的持续进行，在蚀刻过程中，三氯化铁会被蚀刻金属铁和镍还原为二氯化铁，产生的氯化镍也会进入至蚀刻液中。这样，蚀刻液中三氯化铁浓度下降，蚀刻效率与效果随之下降；同时，蚀刻液中的Ni²⁺浓度随之升高，导致了蚀刻表面粗糙化，影响线路板产品质量。为了避免蚀刻效率的下降和保证产品质量，必须周期性地把用过的含镍三氯化铁蚀刻液从系统中作为废液排出。

同样的情况亦出现在大屏电视机显示器的生产过程中。大屏幕电视机显象管的荫罩网也是以高纯度铁镍合金板片(Fe64％、Ni36％)为基材做成的，也是采用酸性三氯化铁蚀刻液在铁镍合金片上蚀刻出均匀的网孔。从而，周期性地排出含镍三氯化铁蚀刻废液。

含镍三氯化铁蚀刻废液的化学组分及含量见下表。

表-1 含镍三氯化铁蚀刻废液的化学成分和含量

 

成分	浓度(g/L)
		Fe3+	200.00～250.00
Fe2+	1.00～10.00
		Ni2+	10.0～50.00
Cl-	300.00～500.00
		H+	0.10～1.00(mol/L)

含镍三氯化铁蚀刻废液属国家危险废物名录中规定的第46类危险废物(含镍废物)。镍离子属国家废水排放标准中的一类污染物，若不妥善处理，不仅会造成环境污染，而且大量的铁、镍作为废物弃之，亦是一种巨大的资源浪费。所以，在无害化处理含镍三氯化铁蚀刻废液的时候，应考虑尽可能地回收利用其有用成分。

目前，处理此类废液的方法主要有：隔膜电解法、蒸发浓缩结晶法、碱中和分步沉淀法、铁粉还原法等。这些方法均存在着这样那样的不足，分述如下：

(1)隔膜电解法：其设备复杂，膜材料依赖进口，处理成本高，镍、铁分离效果较差。

(2)蒸发浓缩结晶法：该法结晶所得的三氯化铁或氯化镍纯度低，常出现三氯化铁产品中有氯化镍，氯化镍产品中有三氯化铁现象，限制了再生产品的应用。

(3)碱中和分步沉淀法：生产成本高，镍铁分离不彻底。

(4)铁粉还原法：是我国常用的蚀刻废液再生利用方法，即采用高质量的过量铁粉来置换蚀刻废液中的Ni²⁺，有的还加元素硫进行硫化，使溶液中的Ni²⁺置换下来或以硫化镍的形式沉淀下来；置换或沉镍后，溶液中的铁以Fe²⁺形态存在，需使用氯气将其氧化再生为三氯化铁。

铁粉还原法的不足之处在于：

①所采用的铁粉价格昂贵，处理成本高。在该工艺过程中，用铁置换镍时，也会将排出的蚀刻废液中尚存在含量在15％以上的Fe³⁺还原成Fe²⁺，置换完成后，又需用氯气将溶液中的Fe²⁺再氧化成Fe³⁺，这一先还原后氧化的过程浪费了大量铁粉，同时也增大了氯气的用量，导致处理成本较高。

②此法所产生的镍渣中往往还有大量的铁，导致镍的品位低，下一步回收镍的生产成本较高。

针对上述处理方法所存在的种种缺陷，发明一种高效地萃取分离铁、镍的方法对含镍三氯化铁蚀刻废液进行回收处理无疑有着现实的紧迫性和必要性。

发明内容

本发明旨在提供一种高效萃取的方法以回收三氯化铁蚀刻废液中的镍并再生三氯化铁，在实现废液无害化的同时，最大程度地资源化利用。

本发明的目的是这样实现的，含镍三氯化铁蚀刻废液采用二段萃取除铁，实现镍、铁的完全分离。步骤包括：

(1)本发明所涉及的两段萃取均采用“萃取剂+协萃剂+稀释剂”的有机相组合，其中：

一段萃取的有机相组合为：体积比15～40％萃取剂+10～20％协萃剂+40～75％稀释剂，萃取剂为仲辛醇、仲辛基苯氧乙酸、双仲辛基甲基叔胺中的任何一种或多种以一定比例混配，协萃剂为三烷基叔胺(N235)、三正辛胺(TOA)、三正庚胺(N208)、N-己基异辛酰胺(MNA)、仲碳伯胺(N1923)、N-正辛基己内酰胺(OCLA)中的一种或多种以一定比例混配，稀释剂为煤油。

