CN101488469A - 翻转装置与翻转基板的方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种翻转装置与翻转基板的方法，该翻转装置包括翻转架及气流导引单元。翻转架内部为中空。翻转架具有相对的第一吸附面与第二吸附面，其分别设有多个第一孔洞。气流导引单元包括控制模块、第一管线组及第二管线组。第一管线组的一端连接至控制模块，另一端伸入翻转架内部并连接至设于第一吸附面的第一孔洞。第二管线组的一端连接至控制模块，另一端伸入翻转架内部并连接至设于第二吸附面的第一孔洞。控制模块用于使第一吸附面及第二吸附面的其中之一能吸附基板，而翻转架用于翻转吸附于第一吸附面与第二吸附面的其中之一的基板。从而避免浪费电能，并提高翻转基板的效率。

Description

翻转装置与翻转基板的方法

技术领域

本发明是有关于一种翻转装置，且特别是有关于一种用于吸附基板并翻转基板的翻转装置与翻转基板的方法。

背景技术

随着液晶显示技术的进步加上液晶显示装置具有重量轻且体积小等优点，液晶显示装置已广泛地应用于多种电子产品，如数字相机、个人数字助理(personal digital assistant，PDA)、行动电话、笔记型计算机(notebookcomputer)以及平面薄型化电视等。液晶显示装置包括液晶显示面板与背光模块，其中液晶显示面板是由两个基板以及位于此两个基板之间的液晶层所构成。在将此两个基板组立的过程中，需先藉由翻转装置将其中一个基板翻面，之后再进行基板的组立。

现有的翻转装置具有固定架与翻转架，其中翻转架枢接于固定架。翻转架仅具有一个吸附面，其用以吸附基板。当翻转架的吸附面吸附基板且翻转架沿预定方向翻转180度时，被翻转架所吸附的基板会随之翻转180度，如此可将基板翻面。在将基板翻面后，可藉由机械手臂接收基板，以进行后续基板组立制程。然而，由于翻转架只有一个吸附面，所以在基板被机械手臂移走后，需将翻转架沿着与上述预定方向相反的方向翻转180度，以将翻转架的吸附面归位，来继续吸附并翻转另一基板。如此，不仅浪费时间，且由于翻转翻转架时须耗费电能，遂造成制造成本的增加。

发明内容

本发明所解决的技术问题在于，提供一种翻转装置，以避免浪费电能，以及提升翻转基板的效率。

为达上述优点，本发明提出一种翻转装置，其用于吸附基板并翻转此基板。此翻转装置包括翻转架以及气流导引单元。翻转架内部为中空，且翻转架具有相对的第一吸附面与第二吸附面，而第一吸附面与第二吸附面分别设有多个第一孔洞。气流导引单元包括控制模块、第一管线组以及第二管线组。第一管线组的一端连接至控制模块，另一端伸入翻转架内部并连接至设于第一吸附面的第一孔洞。第二管线组的一端连接至控制模块，另一端伸入翻转架内部并连接至设于第二吸附面的第一孔洞。控制模块用于使第一吸附面及第二吸附面的其中之一能吸附基板，而翻转架用于翻转吸附于第一吸附面与第二吸附面的其中之一的基板。

在本发明的一实施例中，上述的翻转架更具有多个支撑管与用以吸附基板的多个吸附垫，且每一吸附垫具有第二孔洞。支撑管的一端连接于第一孔洞，吸附垫套设于支撑管的另一端，且第一管线组与第二管线组经由第一孔洞与支撑管而连接至第二孔洞。

在本发明的一实施例中，上述的翻转装置更包括机械手臂，其具有多个承载臂与多个吸附嘴。吸附嘴设于承载臂上，且支撑管的高度实质大于机械手臂的承载臂与吸附嘴的迭加高度，以供机械手臂伸入支撑管之间。

在本发明的一实施例中，上述的翻转装置更包括第一机械手臂。第一吸附面与第二吸附面的其中之一面向接收侧，第一吸附面与第二吸附面的其中另一面向卸载侧，且第一机械手臂用于伸入面向接收侧的支撑管之间，以将基板运送至面向接收侧的吸附垫上。

