CN103268011A - 变形镜镜体安装组件 - Google Patents

变形镜镜体安装组件 Download PDF

Info

Publication number
CN103268011A
CN103268011A CN2013102213559A CN201310221355A CN103268011A CN 103268011 A CN103268011 A CN 103268011A CN 2013102213559 A CN2013102213559 A CN 2013102213559A CN 201310221355 A CN201310221355 A CN 201310221355A CN 103268011 A CN103268011 A CN 103268011A
Authority
CN
China
Prior art keywords
mirror body
mounting groove
distorting lens
installation component
suction
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2013102213559A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103268011B (zh
Inventor
黄磊
巩马理
闫平
薛峤
李腾浩
柳强
冯泽心
康少男
孙冶
闫海波
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tsinghua University
Original Assignee
Tsinghua University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tsinghua University filed Critical Tsinghua University
Priority to CN201310221355.9A priority Critical patent/CN103268011B/zh
Publication of CN103268011A publication Critical patent/CN103268011A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103268011B publication Critical patent/CN103268011B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Eyeglasses (AREA)
  • Lenses (AREA)

Abstract

本发明公开了一种变形镜镜体安装组件,包括:镜体,所述镜体第一面形成为平面,所述镜体第二面形成有多个间隔开布置的镜腿;吸气管;和吸力座,所述吸力座的第一面形成有与所述镜体适配的安装槽,所述安装槽的底面形成为平面,所述吸力座的第二面形成有与所述吸气管的管口适配的吸气口,所述吸力座内设有吸气管道,所述吸气管道的第一端与所述吸气口连通且所述吸气管道的第二端与所述安装槽连通。根据本发明实施例的变形镜镜体安装组件,通过在吸力座上设置吸气管道,吸气管道通过真空泵吸气完成镜体的安装,使镜体吸入安装槽内后平面度得到控制,提高变形镜机构的初始面形,从而提高变形镜的质量。