二段萃取的有机相组合为：体积比20～50％萃取剂+5～10％协萃剂+40～75％稀释剂，萃取剂为2-羟基-4-仲辛基-二苯甲酮肟，协萃剂为三烷基氧化膦、三苯基氧化膦、三辛基氧化膦、三烷基硫化膦中的一种或多种以一定比例混配，稀释剂为煤油。

(2)向“15～40％萃取剂+10～20％协萃剂+40～75％稀释剂”的有机相组合、萃原液(三氯化铁蚀刻废液)中任何一种加入其体积5～15％的盐酸进行2～4级逆流酸化处理，收集废酸并进行无害化处理。

(3)对酸化后的萃原液进行8～10级逆流萃取，萃余液进入氧化处理工段，对负载有机相进行5～8级逆流反萃，用水作反萃剂，采用多次加入法向靠近水相出口级里加入一定量的NaOH溶液，使水相pH始终保持在0.5～1.5之间，浓缩反萃液即得液态三氯化铁产品。

(4)向一段萃取的萃余液加入氧化剂进行氧化处理，然后进行2～4级逆流二段萃取，采用“20～50％萃取剂+5～10％协萃剂+40～75％稀释剂”组合有机相。

(5)二段萃取的负载有机相进行2～4级逆流反萃，水为反萃剂，反萃液用NaOH、碳酸钠、碳酸氢钠中的任何一种或几种进行中和，pH控制在7.0～8.5之间，压滤，废水进一步处理后达标排放，铁渣安全填埋。

(6)二段萃取的萃余液进行1～3级逆流残酸萃取，然后加入碳酸钠、碳酸氢钠中的任何一种进行中和沉镍，沉淀槽pH值控制在9.5～10.5之间，然后压滤，收集滤液废酸并进行无害化处理，镍沉淀物反溶、净化后得碳酸镍沉淀，用盐酸酸溶得氯化镍产品。

本发明中，一段萃取的相比O/H(有机相O与水相H的体积之比)取值范围为：4≤O/H≤10，二段萃取的相比的取值范围为：1≤O/H≤5。这样做是因为：萃取时，水相与有机相两相体积比对萃取率有直接的影响，相比过大或过小对萃取都不利，相比的大小取决于萃取剂的萃取率和被萃物质的多少。一般情况下，相比愈大，萃取率愈高。但相比增大，意味着需要使用的有机相量愈多，这将导致有机相的损失增加，富集程度降低，对降低产品成本和保护环境等都是不利的。一段萃取时，当O/H≥4时，四次单级萃取获得的萃余液中残余Fe³⁺的量小于10g/L，考虑到蚀刻废液中Fe³⁺的浓度较高，萃取时的相比取值大一点萃取效率较高，但O/H超过10时，有机相的损失则明显增加；二段萃取时，因Fe³+浓度已大大降低，O/H小一些则可在保证萃取效果的前提下尽可能地降低成本，因此，O/H的取值范围确定在1～5之间是合适的。

本发明中，萃取级数依据串级萃取理论中的级数公式进行计算：

m_n＝m[V_A/(V₀·α+V_A)]ⁿ

式中：

m_n—第n次串级萃取后残液中被萃金属元素的剩余量

m—萃取前萃原液中待萃金属元素的总量

V₀---有机相体积

V_A---水相体积

n---串级萃取平衡的级数

α---分配比

分配比α是这样确定的，先进行一次四级逆流串级试验，试验条件为：

采用“40％萃取剂+15％协萃剂+50稀释剂”有机相组合，其中：萃取剂为仲辛醇、仲辛基苯氧乙酸、双仲辛基甲基叔胺中的任何一种或多种以一定比例混配，协萃剂为三烷基叔胺(N235)、三正辛胺(TOA)、三正庚胺(N208)、N-己基异辛酰胺(MNA)、仲碳伯胺(N1923)、N-正辛基己内酰胺(OCLA)中的一种或多种以一定比例混配，稀释剂为煤油，萃原液为含镍三氯化铁蚀刻废液。