在本发明的一实施例中，上述的翻转装置更包括第二机械手臂。第一吸附面与第二吸附面的其中之一面向接收侧，第一吸附面与第二吸附面的其中另一面向卸载侧，且第二机械手臂用于伸入面向卸载侧的支撑管之间，以接收面向卸载侧的基板。

在本发明的一实施例中，上述的翻转架包括封闭框与多个中空柱。封闭框的内部为中空，而中空柱连接于封闭框。每一中空柱的内部空间与封闭框的内部空间相通，且第一孔洞是设置于每一中空柱的相对的两表面。

在本发明的一实施例中，上述这些中空柱平行排列。

在本发明的一实施例中，上述的封闭框具有转轴，且此转轴包括相对的二个枢接部。此二个枢接部位于封闭框的相对两侧边。

在本发明的一实施例中，上述的枢接部内部为中空，而第一管线组与第二管线组经由枢接部至少其中之一的内部伸入翻转架内部。

在本发明的一实施例中，上述的翻转装置更包括固定架，而枢接部枢接于固定架。

在本发明的一实施例中，上述的翻转装置更包括固定架，而翻转架枢接于固定架。

在本发明的一实施例中，上述的控制模块包括至少一个第一控制阀与至少一个第二控制阀，其中第一控制阀连接至第一管线组，而第二控制阀连接至第二管线组。

为达上述优点，本发明还提出一种翻转基板的方法，其用于依序翻转多个基板。翻转基板的方法包括下列步骤：(a)提供具有翻转架的翻转装置，其中翻转架具有相对的二吸附面，且当吸附面的其中之一面向接收侧时，吸附面的其中另一面向卸载侧。(b)将基板其中之一传送至面向接收侧的吸附面，以藉由位于接收侧的吸附面吸附基板。(c)翻转翻转架，以使吸附基板的吸附面面向卸载侧，且使未吸附基板的吸附面面向接收侧。(d)接收面向卸载侧的吸附面所吸附的基板。(e)重复步骤(b)至(d)。

在本发明的一实施例中，上述的步骤(b)是藉由第一机械手臂传送基板，其中第一机械手臂吸附基板的第一面并传送至面向接收侧的吸附面之后，面向接收侧的吸附面吸附基板的第一面。

在本发明的一实施例中，上述的步骤(c)是使翻转架沿转轴翻转180度。

在本发明的一实施例中，上述的步骤(d)是藉由第二机械手臂接收基板，其中第二机械手臂伸入面向卸载侧的吸附面与基板之间来接收基板。

在本发明的一实施例中，上述的步骤(d)是藉由第二机械手臂接收基板，其中第二机械手臂吸附基板的一第一面以接收基板之前，面向卸载侧的吸附面吸附基板的第一面。

在本发明的一实施例中，在步骤(d)中，在接收基板之前更包括将翻转架从第一位置移动至第二位置，且在接收基板之后更包括将翻转架从第二位置移动至第一位置。

在本发明的一实施例中，在步骤(c)中，在翻转翻转架之前更包括将翻转架从第一位置移动至第二位置，而在步骤(d)中，在接收基板之后更包括将翻转架从第二位置移动至第一位置。

本发明的翻转装置的翻转架具有二个吸附面(即第一吸附面与第二吸附面)，所以翻转架在将基板翻面后，可直接藉由另一吸附面来吸附另一基板，如此可避免浪费电能，并提高翻转基板的效率。此外，本发明的翻转基板的方法所使用的翻转装置其翻转架具有二个吸附面。当翻转架将基板翻面后，可直接藉由另一吸附面来吸附另一基板，如此可避免浪费电能，并提高翻转基板的效率。

