CN103737453A - 一种在激光陀螺腔平移镜的加工中使用的真空吸附装置 - Google Patents
一种在激光陀螺腔平移镜的加工中使用的真空吸附装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103737453A CN103737453A CN201310508493.5A CN201310508493A CN103737453A CN 103737453 A CN103737453 A CN 103737453A CN 201310508493 A CN201310508493 A CN 201310508493A CN 103737453 A CN103737453 A CN 103737453A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- vacuum
- cavity
- holes
- tool palette
- adsorption device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B13/00—Machines or devices designed for grinding or polishing optical surfaces on lenses or surfaces of similar shape on other work; Accessories therefor
- B24B13/005—Blocking means, chucks or the like; Alignment devices
- B24B13/0055—Positioning of lenses; Marking of lenses
Abstract
本发明属于一种真空吸附装置,具体涉及一种在激光陀螺腔平移镜的加工中使用的真空吸附装置。它包括平面带孔工具板、真空腔体、真空发生器、气管,平面带孔工具板设置真空腔体上,通过气管将真空发生器的进气口与压缩气体源连接,通过气管将真空发生器的出气口与真空腔体连接。本发明的优点是,它解决了同盘腔平移镜的待加工包络面不在同一个平面上的问题,防止已完成加工的超光滑球面的表面质量被破坏。
Description
技术领域
本发明属于一种真空吸附装置,具体涉及一种在激光陀螺腔平移镜的加工中使用的真空吸附装置。
背景技术
在激光陀螺腔平移镜(如图1所示)的加工过程中,通常是采用在直径D范围内抛光出超光滑球面,再在d~D范围内抛光出光滑平面的加工流程。目前在平面加工过程中,多是采用将腔平移镜的背面粘接到平面工具板上的上盘方式,这种上盘方式的优点是简单易操作,缺点是难以保证同盘腔平移镜的待加工包络面在同一个平面上,从而导致已完成加工的超光滑球面的表面质量被破坏。
发明内容
本发明的目的是提供一种在进行腔平移镜平面加工时使用的真空吸附装置,它能够克服同盘腔平移镜的待加工包络面不在同一个平面上的问题。
本发明是这样实现的,一种在激光陀螺腔平移镜的加工中使用的真空吸附装置,它包括平面带孔工具板、真空腔体、真空发生器、气管,平面带孔工具板设置真空腔体上,通过气管将真空发生器的进气口与压缩气体源连接,通过气管将真空发生器的出气口与真空腔体连接。
所述的平面带孔工具板采用光学石英玻璃制作,真空腔体采用金属铝制作。
所述的真空腔体壁的上沿带有凹槽,垫圈位于凹槽内,腔体壁上带有一个螺纹孔。
平面带孔工具板的外形尺寸为φ150mm×20mm,其通孔直径及通孔数目应根据腔平移镜的外形尺寸确定,其上、下表面的平行度优于0.001mm,工具板上表面的平面度优于0.001mm。
本发明的优点是,它解决了同盘腔平移镜的待加工包络面不在同一个平面上的问题,防止已完成加工的超光滑球面的表面质量被破坏。
附图说明
图1为激光陀螺腔平移镜示意图;
图2为平面带孔工具板的俯视图;
图3为真空腔体的剖面图;
图4为本发明所提供的一种在激光陀螺腔平移镜的加工中使用的真空吸附装置示意图。
图中,1平面带孔工具板,2真空腔体,3真空发生器,4气管。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明进行详细介绍:
如图4所示,一种在激光陀螺腔平移镜的加工中使用的真空吸附装置它包括平面带孔工具板1、真空腔体2、真空发生器3、气管4。真空腔体壁的上沿带有凹槽,垫圈位于凹槽内,平面带孔工具板1放置在真空腔体2上,通过气管将真空发生器3的进气口与压缩气体源连接,通过气管4将真空发生器3的出气口与真空腔体2连接。
其中平面带孔工具板1采用光学石英玻璃制作,真空腔体2采用金属铝制作。
平面带孔工具板1的外形尺寸为φ150mm×20mm,其通孔直径及通孔数目应根据腔平移镜的外形尺寸确定。工具板上、下表面的平行度应优于0.001mm,工具板上表面的平面度应优于0.001mm。
真空腔体壁的上沿带有凹槽,腔体壁上带有一个螺纹孔。