有机相萃取前先用其体积5～15％的浓盐酸进行三级逆流串级酸化，相比O/H为4～10之间的任意确定的数值，振荡混合5分钟，温度为25～27℃，四级逆流串级萃取平衡后，取出口水相(萃余液)为样品，测定萃余液中Fe³⁺、Cl^-、[H⁺]浓度，代入公式求解即可得平均分配比α。

设定萃取相目标为：串级萃取平衡后，萃余液中残留Fe³⁺浓度≤10g/L，相比O/H取值4～10之间任意确定的数值，将平均分配比α带入上述公式即可计算出要达到目标值的理论级数。

本发明较好的方案可以是：步骤2所述的酸化预处理采用浓度较高的盐酸直接对有机相组合进行多级逆流串级酸化。这是因为：采用对有机相进行加酸酸化预处理的方法优于将酸加入萃原液(含镍三氯化铁蚀刻废液)中，使用浓度较高的盐酸酸化组合有机相较使用浓度较低的酸酸化效果更显著，多级逆流串级方式酸化比单级多次方式酸化消耗酸的量更小，萃入有机相的酸体积数量却更大，产生的残余酸液数量小，可大大节约生产成本。

本发明较好的方案可以是：步骤4所述的一段萃取萃余液氧化处理工艺段，当萃原液中Fe³⁺浓度≤30g/L时，采用氯气、双氧水、氯酸钠中的一种作为氧化剂进行氧化处理；当萃原液中Fe³⁺浓度≥30g/L时，采用氯气、双氧水、氯酸钠中任何两种组成的氧化剂组合进行氧化处理。这样做的好处是，根据氧化对象的浓度调整氧化剂组合及其氧化性强度，可以提高氧化效果，节约成本并可避免带入其它杂质离子进入系统；当采用两种氧化剂组成氧化剂组合时，两种氧化剂的氧化能力会产生正协同效应，从而大幅提升氧化能力。

本发明较好的方案可以是：在三氯化铁反萃工艺段，以水为反萃剂，有机相的体积与反萃剂的体积比(反萃相比)与萃取时的相比O/H大小相同。这样做的好处是，所获得反萃液的体积与蚀刻废液萃取前的体积大小相等，浓度也接近，不至于增加反萃工艺段的负担。

本发明较好的方案可以是：向在三氯化铁反萃工艺段所得的三氯化铁反萃液补加Fe(OH)₃和少量酸来提高铁的含量。这样做的好处是：一段萃取完成后，用水和碱控制反萃所得的三氯化铁反萃液中Fe³⁺的含量达不到工业上作蚀刻用途的液体三氯化铁对Fe³⁺的含量要求，补加Fe(OH)₃和少量酸提高铁的含量后，可以免除后续的蒸发浓缩工艺段，从而便捷地实现液态三氯化铁循环回用。

本发明较好的方案也可以是：在酸化工艺段，在操作间设置负压抽风装置，抽风装置末端连接碱液罐。这样做的好处是，在盐酸酸化预处理时产生的氯化氢气体可即时抽走，并导入碱液罐进行中和吸收，从而达到无害化处理氯化氢气体的目的。

本发明较好的方案又可以是：步骤2所述的酸化预处理所产生的废酸与步骤6所述的二段萃取中萃余液残酸萃取所产生的废液合并，采用石灰进行无害化中和处理，pH控制在6.5～8.0之间，中和渣安全填埋，废水排放。这是因为，这些残余废液中不存在有害重金属离子，采用石灰中和后，中和渣的成分主要是CaSO₄，可安全填埋，从而低成本地实现了无害化。

本发明较好的方案还可以是：步骤5所述的二段萃取负载有机相反萃压滤产生的废水与步骤6所述的二段萃取中萃余液沉镍工序产生的沉镍后液与涤水进行合并，采用先加碱中和处理，pH控制在6.5～8.0之间，再加少量硫化钠稳定化处理的方式进行处理。这是因为：这些废水含有残余Ni²⁺和残余酸，Ni²⁺浓度约为20mg/L，这样做可以低成本地实现无害化处理并达标排放。