为让本发明的上述和其它目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。

附图说明

图1是本发明一实施例的一种翻转装置的俯视示意图；

图2A是沿图1中I-I’线所见的翻转架的剖面示意图；

图2B是气流导引单元伸入图1的翻转架的示意图；

图3是本发明一实施例的翻转装置的机械手臂的示意图；

图4A至图4D是本发明一实施例的翻转基板的方法。

其中，附图标记：

80：基板                  60a、60b：负压源

70a、70b：空气源          82：第一面

84：第二面                200：翻转装置

210：翻转架               214：支撑管

215：吸附垫               230：固定架

211：第一吸附面           212：第二吸附面

213：第一孔洞             216：第二孔洞

217：封闭框               218：中空柱

219：枢接部               220：气流导引单元

222：控制模块             222a：第一控制阀

222b：第二控制阀          224：第一管线组

224a：第一管线            224b：第二管线

224c：第三管线            226：第二管线组

226a：第四管线            226b：第五管线

226c：第六管线            240：机械手臂

240a：第一机械手臂          240b：第二机械手臂

242：承载臂                 243：吸附嘴

具体实施方式

图1是本发明一实施例的一种翻转装置的俯视示意图，图2A是沿图1中I-I’线所见的翻转架的剖面示意图，图2B是气流导引单元连接图1的翻转架的示意图，其中图2B是以翻转架的其中一个中空柱的剖面示意图来表示翻转架。请参照图1、图2A与图2B，本实施例的翻转装置200用于吸附基板(图中未示)并翻转此基板。此翻转装置200包括翻转架210以及气流导引单元220。翻转架210内部为中空，且翻转架210具有相对的第一吸附面211与第二吸附面212，而第一吸附面211与第二吸附面212分别设有多个第一孔洞213。气流导引单元220包括控制模块222、第一管线组224以及第二管线组226。第一管线组224的一端连接至控制模块222，另一端伸入翻转架210内部并连接至设于第一吸附面211的第一孔洞213。第二管线组226的一端连接至控制模块222，另一端伸入翻转架210内部并连接至设于第二吸附面212的第一孔洞213。控制模块222用于使第一吸附面211及第二吸附面212的其中之一能吸附基板，而翻转架210用于翻转吸附于第一吸附面211与第二吸附面212的其中之一的基板。需说明的是，图2B所示的气流引导单元220的管线分布仅是连接关系示意图，并非用以限制实际管线的尺寸、弯曲角度、比例、延伸深度、位置等条件，本领域的技术人员可依实际情况调整。

上述的翻转装置200中，当第一吸附面211面向接收侧时，第二吸附面212面向卸载侧，而当第一吸附面211面向卸载侧时，第二吸附面212面向接收侧。面向接收侧的第一吸附面211或第二吸附面212用于接收基板并吸附基板，而面向卸载侧的第一吸附面211或第二吸附面212用于将被其所吸附的基板卸载。关于接收基板与卸载基板的细节，将在后文中说明。此外，翻转架210还可具有多个支撑管214与用以吸附基板的多个吸附垫215，且每一吸附垫215具有第二孔洞216。这些支撑管214是配置于第一吸附面211与第二吸附面212，且每一支撑管214的一端是连接于一个第一孔洞213，而吸附垫215是套设于支撑管214的另一端。第一管线组224与第二管线组226可经由第一孔洞213与支撑管214而连接至第二孔洞216。此外，翻转架210例如包括封闭框217与多个中空柱218。封闭框217的内部为中空，而中空柱218连接于封闭框217。每一中空柱218的内部空间与封闭框217的内部空间相通，且上述第一孔洞213是设置于每一中空柱218的相对的两表面。也就是说，上述的第一吸附面211与第二吸附面212可由每一中空柱218的相对的两表面所构成。本发明可利用中空柱218结构的搭配，使实际管线可沿着中空柱218分布，使管线较有条理且较不会紊乱易于纠结，在控管线路与维护线路达到较佳的效果。另外，上述这些中空柱218例如是平行排列。本发明不限于此，亦可依实际需求调整中空柱218的尺寸、分布位置、数目、排列方向等条件。