在对腔平移镜进行球面抛光时,可采用的方法一般有两种:①利用球面工具板和过渡片进行球面抛光;②利用球面带孔工具板进行球面抛光。方法一的优点是被加工腔平移镜的面形精度高,缺点是过渡片的加工过程复杂。方法二的优点是简单易操作,缺点是被加工腔平移镜的厚度一致性较差。建议采用方法一进行腔平移镜的球面抛光。
盘上检验合格后,将腔平移镜与过渡片分离转入化学清洗工序进行清洗。
在平面抛光过程中,共有六个工步,分别为:
①用脱脂棉蘸醇醚混合液擦净平面带孔工具板;
②将化学清洗后的腔平移镜定位放置在平面带孔工具板上,腔平移镜的待加工面向下;
③将真空发生器的开关打开以吸附腔平移镜;
④将涂抹热粘接胶(松香与石蜡配制而成)的另一平面带孔工具板定位放置在腔平移镜的背面;
⑤待粘接胶冷却后关闭真空发生器的开关,停止吸附;
⑥调整设备各项参数进行抛光。研磨抛光机的压力、主轴转速、摆轴摆速要合理设置,在规定的抛光时间内完成平面抛光,以免破坏腔平移镜的球面质量。
Claims (4)
1.一种在激光陀螺腔平移镜的加工中使用的真空吸附装置,其特征在于:它包括平面带孔工具板(1)、真空腔体(2)、真空发生器(3)、气管(4),平面带孔工具板(1)设置真空腔体(2)上,通过气管将真空发生器(3)的进气口与压缩气体源连接,通过气管(4)将真空发生器(3)的出气口与真空腔体(2)连接。
2.如权利要求1所述的一种在激光陀螺腔平移镜的加工中使用的真空吸附装置,其特征在于:所述的平面带孔工具板(1)采用光学石英玻璃制作,真空腔体(2)采用金属铝制作。
3.如权利要求1所述的一种在激光陀螺腔平移镜的加工中使用的真空吸附装置,其特征在于:所述的真空腔体壁的上沿带有凹槽,垫圈位于凹槽内,腔体壁上带有一个螺纹孔。
4.如权利要求1或2所述的一种在激光陀螺腔平移镜的加工中使用的真空吸附装置,其特征在于:平面带孔工具板(1)的外形尺寸为φ150mm×20mm,其通孔直径及通孔数目应根据腔平移镜的外形尺寸确定,其上、下表面的平行度优于0.001mm,工具板上表面的平面度优于0.001mm。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310508493.5A CN103737453A (zh) | 2013-10-25 | 2013-10-25 | 一种在激光陀螺腔平移镜的加工中使用的真空吸附装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310508493.5A CN103737453A (zh) | 2013-10-25 | 2013-10-25 | 一种在激光陀螺腔平移镜的加工中使用的真空吸附装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103737453A true CN103737453A (zh) | 2014-04-23 |
Family
ID=50494556
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201310508493.5A Pending CN103737453A (zh) | 2013-10-25 | 2013-10-25 | 一种在激光陀螺腔平移镜的加工中使用的真空吸附装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN103737453A (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105751489A (zh) * | 2016-02-01 | 2016-07-13 | 惠州富盛绝缘材料有限公司 | 一种真空吸附式穿管装置及真空吸附式穿管方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4158273A (en) * | 1978-01-09 | 1979-06-19 | Crown Optical Company, Inc. | Method of blocking plastic lenses for surfacing |
JPS55160440A (en) * | 1979-05-31 | 1980-12-13 | Chiyou Lsi Gijutsu Kenkyu Kumiai | Device for fixing thin plate |
EP0351945A2 (en) * | 1988-07-22 | 1990-01-24 | Corning Glass Works | External system for locating the geometric center of an internal lens element |