采用本发明所涉及的方法处理三氯化铁蚀刻废液，具有以下优点

(1)可以有效弥补现有技术的种种不足，分离效果好，效率高；

(2)采用本发明可充分保证蚀刻废液中的镍、铁分离，达到三氯化铁的再生利用，并得到纯度较高的氯化镍溶液；

(3)萃取剂选择范围大，成本低，萃取效果好，可以有效节约处理成本；

附图说明

图-1是本发明的工艺流程示意图。

具体实施方式

下面结合具体的实施例对本发明进行更加详细的说明，本发明的保护范围包括但不限于以下实施例。

实例1：

一种来源A线路板厂的含镍三氯化铁蚀刻废液，呈深棕红色，密度为1.48，经化学分析成份如下表：

表-2 含镍三氯化铁蚀刻废液的化学成分和含量

 

成分	浓度(g/L)
		Fe3+	216.30
Fe2+	2.57
		Ni2+	19.75
Cl-	436.4
		H+	0.22mol/L

一段萃取有机相组合为：15％双仲辛基甲基叔胺+10％N-己基异辛酰胺+70％煤油，二段萃取有机相组合为：20％2-羟基-4-仲辛基-二苯甲酮肟+5％三烷基氧化膦+75％煤油。

向“15％双仲辛基甲基叔胺+10％N-己基异辛酰胺+70％煤油”有机相组合中加入其体积5％的盐酸进行3级逆流酸化处理，收集废酸并进行无害化处理。

对酸化后的萃原液进行10级逆流萃取，相比O/H为8，萃余液进入氧化处理工序，对一段萃取的负载有机相进行6级逆流反萃，用水作反萃剂，采用多次加入法向靠近水相出口级里加入一定量的NaOH溶液，使水相pH始终保持在0.5～1.0之间，浓缩反萃液得液态三氯化铁产品，达到GB4483—93规定的工业级液态三氯化铁优等品的相关质量指标。经检测，该液态三氯化铁含Fe³⁺ 250g/L，也达到了线路板蚀刻工序所要求的三氯化铁蚀刻液的质量要求，可作为再生蚀刻液循环利用。

向一段萃取的萃余液加入一定量的双氧水进行氧化处理后，进行3级逆流二段萃取。负载有机相进行2级逆流反萃，水为反萃剂，反萃液用碳酸钠溶液进行中和，pH控制在7.0～8.0之间，压滤，固形物——铁渣安全填埋。

二段萃取的萃余液进行2级逆流残酸萃取，后加入碳酸钠溶液进行中和沉镍，沉淀槽pH值控制在9.5-10.2之间，然后压滤，镍沉淀物反溶、净化后得碳酸镍沉淀，用盐酸酸溶即得氯化镍产品。

将二段萃取中负载有机相反萃压滤所产生的废水与二段萃取中萃余液沉镍工序产生的沉镍后液及洗涤水进行合并，采用先加熟石灰中和处理，pH控制在6.5～7.0之间，再加少量硫化钠稳定化处理的方式进行处理，废水达标排放。

实例2：

一种来源B线路板厂的含镍三氯化铁蚀刻废液，呈深棕红色，密度为1.53，经化学分析成份如下表：

表-3 含镍三氯化铁蚀刻废液的化学成分和含量

 

成分	浓度(g/L)
		Fe3+	245.50
Fe2+	6.45
		Ni2+	25.75
Cl-	475.60
		H+	0.46mol/L

一段萃取有机相组合为：30％仲辛醇+15％N-正辛基己内酰胺+55％煤油，二段萃取有机相组合为：35％2-羟基-4-仲辛基-二苯甲酮肟+8％三辛基氧化膦+57％煤油。

向“30％仲辛醇+15％N-正辛基己内酰胺+55％煤油”有机相组合中加入其体积10％的盐酸进行4级逆流酸化处理，收集废酸并进行无害化处理。

对酸化后的萃原液进行9级逆流萃取，相比O/H＝8，萃余液进入氧化处理工序，对一段萃取的负载有机相进行8级逆流反萃，用水作反萃剂，采用多次加入法向靠近水相出口级里加入一定量的NaOH溶液，使水相pH始终保持在0.5～1.2之间，浓缩反萃液得液态三氯化铁产品，达到GB4483—93规定的工业级液态三氯化铁优等品的相关质量指标。经检测，该液态三氯化铁含Fe³⁺ 220g/L，也达到了线路板蚀刻工序所要求的三氯化铁蚀刻液的质量要求，可作为再生蚀刻液循环利用。