上述的第一管线组224例如包括一个第一管线224a、多个第二管线224b与多个第三管线224c。第一管线224a的一端连接至控制模块222，另一端伸入封闭框217内，而这些第二管线224b连接至第一管线224a，且每一第二管线224b伸入一个中空柱218内。每一第三管线224c则是连接第二管线224b，且第三管线224c经由设于第一吸附面211的第一孔洞213与支撑管214而连接至吸附垫215的第二孔洞216。此外，上述的第二管线组226例如包括一个第四管线226a、多个第五管线226b与多个第六管线226c。第四管线226a的一端连接至控制模块222，另一端伸入封闭框217内，而这些第五管线226b连接至第四管线226a，且每一第五管线226b伸入一个中空柱218内。每一第六管线226c则是连接第五管线226b，且第六管线226c经由设于第二吸附面212的第一孔洞213与支撑管214而连接至吸附垫215的第二孔洞216。

上述的控制模块222可包括一个第一控制阀222a与一个第二控制阀222b，其中第一控制阀222a连接至第一管线组224的第一管线224a与负压源60a，而第二控制阀222b连接至第二管线组226的第四管线226a与负压源60b。连接至负压源60a的第一控制阀222a开启时，第一管线组224可与负压源60a连通，如此可使设于第一吸附面211上的吸附垫215具有吸附基板的能力。同理，连接至负压源60b的第二控制阀222b开启时，第二管线组226可与负压源60b连通，如此可使第二吸附面212上的吸附垫215具有吸附基板的能力。此外，控制模块222还可包括另一个连接至空气源70a的第一控制阀222a与另一个连接至空气源70b的第二控制阀222b。连接至空气源70a的第一控制阀222a开启时，第一管线组224可与空气源70a连通，如此可使设于第一吸附面211上的吸附垫215丧失吸附基板的能力，以卸下基板。同理，连接至空气源70b的第二控制阀222b开启时，第二管线组226可与空气源70b连通，如此可使设于第二吸附面212上的吸附垫215丧失吸附基板的能力，以卸下基板。另外，上述的负压源60a、60b例如是真空源，而上述的第一控制阀222a与第二控制阀222b例如是电磁阀，但不限于此，亦可依实际需求选择适当的控制阀种类、数目或其线路配置等。空气源70a、70b可采用洁净干燥的压缩空气源，但不限于此，亦可视需求变更气体种类、气体压力等条件。

上述的翻转装置200还可包括固定架230，而翻转架210枢接于固定架230。具体而言，翻转架210的封闭框217可具有转轴，且此转轴包括相对的二个枢接部219。此二个枢接部219分别位于封闭框217的相对两侧边，且枢接部219可枢接于固定架230。此外，枢接部219的内部可为中空，而第一管线组224与第二管线组226可经由此二个枢接部219至少其中之一的内部伸入翻转架210的内部。也就是说，第一管线224a与第四管线226a可经由同一枢接部219的内部伸入封闭框217的内部，或是分别经由不同的枢接部219的内部伸入封闭框217的内部。

图3是本发明一实施例的翻转装置的机械手臂的示意图。请参照图2A与图3，上述的翻转装置200还可包括机械手臂240，其用于伸入支撑管214之间，用以接收基板或传递基板。此外，机械手臂240可包括多个承载臂242与多个吸附嘴243，而吸附嘴243是设于承载臂242上，且吸附嘴243用以吸附基板。

以下将以上述的翻转装置200为例来说明本发明一实施例的翻转基板的方法。

图4A至图4D是本发明一实施例的翻转基板的方法，其中图4A至图4D中所绘示的翻转装置是侧视示意图。请先参照图4A，本实施例的翻转基板的方法用于依序翻转多个基板。此翻转基板的方法包括下列步骤：步骤(a)，提供具有翻转架的翻转装置，且翻转架具有相对的二个吸附面。在本实施例中所提供的翻转装置例如是上述的翻转装置200，其翻转架210的第一吸附面211与第二吸附面212的其中之一面向接收侧时，第一吸附面211与第二吸附面212的其中另一面向卸载侧。在图4A至图4D中接收侧例如是位于翻转架210上方，而卸载侧例如是位于翻转架210下方。