CN101441278A (zh) * | 2007-11-20 | 2009-05-27 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 固持装置及固持方法 |
CN201257599Y (zh) * | 2008-09-05 | 2009-06-17 | 申科滑动轴承股份有限公司 | 一种真空吸盘 |
-
2013
- 2013-10-25 CN CN201310508493.5A patent/CN103737453A/zh active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4158273A (en) * | 1978-01-09 | 1979-06-19 | Crown Optical Company, Inc. | Method of blocking plastic lenses for surfacing |
JPS55160440A (en) * | 1979-05-31 | 1980-12-13 | Chiyou Lsi Gijutsu Kenkyu Kumiai | Device for fixing thin plate |
EP0351945A2 (en) * | 1988-07-22 | 1990-01-24 | Corning Glass Works | External system for locating the geometric center of an internal lens element |
CN101441278A (zh) * | 2007-11-20 | 2009-05-27 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 固持装置及固持方法 |
CN201257599Y (zh) * | 2008-09-05 | 2009-06-17 | 申科滑动轴承股份有限公司 | 一种真空吸盘 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105751489A (zh) * | 2016-02-01 | 2016-07-13 | 惠州富盛绝缘材料有限公司 | 一种真空吸附式穿管装置及真空吸附式穿管方法 |
CN105751489B (zh) * | 2016-02-01 | 2019-03-05 | 惠州富盛绝缘材料有限公司 | 一种真空吸附式穿管装置及真空吸附式穿管方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN105690185B (zh) | 一种医用钛合金微小件超声波磁流变复合抛光机 | |
CN202088093U (zh) | 一种环形气囊抛光磨头 | |
CN104742034A (zh) | 抛光用磨皮及采用此磨皮的微小陶瓷产品弧面抛光方法 | |
CN104108062A (zh) | 一种新型超薄晶片纳米级抛光方法 | |
CN103737453A (zh) | 一种在激光陀螺腔平移镜的加工中使用的真空吸附装置 | |
CN206373651U (zh) | 一种cnc通用治具 | |
CN105252408B (zh) | 一种孔内壁研磨抛光夹具 | |
CN203957180U (zh) | 一种分体式真空吸盘 | |
CN204585051U (zh) | 一种真空吸盘夹具 | |
CN204565884U (zh) | 一种单面抛光机粘片装置 | |
CN206536311U (zh) | 一种直接翻面的光学加工上盘夹具 | |
CN203329939U (zh) | 涂胶、承接一体的胶槽 | |
CN202910710U (zh) | 立轴矩台精密研磨机 | |
CN202517369U (zh) | 一种平面磨床的夹具 | |
CN201940907U (zh) | 用于水晶玻璃抛光的抛光盘 | |
CN204819262U (zh) | 一种用于抛光硅片表面颗粒检测的硅片支撑装置 | |
CN205600498U (zh) | 一种高速加工与自动测量一体化设备 | |
CN203282355U (zh) | 金刚石刀阵磨具装置 | |
CN103878675A (zh) | 一种带轨道的圆锥抛光装置 | |
CN205765279U (zh) | 一种t型试样超声振荡抛光装置 | |
CN203918809U (zh) | 一种耐用砂轮 | |
CN203973632U (zh) | 一种镜片开槽机 | |
CN203449488U (zh) | Led蓝宝石片固定装置 | |
CN203171385U (zh) | 一种球面及平面光学元件的面接触磨抛装置 | |
CN202985300U (zh) | 一种带有多级卡具的加工车床 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20140423 |