向一段萃取的萃余液加入双氧水+氯酸钠的氧化剂组合进行氧化处理后，进行4级逆流二段萃取。负载有机相进行3级逆流反萃，水为反萃剂，反萃液用NaOH溶液进行中和，pH控制在7.0～8.5之间，压滤，固形物——铁渣安全填埋。

二段萃取的萃余液进行3级逆流残酸萃取，后加入碳酸氢钠溶液进行中和沉镍，沉淀槽pH值控制在9.5～10.0之间，然后压滤，镍沉淀物反溶、净化后得碳酸镍沉淀，用盐酸酸溶得氯化镍产品。

将二段萃取中负载有机相反萃压滤所产生的废水与二段萃取中萃余液沉镍工序产生的沉镍后液及洗涤水进行合并，采用先加熟石灰中和处理，pH控制在6.5～7.5之间，再加少量硫化钠稳定化处理的方式进行处理，废水达标排放。

实例3：

一种来源C线路板厂的含镍三氯化铁蚀刻废液，呈深棕红色，密度为1.49，经化学分析成份如下表：

表-4 含镍三氯化铁蚀刻废液的化学成分和含量

 

成分	浓度(g/L)
		Fe3+	228.50
Fe2+	4.65
		Ni2+	35.50
Cl-	455.60
		H+	0.30mol/L

一段萃取有机相组合为：40％仲辛基苯氧乙酸+10％N-正辛基己内酰胺+50％煤油，二段萃取有机相组合为：40％2-羟基-4-仲辛基-二苯甲酮肟+5％三辛基氧化膦+55％煤油。

向“40％仲辛基苯氧乙酸+10％N-正辛基己内酰胺+50％煤油”有机相组合中加入其体积15％的盐酸进行2级逆流酸化处理，收集废酸并进行无害化处理。

对酸化后的萃原液进行8级逆流萃取，相比O/H为8，萃余液进入氧化处理工序，对一段萃取的负载有机相进行6级逆流反萃，用水作反萃剂，采用多次加入法向靠近水相出口级里加入一定量的NaOH溶液，使水相pH始终保持在0.5～1.5之间，浓缩反萃液得液态三氯化铁产品，达到GB4483—93规定的工业级液态三氯化铁优等品的相关质量指标。经检测，该液态三氯化铁含Fe³⁺210g/L，达到了线路板蚀刻工序所要求的三氯化铁蚀刻液的质量要求，可作为再生蚀刻液循环利用。

向一段萃取的萃余液加入一定量的氯酸钠进行氧化处理后，进行2级逆流二段萃取。负载有机相进行2级逆流反萃，水为反萃剂，反萃液用NaOH溶液进行中和，pH控制在7.0～8.0之间，压滤，固形物铁渣安全填埋。

二段萃取的萃余液进行2级逆流残酸萃取，后加入碳酸氢钠溶液进行中和沉镍，沉淀槽pH值控制在9.0～10.0之间，然后压滤，镍沉淀物反溶、净化后得碳酸镍沉淀，用盐酸酸溶得氯化镍产品。

将二段萃取中负载有机相反萃压滤所产生的废水与二段萃取萃余液沉镍工序产生的沉镍后液及洗涤水进行合并，采用先加熟石灰中和处理，pH控制在6.5～7.0之间，再加少量硫化钠稳定化处理的方式进行处理，废水达标排放。

Claims (8)

1、一种处理三氯化铁蚀刻废液的方法，其特征在于：所述的含镍三氯化铁蚀刻废液采用二段萃取除铁，实现镍、铁的完全分离。步骤包括：

(1)两段萃取均采用萃取剂+协萃剂+稀释剂的有机相组合，其中：

一段萃取的有机相组合为：体积比15～40％萃取剂+10～20％协萃剂+40～75％稀释剂，萃取剂为仲辛醇、仲辛基苯氧乙酸、双仲辛基甲基叔胺中的任何一种或多种以一定比例混配，协萃剂为三烷基叔胺(N235)、三正辛胺(TOA)、三正庚胺(N208)、N-己基异辛酰胺(MNA)、仲碳伯胺(N1923)、N-正辛基己内酰胺(OCLA)中的一种或多种以一定比例混配，稀释剂为煤油。

