CN101441278A - 固持装置及固持方法 - Google Patents

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    • C23C14/50—Substrate holders

Abstract

本发明涉及一种固持装置。所述固持装置包括具有空腔的承载装置和吸气装置。所述承载装置包括承载部。所述承载部开设有多个与空腔相连通的通孔，以使待加工工件覆盖通孔时待加工工件与承载装置配合形成封闭的空腔。所述吸气装置与承载装置的空腔相连通，用于抽取承载装置的空腔内的气体。本发明还涉及所述固持装置固定待加工工件的方法。本发明的固持装置结构简单。使用本发明的固持方法操作方便，固持效果佳，能有效提高生产效率并节约材料。

Description

固持装置及固持方法
技术领域
本发明涉及镜片制作技术领域，特别涉及一种固持装置及固持方法。
背景技术
当前，许多工业产品表面都镀有功能薄膜，以改善产品表面的各种性能。如在光学镜片的表面镀上一层抗反射膜，以降低镜片表面的反射率，降低入射光通过镜片的能量损耗。又如在玻璃基板表面镀上一层滤光膜，以滤掉某一预定波段的光，制成各种各样的滤光片。参见文献：A widely tunable optical filter using ladder-type structure；S.Matsuo，Y.Yoshikuni，T.Segawa；Y.Ohiso，H.Okamoto；NTT Photonics Labs，Kanagawa，Japan；Photonics Technology Letters，IEEE；Volume 15，Issue 8，Aug.2003，pages1114-1116。
目前，光学镀膜制作以物理蒸镀法(Physics Vapor Deposition，简称PVD)为主。由于现有光学镀膜用玻璃基板在蒸镀过程容易产生遮蔽效应(Shadow Effect)，故现有滤光片的制作流程通常包括先将大片光学镀膜用玻璃基板置于夹具后放入真空环境中镀上滤光膜层，再将镀膜后的玻璃基板切割成若干矩形小玻璃基片，然后采用滚圆装置将重叠的矩形小玻璃基片滚圆等步骤。
然而，滤光片的滚圆制程中各矩形小玻璃基片之间相互摩擦以及滚圆治具对小玻璃基片的作用力会不可避免地导致小玻璃基片破碎，且易使光学膜层从小玻璃基片剥落，进而导致滤光片良率下降及材料浪费。此外，由于真空镀膜制程中采用夹具夹持玻璃基片，夹具与玻璃基片之间呈点接触，而玻璃基片尺寸较小，容易导致应力分布集中，致使玻璃基板破碎。
近年也出现了另一种制作滤光片的方法。该方法包括首先将大玻璃基板切割成若干小玻璃基片，其次滚圆小玻璃基片，最后将滚圆后的小玻璃基片置于支架进行真空镀膜等步骤。该方法与前述方法相比，其能在镀膜制程前挑选出已破碎的小玻璃基片，并降低了前述方法的已镀膜的大玻璃基板在切割和滚圆成小玻璃基片时发生破碎的机率。但其在真空镀膜制程采用的支架通常为转台，该转台承载面的圆周上设有多个凹槽，每个凹槽对应固定一小玻璃基片。由于小玻璃片尺寸较小，重量较轻，当转台转速较大时，小玻璃基片容易与转台发生相对运动，从而滑离凹槽，引起小玻璃基片之间以及小玻璃基片与转台之间发生碰撞，造成小玻璃基片表面的划伤和磨损，影响后续滤光片的尺寸精度和外观质量。
发明内容
因此，提供一种固持效果好且方便操作的固持装置及固持方法以提高生产品良率、节约材料实为必要。
以下将以实施例为例说明一种固持装置及固持方法。
所述固持装置包括具有空腔的承载装置和吸气装置。所述承载装置包括承载部。所述承载部开设有多个与空腔相连通的通孔，以使待加工工件覆盖通孔时待加工工件与承载装置配合形成封闭的空腔。所述吸气装置与承载装置的空腔相连通，用于抽取承载装置的空腔内的气体。
所述固持方法包括以下步骤：将待加工工件置于承载装置的承载部的通孔处，使其完全覆盖通孔；利用吸气装置抽取承载装置的空腔内的气体，直至空腔内处于真空状态，从而使得待加工工件固定于承载装置。
本技术方案的固持装置通过于承载装置的承载部开设多个通孔，将待加工工件遮盖通孔，将吸气装置与承载装置连通，使得承载装置具有密闭空腔，再采用吸气装置抽取承载装置空腔内的气体，直至空腔内处于真空状态，从而利用真空吸附将待加工工件固定于承载面。因此，与现有技术相比，本技术方案的固持装置结构简单，操作方便，固持效果佳，有效提高了生产效率并节约了材料。
附图说明
图1是本技术方案第一实施例提供的固持装置的立体图；
图2是本技术方案第二实施例提供的固持装置的立体图；
图3是图1所示固持装置固定玻璃基片的示意图。
具体实施方式