步骤(b)，如图4B所示，将一个基板80传送至面向接收侧的吸附面(如第一吸附面211)，以利用位于接收侧的吸附面(如第一吸附面211)吸附基板80。此基板80具有相对的第一面82与第二面84，其中第二面84例如形成有彩色滤光层、驱动电路层或其它膜层。此外，在此步骤中可利用第一机械手臂240a传送基板80，其中第一机械手臂240a的结构与图3的机械手臂240的结构相同，第一机械手臂240a吸附基板80的第一面82并传送至面向接收侧的吸附面(如第一吸附面211)之后，面向接收侧的吸附面(如第一吸附面211)可吸附基板80的第一面82。具体而言，基板80例如是先放置于第一机械手臂240a上，而由于基板80的第二面84上形成有如彩色滤光层或驱动电路层等膜层，所以第一机械手臂240a只能接触基板80的第一面82。第一机械手臂240a的吸附嘴243会吸附基板80的第一面82，之后第一机械手臂240a的承载臂242会伸入设于面向接收侧的吸附面(如第一吸附面211)上的支撑管214之间，以将基板80传送至面向接收侧的吸附面(如第一吸附面211)。此时，藉由面向接收侧的吸附面(如第一吸附面211)来吸附基板80的第一面82，之后将第一机械手臂240a移开。更详细地说，请参照图2B与图4B，以第一吸附面211为面向接收侧的吸附面为例，连接至负压源60a的第一控制阀222a会开启且连接至空气源70a的第一控制阀222a会关闭，以使第一吸附面211能吸附基板80的第一面82。也就是说，如图4B所示，第一机械手臂240a可用于伸入面向接收侧的支撑管214之间，以将基板80运送至面向接收侧的吸附垫215上。需注意的是，支撑管214的高度H1实质大于第一机械手臂240a的承载臂242与吸附嘴243的迭加高度H2，以供第一机械手臂240a伸入支撑管214之间。

步骤(c)，如图4C所示，翻转翻转架210，以使吸附基板80的吸附面(如第一吸附面211)面向卸载侧，且使未吸附基板80的吸附面(如第二吸附面212)面向接收侧。翻转翻转架210的方法例如是使翻转架210沿转轴翻转180度。

步骤(d)，如图4D所示，接收面向卸载侧的吸附面(如第一吸附面211)所吸附的基板80。在此步骤中可藉由第二机械手臂240b来接收基板80，其中第二机械手臂240b吸附基板80的第一面82以接收基板80之前，面向卸载侧的吸附面(如第一吸附面211)可吸附基板80的第一面82。此第二机械手臂240b的结构与图3的机械手臂240相似，其差别处在于每一第二机械手臂240b的相对的两个表面都设有吸附嘴243。然而，第二机械手臂240b的结构亦可与机械手臂240相同，或者第一机械手臂240a的结构亦可与第二机械手臂240b相同，但不限于此，可依实际需求选择机械手臂所需的承载臂与吸附嘴的数目、位置、分布等条件。也就是说，第二机械手臂240b的承载臂242可伸入面向卸载侧的吸附面(如第一吸附面211)与基板80之间来接收基板80。更详细地说，第二机械手臂240b的承载臂242是伸入设于面向卸载侧的吸附面(如第一吸附面211)上的支撑管214之间，并可藉由吸附嘴243来吸附基板80的第一面82。接着，请参照图2B与图4D，以第一吸附面211为面向卸载侧的吸附面为例，连接至负压源60a的第一控制阀222a会关闭且连接至空气源70a的第一控制阀222a会开启，如此第一吸附面211无法吸附基板80的第一面82，因此第二机械手臂240b可将基板80移走。也就是说，如图4D所示，第二机械手臂240b可用于伸入面向卸载侧的支撑管214之间，以接收面向卸载侧的基板80。需注意的是，支撑管214的高度H1实质大于第二机械手臂240b的承载臂242与吸附嘴243的迭加高度H3，以供第二机械手臂240b伸入支撑管214之间。