二段萃取的有机相组合为：体积比20～50％萃取剂+5～10％协萃剂+40～75％稀释剂，萃取剂为2-羟基-4-仲辛基-二苯甲酮肟，协萃剂为混合三烷基氧化膦、三苯基氧化膦、三辛基氧化膦、三烷基硫化膦中的一种或多种以一定比例混配，稀释剂为煤油。

(2)向“15～40％萃取剂+10～20％协萃剂+40～75％稀释剂”有机相组合、萃原液中任何一种加入其体积5～15％的盐酸进行2～4级逆流酸化处理，收集废酸并进行无害化处理。

(3)对酸化后的萃原液进行8～10级逆流萃取，萃余液进入氧化处理工段，对负载有机相进行5～8级逆流反萃，用水作反萃剂，采用多次加入法向靠近水相出口级里加入一定量的NaOH溶液，使水相pH始终保持在0.5～1.5之间，浓缩反萃液得液态三氯化铁产品。

(4)向一段萃取的萃余液加入氧化剂进行氧化处理，然后进行2～4级逆流二段萃取，采用“20～50％萃取剂+5～10％协萃剂+40～75％稀释剂”组合有机相。

(5)二段萃取的负载有机相进行2～4级逆流反萃，水为反萃剂，反萃液用NaOH、碳酸钠、碳酸氢钠中的任何一种或几种进行中和，pH控制在7.0～8.5之间，压滤，废水进一步处理后达标排放，铁渣安全填埋。

(6)二段萃取的萃余液进行1～3级逆流残酸萃取，然后加入碳酸钠、碳酸氢钠中的任何一种进行中和沉镍，沉淀槽pH值控制在9.5～10.5之间，然后压滤，收集滤液废酸并进行无害化处理，镍沉淀物反溶、净化后得碳酸镍沉淀，用盐酸酸溶得氯化镍产品。

2、根据权利要求1所述的一种处理三氯化铁蚀刻废液的方法，其特征在于：一段萃取的相比O/H(有机相O与水相H之比)取值范围为：4≤O/H≤10，二段萃取的相比的取值范围为：1≤O/H≤5。

3、根据权利要求1所述的一种处理三氯化铁蚀刻废液的方法，其特征在于：步骤2所述的酸化预处理采用浓度较高的盐酸直接对有机相组合进行多级逆流串级酸化。

4、根据权利要求1所述的一种处理三氯化铁蚀刻废液的方法，其特征在于：步骤4所述的一段萃取萃余液氧化处理工艺段，当萃原液中Fe³⁺≤30g/l时，采用氯气、双氧水、氯酸钠中的一种作为氧化剂进行氧化处理，当萃原液中Fe³+≥30g/l时，采用氯气、双氧水、氯酸钠中任何两种组成的氧化剂组合。

5、根据权利要求1所述的一种处理三氯化铁蚀刻废液的方法，其特征在于：在步骤3所述的三氯化铁反萃工段，以水为反萃剂，有机相的体积与反萃剂的体积比(反萃相比)与萃取时的大小相同。

6、根据权利要求1所述的一种处理三氯化铁蚀刻废液的方法，其特征在于：步骤2所述的在酸化工段，在操作间设置负压抽风装置，抽风装置末端连接碱液罐。

7、根据权利要求1所述的一种处理三氯化铁蚀刻废液的方法，其特征在于：步骤2所述的酸化预处理所产生的废酸与步骤6所述的二段萃取中萃余液残酸萃取所产生的废液合并，采用石灰进行无害化中和处理，pH控制在6.5～8.0之间，中和渣安全填埋，废水排放。

8、根据权利要求1所述的一种处理三氯化铁蚀刻废液的方法，其特征在于：步骤5所述的二段萃取负载有机相反萃压滤产生的废水与步骤6所述的二段萃取中萃余液沉镍工序产生的沉镍后液与涤水进行合并，采用先加碱中和处理，pH控制在6.5～8.0之间，再加少量硫化钠稳定化处理的方式进行处理。

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