以下将结合附图对本技术方案提供的固持装置及固持方法进行详细说明。本技术方案的固持装置及固持方法可用于固定片状及板状待加工工件，如滤光片制作工艺中经滚圆制程后的玻璃基片。
请参阅图1，本技术方案的第一实施例提供的固持装置100包括承载装置10和与承载装置相连通的吸气装置20。
承载装置10包括承载部11、侧壁12和底壁13。
承载部11与底壁13相对且平行设置。侧壁12设于承载部11和底壁13之间，并与承载部11和底壁13围合成长方体结构，从而形成一个空腔113。为确保气密性，优选承载部11、侧壁12和底壁13一体成型。
承载部11具有承载面111，用于承载待加工工件。承载部11开设有多个与空腔113相通的通孔112。通孔112的尺寸略小于待加工工件的尺寸，以便后续将待加工工件置于承载部11的承载面111并能完全遮盖通孔112。
承载装置10也可为其它结构和形状，只要具有空腔113，且在承载部11上设有连通承载部11的空腔113的通孔112，便于利用真空吸附原理承载待加工工件即可。
吸气装置20具有抽取气体功能，可直接与承载装置10相连通，也可通过导气部件与承载装置10相连通。本实施例中，吸气装置20通过导气部30与承载装置10连通。导气部30可设于侧壁12，也可设于底壁13，只要其一端与承载装置10连通，另一端与吸气装置20连通即可。导气部30用以于承载装置10的空腔113内产生空气信道，增强后续吸气装置20对待加工工件的真空吸附力。导气部30可为管体，也可为一个管体及与管体一端相通的真空吸嘴。所述真空吸嘴可用于连通管体与承载装置10，也可用于连通管体与吸气装置20。本实施例中，导气部30为管体。
当待加工工件遮盖通孔112时，即承载装置10的空腔113由与外界相通的状态转为封闭状态时，吸气装置20能抽取承载装置10的空腔113内的气体，从而使承载装置10的空腔113处于真空状态，产生作用于待加工工件的真空吸附力。
当本实施例的固持装置100用于玻璃基片的真空镀膜制程时，可根据需要，于本领域常用的真空镀膜装置的真空镀膜室内设置一驱动装置，然后将固定有待镀膜的玻璃基片的固持装置100与驱动装置相连，使固持装置100能相对设置于驱动装置上方的中央蒸发源运动，以使每个玻璃基片始终位于一个相对于在真空蒸镀室中央呈锥形上升的蒸镀电子束准确角向位置，进而实现每个玻璃基片表面上能获得最佳的均匀的沉积。
请参阅图2，与固持装置100相比，本技术方案的第二实施例提供的固持装置200的承载装置110的通孔212呈阶梯状，即包括第一凹槽2121和与第一凹槽2121连通的第二凹槽2122。其中，第一凹槽2121靠近承载面2111，其开口尺寸与待加工工件的尺寸适配，且大于第二凹槽2122的开口尺寸。通孔212用以收容固定待加工工件，以防止待加工工件于承载面2111移位。
以上对本技术方案实施例提供的固持装置进行了具体说明，下面将以固持装置100固持滤光片制程中使用的经滚圆的小尺寸玻璃基片200为例，说明本技术方案的固持方法。所述固持方法包括以下步骤：
第一步，将玻璃基片300置于承载部11的通孔112处，使玻璃基片300完全覆盖通孔112。
第二步，将吸气装置20通过导气部30与承载装置10相连通。
第三步，利用吸气装置20抽取承载装置10的空腔113内的气体，直至承载装置10的空腔113内处于真空状态，从而使得玻璃基片300固定于承载装置10。
请一参阅图1及图3，玻璃基片300完全覆盖通孔112后，吸气装置20、导体部30与玻璃基片300配合，使承载装置10的空腔113由与外界相通的状态转为封闭状态。启动吸气装置20，抽取空腔113内的气体，直至承载装置10的空腔113内处于真空状态，玻璃基片300将因此受到吸气装置20对其产生的真空吸附力而固定于承载装置10。
本技术方案的固持方法通过提供具有承载部和空腔的承载装置，于承载装置的承载部开设多个与空腔相连通的通孔，采用待加工工件遮盖通孔，然后将承载装置与吸气装置相连，使得承载装置具有密闭空腔，再采用吸气装置抽取承载装置空腔内的气体以利用真空吸附原理而将待加工工件固定于承载部。与现有技术相比，本技术方案的固持装置结构简单，操作方便，由于采用真空吸附的方式，即使使承载有待加工工件的承载装置转动，待加工工件也不会脱离承载装置。因此，本技术方案的固持装置固持效果佳，有效提高了生产效率并节约了材料。
以上对本技术方案的固持装置及固持方法进行了详细描述，但不能理解为是对本技术方案构思的限制。可以理解的是，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本技术方案的技术构思做出其它各种相应的改变与变形，而所有这些改变与变形都应属于本申请权利要求的保护范围。