Description

变形镜镜体安装组件
技术领域
本发明涉及变形镜安装技术领域,更具体地,涉及一种变形镜镜体安装组件。
背景技术
变形镜,又称变形反射镜,主要运用于各种自适应光学系统之中,作为波前校正器件校正波前误差,在自适应光学系统中起着极其重要的作用,是自适应光学系统中的重要部件之一,变形镜的研究和发展关系到整个自适应光学系统的校正能力和校正精度。
变形反射镜式通过改变自己表面面形来补偿波前相位畸变,可分为连续表面形和分立表面两种类型.连续表面变形镜,其优点是可以得到连续的面形,校正精度高,其缺点是面形的变形量比较小。连续表面的变形反射镜又可分为整体致动和分立致动两种。整体致动主要有双压电变形镜和薄模变形镜,其特点是当控制电压作用于某一致动单元时,整个反射镜面都将产生变形,这类变形镜主要用于与曲率波前传感器配合校正波前畸变的低阶模式部分。分立致动变形镜的一个特点是当控制电压作用于一个致动器时,只有该致动器相邻区域产生局部变形。其中致动方向平行于镜面时,致动器作用于反射镜边缘,只能用于校正离焦和像散等特定像差,因此在自适应光学系统里的应用受到了局限。
发明内容
本发明旨在至少在一定程度上解决上述技术问题之一。
为此,本发明的一个目的在于提出一种结构简单、装配方便并且可以改善变形镜镜体面形的变形镜镜体安装组件。
根据本发明实施例的变形镜镜体安装组件,包括:镜体,所述镜体第一面形成为平面,所述镜体第二面形成有多个间隔开布置的镜腿;吸气管;和吸力座,所述吸力座的第一面形成有与所述镜体适配的安装槽,所述安装槽的底面形成为平面,所述吸力座的第二面形成有与所述吸气管的管口适配的吸气口,所述吸力座内设有吸气管道,所述吸气管道的第一端与所述吸气口连通且所述吸气管道的第二端与所述安装槽连通。
根据本发明实施例的变形镜镜体安装组件,通过在吸力座上设置吸气管道,吸气管道通过真空泵吸气完成镜体的安装,使镜体吸入安装槽内后平面度得到控制,提高变形镜机构的初始面形,从而提高变形镜的质量。
另外,根据本发明实施例的变形镜镜体安装组件,还可以具有如下附加的技术特征:
根据本发明的一个实施例,所述镜体形成为矩形,所述安装槽的截面形成为矩形。
根据本发明的一个实施例,所述安装槽的每个顶角处设有避让部。
根据本发明的一个实施例,所述避让部形成为圆孔。
根据本发明的一个实施例,所述安装槽的每条边上设有密封件。
根据本发明的一个实施例,所述密封件为胶条。
根据本发明的一个实施例,所述吸气管道的第二端形成有多个间隔开布置的吸气孔,且每个所述吸气孔的位置与所述镜腿的位置相对应。
根据本发明的一个实施例,所述镜腿为七个。
根据本发明的一个实施例,所述吸气管道内设有气体逆止阀。
本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本发明的实践了解到。
附图说明
本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解,其中:
图1是根据本发明实施例的变形镜镜体安装组件的结构示意图;
图2是根据本发明实施例的变形镜镜体安装组件的分解示意图;
图3是根据本发明实施例的变形镜镜体安装组件与变形镜致动机构的装配示意图。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,旨在用于解释本发明,而不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中,需要理解的是,术语“厚度”、“上”、“下”、“竖直”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
下面结合附图具体描述根据本发明实施例的变形镜镜体安装组件。
如图1至图3所示,根据本发明实施例的变形镜镜体安装组件包括:镜体10、吸气管20和吸力座30。
具体而言,镜体10第一面形成为平面,镜体10第二面形成有多个间隔开布置的镜腿11。吸力座30的第一面形成有与镜体适配的安装槽31,安装槽31的底面形成为平面,吸力座30的第二面形成有与吸气管20的管口适配的吸气口33,吸力座30内设有吸气管道32,吸气管道32的第一端与吸气口33连通且吸气管道32的第二端与安装槽31连通。
由此,根据本发明实施例的变形镜镜体安装组件,通过在吸力座30上设置吸气管道32,吸气管道32通过真空泵吸气完成镜体10的安装,安装槽31的底面为标准平面,使镜体10吸入安装槽内后平面度得到控制,提高变形镜机构的初始面形,从而提高变形镜的装配质量。
需要说明的是,根据本发明实施例的变形镜镜体安装组件的镜体10的形状没有特殊限制,可以根据需要进行合理的调节,相应的安装槽31的形状也可以根据镜体10的形状进行选择。可选地,根据本发明的一个实施例,镜体10形成为矩形,安装槽31的截面形成为矩形。
进一步地,根据本发明的一个实施例,安装槽31的每个顶角处设有避让部311。由此,通过设置避让部311,可以在向安装槽31内安放镜体10时减少对镜体10边缘的磕碰,保证装配的安全性。
关于避让部311的形状没有特殊限制,只要能起到减少对镜体10的磕碰的作用即可,可选地,根据本发明的一个实施例,避让部311形成为圆孔。由此,矩形镜体10的每个角均能方便的放入避让部311内,从而使得整个镜体10的装配更为方便安全。
为了保证吸力座30在装配时的气密性,根据本发明的一个实施例,安装槽31的每条边上设有密封件(未示出)。具体地,在本发明的一些实施方式中,密封件为胶条。由此,通过在安装槽31的每条边上粘贴很薄的胶条,胶条分布均匀,可以有效提高吸力座30的气密性,而且胶条还可以使镜体10四周的压力均匀化,减小对镜体10四周的挤压,从而避免破坏镜体10的工作面的变形,保证镜体10的面形质量,使装配更安全。
考虑到镜体10带有镜腿11的位置的厚度较高,相对于镜体10上的其他位置不易变形,因此,根据本发明的一个实施例,吸气管道32的第二端形成有多个间隔开布置的吸气孔321,且每个吸气孔321的位置与镜腿11的位置相对应。其中,每个吸气孔321均对应一个小的吸气气路,并且多个吸气气路最终汇总到吸气管道32的总气路中,该总气路与吸气管20连通。具体地,在本发明的一些实施方式中,镜体10的镜腿11为七个,相应的,吸气孔321也为七个。由此,吸气孔321的分布与镜体10的镜腿11的分布一致,有利于在当吸气管20连通的真空泵吸力过大时降低吸力对镜体10的面形的破坏,进一步保证了镜体10的装配安全性。
根据本发明的一个实施例,吸气管道20内设有气体逆止阀。气体逆止阀在镜体10装配过程中起作用以控制吸力座30内气压,关于镜体10的装配过程将在下面进行详细的描述。
具体地,根据本发明实施例的变形镜镜体安装组件在装配镜体10时,首先将吸气管20的一端插入吸力座30上的吸气口33内,吸气管20的另一端连接有真空泵。
安装槽31的开槽四周要均匀地粘上薄胶条,薄胶条的粘接能够减小对镜体10的挤压保证面形质量,同时提高气密性,使安装更安全,均匀胶粘的胶条能够使对镜体10四周的压力均匀化。吸力座30的吸气孔321的分布与镜体10的的镜腿11分布一致,这样分布有利于在当真空泵吸力过大时降低吸力对镜体10面形的破坏。
接着,将镜体10的工作面面向吸力座30的安装槽31,缓慢平稳的放入安装槽31内,可以使镜体10的工作面和吸力座30的安装槽31的标准平面能够完全接触。吸力座30的开槽面是标准平面,通过真空泵的抽压,使两个平面完全接触,从而保证了镜体10工作面的平面度,提高了变形镜机构的初始面形。
在打开真空泵前先计算好真空泵的吸力,然后打开真空泵并将吸力调整至合适大小,减小因吸力过大造成镜面局部凸起并且破坏镜体10工作面的镀膜层。吸力太小会使镜体10平面不能与标准平面完全接触,从而失去良好的初始面形,也很有可能因吸力太小导致镜体10滑脱,造成经济损失。大小合适的吸力可以起到吸住镜体10又不因吸力过大而破坏镜体10表面。
当镜体10被吸牢后,检查镜体10的工作面是否与吸力座30的安装槽31的底面完全贴合,当确认完全贴合后,关掉真空泵,目的是减小真空泵震动的干扰对安装的影响,同时关闭逆止阀保证吸气管道内的负压不变。
最后,将镜体10的镜腿11涂胶安装至变形镜致动机构40的各致动点41上,待胶固化后,可以打开逆止阀将吸力座30和镜体10分离,此时带有镜体10的变形镜机构组装完成。
总而言之,根据本发明实施例的变形镜镜体安装组件,通过在吸力座30上设置吸气管道32,吸气管道32通过真空泵吸气完成镜体10的安装,安装槽31的底面为标准平面,使镜体10吸入安装槽内后平面度得到控制,提高变形镜机构的初始面形,从而提高变形镜的装配质量。
在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例,可以理解的是,上述实施例是示例性的,不能理解为对本发明的限制,本领域的普通技术人员在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (9)