步骤(e)，重复步骤(b)至(d)，以继续翻转其它基板。

上述的翻转装置200与基板的翻转方法中，由于翻转装置200的翻转架210具有二个吸附面(即第一吸附面211与第二吸附面212)，所以将吸附于其中一个吸附面的基板80翻面后，翻转架210不需再翻转回原来的位置即可藉由另一吸附面来吸附另一基板，以继续进行翻转基板的流程，也就是说，原先以第一吸附面211来吸附基板并加以翻转，之后无需将第一吸附面211翻转回去，即可用第二吸附面212来吸附另一基板并加以翻转。如此，不仅可避免浪费电力，还可节省时间，以提高翻转多个基板的效率。

需注意的是，在另一实施例的基板的翻转方法的步骤(d)中，在接收基板80之前可先将翻转架210从第一位置移动至第二位置，其中第一位置例如是较接近第一机械手臂240a的位置，而第二位置例如是较接近第二机械手臂240b的位置。此外，在接收基板80之后，可将翻转架210移回原位，也就是将翻转架210从第二位置移动至第一位置。

在又一实施例的基板的翻转方法的步骤(c)中，在翻转翻转架210之前可先将翻转架210从第一位置移动至第二位置，而且在步骤(d)中，在接收基板80之后可将翻转架210从第二位置移动至第一位置。但本发明不限于上述描述，可依实际情况调整，例如翻转装置可在原地转动等。

综上所述，本发明至少具有下列优点：

1.本发明的翻转装置的翻转架具有两个吸附面(即第一吸附面与第二吸附面)，所以吸附于其中一个吸附面的基板被翻转架翻面后，可直接利用另一吸附面来吸附另一基板，如此可减少电能的消耗，并提高翻转多个基板的效率。

2.本发明的翻转基板的方法所使用的翻转装置其翻转架具有二个吸附面。当吸附于其中一个吸附面的基板被翻转架翻面后，可直接利用另一吸附面来吸附另一基板，如此不仅可避免浪费电能，还可节省时间，以提高翻转多个基板的效率。

3.针对表面形成有特定膜层的基板，由于本发明的翻转装置仅会吸附基板的未形成膜层的表面，而不会接触到基板上的膜层，所以不会对基板上的膜层造成伤害。

虽然本发明已以较佳实施例公开如上，但其并非用以限定本发明，本发明所属技术领域中的技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，可作些许的更动与修改，因此本发明的保护范围当视后附的权利要求书所界定者为准。

Claims (19)

1.一种翻转装置，用于吸附一基板并翻转该基板，其特征在于，该翻转装置包括：

一翻转架，其内部为中空，该翻转架具有相对的一第一吸附面与一第二吸附面，且该第一吸附面与该第二吸附面分别设有多个第一孔洞；

一气流导引单元，包括：

一控制模块；

一第一管线组，一端连接至该控制模块，另一端伸入该翻转架内部并连接至设于该第一吸附面的该些第一孔洞；以及

一第二管线组，一端连接至该控制模块，另一端伸入该翻转架内部并连接至设于该第二吸附面的该些第一孔洞，其中该控制模块用于使该第一吸附面及该第二吸附面的其中之一能吸附该基板，而该翻转架用于翻转吸附于该第一吸附面与该第二吸附面的其中之一的该基板。

2.如权利要求1所述的翻转装置，其特征在于，该翻转架还具有多个支撑管与用以吸附该基板的多个吸附垫，每一吸附垫具有一第二孔洞，该些支撑管的一端连接于该些第一孔洞，该些吸附垫套设于该些支撑管的另一端，且该第一管线组与该第二管线组经由该些第一孔洞与该些支撑管而连接至该些第二孔洞。

3.如权利要求2所述的翻转装置，其特征在于，还包括一机械手臂，其具有多个承载臂与多个吸附嘴，该些吸附嘴设于该些承载臂上，且该支撑管的高度实质大于该机械手臂的该承载臂与该吸附嘴的迭加高度，以供该机械手臂伸入该些支撑管之间。