Claims (9)

  1. 【权利要求1】一种固持装置，用于固持待加工工件，其特征在于，所述固持装置包括：
    具有空腔的承载装置，所述承载装置具有承载部，所述承载部用于承载待加工工件，其开设有多个与空腔相连通的通孔，以使待加工工件覆盖通孔时待加工工件与承载装置配合形成封闭的空腔；及
    吸气装置，其与承载装置的空腔相连通，用于抽取承载装置空腔内的气体。
  2. 【权利要求2】如权利要求1所述的固持装置，其特征在于，所述承载装置还包括侧壁和底壁，所述承载部与侧壁和底壁围合形成具有空腔的呈长方体状的承载装置。
  3. 【权利要求3】如权利要求2所述的固持装置，其特征在于，所述侧壁和底壁与承载部一体成型。
  4. 【权利要求4】如权利要求3所述的固持装置，其特征在于，所述固持装置还包括导气部，所述导气部一端与承载装置的空腔相通，另一端连接于吸气装置。
  5. 【权利要求5】如权利要求4所述的固持装置，其特征在于，所述导气部设于底壁。
  6. 【权利要求6】如权利要求4所述的固持装置，其特征在于，所述导气部设于侧壁。
  7. 【权利要求7】如权利要求1所述的固持装置，其特征在于，所述通孔呈阶梯状，其包括第一凹槽和与第一凹槽连通的第二凹槽，所述第一凹槽的开口尺寸大于第二凹槽的开口尺寸，用于收容待加工工件。
  8. 【权利要求8】一种采用如权利要求1所述的固持装置的固持方法，包括以下步骤：
    将待加工工件置于承载装置的承载部的通孔处，使其完全覆盖通孔；
    利用吸气装置抽取承载装置的空腔内的气体，直至空腔内处于真空状态，从而使得待加工工件固定于承载装置。
  9. 【权利要求9】如权利要求8所述的固持方法，其特征在于，所述固持方法还包括抽取承载装置空腔内的气体前将吸气装置通过导气部与承载装置相连通的步骤。
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