1.一种变形镜镜体安装组件,其特征在于,包括:
镜体,所述镜体第一面形成为平面,所述镜体第二面形成有多个间隔开布置的镜腿;
吸气管;和
吸力座,所述吸力座的第一面形成有与所述镜体适配的安装槽,所述安装槽的底面形成为平面,所述吸力座的第二面形成有与所述吸气管的管口适配的吸气口,所述吸力座内设有吸气管道,所述吸气管道的第一端与所述吸气口连通且所述吸气管道的第二端与所述安装槽连通。
2.根据权利要求1所述的变形镜镜体安装组件,其特征在于,所述镜体形成为矩形,所述安装槽的截面形成为矩形。
3.根据权利要求2所述的变形镜镜体安装组件,其特征在于,所述安装槽的每个顶角处设有避让部。
4.根据权利要求3所述的变形镜镜体安装组件,其特征在于,所述避让部形成为圆孔。
5.根据权利要求2所述的变形镜镜体安装组件,其特征在于,所述安装槽的每条边上设有密封件。
6.根据权利要求5所述的变形镜镜体安装组件,其特征在于,所述密封件为胶条。
7.根据权利要求1所述的变形镜镜体安装组件,其特征在于,所述吸气管道的第二端形成有多个间隔开布置的吸气孔,且每个所述吸气孔的位置与所述镜腿的位置相对应。
8.根据权利要求7所述的变形镜镜体安装组件,其特征在于,所述镜腿为七个。
9.根据权利要求1所述的变形镜镜体安装组件,其特征在于,所述吸气管道内设有气体逆止阀。
CN201310221355.9A 2013-06-05 2013-06-05 变形镜镜体安装组件 Active CN103268011B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310221355.9A CN103268011B (zh) 2013-06-05 2013-06-05 变形镜镜体安装组件

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310221355.9A CN103268011B (zh) 2013-06-05 2013-06-05 变形镜镜体安装组件

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103268011A true CN103268011A (zh) 2013-08-28
CN103268011B CN103268011B (zh) 2016-04-20

Family

ID=49011650

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310221355.9A Active CN103268011B (zh) 2013-06-05 2013-06-05 变形镜镜体安装组件

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103268011B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105203240A (zh) * 2015-10-30 2015-12-30 苏州精创光学仪器有限公司 玻璃应力测量装置用吸气治具