4.如权利要求2所述的翻转装置，其特征在于，还包括一第一机械手臂，而该第一吸附面与该第二吸附面的其中之一面向一接收侧，该第一吸附面与该第二吸附面的其中另一面向一卸载侧，且该第一机械手臂用于伸入面向该接收侧的该些支撑管之间，以将该基板运送至面向该接收侧的该些吸附垫上。

5.如权利要求2所述的翻转装置，其特征在于，还包括一第二机械手臂，而该第一吸附面与该第二吸附面的其中之一面向一接收侧，该第一吸附面与该第二吸附面的其中另一面向一卸载侧，且该第二机械手臂用于伸入面向该卸载侧的该些支撑管之间，以接收面向该卸载侧的该基板。

6.如权利要求1所述的翻转装置，其特征在于，该翻转架包括：

一封闭框，其内部为中空；以及

多个中空柱，连接于该封闭框，且每一中空柱的内部空间与该封闭框的内部空间相通，且该些第一孔洞是设置于每一中空柱的相对的两表面。

7.如权利要求6所述的翻转装置，其特征在于，该些中空柱平行排列。

8.如权利要求6所述的翻转装置，其特征在于，该封闭框具有一转轴，该转轴包括相对的二枢接部，该些枢接部分别位于该封闭框的相对两侧边。

9.如权利要求8所述的翻转装置，其特征在于，该些枢接部内部为中空，而该第一管线组与该第二管线组经由该些枢接部的至少其中之一的内部伸入该翻转架内部。

10.如权利要求8所述的翻转装置，其特征在于，还包括一固定架，而该些枢接部枢接于该固定架。

11.如权利要求1所述的翻转装置，其特征在于，还包括一固定架，而该翻转架枢接于该固定架。

12.如权利要求1所述的翻转装置，其特征在于，该控制模块包括：

至少一第一控制阀，连接至该第一管线组；以及

至少一第二控制阀，连接至该第二管线组。

13.一种翻转基板的方法，用于依序翻转多个基板，该翻转基板的方法包括：

a、提供具有一翻转架的一翻转装置，该翻转架具有相对的二吸附面，且当该些吸附面的其中之一面向一接收侧时，该些吸附面的其中另一面向一卸载侧；

b、将该些基板的其中之一传送至面向该接收侧的该吸附面，以利用位于该接收侧的该吸附面吸附该基板；

c、翻转该翻转架，以使吸附该基板的该吸附面面向该卸载侧，且使未吸附该基板的该吸附面面向该接收侧；

d、接收面向该卸载侧的该吸附面所吸附的该基板；以及

e、重复步骤b至步骤d。

14.如权利要求13所述的翻转基板的方法，其特征在于，步骤b是利用一第一机械手臂传送该基板，其中该第一机械手臂吸附该基板的一第一面并传送至面向该接收侧的该吸附面之后，面向该接收侧的该吸附面吸附该基板的该第一面。

15.如权利要求13所述的翻转基板的方法，其特征在于，步骤c是使该翻转架沿一转轴翻转180度。

16.如权利要求13所述的翻转基板的方法，其特征在于，步骤d是利用一第二机械手臂接收该基板，其中该第二机械手臂吸附该基板的一第一面以接收该基板之前，面向该卸载侧的该吸附面吸附该基板的该第一面。

17.如权利要求13所述的翻转基板的方法，其特征在于，步骤d是利用一第二机械手臂接收该基板，其中该第二机械手臂伸入面向该卸载侧的该吸附面与该基板之间来接收该基板。

18.如权利要求13所述的翻转基板的方法，其特征在于，在步骤d中，在接收该基板之前还包括将该翻转架从一第一位置移动至一第二位置，且在接收该基板之后还包括将该翻转架从该第二位置移动至该第一位置。

19.如权利要求13所述的翻转基板的方法，其特征在于，在步骤c中，在翻转该翻转架之前还包括将该翻转架从一第一位置移动至一第二位置，而在步骤d中，在接收该基板之后还包括将该翻转架从该第二位置移动至该第一位置。

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