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4655563A (en) * 1985-11-25 1987-04-07 Itek Corporation Variable thickness deformable mirror
US4934803A (en) * 1989-10-12 1990-06-19 Litton Systems, Inc. Differential pressure deformable mirror
US6272989B1 (en) * 1997-10-24 2001-08-14 Sharp Kabushiki Kaisha Manufacturing method of liquid crystal display element and manufacturing apparatus of the same
CN2759696Y (zh) * 2004-12-28 2006-02-22 比亚迪股份有限公司 用于固定定位系统工具的夹具
US20070263302A1 (en) * 2003-11-21 2007-11-15 Nederlandse Organisatie Voor Toegepast- Natuurwetenschappelijk Onderzoek Tno Surface Deformation Actuation Structure
CN201015850Y (zh) * 2007-02-16 2008-02-06 沈永才 真空吸附式工作平台结构
CN101441278A (zh) * 2007-11-20 2009-05-27 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 固持装置及固持方法
CN102139465A (zh) * 2010-09-16 2011-08-03 湖南大学 一种非球曲面零件的高效超精密加工方法及装置
CN202307845U (zh) * 2011-10-25 2012-07-04 正恩科技有限公司 发光二极管晶圆真空吸附装置

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4655563A (en) * 1985-11-25 1987-04-07 Itek Corporation Variable thickness deformable mirror
US4934803A (en) * 1989-10-12 1990-06-19 Litton Systems, Inc. Differential pressure deformable mirror
US6272989B1 (en) * 1997-10-24 2001-08-14 Sharp Kabushiki Kaisha Manufacturing method of liquid crystal display element and manufacturing apparatus of the same
US20070263302A1 (en) * 2003-11-21 2007-11-15 Nederlandse Organisatie Voor Toegepast- Natuurwetenschappelijk Onderzoek Tno Surface Deformation Actuation Structure
CN2759696Y (zh) * 2004-12-28 2006-02-22 比亚迪股份有限公司 用于固定定位系统工具的夹具
CN201015850Y (zh) * 2007-02-16 2008-02-06 沈永才 真空吸附式工作平台结构
CN101441278A (zh) * 2007-11-20 2009-05-27 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 固持装置及固持方法
CN102139465A (zh) * 2010-09-16 2011-08-03 湖南大学 一种非球曲面零件的高效超精密加工方法及装置
CN202307845U (zh) * 2011-10-25 2012-07-04 正恩科技有限公司 发光二极管晶圆真空吸附装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105203240A (zh) * 2015-10-30 2015-12-30 苏州精创光学仪器有限公司 玻璃应力测量装置用吸气治具

Also Published As

Publication number Publication date
CN103268011B (zh) 2016-04-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8382452B2 (en) Pump arrangement comprising a safety valve
JP7131583B2 (ja) 接合方法及び接合装置
CN107587104B (zh) 真空成膜装置
CN102368113A (zh) 一种高精度光学元件的装配装置及无应力装配方法
US20180140981A1 (en) Exchange unit and flow circuit system using same
CN103268011A (zh) 变形镜镜体安装组件
US11921412B2 (en) Method for manufacturing projection screen and projection screen
WO2018223690A1 (zh) 曲面显示面板的制作方法、曲面显示面板及曲面显示装置
CN103620448A (zh) 细微结构形成用模和光学元件的制造方法
CN103008166B (zh) 糊剂涂敷方法及糊剂涂敷装置
CN109254400A (zh) 一种变形镜形变补偿的校正装置及补偿方法
CN107587105B (zh) 成膜装置
WO2018033131A1 (zh) 显示面板及其制作方法
CN104793364A (zh) 装配模组、显示装置及其装配方法
TWI678429B (zh) 閥裝置、流量控制方法、流體控制裝置、半導體製造方法及半導體製造裝置
CN103645556A (zh) 变形镜
CN107795466B (zh) 流体控制装置的制造方法
CN113805296B (zh) 一种光学组件及其制作方法
KR20050020590A (ko) 투영 노광장치
JP2015099927A (ja) 基板保持装置及びパターン転写装置並びにパターン転写方法
JP2013069499A (ja) ペースト塗布装置およびペースト塗布方法
TW201809941A (zh) 流體控制裝置之製造方法
CN207636799U (zh) 一种微空气隙光学元件
US10711906B2 (en) Valve and fuel cell system
CN103278924B (zh) 驱动装置及位移传递组件

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant